JP2000049014A - 非磁性積層インダクタ - Google Patents

非磁性積層インダクタ

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JP2000049014A
JP2000049014A JP10212296A JP21229698A JP2000049014A JP 2000049014 A JP2000049014 A JP 2000049014A JP 10212296 A JP10212296 A JP 10212296A JP 21229698 A JP21229698 A JP 21229698A JP 2000049014 A JP2000049014 A JP 2000049014A
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coil
inductor
magnetic
conductor pattern
multilayer inductor
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JP10212296A
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Yasuo Suzuki
靖生 鈴木
Noboru Kojima
暢 小島
Yoshinari Noyori
佳成 野寄
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Original Assignee
FDK Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 移動体通信機器等の高周波回路に実装される
非磁性積層インダクタにおいて、配置パターンを少なく
して生産性を上げる。 【解決手段】 電気絶縁体2中に外部電極3、4とそれ
ぞれ接続する接続導体9、10をチップ断面の中央に位
置するように配置する。これら接続導体9、10からそ
れぞれ上下方向に外側コイル5、6を電気絶縁体2中に
形成する。これら外側コイル5、6内にその最上層と最
下層とを接続する内側コイル7をその磁界方向が一致す
るように配置する。すると、非磁性積層インダクタ1が
上下方向または前後方向に180°反転しても、外側コ
イル5、6および内側コイル7の磁界や基板のランドパ
ターンとの位置関係が変化しない。そのため、非磁性積
層インダクタ1を整列した場合、所定の方向に整列する
確率が1/2となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、移動体通信機器等
の高周波回路に実装される非磁性積層インダクタに関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】図12は従来の非磁性積層インダクタの
一例を示す斜視図、図13は図12に示す非磁性積層イ
ンダクタの接続導体の位置関係を示す図であり、(a)
はその左側面図、(b)はその正面図、(c)はその右
側面図、図14は図12に示す非磁性積層インダクタを
回転させたときの磁界の変化を示す図、図15は図12
に示す非磁性積層インダクタのマーカ形成状態を示す斜
視図である。
【0003】従来この種の非磁性積層インダクタとして
は、図12および図13に示すように、直方体状の電気
絶縁体2の左右両端にそれぞれ外部電極3、4を装着
し、電気絶縁体2内にコイル5を埋設し、そのコイル5
の両端をそれぞれ接続導体9、10を介して各外部電極
3、4に導通させた非磁性積層インダクタ1が主流であ
る。そして、非磁性積層インダクタ1が上下方向または
前後方向に180°反転した場合、図14に示すよう
に、接続導体9、10の位置が異なることにより磁界の
分布が異なり、基板のランドパターンとの位置関係によ
ってL値が変わってしまう。そのため、図15に示すよ
うに、電気絶縁体2の上面の半分にマーカ8を付けてお
き、パーツフィーダ(図示せず)にて並べる場合、その
マーカ8を同じ方向に揃える必要がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これでは非磁
性積層インダクタ1の配置パターンが8通り存在するの
で、非磁性積層インダクタ1が所定の位置にくる確率は
1/8と低く、それを修正するために生産性が落ちると
いう不都合があった。
【0005】本発明は、このような事情に鑑み、L値に
影響を及ぼす接続導体をチップ断面の中央に配設するこ
とにより、配置パターンを少なくして生産性を上げるこ
