JP2000074061A - 磁気軸受の制御装置 - Google Patents
磁気軸受の制御装置Info
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
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- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0451—Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control
- F16C32/0455—Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control including digital signal processing [DSP] and analog/digital conversion [A/D, D/A]
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ａ／Ｄコンバータのビット数を増やすことな
く、回転体の支持位置精度を向上させる。 【解決手段】 Ａ／Ｄコンバータ３の出力を受けるＤＳ
Ｐ４により、Ａ／Ｄコンバータ３のアナログ入力レンジ
を選択する。回転体の変位が大きい場合は大きい方のア
ナログ入力レンジを選択し、変位が小さい通常の状態で
は小さい方のアナログ入力レンジを選択して、より小さ
い入力レンジに所定のディジタル値域を割り付けること
により、変位検出の分解能を向上させる。
く、回転体の支持位置精度を向上させる。 【解決手段】 Ａ／Ｄコンバータ３の出力を受けるＤＳ
Ｐ４により、Ａ／Ｄコンバータ３のアナログ入力レンジ
を選択する。回転体の変位が大きい場合は大きい方のア
ナログ入力レンジを選択し、変位が小さい通常の状態で
は小さい方のアナログ入力レンジを選択して、より小さ
い入力レンジに所定のディジタル値域を割り付けること
により、変位検出の分解能を向上させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転体を非接触支
持する磁気軸受の制御装置に関する。
持する磁気軸受の制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁気軸受の制御装置は、回転体の
変位を検出する変位センサからの出力信号電圧をＡ／Ｄ
コンバータに取り込んでディジタル信号に変換した後、
ディジタル信号処理部で演算処理して電磁石制御信号を
得ている。例えば１２ビットのＡ／Ｄコンバータでは、
±１０Ｖの範囲の出力信号電圧を、±２０４８の範囲の
ディジタル値に割り付ける。また、変位センサにおける
「変位」対「出力信号電圧」は、±０．１ｍｍ＝±１０
Ｖの関係にある。従って、Ａ／Ｄ変換後における変位検
出の分解能は、０．１／２０４８［ｍｍ］である。
変位を検出する変位センサからの出力信号電圧をＡ／Ｄ
コンバータに取り込んでディジタル信号に変換した後、
ディジタル信号処理部で演算処理して電磁石制御信号を
得ている。例えば１２ビットのＡ／Ｄコンバータでは、
±１０Ｖの範囲の出力信号電圧を、±２０４８の範囲の
ディジタル値に割り付ける。また、変位センサにおける
「変位」対「出力信号電圧」は、±０．１ｍｍ＝±１０
Ｖの関係にある。従って、Ａ／Ｄ変換後における変位検
出の分解能は、０．１／２０４８［ｍｍ］である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の磁
気軸受の制御装置において、回転体の支持位置精度を向
上させるには、分解能をさらに良くすることが必要であ
る。分解能をさらに良くするには、Ａ／Ｄコンバータの
ビット数を増やすことが考えられるが、ディジタル信号
処理部とのデータ処理の関係上、容易ではない。同一ビ
ット数のＡ／Ｄコンバータを用いてさらに分解能を良く
するには、±２０４８の範囲のディジタル値に割り付け
られる入力電圧レンジを±１０Ｖより小さくしなければ
ならない。しかし、回転体の磁気浮上開始時や、回転体
に非常に大きな外力が作用したときには、変位が大きく
なるので、仮に入力電圧レンジが±５Ｖであったなら
ば、それを超える入力電圧がＡ／Ｄコンバータに入力さ
れ、ディジタル出力値が飽和する恐れがある。このよう
な場合には、もはや適切な電磁石制御を行うことができ
