JP2000055643A

JP2000055643A - タッチ信号プローブ

Info

Publication number: JP2000055643A
Application number: JP10220474A
Authority: JP
Inventors: Kunitoshi Nishimura; 国俊西村; Kazuhiko Hidaka; 和彦日高; Nobuhisa Nishioki; 暢久西沖
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 1998-08-04
Filing date: 1998-08-04
Publication date: 2000-02-25
Anticipated expiration: 2018-08-04
Also published as: DE19936560B4; GB9918054D0; GB2340239A; JP3130289B2; US6327789B1; DE19936560A1; GB2340239B

Abstract

(57)【要約】【課題】小型化を容易に図ることができ、かつ高精
度のタッチ信号プローブを提供すること。【解決手段】スタイラスホルダ１１と、このスタイラス
ホルダ１１に支持されるとともに先端に被測定物と接触
する接触部１２Ａを有する振動子１２と、この振動子１
２を軸方向に共振状態で振動させる加振手段１３Ａと、
被測定物との接触に際して発生する振動子１２の振動の
変化から当該接触を検出する検出手段１３Ｂとを含むタ
ッチ信号プローブ１０において、振動子１２は、当該振
動子１２の振動の節を挟む２箇所の支持点Ａ、Ｂでスタ
イラスホルダ１１により支持されている。２箇所の支持
点に跨って加振手段１３Ａや検出手段１３Ｂを配置する
ことにより、２箇所の支持点Ａ，Ｂ間に振動の節を形成
し、タッチ信号プローブ１０の小型化を図り易い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば三次元測定
機等によって被測定物の形状等を測定する場合に用いら
れるタッチ信号プローブに関する。

【０００２】

【背景技術】被測定物の形状や寸法の測定を行う測定機
器としてハイトゲージ（一次元測定器）、三次元測定機
や輪郭測定器が知られている。これらの測定機器には、
測定器本体と被測定物との位置関係を検出するために各
種プローブが使用される。これらのプローブは、被接触
式プローブと接触式プローブに、あるいは連続測定プロ
ーブとタッチトリガプローブ等に分類される。

【０００３】上述した三次元測定機用の接触式タッチト
リガプローブとしては、特開平６−２２１８０６号公報
で開示される超音波式タッチ信号プローブが知られてい
る。このタッチ信号プローブ１００は、図１１に示すよ
うに、スタイラスホルダ１０１、振動子１０２、圧電素
子１０３等から構成される。スタイラスホルダ１０１は
図示しない三次元測定機等の移動軸に取り付けられ、こ
の移動軸が移動しながら被測定物との接触を検出し、接
触時の座標を読み取ることによって被測定物の形状等を
測定する。

【０００４】スタイラスホルダ１０１は、中空の円筒状
に形成され、その内側下端には振動子１０２がその軸方
向の略中央部の支持点に設けられた一対の係合ピン１０
４によって支持されている。振動子１０２の下端には、
測定時に被測定物と当接する接触球１０２Ａが取り付け
られているとともに、その上端には、接触球１０２Ａと
同重量のカウンタバランス１０２Ｂが取り付けられ、ス
タイラスホルダ１０１に対する支持点が振動子１０２の
重心と一致している。また、振動子１０２には、圧電素
子１０３の取付部として一対の溝部１０５が外周部に切
り欠かれて形成されており、この溝部１０５には、同一
形状の２つの圧電素子１０３が接着剤等によって、両端
が密着した状態で取り付けられている。