とが可能な非磁性積層インダクタを提供することを目的
とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】すなわち、請求項1に係
る本発明は、電気絶縁層間で内部導体とセラミックスを
交互に重畳積層してコイル形成した直方体状の電気絶縁
体(2)を有し、この電気絶縁体の表面に外部電極
(3、4)を設けた非磁性積層インダクタ(1)におい
て、前記電気絶縁体中に前記外部電極とそれぞれ接続す
る接続導体(9、10)をチップ断面の中央に位置する
ように配置し、これら接続導体からそれぞれ上下方向に
外側コイル(5、6)を前記電気絶縁体中に形成し、こ
れら外側コイル内にその最上層と最下層とを接続する内
側コイル(7)をその磁界方向が一致するように配置し
て構成される。こうした構成を採用することにより、非
磁性積層インダクタが上下方向または前後方向に180
°反転しても、外側コイルおよび内側コイルの磁界や基
板のランドパターンとの位置関係が変化しなくなる。
【0007】また、請求項2に係る本発明は、電気絶縁
層間で内部導体とセラミックスを交互に重畳積層してコ
イル形成した直方体状の電気絶縁体(2)を有し、この
電気絶縁体の表面に外部電極(3、4)を設けた非磁性
積層インダクタ(1)において、前記電気絶縁体中に前
記外部電極とそれぞれ接続する接続導体(9、10)を
チップ断面の中央に位置するように配置し、これら接続
導体からそれぞれ上下方向に外側コイル(5、6)を前
記電気絶縁体中に形成し、これら外側コイル内にその最
上層と最下層とを接続する内側導体(12)を配置して
構成される。かかる構成により、非磁性積層インダクタ
が上下方向または前後方向に180°反転しても、外側
コイルの磁界や基板のランドパターンとの位置関係が変
化しなくなる。
【0008】さらに、請求項3に係る本発明は、コイル
断面方向あるいはコイル形成方向の4つのチップ面のう
ち1面あるいは対向2面において、コイルの方向性を示
すマーカ(8)を任意の位置に付けて構成される。かか
る構成により、マーカを画像認識しやすい任意の形状に
することができる。
【0009】なお、括弧内の番号等は図面において対応
する要素を表わす便宜的なものであり、従って、本発明
は図面上の記載に限定拘束されるものではない。このこ
とは「特許請求の範囲」の欄についても同様である。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
【0011】図1は本発明に係る非磁性積層インダクタ
の第1の実施形態を示す斜視図、図2は図1に示す非磁
性積層インダクタの接続導体の位置関係を示す図であ
り、(a)はその左側面図、(b)はその正面図、
(c)はその右側面図、図3は図1に示す非磁性積層イ
ンダクタを回転させたときの磁界の変化を示す図、図4
は図1に示す非磁性積層インダクタの製造方法の一例を
示す工程図、図5は図1に示す非磁性積層インダクタの
製造方法の別の例を示す工程図、図6は図1に示す非磁
性積層インダクタのコイルの電流方向と磁界の関係を示
す模式図、図7は図1に示す非磁性積層インダクタのマ
ーカ形成状態を示す斜視図である。
【0012】この非磁性積層インダクタ1は、図1に示
すように、直方体状の電気絶縁体2を有しており、電気
絶縁体2の表面には外部電極3、4が付設されている。
また、電気絶縁体2中には、図1および図2に示すよう
に、外部電極3、4とそれぞれ接続する接続導体9、1
0がチップ断面の中央に位置しており、これら接続導体
9、10からは、図6に示すように、それぞれ上下方向
に外側コイル5、6が形成されている。さらに、これら
外側コイル5、6の内側にはその最上層と最下層とを接
続する内側コイル7が配置されており、外側コイル5、
6と内側コイル7とは互いにその磁界方向が一致してい
る。また、図7に示すように、4つのチップ面のうち1
面には、コイルの方向性を示す黒色のマーカ8がその全
面に付けられている。
【0013】非磁性積層インダクタ1は以上のような構
成を有するので、図3に示すように、非磁性積層インダ
クタ1が上下方向または前後方向に180°反転しても
接続導体9、10の位置は変わらないため、非磁性積層
インダクタ1をパーツフィーダ等で整列した場合、その
配置パターンは2通りしか存在せず、非磁性積層インダ
クタ1が所定の方向に整列する確率は1/2となり、生
産性が向上する。その結果、マーカ8の形成位置を面の
どちらか片方に寄せる必要がなく、画像認識しやすい任
意の形状にすることができる。
【0014】ところで、この非磁性積層インダクタ1の
