JPH1082420A - 磁気軸受スピンドルのディジタル制御方法および制御装置 - Google Patents
磁気軸受スピンドルのディジタル制御方法および制御装置Info
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- JPH1082420A JPH1082420A JP8237944A JP23794496A JPH1082420A JP H1082420 A JPH1082420 A JP H1082420A JP 8237944 A JP8237944 A JP 8237944A JP 23794496 A JP23794496 A JP 23794496A JP H1082420 A JPH1082420 A JP H1082420A
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- Japan
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- sampling
- axis
- magnetic bearing
- control
- bearing spindle
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0451—Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control
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- Electromagnetism (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ａ／Ｄ変換器の個数を減らし、変換速度を下
げることができ、さらにサンプリング周波数を高めて制
御性能を向上し得る磁気軸受スピンドルのディジタル制
御方法および制御装置を提供する。 【解決手段】 １チャネル〜５チャネルの軸のセンサ出
力がマルチプレクサ１２に入力されて時分割的に選択さ
れ、Ａ／Ｄ変換器１３でディジタル信号に変換された
後、ＭＰＵ６に与えられて制御演算が行なわれ、各軸ご
とに制御信号がＤ／Ａ変換器７〜１１によってアナログ
信号に変換され、Ａ／Ｄ変換と制御演算とＤ／Ａ変換が
シーケンス的に処理される。
げることができ、さらにサンプリング周波数を高めて制
御性能を向上し得る磁気軸受スピンドルのディジタル制
御方法および制御装置を提供する。 【解決手段】 １チャネル〜５チャネルの軸のセンサ出
力がマルチプレクサ１２に入力されて時分割的に選択さ
れ、Ａ／Ｄ変換器１３でディジタル信号に変換された
後、ＭＰＵ６に与えられて制御演算が行なわれ、各軸ご
とに制御信号がＤ／Ａ変換器７〜１１によってアナログ
信号に変換され、Ａ／Ｄ変換と制御演算とＤ／Ａ変換が
シーケンス的に処理される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は磁気軸受スピンド
ルのディジタル制御方法および制御装置に関し、特に、
多軸制御型磁気軸受スピンドルの各軸受をディジタル制
御するようなディジタル制御方法および制御装置に関す
る。
ルのディジタル制御方法および制御装置に関し、特に、
多軸制御型磁気軸受スピンドルの各軸受をディジタル制
御するようなディジタル制御方法および制御装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】多軸型磁気軸受スピンドルの一例とし
て、５軸制御式磁気軸受スピンドルと呼ばれるものがあ
る。この５軸制御式磁気軸受スピンドルは、２個のラジ
アル磁気軸受と１個のスラスト軸受とで構成されてい
る。いずれの軸受も軸位置をセンサで検出して電磁石を
制御し、軸を定位置に保持する。
て、５軸制御式磁気軸受スピンドルと呼ばれるものがあ
る。この５軸制御式磁気軸受スピンドルは、２個のラジ
アル磁気軸受と１個のスラスト軸受とで構成されてい
る。いずれの軸受も軸位置をセンサで検出して電磁石を
制御し、軸を定位置に保持する。
【０００３】図５はセンサの出力で各軸受をディジタル
制御する制御回路のブロック図である。図５において、
各軸のセンサの出力は１チャネル〜５チャネルの入力信
号としてそれぞれＡ／Ｄ変換器１〜５に与えられてサン
プリングされ、ディジタル信号に変換されてＭＰＵ６に
与えられる。ＭＰＵ６は５軸分の制御演算を行ない、そ
の結果をＤ／Ａ変換器７〜１１に与える。Ｄ／Ａ変換器
７〜１１は制御信号をアナログ信号に変換して、全軸の