【０００５】これらの圧電素子１０３は、振動子１０２
の支持点を中心として振動子１０２の軸方向に沿って略
対称に配置されているとともに、振動子１０２を共振状
態で振動させる加振手段１０３Ａと、振動子１０２の振
動の変化を検出する検出手段１０３Ｂとに二分されてい
る。このようなタッチ信号プローブ１００は、加振手段
１０３Ａにより振動子１０２を軸方向に沿って振動させ
ると、振動子１０２の振動の節が支持点に一致するよう
に構成されているこのようなタッチ信号プローブ１００
によれば、振動子１０２がスタイラスホルダ１０１にそ
の重心を支持され、かつ振動の節の部分で支持されてい
るので、外乱振動に対する安定性が向上し、タッチ信号
プローブの測定の高精度化を図ることができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成の従来のタッチ信号プローブ１００は、プロー
ブ全体を小型化するに際して、次のような問題がある。
すなわち、タッチ信号プローブ１００全体を小型化する
と、振動子１０２の支持点が全体の寸法に比例して小さ
くなる。従って、加振手段１０３Ａ、検出手段１０３Ｂ
の設置が困難となり、また、これらの加工や組立を精度
よく行うことができないという問題がある。

【０００７】また、小型化を目的としたタッチトリガプ
ローブ用振動子としては、米国特許５，５２４，３５４
号に開示される振動子が知られている。この振動子２０
２は、図１２に示すように、音叉型振動部２０３と、こ
の音叉型振動部２０３の先端に設けられる棒状のスタイ
ラス２０４と、スタイラス２０４の先端に設けられる先
端球２０５を備えている。そして、音叉型振動部２０３
の振動に連動して、各スタイラス２０４は、軸方向と直
交する方向の曲げ振動を起こすように構成され、このよ
うな振動子２０２によれば、高感度であり、かつタッチ
トリガプローブの小型化を容易に達成できる。

【０００８】しかしながら、このような振動子２０２を
利用したタッチトリガプローブでは、スタイラス２０４
は、音叉型振動部２０３の振動に連動した曲げ振動であ
るため、先端球２０５のどこに接触するかによる感度の
ばらつきが大きい（方向依存性がある）という問題があ
る。また、スタイラス２０４の先端部分の振幅が一般に
大きくなるため、通常のタッチトリガプローブに比べて
精度が得られないという問題がある。

【０００９】本発明の目的は、小型化を容易に図ること
ができ、かつ高精度のタッチ信号プローブを提供するこ
とにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明に係るタッチ信号プローブは、スタイラスホ
ルダと、このスタイラスホルダに支持されるとともに先
端に被測定物と接触する接触部を有する振動子と、この
振動子を軸方向に共振状態で振動させる加振手段と、被
測定物との接触に際して発生する前記振動子の振動の変
化から当該接触を検出する検出手段とを含むタッチ信号
プローブであって、前記振動子は、当該振動子の振動の
節を挟む２箇所の支持点で前記スタイラスホルダにより
支持されていることを特徴とする。

【００１１】このような本発明によれば、振動子が振動
の節を挟む２箇所の支持点でスタイラスホルダにより支
持されているので、２箇所の支持点に跨って加振手段や
検出手段を配置することにより、２箇所の支持点間に振
動の節を形成することができる。従って、加振手段およ
び検出手段のスタイラスホルダに対する取付の容易化、
簡単化が図られ、タッチ信号プローブの小型化を図る際
に有利である。また、振動子が２箇所で支持されている
ので、振動子の軸方向に直交する方向への横振れは無視
できるほど微小となり、タッチ信号プローブの検出精度
が向上する。

【００１２】以上において、上述した振動子の振動の節
は、２箇所の支持点の中央に位置し、かつ当該振動子の
重心と一致しているのが好ましい。具体的には、図１の
模式図に示すように、棒状の振動子１２は、２つの支持
点Ａ、Ｂにより支持され、振動子１２の軸方向の振動の
節点Ｃがこの２つの支持点Ａ、Ｂの中心（ＬＡ＝ＬＢ）
となるように構成されるのが好ましい。尚、図１におい
て、軸方向の振動の振幅Ｘは、軸と直交する方向に示し
ている。すなわち、このように２箇所の支持点の中央位
置に振動子の振動の節が位置し、かつ振動子の重心と一
致しているので、タッチ信号プローブの外乱振動等の影
響を低減し、被測定物の検出精度が向上する。尚、２箇
所の支持点Ａ、Ｂは、同一形状をなし、それぞれの支持
点Ａ、Ｂから見たスタイラスホルダの静的、動的な機械
的強度は同一であること、すなわち、両支持点Ａ、Ｂに
おける機械インピーダンスを等しくするのが好ましい。