製造方法としては、誘電体をシートにしてビアを作成し
て行うシート積層法でもよく、全て印刷で行う印刷積層
法でもよい。以下、後者の印刷積層法による非磁性積層
インダクタ1の製造方法について説明する。
【0015】すなわち、ホウケイ酸ガラスをアルミナに
体積で70:30の比率に混合した誘電体材料を使用
し、これにビヒクルとしてエチルセルロースとテレピオ
ネールと分散剤、可塑剤を混合したものを配合し混合し
て、印刷用のペーストを作製する。一方、導体パターン
としては、銀、銀パラジウム等の導体ペーストに上記ビ
ヒクルを混合したものを用いることができる。なお、バ
インダーはエチルセルロース以外でPVB、メチルセル
ロースやアクリル樹脂でもよい。また、分散剤や可塑剤
は印刷性の向上や生産時の取扱い性を考慮して入れる必
要がある。
【0016】次に、図4に示すように、印刷積層法にて
下部コイルと上部コイルを順に作成する。
【0017】すなわち、まず下部コイルを作成する。そ
れには、図4(a)に示すように、誘電体15を所定厚
さまで印刷積層し、図4(b)に示すように、最下部の
導体パターン16を印刷する。これで外側コイル6と内
側コイル7とが接続されることになる。
【0018】次いで、図4(c)に示すように、導体パ
ターン16の両端部を残して誘電体17を印刷し、図4
(d)に示すように、残された導体パターン16に接続
させて導体パターン20、21を印刷する。ここで、導
体パターン20は外側コイル6用で、導体パターン21
は内側コイル7用である。
【0019】次に、図4(e)に示すように、導体パタ
ーン20、21と導体パターン16が重なった部分を隠
し、反対部分が露出するように誘電体24を印刷し、図
4(f)に示すように、導体パターン20、21に接続
させて導体パターン25、26を印刷する。
【0020】以降、図4(c)〜(f)に示す工程を所
定の巻数になるまで繰り返す。ここで、下部コイルが完
成する。
【0021】こうして下部コイルが完成したところで、
外部電極3、4との接続部分の形成を行う。それには、
図4(g)に示すように、導体パターン27、28の一
端部を残して誘電体29を印刷した後、図4(h)に示
すように、残された導体パターン27、28に接続させ
て導体パターン30、31を印刷する。次に、図4
(i)に示すように、導体パターン30、31と導体パ
ターン27、28が重なった部分を隠し、反対部分が露
出するように誘電体32を印刷した後、図4(j)に示
すように、外部電極3と接続する導体パターン37を導
体パターン30に接続させて印刷するとともに、その内
側に導体パターン38を導体パターン31に接続させて
印刷する。
【0022】次いで、図4(k)に示すように、導体パ
ターン38の一端部のみ露出するように誘電体39を印
刷した後、図4(l)に示すように、残された導体パタ
ーン38に接続させて導体パターン41を印刷する。
【0023】次に、図4(m)に示すように、その接続
部と反対側を残すように誘電体42を印刷した後、図4
(n)に示すように、外部電極4と接続する導体パター
ン44を印刷するとともに、その内側に導体パターン4
5を導体パターン41に接続させて印刷する。
【0024】次いで、図4(o)に示すように、導体パ
ターン44、45の一端部を残して誘電体46を印刷し
た後、図4(p)に示すように、残された導体パターン
44、45に接続させて導体パターン47、48を印刷
する。さらに、図4(q)に示すように、導体パターン
44、45と導体パターン47、48が重なった部分を
隠し、反対部分が露出するように誘電体49を印刷す
る。ここで、外部電極3、4との接続部分が完成する。
【0025】こうして外部電極3、4との接続部分が完
成したところで、上部コイルを作成する。それには、図
4(r)に示すように、導体パターン47、48に接続
させて導体パターン50、51を印刷した後、図4
(s)に示すように、導体パターン50、51の一端部
を残して誘電体52を印刷する。次に、図4(t)に示
すように、残された導体パターン50、51に接続させ
て導体パターン53、54を印刷した後、図4(u)に
示すように、導体パターン50、51と導体パターン5
3、54が重なった部分を隠し、反対部分が露出するよ
うに誘電体55を印刷する。以降、図4(r)〜(u)
に示す工程を所定の巻数になるまで繰り返す。さらに、
図4(v)に示すように、これら導体パターン53、5
4をつなぐように最上部の導体パターン56を印刷す
る。ここで、上部コイルが完成する。最後に、図4
(w)に示すように、誘電体57を所定厚さまで印刷積
