JP2000036446A - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 保守用データから生産用データへの再設定を
簡単且つ確実に実行できる半導体製造装置を提供する。 【解決手段】 出荷前の半導体製造装置の保守モードに
おいて、温度コントローラの評価をするために、インタ
ーロックが解除された状態の評価用データをメインコン
トローラから温度コントローラに送信する。温度コント
ローラは、送信された評価用データで動作を開始し、温
度コントローラの評価を実行する。温度コントローラの
評価終了後、メインコントローラは、保守モード以外の
モードへの切り替え要求があると、温度コントローラに
対し、インターロックがかかった状態の生産用データで
動作するように指定するデータを送信する。これによ
り、温度コントローラは、生産モードにおいて、出荷時
の生産用データで動作をすることになる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコン等のウェ
ーハやガラス基板に処理を施してＩＣ等の半導体素子を
製造する半導体製造装置に係り、特に保守用データから
生産用データへの再設定を簡単且つ確実に実行できる半
導体製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置を出荷する前には、装置
が正しく動作するか等の確認や評価が行われる。例え
ば、縦型拡散・ＣＶＤ装置などでは、基板の処理室を加
熱するヒータの温度制御を行う温度コントローラの評価
を行っている。この温度コントローラの評価では、温度
コントローラの制御のもとで、ヒータが所定の温度特性
・性能を発揮できるか等を確認する。温度コントローラ
の評価は、保守モードと呼ばれるモードにおいてなさ
れ、ヒータへの電圧値やその供給時間等を制御する制御
パラメータを含む評価用データ（保守用データ）を温度
コントローラに設定し、この評価用データに基づいて温
度コントローラがヒータへの電圧値等を制御して、ヒー
タの温度特性等を評価する。

【０００３】ところで、通常の半導体製造装置の生産モ
ード（プロダクトモード）では、装置が危険な状態にな
らないように未然に防止する、いわゆるインターロック
という規制がかかった状態の生産用データにより、温度
コントローラは動作する。

【０００４】しかし、保守モードでは、例えば、ヒータ
のフルパワーチェック（限界値テスト）などを行うため
に、ヒータ等の限界値を超えるような値を制御パラメー
タとして含んだ、インターロックが解除された状態の評
価用データが用いられることがある。従って、温度コン
トローラに評価用データが設定された状態のまま、半導
体製造装置が出荷されると、不具合が生じる可能性があ
り、温度コントローラの評価終了後には、調整員がイン
ターロックがかかった状態の元の生産用データに必ず再
設定していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
にあっては、温度コントローラの評価終了後に、生産用
データへの再設定を調整員が行っていたため、生産用デ
ータへのもどし忘れという人為的ミスの可能性があり、
これを防ぐためのチェックを何重にも行う必要が生じる
など、煩雑な作業を強いられていた。

【０００６】本発明の目的は、上記従来の問題点を解消
すべくなされたもので、保守用データから生産用データ
への再設定を簡単且つ確実に実行できる半導体製造装置
を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の半導体製造装置は、半導体製造装置の保守
モードにおいて保守用データにより運用後、保守モード
から他のモードへの切り替えが選択されると、前記保守
用データを生産用データに自動的に入れ替えを行う機能
を備えたことを特徴とする。

【０００８】このように、上記機能により、保守モード
から他のモード（生産用モードなど）への切り替えが選
択されると、保守用データを生産用データに自動的に入
れ替えが行われるので、データの再設定を簡単且つ確実
に実施できる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面を用いて説明する。図１〜図３は本発明に係る半導体
製造装置の一実施形態を示すものであって、図１はメイ
ンコントローラにおける保守モード時の温度コントロー
ラ評価の際の処理動作を示すフローチャートであり、図
２は保守モードにおけるメインコントローラと温度コン
トローラの処理内容を示す図であり、図３はコントロー
ラの概略構成を示す構成図である。

【００１０】拡散装置、ＣＶＤ装置、酸化装置等の半導
体製造装置において、温度、圧力、ガス流量、基板搬送
などの各種制御を行うコントローラは、図３に示すよう
に、メインコントローラ１と、温度コントローラ２や圧
力コントローラ３等からなるサブコントローラとを備え
ている。メインコントローラ１には、操作員や調整員が
種々の設定やデータの入力等の操作を行う、モニタ、キ
ーなどを有する操作部４が設けられている。なお、図示
省略するが、処理室（反応室）に供給する反応ガスなど
のガスの流量等を制御するマスフローコントローラや、
基板や基板を収納するカセットの搬送などを制御するメ
カニズムコントローラ等のサブコントローラもメインコ
ントローラ１に接続されている。

【００１１】温度コントローラ２には、処理室を加熱す
るヒータ５と、ヒータ５等の温度を検出する熱電対６と
が接続されており、熱電対６が検出したヒータ温度など
の電気信号が温度コントローラ２に入力され、この入力
された検出温度を受けて温度コントローラ２は、ヒータ
温度などが所定値となるように、ヒータ５に与えられる
電圧・電流値等を調整制御する。また、圧力コントロー
ラ３には、処理室等の圧力を制御する圧力弁７と、処理
室等の圧力を検出する圧力センサ８とが接続されてお
り、圧力コントローラ３は処理室等の圧力が所定値とな
るように、圧力弁７の開度を調整制御する。