【００１３】また、上述した加振手段および検出手段
は、２箇所の支持点に跨るように設けられているのが好
ましい。具体的には、棒状の振動子の一側面に２箇所の
支持点に跨るように加振手段を配置し、この加振手段が
配置される側面とは反対側の側面に２箇所の支持点を跨
るように検出手段を配置すればよい。すなわち、加振手
段および検出手段を２箇所の支持点に跨るように設けれ
ば、加振手段および検出手段を２箇所の支持点間距離に
応じた大きさで形成し、振動子に取り付ければよく、加
工や組立の容易化が図られ、かつ小型化したタッチ信号
プローブの検出精度が損なわれることもない。

【００１４】さらに、上述した加振手段および検出手段
は圧電材料から構成され、かつ上述したスタイラスホル
ダをも構成しているのが好ましい。具体的には、スタイ
ラスホルダを水晶等の圧電材料で形成し、２つの支持点
となる振動子の取付部分の側面に加振手段等を形成すれ
ばよい。すなわち、加振手段および検出手段がスタイラ
スホルダをも構成しているので、タッチ信号プローブの
構造の簡素化が図られ、タッチ信号プローブの小型化に
一層有利となる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の一形態を図
面に基づいて説明する。図２には、本発明の第１実施形
態に係るタッチ信号プローブ１０が示されている。この
タッチ信号プローブ１０は、アスペクト比３０以上の小
孔を高精度に測定するためのものであり、スタイラスホ
ルダ１１、振動子１２、および２つの圧電素子１３から
構成されている。スタイラスホルダ１１は、三次元測定
機等の移動軸に取り付けるための固定部１１１と、振動
子１２を接着固定するための振動子取付部１１２とを備
えている。振動子取付部１１２は二股に分かれており、
振動子１２は、この二股の先端２箇所で支持され、これ
らが図１における支持点Ａ、Ｂとなる。

【００１６】また、振動子取付部１１２の二股部分は、
同一形状に構成され、スタイラスホルダ１１の支持点
Ａ、Ｂにおける機械インピーダンスが等しくなるよう
に、振動子取付部１１２と、固定部１１１との間は大き
くくびれている。これは、振動子取付部１１２が振動子
１２の軸方向に対称構造とされているが、固定部１１１
は非対称構造とされているため、その影響を除き、振動
子取付部１１２の二股部分の機械的な強度を同じにする
ためである。

【００１７】振動子１２は、同一径の棒状部材から構成
され、その先端には、被測定物と接触する球状の接触部
１２Ａが設けられているとともに、基端には、この接触
部１２Ａと同重量のカウンタバランス１２Ｂが設けられ
ている。尚、接触部１２Ａは、球状のものの他に、円盤
状のものを採用することができるが、被測定物の形状に
応じて適宜設定する。また、本実施形態では、カウンタ
バランス１２Ｂも接触部１２Ａと同様に球状に構成され
ているが、接触部１２Ａの重量と同一の重量を有する立
方体形状のもの等を採用することができる。このような
振動子１２は、先端および基端に同重量の接触部１２
Ａ、カウンタバランス１２Ｂが設けられ、振動子１２の
軸方向中央位置が重心位置となっている。そして、振動
子１２の振動子取付部１１２への取付に際しては、振動
子１２の重心位置が支持点Ａ、Ｂの中央と一致するよう
に、接着剤等により固定される。