なくなる。
気軸受の制御装置において、回転体の支持位置精度を向
上させるには、分解能をさらに良くすることが必要であ
る。分解能をさらに良くするには、Ａ／Ｄコンバータの
ビット数を増やすことが考えられるが、ディジタル信号
処理部とのデータ処理の関係上、容易ではない。同一ビ
ット数のＡ／Ｄコンバータを用いてさらに分解能を良く
するには、±２０４８の範囲のディジタル値に割り付け
られる入力電圧レンジを±１０Ｖより小さくしなければ
ならない。しかし、回転体の磁気浮上開始時や、回転体
に非常に大きな外力が作用したときには、変位が大きく
なるので、仮に入力電圧レンジが±５Ｖであったなら
ば、それを超える入力電圧がＡ／Ｄコンバータに入力さ
れ、ディジタル出力値が飽和する恐れがある。このよう
な場合には、もはや適切な電磁石制御を行うことができ
なくなる。
【０００４】上記のような従来の問題点に鑑み、本発明
は、磁気軸受の制御装置において、Ａ／Ｄコンバータの
ビット数を増やすことなく、回転体の支持位置精度を向
上させることを目的とする。
は、磁気軸受の制御装置において、Ａ／Ｄコンバータの
ビット数を増やすことなく、回転体の支持位置精度を向
上させることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気軸受の制御
装置は、磁気軸受により支持される回転体の変位を検出
する変位センサと、アナログ入力レンジが選択可能で、
前記変位センサの出力を、選択されたアナログ入力レン
ジでディジタル信号に変換して出力するＡ／Ｄコンバー
タと、前記ディジタル信号の値に基づいて前記Ａ／Ｄコ
ンバータのアナログ入力レンジを選択するとともに、前
記ディジタル信号及び選択されたアナログ入力レンジに
対応した係数に基づいて、電磁石を制御するための制御
信号を出力するディジタル信号処理部と、前記ディジタ
ル信号処理部から出力された制御信号に基づいて、電磁
石の励磁信号を出力する出力部とを備えたことを特徴と
する（請求項１）。
装置は、磁気軸受により支持される回転体の変位を検出
する変位センサと、アナログ入力レンジが選択可能で、
前記変位センサの出力を、選択されたアナログ入力レン
ジでディジタル信号に変換して出力するＡ／Ｄコンバー
タと、前記ディジタル信号の値に基づいて前記Ａ／Ｄコ
ンバータのアナログ入力レンジを選択するとともに、前
記ディジタル信号及び選択されたアナログ入力レンジに
対応した係数に基づいて、電磁石を制御するための制御
信号を出力するディジタル信号処理部と、前記ディジタ
ル信号処理部から出力された制御信号に基づいて、電磁
石の励磁信号を出力する出力部とを備えたことを特徴と
する（請求項１）。
【０００６】このように構成された磁気軸受の制御装置
において、ディジタル信号処理部はＡ／Ｄコンバータか
ら出力されたディジタル信号の値に基づいてアナログ入
力レンジを選択する。また、ディジタル信号処理部は、
ディジタル信号及び選択されたアナログ入力レンジに対
応した係数に基づいて、電磁石を制御するための制御信
号を出力する。従って、ディジタル信号の値に適したア
ナログ入力レンジを選択して、分解能を優先して回転体
の変位検出精度を向上させるＡ／Ｄ変換と、入力レンジ
の大きさを優先したＡ／Ｄ変換とを場合に応じて使い分
けながら、変位に対して常に一定の関係を有する制御信
号を出力して、電磁石を制御することができる。
において、ディジタル信号処理部はＡ／Ｄコンバータか
ら出力されたディジタル信号の値に基づいてアナログ入
力レンジを選択する。また、ディジタル信号処理部は、
ディジタル信号及び選択されたアナログ入力レンジに対
応した係数に基づいて、電磁石を制御するための制御信
号を出力する。従って、ディジタル信号の値に適したア
ナログ入力レンジを選択して、分解能を優先して回転体
の変位検出精度を向上させるＡ／Ｄ変換と、入力レンジ
の大きさを優先したＡ／Ｄ変換とを場合に応じて使い分
けながら、変位に対して常に一定の関係を有する制御信
号を出力して、電磁石を制御することができる。
【０００７】また、前記ディジタル信号処理部は、前記
値の絶対値が所定値に達したとき第１のアナログ入力レ
ンジを選択し、前記値の絶対値が前記所定値未満である
とき前記第１のアナログ入力レンジより入力レンジが小
さい第２のアナログ入力レンジを選択するものであって
もよい（請求項２）。この場合、Ａ／Ｄコンバータから
