JP4502750B2 - 磁気軸受装置及び該磁気軸受装置が搭載されたターボ分子ポンプ - Google Patents
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Description
これらの半導体は、極めて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりなどして製造される。
また、半導体の製造工程では、様々なプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプはチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内から排気するのにも使用される。
このターボ分子ポンプ本体の縦断面図を図6に示す。
この回転体103の中心にはロータ軸113が取り付けられており、このロータ軸113は、例えば、いわゆる5軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。
ロータ軸113は、高透磁率材(鉄など)などにより形成され、上側径方向電磁石104の磁力により吸引されるようになっている。かかる調整は、X軸方向とY軸方向とにそれぞれ独立して行われる。
このように、制御装置では、この軸方向電磁石106A、106Bが金属ディスク111に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸113を軸方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持する。
また、モータ121には、図示しない回転数センサ及びモータ温度センサが取り付けられており、これらの回転数センサ及びモータ温度センサの検出信号を受けて、制御装置においてロータ軸113の回転が制御されている。
そして、固定翼123の一端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ125a、125b、125c・・・の間に嵌挿された状態で支持されている。
固定翼スペーサ125の外周には、わずかの空隙を隔てて外筒127が固定されている。外筒127の底部にはベース部129が配設され、固定翼スペーサ125の下部とベース部129の間にはネジ付きスペーサ131が配設されている。そして、ベース部129中のネジ付きスペーサ131の下部には排気口133が形成され、外部に連通されている。
ネジ溝131aの螺旋の方向は、回転体103の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口133の方へ移送される方向である。
ベース部129はターボ分子ポンプ本体100を物理的に保持すると共に、熱の伝導路の機能も兼ね備えているので、鉄、アルミニウムや銅などの剛性があり、熱伝導率も高い金属が使用されるのが望ましい。
また、ベース部129には、コネクタ160が配設されており、このコネクタ160は、ターボ分子ポンプ本体100と制御装置との間の信号線の出口になっている。
この電子回路部141は、ターボ分子ポンプ本体100の下部を構成するベース部129の中央付近の軸方向センサ109の下部に収容され、機密性の底蓋145によって閉じられている。
また、回路内のノイズレベルに対して、特定の範囲のセンサ信号の感度を高くしているので、その部分のS/N比が向上し、ノイズの少ない高感度のディジタルセンサ信号を得られる。
アナログ中間信号52は分解能12bitのA/Dコンバータ20に入力されるようになっている。ここでアナログ中間信号52はデジタル中間信号54に変換され、出力されるようになっている。このデジタル中間信号54はDigital Signal Processor(以下、DSPという)に入力され、ソフトウェアの感度再変換処理部14に入力され、上述した感度変換回路12でアナログ変位信号50が変換される際に高感度モードであるか低感度モードであるかの態様に応じて、A/Dコンバータ20によって量子化されていたデジタル中間信号54を線形に復元し、デジタル変位信号56を出力するようになっている。
以上により、ロータ軸113の変位が±50μmの範囲にあるときに高感度になるように制御され、この範囲を超えた変位の場合には低感度に制御される。従って、A/Dコンバータ20で必要とされる分解能は低くて済み安価に構成できる。
12 感度変換回路
12A 高ゲインセンサ復調回路
12B 低ゲインセンサ復調回路
14 感度再変換処理部
14A 低ゲイン
14B 高ゲイン
20、20A 、20B A/D コンバータ
50 アナログ変位信号
52 アナログ中間信号
52a 高感度アナログ中間信号
52b 低感度アナログ中間信号
53 アナログ中間信号
54 デジタル中間信号
54a 高感度デジタル中間信号
54b 低感度デジタル中間信号
55a 高感度デジタル信号
55b 低感度デジタル信号
56 デジタル変位信号
60 セレクタ
107 上側径方向センサ
108 下側径方向センサ
109 軸方向センサ
113 ロータ軸
121 モータ
Claims (7)
- 回転体と、
該回転体を位置調整しつつ磁気浮上させる軸受手段と、
前記回転体の状態若しくは前記軸受手段の状態を検出してセンサ信号として出力するセンサと、
該センサ信号が入力され、入力に対する出力の感度が高感度に設定された入出力特性を有する高感度センサ信号変換手段と、
該高感度センサ信号変換手段で感度変換されたアナログ信号をディジタル化する第1のアナログ/ディジタル変換手段と、
該第1のアナログ/ディジタル変換手段でディジタル化された信号が入力され、前記高感度センサ信号変換手段での入出力特性とxy座標軸上でy=xを境に対称とされた入出力特性を有する低感度再変換手段と、
前記センサ信号が入力され、入力に対する出力の感度が低感度に設定された入出力特性を有する低感度センサ信号変換手段と、
該低感度センサ信号変換手段で感度変換されたアナログ信号をディジタル化する第2のアナログ/ディジタル変換手段と、
該第2のアナログ/ディジタル変換手段でディジタル化された信号が入力され、前記低感度センサ信号変換手段での入出力特性とxy座標軸上でy=xを境に対称とされた入出力特性を有する高感度再変換手段と、
該高感度再変換手段と前記低感度再変換手段のいずれかの出力信号を選択する選択手段とを備えたことを特徴とする磁気軸受装置。 - 回転体と、
該回転体を位置調整しつつ磁気浮上させる軸受手段と、
前記回転体の状態若しくは前記軸受手段の状態を検出してセンサ信号として出力するセンサと、
該センサ信号が入力され、入力に対する出力の感度が高感度に設定された入出力特性を有する高感度センサ信号変換手段と、
前記センサ信号が入力され、入力に対する出力の感度が低感度に設定された入出力特性を有する低感度センサ信号変換手段と、
該低感度センサ信号変換手段と前記高感度センサ信号変換手段のいずれかの出力信号を選択する選択手段と、
該選択手段で信号選択されたアナログ信号をディジタル化する第1のアナログ/ディジタル変換手段とを備えたことを特徴とする磁気軸受装置。 - 前記選択手段における選択は、前記第1のアナログ/ディジタル変換手段での変換データが所定の値以内若しくは桁あふれしていないとき前記高感度センサ信号変換手段側の出力信号が選択され、かつ前記第1のアナログ/ディジタル変換手段での変換データが所定の値を超えた若しくは桁あふれしたときに前記高感度センサ信号変換手段側から前記低感度センサ信号変換手段側に自動切換されることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の磁気軸受装置。
- 前記選択手段における選択の自動切換にはヒステリシス特性が設定されたことを特徴とする請求項3記載の磁気軸受装置。
- 前記センサ信号に対する前記選択手段での一方の入力信号と前記選択手段での他方の入力信号間の偏差及び/又はオフセット電圧を基に双方の入力信号間の感度を補正する係数が算出若しくは予め設定される偏差補正手段と、
前記選択手段における選択が自動切換されたとき該偏差補正手段で算出若しくは設定された係数を基に切換後に選択された信号の感度を調整する感度調整手段とを備えたことを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の磁気軸受装置。 - 前記係数は記憶回路に保存され、停電時であってもデータ消滅しないことを特徴とする請求項5記載の磁気軸受装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の磁気軸受装置が搭載され、前記高感度に設定された入出力特性範囲には定格運転状態が含まれることを特徴とするターボ分子ポンプ。
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