【００１８】２枚の圧電素子１３は、振動子１２を共振
状態で加振させるとともに、被測定物との接触に際して
発生する振動子１２の振動の変化を検出するためのもの
である。そして、図２中上側に配置される圧電素子１３
の下面および下側に配置される圧電素子の上面は、共通
電極とされ、図２中上側に配置される圧電素子１３の上
面は、振動子取付部１１２の支持点ＡおよびＢの中央に
対応する位置で、加振手段１３Ａおよび検出手段１３Ｂ
に二分されている。また、図２中下側に配置される圧電
素子の下面も同様に二分されている。これらの圧電素子
１３は、図３に示すように、上述したスタイラスホルダ
１１の振動子取付部１１２の二股部分に跨って設けら
れ、接着、半田付け等によって固着されている。

【００１９】すなわち、加振手段１３Ａおよび検出手段
１３Ｂは、支持点Ａ、Ｂの中心部分で軸方向に沿って対
称に配置されている。また、加振手段１３Ａおよび検出
手段１３Ｂを構成する圧電素子１３の反対側に、同一構
成の圧電素子１３を配置することにより、タッチ信号プ
ローブ１０は、振動子１２の軸方向に直交する方向にも
略対称な構造をとることとなる。

【００２０】このような構成のタッチ信号プローブ１０
は、上述したように、三次元測定機等の接触式タッチト
リガプローブとして用いられる。具体的には、加振手段
１３Ａ、共通電極を構成する圧電素子１３に電圧を印加
すると、振動子１２が軸方向に沿って共振状態で振動す
る。そして、接触部１２Ａに被測定物が接触すると、振
動子１２の振動に変化が生じ、この振動の変化を検出手
段１３Ｂで検出し、変化時の座標を読み取ることができ
る。尚、共振状態において、振動子１２の振動の節は、
支持点Ａ、Ｂの中央位置に一致して形成され、外乱振動
に対する安定性が向上するようになっている。

【００２１】以上のような第１実施形態によれば、次の
ような効果がある。すなわち、振動子１２が振動の節を
挟む２箇所の支持点Ａ、Ｂでスタイラスホルダ１１によ
り支持されているので、２箇所の支持点Ａ、Ｂに跨って
加振手段１３Ａや検出手段１３Ｂを構成する圧電素子１
３を配置することにより、２箇所の支持点Ａ、Ｂの間に
振動の節を形成することができる。従って、加振手段１
３Ａおよび検出手段１３Ｂのスタイラスホルダ１１に対
する取付の容易化、簡単化が図られ、タッチ信号プロー
ブ１０の小型化を図る際に有利である。

【００２２】また、振動子１２が２箇所で支持されてい
るので、振動子１２の軸方向に直交する方向への横振れ
は無視できるほど微小となり、タッチ信号プローブ１０
の検出精度が低下することもない。さらに、振動子１２
の振動の節が２箇所の支持点Ａ、Ｂの中央に位置し、か
つ当該振動子１２の重心と一致しているので、タッチ信
号プローブ１０の外乱振動等の影響を低減し、被測定物
の検出精度が向上する。

【００２３】次に、本発明の第２実施形態について説明
する。尚、以下の説明では、既に説明した部分または部
分等と同一、類似の部分等については、同一または類似
の符号を付し、その説明を省略または簡略にする。前述
の第１実施形態に係るタッチ信号プローブ１０では、図
２の上側に配置される圧電素子１３が加振手段１３Ａお
よび検出手段１３Ｂとして二分されていた。

【００２４】これに対して、第２実施形態に係るタッチ
信号プローブ２０は、図４に示すように、上側に配置さ
れる圧電素子が加振手段２３Ａとされ、下側に配置され
る圧電素子が検出手段２３Ｂとされ、加振手段２３Ａお
よび検出手段２３Ｂが支持点Ａ、Ｂに跨って設けられて
いる点が相違する。尚、これ以外のスタイラスホルダ１
１、振動子１２等の構造、およびタッチ信号プローブ２
０の動作は、第１実施形態の場合と同様なので、その説
明を省略する。