アナログ制御信号を出力する。各アナログ制御信号はそ
れぞれ増幅されて対応の軸受の電磁石に与えられる。
制御する制御回路のブロック図である。図５において、
各軸のセンサの出力は１チャネル〜５チャネルの入力信
号としてそれぞれＡ／Ｄ変換器１〜５に与えられてサン
プリングされ、ディジタル信号に変換されてＭＰＵ６に
与えられる。ＭＰＵ６は５軸分の制御演算を行ない、そ
の結果をＤ／Ａ変換器７〜１１に与える。Ｄ／Ａ変換器
７〜１１は制御信号をアナログ信号に変換して、全軸の
アナログ制御信号を出力する。各アナログ制御信号はそ
れぞれ増幅されて対応の軸受の電磁石に与えられる。
【０００４】図６は１サンプリング中におけるＭＰＵ６
の処理の流れを例示したものである。ＭＰＵ６において
は、Ａ／Ｄ変換された１チャネル〜５チャネルのディジ
タル信号の制御演算を順次行ない、その後演算結果がＤ
／Ａ変換器７〜１１によって同時にアナログ信号に変換
される。ここで、制御演算は、比例演算，積分換算，位
相補償演算，ジャイロ補償演算などがある。
の処理の流れを例示したものである。ＭＰＵ６において
は、Ａ／Ｄ変換された１チャネル〜５チャネルのディジ
タル信号の制御演算を順次行ない、その後演算結果がＤ
／Ａ変換器７〜１１によって同時にアナログ信号に変換
される。ここで、制御演算は、比例演算，積分換算，位
相補償演算，ジャイロ補償演算などがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図５に示した従来例で
は、各軸ごとにＡ／Ｄ変換器１〜５が必要となるが、Ａ
／Ｄ変換器１〜５は比較的高価な電子部品であり、装置
全体のコストが高くなってしまう。
は、各軸ごとにＡ／Ｄ変換器１〜５が必要となるが、Ａ
／Ｄ変換器１〜５は比較的高価な電子部品であり、装置
全体のコストが高くなってしまう。
【０００６】しかも、比例演算，積分演算，位相補償演
算およびジャイロ補償演算のすべての要素の制御演算が
同一サンプリング周期で行なわれている。このため、サ
ンプリング周波数は、高周波成分に対する位相補償演算
に無駄時間による位相遅れの影響が出ないように決定さ
れる。通常、制御周波数帯域の少なくとも１デカード高
周波側に設定されるかあるいは制御演算に要する時間か
らサンプリング周波数が決定され、制御帯域がこれに支
配される場合も多い。したがって、いかに演算時間を短
縮して制御性能を上げるかが重要となる。
算およびジャイロ補償演算のすべての要素の制御演算が
同一サンプリング周期で行なわれている。このため、サ
ンプリング周波数は、高周波成分に対する位相補償演算
に無駄時間による位相遅れの影響が出ないように決定さ
れる。通常、制御周波数帯域の少なくとも１デカード高
周波側に設定されるかあるいは制御演算に要する時間か
らサンプリング周波数が決定され、制御帯域がこれに支
配される場合も多い。したがって、いかに演算時間を短
縮して制御性能を上げるかが重要となる。
【０００７】しかしながら、すべての制御演算に対して
高速サンプリングが必要とされるわけではなく、比例演
算，積分演算およびジャイロ補償演算などは比較的低周
波成分に対するものであるため、最も遅いサンプリング
周波数でも十分である。
高速サンプリングが必要とされるわけではなく、比例演
算，積分演算およびジャイロ補償演算などは比較的低周
波成分に対するものであるため、最も遅いサンプリング
周波数でも十分である。
【０００８】それゆえに、この発明の主たる目的は、Ａ
／Ｄ変換器の個数を減らしてコストを低減でき、Ａ／Ｄ
変換器やＡ／Ｄ変換器に要求される変換速度を下げるこ
とができ、さらにサンプリング周波数を高めて制御性能
を向上し得る磁気軸受スピンドルのディジタル制御方法
および制御装置を提供することである。
／Ｄ変換器の個数を減らしてコストを低減でき、Ａ／Ｄ
変換器やＡ／Ｄ変換器に要求される変換速度を下げるこ
とができ、さらにサンプリング周波数を高めて制御性能
を向上し得る磁気軸受スピンドルのディジタル制御方法
および制御装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
多軸制御型磁気軸受スピンドルの各軸に対応して設けら
れたセンサの出力で各軸をディジタル制御するディジタ
ル制御方法において、制御演算を高周波成分に対するも
のと低周波成分に対するものとに分け、両者でサンプリ
ング周波数を異ならせる。
多軸制御型磁気軸受スピンドルの各軸に対応して設けら
れたセンサの出力で各軸をディジタル制御するディジタ
ル制御方法において、制御演算を高周波成分に対するも