出力されたディジタル信号の値が所定値未満であると
き、第１のアナログ入力レンジより入力レンジが小さい
第２のアナログ入力レンジが選択され、より小さい入力
レンジに対して同一のディジタル値域を割り付けること
により、分解能を向上させることができる。
値の絶対値が所定値に達したとき第１のアナログ入力レ
ンジを選択し、前記値の絶対値が前記所定値未満である
とき前記第１のアナログ入力レンジより入力レンジが小
さい第２のアナログ入力レンジを選択するものであって
もよい（請求項２）。この場合、Ａ／Ｄコンバータから
出力されたディジタル信号の値が所定値未満であると
き、第１のアナログ入力レンジより入力レンジが小さい
第２のアナログ入力レンジが選択され、より小さい入力
レンジに対して同一のディジタル値域を割り付けること
により、分解能を向上させることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態によ
る磁気軸受の制御装置の構成を示すブロック図である。
図において、変位センサ１は、磁気軸受の回転体（図示
せず。）の変位を検出するために設けられ、通常、ラジ
アル方向の変位センサと、アキシャル方向の変位センサ
とがそれぞれ複数個設けられる。図示しているのは、そ
のうちの任意の１個である。この変位センサ１の出力に
基づいて、電磁石制御回路２により、対応する電磁石７
の電磁力が調節される。電磁石制御回路２は、１２ビッ
トのＡ／Ｄコンバータ３、ディジタル信号処理部として
のディジタル信号処理プロセッサ（以下、ＤＳＰとい
う。）４、並びに、出力部としてのＤ／Ａコンバータ５
及び増幅器６により構成されている。
る磁気軸受の制御装置の構成を示すブロック図である。
図において、変位センサ１は、磁気軸受の回転体（図示
せず。）の変位を検出するために設けられ、通常、ラジ
アル方向の変位センサと、アキシャル方向の変位センサ
とがそれぞれ複数個設けられる。図示しているのは、そ
のうちの任意の１個である。この変位センサ１の出力に
基づいて、電磁石制御回路２により、対応する電磁石７
の電磁力が調節される。電磁石制御回路２は、１２ビッ
トのＡ／Ｄコンバータ３、ディジタル信号処理部として
のディジタル信号処理プロセッサ（以下、ＤＳＰとい
う。）４、並びに、出力部としてのＤ／Ａコンバータ５
及び増幅器６により構成されている。
【０００９】上記ＤＳＰ４は、ソフトウェアプログラム
が可能で、高速実時間処理が可能な専用ハードウェアで
ある。なお、ＤＳＰ４の代わりにマイクロプロセッサ等
を用いてもよい。上記Ａ／Ｄコンバータ３は、１０Ｖ及
び２０Ｖの２種類のアナログ入力レンジを備えており、
ＤＳＰ４から選択指令としての１０Ｖ又は２０Ｖの基準
電圧信号が提供されることにより、いずれかのアナログ
入力レンジが選択される。
が可能で、高速実時間処理が可能な専用ハードウェアで
ある。なお、ＤＳＰ４の代わりにマイクロプロセッサ等
を用いてもよい。上記Ａ／Ｄコンバータ３は、１０Ｖ及
び２０Ｖの２種類のアナログ入力レンジを備えており、
ＤＳＰ４から選択指令としての１０Ｖ又は２０Ｖの基準
電圧信号が提供されることにより、いずれかのアナログ
入力レンジが選択される。
【００１０】次に、上記のように構成された磁気軸受の
制御装置の動作について説明する。変位センサ１は、回
転体の変位に応じた電圧信号（アナログ値）を出力す
る。例えば、変位±０．１ｍｍに対しての変位センサ１
の出力電圧は±１０Ｖである。変位センサ１の出力電圧
は、Ａ／Ｄコンバータ３によりディジタル信号に変換さ
れる。Ａ／Ｄコンバータ３の出力するディジタル信号は
ＤＳＰ４に入力され、そこで所定の演算処理（ＰＩＤ演
算等）を施され、電磁石制御信号としてＤ／Ａコンバー
タ５に出力される。Ｄ／Ａコンバータ５は電磁石制御信
号をアナログ信号に変換して出力し、これを増幅器６が
増幅して電磁石７に供給する。このようにして、回転体
の変位に応じて所要の励磁信号が電磁石に与えられ、回
転体の支持位置制御が行われる。
制御装置の動作について説明する。変位センサ１は、回
転体の変位に応じた電圧信号（アナログ値）を出力す
る。例えば、変位±０．１ｍｍに対しての変位センサ１
の出力電圧は±１０Ｖである。変位センサ１の出力電圧
は、Ａ／Ｄコンバータ３によりディジタル信号に変換さ
れる。Ａ／Ｄコンバータ３の出力するディジタル信号は
ＤＳＰ４に入力され、そこで所定の演算処理（ＰＩＤ演