【００２５】このような第２実施形態に係るタッチ信号
プローブ２０によれば、前述の第１実施形態で述べた効
果に加えて、以下のような効果がある。すなわち、加振
手段２３Ａおよび検出手段２３Ｂが２箇所の支持点Ａ、
Ｂに跨るように設けられているので、加振手段２３Ａお
よび検出手段２３Ｂを２箇所の支持点Ａ、Ｂの間の距離
に応じた大きさで形成し、スタイラスホルダ１１に取り
付ければよく、加工や組立の容易化を図ることができ、
かつ小型化したタッチ信号プローブ２０の検出精度が損
なわれることもない。

【００２６】次に、本発明の第３実施形態について説明
する。前述の第１実施形態に係るタッチ信号プローブ１
０のスタイラスホルダ１１は、平板状部材から構成さ
れ、振動子取付部１１２は二股に分かれており、振動子
１２は、この二股の先端２箇所で支持されていた。これ
に対して、図５に示すように、第３実施形態に係るタッ
チ信号プローブ３０では、スタイラスホルダ３１は円筒
状部材から構成され、振動子１２は、この円筒状部材の
端面２箇所の支持点Ａ、Ｂで支持されている点が相違す
る。振動子１２は、その軸がスタイラスホルダ３１の円
筒の中心軸と直交し、中心軸と振動子１２の重心位置と
が交わるように構成されている。

【００２７】スタイラスホルダ３１の外周面には、圧電
素子からなる一対の加振手段３３Ａおよび一対の検出手
段３３Ｂが形成されているとともに、その内周面には圧
電素子からなる共通電極３３が形成されている。このよ
うなタッチ信号プローブ３０において、加振手段３３Ａ
に電圧を印加すると、図６に示すように、スタイラスホ
ルダ３１の端面が円形から楕円形に変形し、その楕円形
の長軸あるいは短軸が振動子１２の軸と一致する振動モ
ードとなるように形成されている。

【００２８】すなわち、図７に示すように、スタイラス
ホルダ３１の外周面には、４分割された電極が形成さ
れ、互いに対向する一対の電極のそれぞれの円周方向の
中心は振動子１２の軸と一致し、他の互いに対向する一
対の電極のそれぞれの円周方向の中心は振動子１２の軸
と直交する軸と一致している。そして、振動子１２の軸
方向に対向配置される電極が加振手段３３Ａを構成する
とともに、振動子１２の軸と直交する軸方向に対向配置
される電極が検出手段３３Ｂを構成している。尚、加振
手段と検出手段とを互いに交換してもよいし、加振手段
３３Ａは、円周方向中心が振動子１２の軸と一致する方
向に配置される一対の電極のうちの１つで構成すること
もできる。また、図７から判るように、スタイラスホル
ダ３１の円筒内周面には、全体に圧電素子からなる電極
が形成され、これが共通電極３３とされている。

【００２９】このような第３実施形態によれば、前述の
第１実施形態で述べた効果に加えて、次のような効果が
ある。すなわち、スタイラスホルダ３１が円筒状部材か
ら構成されているので、円筒端面の対称構造を利用し
て、振動子１２を支持する支持点Ａ、Ｂを形成すること
ができる。従って、スタイラスホルダ３１の支持点Ａ、
Ｂにおける機械インピーダンスが等しくなり易く、スタ
イラスホルダ３１の構造が複雑化することがない。

【００３０】次に、本発明の第４実施形態について説明
する。前述の第１実施形態に係るタッチ信号プローブ１
０では、加振手段１３Ａ、検出手段１３Ｂは、スタイラ
スホルダ１１の支持点Ａ、Ｂに跨るように、別体で取り
付けられていた。これに対して、第４実施形態に係るタ
ッチ信号プローブ４０は、図８に示すように、スタイラ
スホルダ４１の外観形状は、前記第１実施形態に係るス
タイラスホルダ１１と同様であるが、加振手段４３Ａお
よび検出手段４３Ｂがスタイラスホルダ４１と一体的に
形成され、加振手段４３Ａおよび検出手段４３Ｂがスタ
イラスホルダ４１の構成部材とされている点が相違す
る。