のと低周波成分に対するものとに分け、両者でサンプリ
ング周波数を異ならせる。
【００１０】請求項２に係る発明では、請求項１の低周
波成分に対する演算は、毎サンプリング時には行なわ
ず、軸数分のサンプリング周期に１回の割合で演算を行
なう。
波成分に対する演算は、毎サンプリング時には行なわ
ず、軸数分のサンプリング周期に１回の割合で演算を行
なう。
【００１１】請求項３に係る発明は、多軸制御型磁気軸
受スピンドルの各軸に対応して設けられたセンサの出力
で各軸をディジタル制御する制御装置であって、各軸の
センサの出力を時分割的に選択して出力する選択手段
と、順次選択されたセンサ出力をサンプリングするサン
プリング手段と、順次サンプリングされたセンサ出力に
基づいて制御演算する演算手段と、各軸に対応して設け
られ、制御演算されたディジタル信号をアナログ信号に
変換する複数のＤ／Ａ変換手段を備えて構成される。
受スピンドルの各軸に対応して設けられたセンサの出力
で各軸をディジタル制御する制御装置であって、各軸の
センサの出力を時分割的に選択して出力する選択手段
と、順次選択されたセンサ出力をサンプリングするサン
プリング手段と、順次サンプリングされたセンサ出力に
基づいて制御演算する演算手段と、各軸に対応して設け
られ、制御演算されたディジタル信号をアナログ信号に
変換する複数のＤ／Ａ変換手段を備えて構成される。
【００１２】請求項４に係る発明では、請求項３のサン
プリング手段によるサンプリング時間を全軸の制御演算
に要する時間の総和のみとする。
プリング手段によるサンプリング時間を全軸の制御演算
に要する時間の総和のみとする。
【００１３】請求項５に係る発明では、請求項３の演算
手段は、サンプリング手段が１つの軸のセンサ出力をサ
ンプリングしている間に、他の軸の制御演算を行なう。
手段は、サンプリング手段が１つの軸のセンサ出力をサ
ンプリングしている間に、他の軸の制御演算を行なう。
【００１４】請求項６に係る発明では、請求項３の演算
手段は、制御演算として低周波成分の演算を毎サンプリ
ング時に行なわず、軸数分のサンプリング周期に１回の
割合で演算を行なう。
手段は、制御演算として低周波成分の演算を毎サンプリ
ング時に行なわず、軸数分のサンプリング周期に１回の
割合で演算を行なう。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の一実施形態にお
ける１サンプリング中での各処理の流れを示す図であ
る。この実施形態は、図５に示した構成が用いられ、高
周波成分演算である位相補償演算は全チャネル分行なわ
れるが、低周波成分演算である比例，積分およびジャイ
ロ補償演算は５チャネルのうちのいずれか１チャネルし
か行なわない。したがって、これらの制御演算のサンプ
リング周波数は、実際のサンプリング周波数の１／５と
いうことになり、５サンプリング期間中は、一定の値が
毎サンプリングで変化する高周波成分演算結果に加算さ
れて出力されることになる。したがって、この発明の実
施の形態では、高周波位相補償制御演算のサンプリング
周波数を高めることができ、制御性能が向上する。
ける１サンプリング中での各処理の流れを示す図であ
る。この実施形態は、図５に示した構成が用いられ、高
周波成分演算である位相補償演算は全チャネル分行なわ
れるが、低周波成分演算である比例，積分およびジャイ
ロ補償演算は５チャネルのうちのいずれか１チャネルし
か行なわない。したがって、これらの制御演算のサンプ
リング周波数は、実際のサンプリング周波数の１／５と
いうことになり、５サンプリング期間中は、一定の値が
毎サンプリングで変化する高周波成分演算結果に加算さ
れて出力されることになる。したがって、この発明の実
施の形態では、高周波位相補償制御演算のサンプリング
周波数を高めることができ、制御性能が向上する。
【００１６】図２はこの発明の第２の実施の形態を示す
ブロック図である。図２において、前述の図５に示した
５個のＡ／Ｄ変換器１〜５に代えて、マルチプレクサ１
２と１個のＡ／Ｄ変換器１３が設けられる。マルチプレ
クサ１２は１〜５チャネルのセンサ信号を順次選択して
Ａ／Ｄ変換器１３に与える。Ａ／Ｄ変換器１３は順次選
択されたセンサ信号をディジタル信号に変換する。な
お、Ｄ／Ａ変換器７〜１１は図５と同様にして、各軸に
対応して設けられる。これは１サンプリング時間中、各
軸のアナログ出力信号をホールドしておく必要があるか
らである。
ブロック図である。図２において、前述の図５に示した
５個のＡ／Ｄ変換器１〜５に代えて、マルチプレクサ１
２と１個のＡ／Ｄ変換器１３が設けられる。マルチプレ