算等）を施され、電磁石制御信号としてＤ／Ａコンバー
タ５に出力される。Ｄ／Ａコンバータ５は電磁石制御信
号をアナログ信号に変換して出力し、これを増幅器６が
増幅して電磁石７に供給する。このようにして、回転体
の変位に応じて所要の励磁信号が電磁石に与えられ、回
転体の支持位置制御が行われる。
【００１１】図２は、上記アナログ入力レンジの選択に
関するルーチンの一例を示すフローチャートである。こ
のルーチンは電磁石制御の一環としてＤＳＰ４により所
定周期で高速に実行される。図１及び図２において、Ｄ
ＳＰ４は、初期状態として例えば、Ａ／Ｄコンバータ３
に対して１０Ｖレンジ（高分解能）の選択指令を出力し
ているとする。この場合、ＤＳＰ４はステップ１０１か
ら１０２へ進む。ここで、Ａ／Ｄコンバータ３から入力
されるディジタル信号の絶対値の最大値が２０４８（＝
２１２／２）に達しない限り、ＤＳＰ４は１０Ｖレンジ
の選択指令を維持する（ステップ１０２のノーで終
了。）。
関するルーチンの一例を示すフローチャートである。こ
のルーチンは電磁石制御の一環としてＤＳＰ４により所
定周期で高速に実行される。図１及び図２において、Ｄ
ＳＰ４は、初期状態として例えば、Ａ／Ｄコンバータ３
に対して１０Ｖレンジ（高分解能）の選択指令を出力し
ているとする。この場合、ＤＳＰ４はステップ１０１か
ら１０２へ進む。ここで、Ａ／Ｄコンバータ３から入力
されるディジタル信号の絶対値の最大値が２０４８（＝
２１２／２）に達しない限り、ＤＳＰ４は１０Ｖレンジ
の選択指令を維持する（ステップ１０２のノーで終
了。）。
【００１２】上記１０Ｖレンジとは、アナログ入力±５
Ｖに対してディジタル値±２０４８を割り付けるレンジ
である。前述のように、変位±０．１ｍｍに対しての変
位センサ１の出力電圧は±１０Ｖであるので、アナログ
入力±５Ｖは変位±０．０５ｍｍに相当する。従って、
この場合の変位に対する分解能は、０．０５／２０４８
［ｍｍ］となる。磁気軸受の通常の運転状態において、
回転体はほぼ目標位置に支持されるように制御されてお
り、大きな変位は生じない。従って、１０Ｖレンジの選
択により、アナログ入力レンジは±５Ｖと小さいが、変
位の検出に関して上記の高い分解能を得ることができ
る。
Ｖに対してディジタル値±２０４８を割り付けるレンジ
である。前述のように、変位±０．１ｍｍに対しての変
位センサ１の出力電圧は±１０Ｖであるので、アナログ
入力±５Ｖは変位±０．０５ｍｍに相当する。従って、
この場合の変位に対する分解能は、０．０５／２０４８
［ｍｍ］となる。磁気軸受の通常の運転状態において、
回転体はほぼ目標位置に支持されるように制御されてお
り、大きな変位は生じない。従って、１０Ｖレンジの選
択により、アナログ入力レンジは±５Ｖと小さいが、変
位の検出に関して上記の高い分解能を得ることができ
る。
【００１３】一方、回転体の磁気浮上開始時や、回転体
に非常に大きな外力が作用したときには、変位が大きく
なり、Ａ／Ｄコンバータ３から入力されるディジタル信
号の絶対値の最大値が２０４８に達する（ステップ１０
２のイエス）。このときＤＳＰ４は、Ａ／Ｄコンバータ
３に対して２０Ｖレンジ（低分解能）の選択指令を出力
する（ステップ１０３）。２０Ｖレンジとは、アナログ
入力±１０Ｖに対してディジタル値±２０４８を割り付
けるレンジである。この場合の、変位に対する分解能
は、０．１／２０４８［ｍｍ］となる。従って、分解能
は１０Ｖレンジ選択時の半分に低下するが、アナログ入
力レンジが±１０Ｖと大きくなり、大きな変位であって
も、対応するディジタル値に変換することができる。２
０Ｖレンジ選択中（ステップ１０１のノー）は、Ａ／Ｄ
コンバータ３から入力されるディジタル信号の絶対値の
最大値が１０２４より大きい限り、ＤＳＰ４は２０Ｖレ
ンジを維持する（ステップ１０４のノーで終了。）。一
方、Ａ／Ｄコンバータ３から入力されるディジタル信号
の絶対値の最大値が１０２４以下になった場合、ＤＳＰ
４は１０Ｖレンジを選択する（ステップ１０５）。
に非常に大きな外力が作用したときには、変位が大きく
なり、Ａ／Ｄコンバータ３から入力されるディジタル信
号の絶対値の最大値が２０４８に達する（ステップ１０
２のイエス）。このときＤＳＰ４は、Ａ／Ｄコンバータ
３に対して２０Ｖレンジ（低分解能）の選択指令を出力
する（ステップ１０３）。２０Ｖレンジとは、アナログ
入力±１０Ｖに対してディジタル値±２０４８を割り付