層する。
【0026】そうすると、非磁性積層インダクタ1が出
来上がり、その製造が完了する。
【0027】こうして製造された非磁性積層インダクタ
1では、図4(j)〜(n)に示すように、接続導体
9、10となる導体パターン37、44の一部は互いに
異なる積層面に形成され、その位置が若干(誘電体層3
層分)違ってくるが、L値の方向による相違は誘電体層
1層分あたり0.1nH以下と小さく、実用上の問題は
少ない。なお、さらに精度を高めるために完全に同一面
にするには、図4(j)〜(n)に示す工程に代えて、
図5(a)〜(e)に示す工程を採用すればよい。
【0028】すなわち、図5(a)に示すように、導体
パターン137を導体パターン30に接続させて印刷す
るとともに、その内側に導体パターン138を導体パタ
ーン31に接続させて印刷した後、図5(b)に示すよ
うに、導体パターン137の一部と導体パターン138
の一端部のみ露出するように誘電体139を印刷する。
【0029】次に、図5(c)に示すように、残された
導体パターン138に接続させて導体パターン141を
印刷するとともに、外部電極3と接続する導体パターン
146を導体パターン137に接続させて印刷し、さら
に外部電極4と接続する導体パターン147を印刷す
る。
【0030】次いで、図5(d)に示すように、導体パ
ターン141の一部と導体パターン147の一部を残す
ように誘電体142を印刷した後、図5(e)に示すよ
うに、導体パターン147に接続させて導体パターン1
44を印刷するとともに、その内側に導体パターン14
5を導体パターン141に接続させて印刷する。
【0031】以上により、接続導体9、10となる導体
パターン146、147が同一の積層面に形成され、完
全に同じ位置となる。
【0032】なお、上述の実施形態においては、外側コ
イル5、6内に内側コイル7を配置した場合について説
明したが、内側コイル7に代えて直線状の内側導体を配
置することも可能である。以下、外側コイル5、6内に
直線状の内側導体を配置した実施形態について説明す
る。
【0033】図8は本発明に係る非磁性積層インダクタ
の第2の実施形態を示す斜視図、図9は図8に示す非磁
性積層インダクタの製造方法の一例を示す工程図、図1
0は図8に示す非磁性積層インダクタの製造方法の別の
例を示す工程図、図11は図8に示す非磁性積層インダ
クタのコイルの形成状態を示す模式図である。
【0034】この非磁性積層インダクタ1は、図8に示
すように、直方体状の電気絶縁体2を有しており、電気
絶縁体2の表面には外部電極3、4が付設されている。
また、電気絶縁体2中には、外部電極3、4とそれぞれ
接続する接続導体9、10がチップ断面の中央に位置し
ており、これら接続導体9、10からは、図11に示す
ように、それぞれ上下方向に外側コイル5、6が形成さ
れている。さらに、これら外側コイル5、6の内側には
その最上層と最下層とを接続する直線状の内側導体12
が配置されており、4つのチップ面のうち1面には、コ
イルの方向性を示す黒色のマーカ(図示せず)がその全
面に付けられている。
【0035】非磁性積層インダクタ1は以上のような構
成を有するので、非磁性積層インダクタ1が上下方向ま
たは前後方向に180°反転しても接続導体9、10の
位置は変わらないため、非磁性積層インダクタ1をパー
ツフィーダ等で整列した場合、その配置パターンは2通
りしか存在せず、非磁性積層インダクタ1が所定の方向
に整列する確率は1/2となり、生産性が向上する。そ
の結果、マーカの形成位置を面のどちらか片方に寄せる
必要がなく、画像認識しやすい任意の形状にすることが
できる。
【0036】ところで、この非磁性積層インダクタ1の
製造方法としては、誘電体をシートにしてビアを作成し
て行うシート積層法でもよく、全て印刷で行う印刷積層
法でもよい。以下、前者のシート積層法による非磁性積
層インダクタ1の製造方法について説明する。
【0037】すなわち、まず誘電体材料をシート成形す
る。このシート成形は、通常のバインダーと溶剤を混合
してドクターブレード等で行えばよい。なお、誘電体材
料は、導体パターンとして銀を用いる場合には960℃
以下で焼成できる必要がある。
【0038】次に、図9(a)に示すように、何も印刷
されていないシート69を所定厚さまで重ねた後、その
上に、図9(b)に示すように、コイルの最下層を形成
すべく導体パターン70を印刷し、その両端部にスルー
ホール71、72を形成する。次いで、図9(c)に示
すように、導体パターン73をスルーホール72、75