【００３１】スタイラスホルダ４１は、水晶等の圧電材
料から構成され、固定部４１１および二股に分かれた振
動子取付部４１２から構成されている。そして、振動子
取付部４１２の二股に分かれた部分の外周側面の一方に
は、加振手段４３Ａが形成され、図８では図示を略した
が、他方の外周側面には、検出手段が形成されている。
また、振動子取付部４１２の二股に分かれた部分の内周
側面には、共通電極４３が形成されている。加振手段４
３Ａ、検出手段、および共通電極４３は、固定部４１１
上に形成された電圧印加端子４１１Ａ、４１１Ｂと電気
的に接続されており、共通電極４３に適当な周波数の電
圧を印加することにより、図１で説明した振動を励振さ
せることができる。尚、上述したスタイラスホルダ４
１、加振手段４３Ａ等の形状および構造は、圧電材料の
特性等により適宜決定する。

【００３２】このような第４実施形態に係るタッチ信号
プローブ４０によれば、次のような効果がある。すなわ
ち、加振手段４３Ａおよび検出手段がスタイラスホルダ
４１と一体的に形成され、加振手段４３Ａおよび検出手
段がスタイラスホルダをも構成しているので、タッチ信
号プローブ４０の構造の簡素化を図ることができ、タッ
チ信号プローブの小型化を図る上で一層有利となる。ま
た、スタイラスホルダ４１に加振手段４３Ａ等を一体的
に形成することで、スタイラスホルダに加振手段、検出
手段等の圧電素子を張り付ける作業を省略することがで
き、タッチ信号プローブの製造工程の簡素化を図ること
ができる。

【００３３】尚、本発明は、前述の各実施形態に限定さ
れるものではなく、次に示すような変形をも含むもので
ある。前述の各実施形態では、振動子１２を構成する軸
は、同一径の棒状部材から構成されていたが、これに限
られない。すなわち、図９に示すように、振動子５２の
軸５２１の外径を、先端部５２１Ａ、中間部５２１Ｂ、
基端部５２１Ｃと段階的に変化させたタッチ信号プロー
ブ５０に本発明を利用してもよく、さらには、軸がテー
パ状に縮径する振動子を備えたタッチ信号プローブに本
発明を利用してもよい。

【００３４】図９において、タッチ信号プローブ５０
は、スタイラスホルダ５１および振動子５２から構成さ
れ、振動子５２は、スタイラスホルダ５１を構成する振
動子取付部５１２の支持点Ａ、Ｂで支持されている。振
動子５２の軸５２１は、カウンタバランス１２Ｂが設け
られる基端部５２１Ｃ、支持点Ａ、Ｂ間に位置する中間
部５２１Ｂ、および接触部１２Ａが設けられる先端部５
２１Ａから構成され、その径方向断面は、先端に向かう
に従って縮径しているので、振動子５２の重心位置は、
支持点Ａ、Ｂの中央位置から基端側に後退する。従っ
て、振動の節は、図１０に示すように、支持点Ａ、Ｂの
中央位置とはならないが（ＬＡ＞ＬＢ）、少なくとも支
持点Ａ、Ｂの間に振動の節が存在していれば、前述の実
施形態で述べた効果と同様の効果を享受することができ
る。尚、振動子５２の軸５２１が段階的に変化している
場合、振動の節をスタイラスホルダ５１の振動子取付部
５１２の中心位置と一致するように設定することが望ま
しい。具体的には、実験、解析等により、振動の節の位
置を求めて、振動子取付部５１２の中心位置と一致する
ように設定する。

【００３５】また、前述の各実施形態に係るタッチ信号
プローブ１０〜５０は、三次元測定機に取り付けられて
使用されるものであったが、これに限らず、ハイトゲー
ジ、輪郭測定器等他の測定器において、測定器本体と被
測定物との位置関係を検出する接触式プローブとして本
発明を利用してもよい。その他、本発明の実施の際の具
体的な構造および形状等は、本発明の目的を達成できる
範囲で他の構造等としてもよい。