けるレンジである。この場合の、変位に対する分解能
は、０．１／２０４８［ｍｍ］となる。従って、分解能
は１０Ｖレンジ選択時の半分に低下するが、アナログ入
力レンジが±１０Ｖと大きくなり、大きな変位であって
も、対応するディジタル値に変換することができる。２
０Ｖレンジ選択中（ステップ１０１のノー）は、Ａ／Ｄ
コンバータ３から入力されるディジタル信号の絶対値の
最大値が１０２４より大きい限り、ＤＳＰ４は２０Ｖレ
ンジを維持する（ステップ１０４のノーで終了。）。一
方、Ａ／Ｄコンバータ３から入力されるディジタル信号
の絶対値の最大値が１０２４以下になった場合、ＤＳＰ
４は１０Ｖレンジを選択する（ステップ１０５）。
【００１４】ＤＳＰ４は、１０Ｖレンジを選択している
ときは、出力を１倍して（すなわち、そのまま）Ｄ／Ａ
コンバータ５に出力する。一方、２０Ｖレンジを選択し
ているときは、同一の変位に対するディジタル出力が１
０Ｖレンジ選択時と比べて１／２となるので、出力を２
倍にしてＤ／Ａコンバータ５に出力する。このようにし
て、選択されたアナログ入力レンジに対応した係数（１
又は２）を乗じた出力を提供することにより、Ｄ／Ａコ
ンバータ５に入力されるディジタル信号はアナログ入力
レンジに関係なく、変位に対して常に一定の関係の値と
なる。但し、分解能に関しては、１０Ｖレンジ選択時
は、２０Ｖレンジ選択時の２倍の感度となる。従って、
回転体の変位を精度良く捉えて適切な電磁石制御を行う
ことにより、さらに正確に回転体の支持位置制御を行う
ことができる。
ときは、出力を１倍して（すなわち、そのまま）Ｄ／Ａ
コンバータ５に出力する。一方、２０Ｖレンジを選択し
ているときは、同一の変位に対するディジタル出力が１
０Ｖレンジ選択時と比べて１／２となるので、出力を２
倍にしてＤ／Ａコンバータ５に出力する。このようにし
て、選択されたアナログ入力レンジに対応した係数（１
又は２）を乗じた出力を提供することにより、Ｄ／Ａコ
ンバータ５に入力されるディジタル信号はアナログ入力
レンジに関係なく、変位に対して常に一定の関係の値と
なる。但し、分解能に関しては、１０Ｖレンジ選択時
は、２０Ｖレンジ選択時の２倍の感度となる。従って、
回転体の変位を精度良く捉えて適切な電磁石制御を行う
ことにより、さらに正確に回転体の支持位置制御を行う
ことができる。
【００１５】
【発明の効果】以上のように構成された本発明は以下の
効果を奏する。請求項１の磁気軸受の制御装置によれ
ば、ディジタル信号の値に適したアナログ入力レンジを
選択して、分解能を優先して回転体の変位検出精度を向
上させるＡ／Ｄ変換と、入力レンジの大きさを優先した
Ａ／Ｄ変換とを場合に応じて使い分けながら、変位に対
して常に一定の関係を有する制御信号を出力して、電磁
石を制御することができる。従って、Ａ／Ｄコンバータ
のビット数を増やすことなく、回転体の支持位置精度を
向上させることができる。
効果を奏する。請求項１の磁気軸受の制御装置によれ
ば、ディジタル信号の値に適したアナログ入力レンジを
選択して、分解能を優先して回転体の変位検出精度を向
上させるＡ／Ｄ変換と、入力レンジの大きさを優先した
Ａ／Ｄ変換とを場合に応じて使い分けながら、変位に対
して常に一定の関係を有する制御信号を出力して、電磁
石を制御することができる。従って、Ａ／Ｄコンバータ
のビット数を増やすことなく、回転体の支持位置精度を
向上させることができる。
【００１６】請求項２の磁気軸受の制御装置によれば、
Ａ／Ｄコンバータから出力されたディジタル信号の値が
所定値未満であるとき、第１のアナログ入力レンジより
入力レンジが小さい第２のアナログ入力レンジが選択さ
れ、より小さい入力レンジに対して同一のディジタル値
域を割り付けることにより、分解能を向上させることが
できる。従って、Ａ／Ｄコンバータのビット数を増やす
ことなく、回転体の支持位置精度を向上させることがで
きる。
Ａ／Ｄコンバータから出力されたディジタル信号の値が
所定値未満であるとき、第１のアナログ入力レンジより
入力レンジが小さい第２のアナログ入力レンジが選択さ
れ、より小さい入力レンジに対して同一のディジタル値
域を割り付けることにより、分解能を向上させることが
できる。従って、Ａ／Ｄコンバータのビット数を増やす
ことなく、回転体の支持位置精度を向上させることがで
きる。
【図１】本発明の一実施形態による磁気軸受の制御装置