を介して導体パターン70に接続させて印刷し、その一
端部にスルーホール74を形成するとともに、スルーホ
ール71に重ねてスルーホール76を形成する。その
後、図9(d)に示すように、導体パターン77をスル
ーホール74、78を介して導体パターン73に接続さ
せて印刷し、その一端部にスルーホール79を形成する
とともに、スルーホール76に重ねてスルーホール80
を形成する。次に、図9(e)に示すように、外部電極
4と接続する導体パターン81をスルーホール79、8
2を介して導体パターン77に接続させて印刷するとと
もに、スルーホール80に重ねてスルーホール83を形
成する。次いで、図9(f)に示すように、外部電極3
と接続する導体パターン84を印刷し、その一端部にス
ルーホール85を形成するとともに、スルーホール83
に重ねてスルーホール86を形成する。その後、図9
(g)に示すように、導体パターン87をスルーホール
85、88を介して導体パターン84に接続させて印刷
し、その一端部にスルーホール89を形成するととも
に、スルーホール86に重ねてスルーホール90を形成
する。次に、図9(h)に示すように、導体パターン9
1をスルーホール89、92を介して導体パターン87
に接続させて印刷し、その一端部にスルーホール93を
形成するとともに、スルーホール90に重ねてスルーホ
ール94を形成する。次いで、図9(i)に示すよう
に、導体パターン95をスルーホール93、96を介し
て導体パターン91に接続させて印刷し、その一端部に
スルーホール97をスルーホール94に重ねて形成す
る。最後に、その上に、図9(j)に示すように、何も
印刷されていないシート98を所定厚さまで重ねる。
【0039】そうすると、非磁性積層インダクタ1が出
来上がり、その製造が完了する。
【0040】こうして製造された非磁性積層インダクタ
1では、図9(e)、(f)に示すように、接続導体
9、10となる導体パターン81、84の一部は互いに
異なる積層面に形成され、その位置が若干(誘電体層1
層分)違ってくるが、L値の方向による相違は誘電体層
1層分あたり0.1nH以下と小さく、実用上の問題は
少ない。なお、さらに精度を高めるために完全に同一面
にするには、図9(e)、(f)に示す工程に代えて、
図10(a)〜(c)に示す工程を採用すればよい。
【0041】すなわち、図10(a)に示すように、導
体パターン181をスルーホール79、182を介して
導体パターン77に接続させて印刷し、その一端部にス
ルーホール187を形成するとともに、スルーホール8
0に重ねてスルーホール183を形成する。次いで、図
10(b)に示すように、外部電極4と接続する導体パ
ターン188をスルーホール187、189を介して導
体パターン181に接続させて印刷し、外部電極3と接
続する導体パターンを印刷し、その一端部にスルーホー
ル191を形成するとともに、スルーホール183に重
ねてスルーホール192を形成する。その後、図10
(c)に示すように、導体パターン184をスルーホー
ル191、193を介して導体パターン190に接続さ
せて印刷し、その一端部にスルーホール185を形成す
るとともに、スルーホール192に重ねてスルーホール
186を形成する。
【0042】なお、上述の実施形態においては、黒色の
マーカ8を付けた場合について説明したが、マーカ8の
色は、インダクタの特性を劣化させない限り、何色でも
よい。また、マーカ8の材質や形成方法は特に限定され
るわけではなく、例えば、酸化マンガンにホウケイ酸ガ
ラスを添加し、これを最上面シートに形成し積層、チッ
プ切断後、同時焼成することもできる。
【0043】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1に係る本
発明によれば、非磁性積層インダクタ1が上下方向また
は前後方向に180°反転しても、外側コイル5、6お
よび内側コイル7の磁界や基板のランドパターンとの位
置関係が変化しなくなることから、非磁性積層インダク
タ1をパーツフィーダ等で整列した場合、所定の方向に
整列する確率が1/2となり、そのため非磁性積層イン
ダクタ1の生産性を向上させることができる。
【0044】また、請求項2に係る本発明によれば、非
磁性積層インダクタ1が上下方向または前後方向に18
0°反転しても、外側コイル5、6の磁界や基板のラン
ドパターンとの位置関係が変化しなくなることから、非
磁性積層インダクタ1をパーツフィーダ等で整列した場
合、所定の方向に整列する確率が1/2となり、そのた
め非磁性積層インダクタ1の生産性を向上させることが