【００３６】

【発明の効果】前述のような、本発明のタッチ信号プロ
ーブによれば、振動子が振動の節を挟む２箇所の支持点
でスタイラスホルダにより支持されているので、２箇所
の支持点に跨って加振手段および検出手段を配置するこ
とにより、２箇所の支持点間に振動の節を形成すること
ができる。従って、スタイラスホルダに対する加振手段
および検出手段の取付の容易化、簡単化が図られ、タッ
チ信号プローブの小型化に有利である。また、振動子が
２箇所で支持されているので、振動子の軸方向に直交す
る方向への横振れを無視できるほど微小となり、タッチ
信号プローブの検出精度が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の作用を説明するための模式図である。

【図２】本発明の第１実施形態に係るタッチ信号プロー
ブの構造を表す分解斜視図である。

【図３】前記実施形態におけるスタイラスホルダに加振
手段および検出手段を取り付けた状態を表す概要斜視図
である。

【図４】本発明の第２実施形態に係るタッチ信号プロー
ブを表す分解斜視図である。

【図５】本発明の第３実施形態に係るタッチ信号プロー
ブを表す概要斜視図である。

【図６】前記実施形態における振動子を振動させる構造
を説明するための模式図である。

【図７】前記実施形態におけるスタイラスホルダの構造
を表す断面図である。

【図８】本発明の第４実施形態に係るタッチ信号プロー
ブを表す概要斜視図である。

【図９】前記各実施形態の変形となるタッチ信号プロー
ブを表す正面図である。

【図１０】前記実施形態の変形における振動の節の位置
を説明するための模式図である。

【図１１】従来のタッチ信号プローブを表す概要斜視図
である。

【図１２】他の従来のタッチ信号プローブを表す概要斜
視図である。

【符号の説明】

１０、２０、３０、４０、５０タッチ信号プローブ１１、３１、４１スタイラスホルダ１２、５２振動子１２Ａ接触部１３Ａ、２３Ａ、３３Ａ、４３Ａ加振手段１３Ｂ、２３Ｂ、３３Ｂ、４３Ｂ検出手段Ａ、Ｂ支持点

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者西沖暢久茨城県つくば市上横場430−１株式会社ミツトヨ内Ｆターム(参考） 2F063 AA04 AA41 CA34 DA02 DA05 DC08 DD02 EB02 EB22 JA01 LA05 2F069 AA04 AA61 DD27 GG01 GG11 HH01 LL02 4M106 AA20 BA11 CA70 DH01 DH11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スタイラスホルダと、このスタイラスホル
ダに支持されるとともに先端に被測定物と接触する接触
部を有する振動子と、この振動子を軸方向に共振状態で
振動させる加振手段と、被測定物との接触に際して発生
する前記振動子の振動の変化から当該接触を検出する検
出手段とを含むタッチ信号プローブであって、前記振動子は、当該振動子の振動の節を挟む２箇所の支
持点で前記スタイラスホルダにより支持されていること
を特徴とするタッチ信号プローブ。
【請求項２】請求項１に記載のタッチ信号プローブにお
いて、前記振動子の振動の節は、前記２箇所の支持点の中央に
位置し、かつ当該振動子の重心と一致していることを特
徴とするタッチ信号プローブ。
【請求項３】請求項１または請求項２に記載のタッチ信
号プローブにおいて、前記加振手段および前記検出手段
は、前記２箇所の支持点に跨るように設けられているこ
とを特徴とするタッチ信号プローブ。
【請求項４】請求項１〜請求項３のいずれかに記載のタ
ッチ信号プローブにおいて、前記加振手段および前記検出手段は圧電材料から構成さ
れ、かつ前記スタイラスホルダをも構成していることを
特徴とするタッチ信号プローブ。