クサ１２は１〜５チャネルのセンサ信号を順次選択して
Ａ／Ｄ変換器１３に与える。Ａ／Ｄ変換器１３は順次選
択されたセンサ信号をディジタル信号に変換する。な
お、Ｄ／Ａ変換器７〜１１は図５と同様にして、各軸に
対応して設けられる。これは１サンプリング時間中、各
軸のアナログ出力信号をホールドしておく必要があるか
らである。
【００１７】図３はこの発明の第２の実施の形態におけ
る信号処理の流れを示す図である。図３において、Ｔ１
フレームでは、１チャネルのＡ／Ｄ変換，２チャネルの
Ｄ／Ａ変換，５チャネルの制御演算が同時に行なわれ
る。同様にして、Ｔ２フレームにおいては、１チャネル
の制御演算，２チャネルのＡ／Ｄ変換，３チャネルのＤ
／Ａ変換が同時に行なわれる。Ｔ３フレーム以降は同様
な処理が繰返される。
る信号処理の流れを示す図である。図３において、Ｔ１
フレームでは、１チャネルのＡ／Ｄ変換，２チャネルの
Ｄ／Ａ変換，５チャネルの制御演算が同時に行なわれ
る。同様にして、Ｔ２フレームにおいては、１チャネル
の制御演算，２チャネルのＡ／Ｄ変換，３チャネルのＤ
／Ａ変換が同時に行なわれる。Ｔ３フレーム以降は同様
な処理が繰返される。
【００１８】１フレームの時間はＡ／Ｄ変換時間あるい
は制御演算時間のどちらか長い方で決定されるが、通常
は制御演算時間による。なお、Ｄ／Ａ変換器７〜１１は
各軸独立であるため、最大３フレームまでの変換時間が
許される。たとえば、１チャネルの場合、Ｔ３フレーム
からＴ５フレームまでＤ／Ａ変換に要してもよいという
ことになる。
は制御演算時間のどちらか長い方で決定されるが、通常
は制御演算時間による。なお、Ｄ／Ａ変換器７〜１１は
各軸独立であるため、最大３フレームまでの変換時間が
許される。たとえば、１チャネルの場合、Ｔ３フレーム
からＴ５フレームまでＤ／Ａ変換に要してもよいという
ことになる。
【００１９】上述のごとく制御することによって、各軸
当りのサンプリング時間５フレーム分になる。これは各
軸の制御演算時間を加算したものに等しい。
当りのサンプリング時間５フレーム分になる。これは各
軸の制御演算時間を加算したものに等しい。
【００２０】これに対して、従来の方法では、制御演算
時間のほかに、Ａ／Ｄ変換，Ｄ／Ａ変換時間が加算され
たものがサンプリング時間となる。したがって、この発
明を用いることによって、確実にサンプリング周期を高
めることができかつ高価な高速Ａ／Ｄ変換器やＤ／Ａ変
換器を用いる必要もなくなる。
時間のほかに、Ａ／Ｄ変換，Ｄ／Ａ変換時間が加算され
たものがサンプリング時間となる。したがって、この発
明を用いることによって、確実にサンプリング周期を高
めることができかつ高価な高速Ａ／Ｄ変換器やＤ／Ａ変
換器を用いる必要もなくなる。
【００２１】図４は、この発明の第３の実施形態におけ
る処理の流れを示す図である。この第３の実施形態で
は、図２に示した構成で６フレームごとに低周波成分の
演算を行なうものである。このようにすることにより、
各チャネル当りの低周波成分演算は、第２の実施形態と
同様５サンプリングに１回演算される。
る処理の流れを示す図である。この第３の実施形態で
は、図２に示した構成で６フレームごとに低周波成分の
演算を行なうものである。このようにすることにより、
各チャネル当りの低周波成分演算は、第２の実施形態と
同様５サンプリングに１回演算される。
【００２２】今仮に、Ａ／Ｄ変換，Ｄ／Ａ変換，高周波
成分演算，低周波成分演算に要する時間がすべて５μｓ
ｅｃであるとする。このとき、１サンプリング時間を比
較すると、従来例では６０μｓｅｃ要するのに対して、
第２の実施形態では４０μｓｅｃ，第３の実施の形態形
態では３０μｓｅｃで済むことになる。
成分演算，低周波成分演算に要する時間がすべて５μｓ
ｅｃであるとする。このとき、１サンプリング時間を比
較すると、従来例では６０μｓｅｃ要するのに対して、
第２の実施形態では４０μｓｅｃ，第３の実施の形態形
態では３０μｓｅｃで済むことになる。
【００２３】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、制御
演算を高周波成分に対するものと低周波成分に対するも
のとに分け、両者でサンプリング周波数を異ならせるよ
うにしたので、高周波位相補償制御演算のサンプリング
周波数を高めることができ、制御性能が向上する。
演算を高周波成分に対するものと低周波成分に対するも
のとに分け、両者でサンプリング周波数を異ならせるよ
うにしたので、高周波位相補償制御演算のサンプリング
周波数を高めることができ、制御性能が向上する。