【００１２】半導体製造装置の出荷前には、装置を保守
モードにして、基板の処理室を加熱するヒータ５の温度
制御を行う温度コントローラ２の評価などを行う。温度
コントローラ２の評価は、ヒータ５への電圧値やその供
給時間等を制御する制御パラメータを含む評価用データ
（保守用データ）を温度コントローラ２に設定し、この
評価用データに基づいて、温度コントローラ２が熱電対
６からの検出温度を監視しつつヒータ５への電圧値等を
制御して、ヒータ５の温度特性などを評価する。次に、
保守モードにおいて温度コントローラ評価の際になされ
る処理内容を、図１のフローチャートにしたがって説明
する。

【００１３】まず、調整員がメインコントローラ１の操
作部４を操作して、保守モードにモードを切り替える
（ステップＳ１）。保守モードでは、コントローラの動
作を制御する制御パラメータ（温度、圧力、時間など）
を自由に設定・変更することができ、特にインターロッ
クが解除された状態のデータを設定できるのは、保守モ
ードだけである。

【００１４】次いで、温度コントローラ２に設定するパ
ラメータ（制御パラメータ）を編集し（ステップＳ
２）、編集したパラメータのデータ（評価用データ）を
温度コントローラ２にダウンロードし（ステップＳ
３）、温度コントローラ２に評価用データを指定する。
評価用データとしては、ヒータ５のフルパワーチェック
（限界値テスト）などを行うために、ヒータ５等の限界
値を超えるような値をパラメータとして含み、インター
ロックが解除された状態のデータが用いられる。温度コ
ントローラ２は、メインコントローラ１から送信され指
定された評価データで動作を開始し、温度コントローラ
２の評価を実行する（図２）。（なお、従来は、温度コ
ントローラに対するデータの設定や指定は、メインコン
トローラから送信するのではなく、専用端末を温度コン
トローラに接続して行っていたので、保守作業で専用端
末を持ち歩かねばならなかった。）

【００１５】温度コントローラの評価終了後、保守モー
ド以外の他のモード（プロダクトモードや、処理プログ
ラム等の編集を行うエディトモードなど）に切り替え設
定を行うが、この切り替え設定時に、従来、インターロ
ックがある状態の生産用データに設定し直すのを忘れる
可能性があった。そこで、本実施形態では、保守モード
から他のモードへの切替時に、メインコントローラ１に
評価用データを自動的に生産用データに入れ替える機能
を持たせて、生産用データへの設定作業が間違いなく行
われるようにしている。

【００１６】即ち、メインコントローラ１は、保守モー
ド以外のモードへの切り替え要求の有無を判別し（メイ
ンコントローラ１は、装置のモードを常に監視し把握し
ている）、モード切り替え要求があるまでは次のステッ
プには進まず（他のモードには移行せず）、モード切り
替え要求があると、次のステップに進む（ステップＳ
４）。モード切り替え要求があると、メインコントロー
ラ１は温度コントローラ２に対し、デフォルト値の生産
用データで動作するように指定するデータを、ダウンロ
ードする（ステップＳ５）。

【００１７】これにより、温度コントローラ２は、生産
モード（プロダクトモード）において、出荷時のデフォ
ルト値の生産用データで動作をすることになる。生産用
データの設定が終わると、保守モードが終了し、プロダ
クトモード等の他のモードに遷移する（ステップＳ
６）。

【００１８】なお、本発明は、上記実施形態で述べた温
度コントローラの評価に限らず、圧力コントローラ等の
サブコントローラに対して、保守モードでインターロッ
クが解除された状態のデータを設定して保守・評価を行
う場合などにも、適用することができる。

【００１９】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
保守モードから他のモードへの切り替えが選択される
と、保守用データを生産用データに自動的に入れ替えが
なされるように構成したので、データの入れ替えの設定
作業を確実に実施でき且つ調整員の労力を軽減できると
共に、半導体製造装置の信頼性を更に向上することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る半導体製造装置の一実施形態を示
すもので、メインコントローラにおける温度コントロー
ラ評価の際の処理動作を示すフローチャートである。

【図２】本発明に係る半導体製造装置の保守モードにお
けるメインコントローラと温度コントローラの処理内容
を示す図である。

【図３】本発明に係る半導体製造装置のコントローラの
概略構成を示す構成図である。

【符号の説明】

１ メインコントローラ ２ 温度コントローラ ３ 圧力コントローラ ４ 操作部 ５ ヒータ ６ 熱電対 ７ 圧力弁 ８ 圧力センサ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体製造装置の保守モードにおいて保守
   用データにより運用後、保守モードから他のモードへの
   切り替えが選択されると、前記保守用データを生産用デ
   ータに自動的に入れ替えを行う機能を備えたことを特徴
   とする半導体製造装置。