できる。
【0045】さらに、請求項3に係る本発明によれば、
マーカ8を画像認識しやすい任意の形状にすることがで
きることから、画像認識上も有利となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る非磁性積層インダクタの第1の実
施形態を示す斜視図である。
【図2】図1に示す非磁性積層インダクタの接続導体の
位置関係を示す図であり、(a)はその左側面図、
(b)はその正面図、(c)はその右側面図である。
【図3】図1に示す非磁性積層インダクタを回転させた
ときの磁界の変化を示す図である。
【図4】図1に示す非磁性積層インダクタの製造方法の
一例を示す工程図である。
【図5】図1に示す非磁性積層インダクタの製造方法の
別の例を示す工程図である。
【図6】図1に示す非磁性積層インダクタのコイルの電
流方向と磁界の関係を示す模式図である。
【図7】図1に示す非磁性積層インダクタのマーカ形成
状態を示す斜視図である。
【図8】本発明に係る非磁性積層インダクタの第2の実
施形態を示す斜視図である。
【図9】図8に示す非磁性積層インダクタの製造方法の
一例を示す工程図である。
【図10】図8に示す非磁性積層インダクタの製造方法
の別の例を示す工程図である。
【図11】図8に示す非磁性積層インダクタのコイルの
形成状態を示す模式図である。
【図12】従来の非磁性積層インダクタの一例を示す斜
視図である。
【図13】図12に示す非磁性積層インダクタの接続導
体の位置関係を示す図であり、(a)はその左側面図、
(b)はその正面図、(c)はその右側面図である。
【図14】図12に示す非磁性積層インダクタを回転さ
せたときの磁界の変化を示す図である。
【図15】図12に示す非磁性積層インダクタのマーカ
形成状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
1……非磁性積層インダクタ 2……電気絶縁体 3、4……外部電極 5、6……外側コイル 7……内側コイル 8……マーカ 9、10……接続導体 12……内側導体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野寄 佳成 東京都港区新橋5丁目36番11号 富士電気 化学株式会社内 Fターム(参考) 5E070 AA01 AB01 AB04 CB03 CB12 CB13 CB17 EA01

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電気絶縁層間で内部導体とセラミックス
    を交互に重畳積層してコイル形成した直方体状の電気絶
    縁体(2)を有し、 この電気絶縁体の表面に外部電極(3、4)を設けた非
    磁性積層インダクタ(1)において、 前記電気絶縁体中に前記外部電極とそれぞれ接続する接
    続導体(9、10)をチップ断面の中央に位置するよう
    に配置し、 これら接続導体からそれぞれ上下方向に外側コイル
    (5、6)を前記電気絶縁体中に形成し、 これら外側コイル内にその最上層と最下層とを接続する
    内側コイル(7)をその磁界方向が一致するように配置
    したことを特徴とする非磁性積層インダクタ。
  2. 【請求項2】 電気絶縁層間で内部導体とセラミックス
    を交互に重畳積層してコイル形成した直方体状の電気絶
    縁体(2)を有し、 この電気絶縁体の表面に外部電極(3、4)を設けた非
    磁性積層インダクタ(1)において、 前記電気絶縁体中に前記外部電極とそれぞれ接続する接
    続導体(9、10)をチップ断面の中央に位置するよう
    に配置し、 これら接続導体からそれぞれ上下方向に外側コイル
    (5、6)を前記電気絶縁体中に形成し、 これら外側コイル内にその最上層と最下層とを接続する
    内側導体(12)を配置したことを特徴とする非磁性積
    層インダクタ。
  3. 【請求項3】 コイル断面方向あるいはコイル形成方向
    の4つのチップ面のうち1面あるいは対向2面におい
    て、コイルの方向性を示すマーカ(8)を任意の位置に
    付けたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載
    の非磁性積層インダクタ。
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Cited By (3)

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