【００２４】また、各軸のセンサの出力を時分割的に選
択してサンプリングし、そのサンプリングされたセンサ
出力に基づいて制御演算を行ない、サンプリング時間を
全軸の制御演算に要する時間の総和のみとすることによ
って、Ａ／Ｄ変換器の個数を減らせることができ、コス
ト低減を図ることができる。しかも、Ａ／Ｄ変換器やＤ
／Ａ変換器に要求される変換速度を下げることができ、
サンプリング周波数を高めて制御性能を向上できる。
択してサンプリングし、そのサンプリングされたセンサ
出力に基づいて制御演算を行ない、サンプリング時間を
全軸の制御演算に要する時間の総和のみとすることによ
って、Ａ／Ｄ変換器の個数を減らせることができ、コス
ト低減を図ることができる。しかも、Ａ／Ｄ変換器やＤ
／Ａ変換器に要求される変換速度を下げることができ、
サンプリング周波数を高めて制御性能を向上できる。
【図１】この発明の第１の実施の形態における１サンプ
リング中での処理の流れを示す図である。
リング中での処理の流れを示す図である。
【図２】この発明の第２の実施の形態を示すブロック図
である。
である。
【図３】この発明の第２の実施の形態における信号処理
の流れを示す図である。
の流れを示す図である。
【図４】この発明の第３の実施の形態における処理の流
れを示す図である。
れを示す図である。
【図５】センサの出力で各軸受をディジタル制御する制
御回路のブロック図である。
御回路のブロック図である。
【図６】１サンプリング中におけるＭＰＵ６の処理の流
れを例示した図である。
れを例示した図である。
６ ＭＰＵ ７〜１１ Ｄ／Ａ変換器 １２ マルチプレクサ １３ Ａ／Ｄ変換器
Claims (6)
- 【請求項１】 多軸制御型磁気軸受スピンドルの各軸に
対応して設けられたセンサの出力で各軸をディジタル制
御するディジタル制御方法において、 前記各軸の制御演算を高周波成分に対するものと、低周
波成分に対するものとに分け、両者でサンプリング周波
数を異ならせることを特徴とする、磁気軸受スピンドル
のディジタル制御方法。 - 【請求項２】 前記低周波成分に対する演算は、毎サン
プリング時には行なわず、軸数分のサンプリング周期に
１回の割合で演算を行なうことを特徴とする、請求項１
の磁気軸受スピンドルのディジタル制御方法。 - 【請求項３】 多軸制御型磁気軸受スピンドルの各軸に
対応して設けられたセンサの出力で各軸をディジタル制
御する制御装置であって、 前記各軸のセンサの出力を時分割的に選択して出力する
選択手段、 前記選択手段によって順次選択されたセンサ出力をサン
プリングする１つのサンプリング手段、 前記サンプリング手段によって順次サンプリングされた
センサ出力に基づいて制御演算する演算手段、および前
記各軸に対応して設けられ、前記演算手段によって制御
演算されたディジタル信号をアナログ信号に変換する複
数のＤ／Ａ変換手段を備えた、磁気軸受スピンドルのデ
ィジタル制御装置。 - 【請求項４】 前記サンプリング手段によるサンプリン
グ時間を全軸の制御演算に要する時間の総和のみとした
ことを特徴とする、請求項３の磁気軸受スピンドルのデ
ィジタル制御装置。 - 【請求項５】 前記演算手段は、前記サンプリング手段
が１つの軸のセンサ出力をサンプリングしている間に、
他の軸の制御演算を行なうことを特徴とする、請求項３
の磁気軸受スピンドルのディジタル制御装置。 - 【請求項６】 前記演算手段は、前記制御演算として低
周波成分の演算を毎サンプリング時に行なわず、軸数分
のサンプリング周期に１回の割合で演算を行なうことを
特徴とする、請求項３の磁気軸受スピンドルのディジタ
ル制御装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8237944A JPH1082420A (ja) | 1996-09-09 | 1996-09-09 | 磁気軸受スピンドルのディジタル制御方法および制御装置 |
| DE19738715A DE19738715C2 (de) | 1996-09-09 | 1997-09-04 | Verfahren zur digitalen Steuerung einer Magnetlagerspindel und dazugehöriges Steuerungsgerät |
