JP2000056234A5 - - Google Patents

Description

【０００５】
【課題を解決するための手段】 上記課題を解決するために、本願発明の顕微鏡は、光源からの照明光を反射方向と透過方向に分割する光路分割手段を備えた顕微鏡本体と、前記顕微鏡本体の前記反射方向の主観察光路に配置され、標本を高倍で観察するミクロ観察用の高倍対物レンズと、前記高倍対物レンズを複数備え、各高倍対物レンズを選択的に前記主観察光路上に位置させるレボルバと、前記顕微鏡本体の下側に配置され、前記レボルバを取り付けるレボルバ取付け部と、前記顕微鏡本体の前記透過方向の副観察光路に配置され、該副観察光路を前記標本面に向けて直角に折り曲げるミラーと、前記ミラーで折り曲げられた反射光路に配置され、前記標本を前記高倍対物レンズより低倍で観察するマクロ観察用の低倍対物レンズと、前記レボルバ取付け部に連結して設けられ、前記低倍対物レンズを前記ミラーで折り返された前記副観察光路上に交換可能に取り付ける対物レンズ保持部材とにより構成している。

本発明によれば、副観察光学系の標本の種類や作業内容に応じた最適な対物レンズと主観察光学系の対物レンズによる組み合わせにより、様々な観察状況下での欠陥検査を行なうことができる。

また、本発明によれば、副観察光学系の対物レンズを標本の種類や作業内容に合わせて速やかに切換えることができる。また、同一の標本面に対して副観察光学系と主観察光学系を同時に合焦させることができる。

Claims (8)

1. 光源からの照明光を反射方向と透過方向に分割する光路分割手段を備えた顕微鏡本体と、
   前記顕微鏡本体の前記反射方向の主観察光路に配置され、標本を高倍で観察するミクロ観察用の高倍対物レンズと、
   前記高倍対物レンズを複数備え、各高倍対物レンズを選択的に前記主観察光路上に位置させるレボルバと、
   前記顕微鏡本体の下側に配置され、前記レボルバを取り付けるレボルバ取付け部と、
   前記顕微鏡本体の前記透過方向の副観察光路に配置され、該副観察光路を前記標本面に向けて直角に折り曲げるミラーと、
   前記ミラーで折り曲げられた反射光路に配置され、前記標本を前記高倍対物レンズより低倍で観察するマクロ観察用の低倍対物レンズと、
   前記レボルバ取付け部に連結して設けられ、前記低倍対物レンズを前記ミラーで折り返された前記副観察光路上に交換可能に取り付ける対物レンズ保持部材と、
   を具備したことを特徴とする顕微鏡。
2. 前記主観察光路上に位置される前記高倍対物レンズと、前記副観察光路上に配置される前記低倍対物レンズは、それぞれの焦点位置が前記標本上の同一面上になるように調整されていることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。
3. 前記対物レンズ保持部材は、前記レボルバ取付け部に連結して設けられることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。
4. 前記対物レンズ保持部材は、前記低倍対物レンズを着脱可能なネジ穴で構成したことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。
5. 前記対物レンズ保持部材は、前記低倍対物レンズを複数備え、前記副観察光路上に選択的に切換える切換え機構を有することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。
6. 前記切換え機構は、前記レボルバ取付け部に固定された固定部材に対して前記低倍対物レンズが複数取り付けられた可動部材を直線移動可能に設けたことを特徴とする請求項５記載の顕微鏡。
7. 前記切換え機構は、前記レボルバ取付け部に固定された固定部材に対して前記低倍対物レンズが複数取り付けられた対物レンズ保持部材を回動可能に設けたことを特徴とする請求項５記載の顕微鏡。
8. 前記低倍対物レンズは、前記マクロ観察に最適な０．５〜２倍の倍率であることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。