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図２】上記制御装置のＤＳＰによって実行される、ア
ナログ入力レンジの選択に関するルーチンの一例を示す
フローチャートである。
ナログ入力レンジの選択に関するルーチンの一例を示す
フローチャートである。
１ 変位センサ ２ 電磁石制御回路 ３ Ａ／Ｄコンバータ ４ ＤＳＰ ５ Ｄ／Ａコンバータ ６ 増幅器 ７ 電磁石
Claims (2)
- 【請求項１】磁気軸受により支持される回転体の変位を
検出する変位センサと、 アナログ入力レンジが選択可能で、前記変位センサの出
力を、選択されたアナログ入力レンジでディジタル信号
に変換して出力するＡ／Ｄコンバータと、 前記ディジタル信号の値に基づいて前記Ａ／Ｄコンバー
タのアナログ入力レンジを選択するとともに、前記ディ
ジタル信号及び選択されたアナログ入力レンジに対応し
た係数に基づいて、電磁石を制御するための制御信号を
出力するディジタル信号処理部と、 前記ディジタル信号処理部から出力された制御信号に基
づいて、電磁石の励磁信号を出力する出力部とを備えた
ことを特徴とする磁気軸受の制御装置。 - 【請求項２】前記ディジタル信号処理部は、前記値の絶
対値が所定値に達したとき第１のアナログ入力レンジを
選択し、前記値の絶対値が前記所定値未満であるとき前
記第１のアナログ入力レンジより入力レンジが小さい第
２のアナログ入力レンジを選択することを特徴とする請
求項１記載の磁気軸受の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10247115A JP2000074061A (ja) | 1998-09-01 | 1998-09-01 | 磁気軸受の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10247115A JP2000074061A (ja) | 1998-09-01 | 1998-09-01 | 磁気軸受の制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000074061A true JP2000074061A (ja) | 2000-03-07 |
Family
ID=17158667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10247115A Pending JP2000074061A (ja) | 1998-09-01 | 1998-09-01 | 磁気軸受の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000074061A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006071069A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Boc Edwards Kk | 磁気軸受装置及び該磁気軸受装置が搭載されたターボ分子ポンプ |
| JP2006112490A (ja) * | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Boc Edwards Kk | 磁気軸受装置 |
-
1998
- 1998-09-01 JP JP10247115A patent/JP2000074061A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006071069A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Boc Edwards Kk | 磁気軸受装置及び該磁気軸受装置が搭載されたターボ分子ポンプ |
| JP4502750B2 (ja) * | 2004-09-06 | 2010-07-14 | エドワーズ株式会社 | 磁気軸受装置及び該磁気軸受装置が搭載されたターボ分子ポンプ |
| JP2006112490A (ja) * | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Boc Edwards Kk | 磁気軸受装置 |
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