| US08/925,141 US6114787A (en) | 1996-09-09 | 1997-09-08 | Method of digitally controlling magnetic bearing spindle |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8237944A JPH1082420A (ja) | 1996-09-09 | 1996-09-09 | 磁気軸受スピンドルのディジタル制御方法および制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1082420A true JPH1082420A (ja) | 1998-03-31 |
Family
ID=17022781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8237944A Withdrawn JPH1082420A (ja) | 1996-09-09 | 1996-09-09 | 磁気軸受スピンドルのディジタル制御方法および制御装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6114787A (ja) |
| JP (1) | JPH1082420A (ja) |
| DE (1) | DE19738715C2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002042154A1 (fr) | 2000-11-22 | 2002-05-30 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Mecanisme de soutien pour appareil de rotation en microgravite |
| KR100483035B1 (ko) * | 2001-03-30 | 2005-04-15 | 샤프 가부시키가이샤 | 반도체 기억장치 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60245443A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-05 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 制御式ラジアル磁気軸受装置 |
| JPS6166540A (ja) * | 1984-09-08 | 1986-04-05 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 磁気軸受の制御装置 |
| WO1994020767A1 (en) * | 1993-03-08 | 1994-09-15 | Noise Cancellation Technologies, Inc. | Methods and apparatus for closed-loop control of magnetic bearings |
| JP3533014B2 (ja) * | 1994-08-22 | 2004-05-31 | 株式会社荏原製作所 | 磁気軸受支持回転体のデジタル制御方法及び制御装置 |
| US5627421A (en) * | 1994-10-28 | 1997-05-06 | Barber-Colman Company | High efficiency drive circuit for an active magnetic bearing system |
-
1996
- 1996-09-09 JP JP8237944A patent/JPH1082420A/ja not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-09-04 DE DE19738715A patent/DE19738715C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-09-08 US US08/925,141 patent/US6114787A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6114787A (en) | 2000-09-05 |
| DE19738715C2 (de) | 1999-11-18 |
| DE19738715A1 (de) | 1998-04-09 |
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| Date | Code | Title | Description |
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