JP2000031237A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板処理装置に使用される所定の空圧アクチ
ュエータの動作時間を簡単確実に計測することができる
ようにする。 【解決手段】 基板処理装置を構成するあるユニットＡ
において、作動信号の入力により空圧アクチュエータ１
Ａの作動部材２Ａを移動開始位置から移動完了位置に移
動させる制御部１０Ａが設けられている。また、制御部
１０Ａには前記作動信号があったときから、移動完了位
置に設けられた位置検出器６Ａ，７Ａが前記作動部材２
Ａを検出するまでの実動作時間を計測する動作時間計測
手段が設けられ、前記実動作時間を表示する表示手段１
１Ａが接続されている。この表示手段１１Ａは動作時間
の目標時間をも表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや液
晶表示装置用あるいはフォトマスク用のガラス基板など
の基板に対して基板処理を行う各種の処理ユニットや基
板の搬出搬入、搬送を行うユニットを備えた基板処理装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】基板に対して種々の基板処理を施す半導
体製造装置等の基板処理装置は、例えば図５に示すよう
に、複数枚の基板Ｓを収納するカセットＣが載置される
カセット載置台５２と、処理しようとする基板Ｓを１枚
ずつ取り出して搬出するとともに、すべての処理を終え
た基板Ｓを再びカセットＣ内に搬入する搬出搬入アーム
５１とを備えた基板搬出搬入ユニット１０１と、基板Ｓ
を回転させつつその表面にフォトレジストなどの塗布液
を供給してレジスト膜を形成するスピンコータ６１を備
えた成膜処理ユニット１０２と、基板Ｓに塗布されたレ
ジスト膜にパタンを露光した後の基板を回転させつつ現
像液などを供給して現像処理を行うスピンデベロッパ７
１を備えた現像処理ユニット１０３と、複数の基板加熱
装置や複数の基板冷却装置を備えた熱処理ユニット１０
４と、前記基板搬出搬入ユニット１０１、前記成膜処理
ユニット１０２、前記現像処理ユニット１０３および前
記熱処理ユニット１０４との間で基板Ｓを搬送アーム９
１によって保持して移送する基板搬送ユニット１０５と
を備えている。

【０００３】前記各ユニットにおいては、基板の処理や
搬出搬入、搬送の際に動作する各種の制御対象部材の昇
降、進退、旋回などを行う駆動手段として、空圧シリン
ダや空圧揺動モータ等の空圧アクチュエータが使用され
ている。例えば、前記スピンコータ６１やスピンデベロ
ッパ７１のスプラッシュガード６２，７２やノズル６
３，７３の昇降、前記熱処理ユニット１０４の基板加熱
装置や基板冷却装置の筐体に開設された、基板供給取出
用開口を開閉するシャッタ８１，８２の開閉には空圧シ
リンダが使用されている。これらの空圧アクチュエータ
は各空圧アクチュエータごとに設けられたスピードコン
トローラおよび方向切換電磁弁を介して空圧源に配管接
続されている。

【０００４】各空圧アクチュエータの動作調整の際に
は、オぺレータが所定の空圧アクチュエータに対する作
動信号をボタンスイッチ等の入力手段を操作して制御部
に入力することで、当該空圧アクチュエータによって駆
動される作動部材を移動開始位置から移動完了位置に移
動させ、この移動に要する動作時間が所定の時間内にな
るように作動部材の移動速度の調整がなされる。なお、
移動速度の調整は、スピードコントローラを調整するこ
とで、空圧アクチュエータに供給される圧空量を調節す
ることによって行われる。

【０００５】基板処理装置は、未処理基板に対して複数
の基板処理を順次行うため、各ユニットの所定の空圧ア
クチュエータについて、その作動部材の動作時間が所定
の時間範囲に入るように調整されるが、特に、動作時間
を厳密に設定する必要があるものについては、当該空圧
アクチュエータによって駆動される作動部材の動作時間
をストップウォッチによって正確に測定し、作動部材が
所定の時間範囲内で移動するように速度調整がなされ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ストップウォッチを用
いて動作時間を計測する場合、計測の開始の際には空圧
アクチュエータの作動信号の入力操作と同時にストップ
ウォッチのスタート／ストップボタンを押す必要があ
り、また計測の終了の際には空圧アクチュエータによっ
て駆動される作動部材が所定の動作完了位置に到達した
ことを目視で確認してスタート／ストップボタンを再度
押す必要がある。

【０００７】しかしながら、スタート／ストップボタン
の操作タイミングが取りにくく、このため測定時間にば
らつきが発生しやすく、何回か測定を行わないと正しい
動作時間を測定することが困難であった。そして、作動
部材の移動速度を調整するたび毎にかかる複数回の時間
測定を余儀なくされた。

【０００８】また、動作時間の維持が求められる空圧ア
クチュエータについて、基板処理装置を使用している過
程で、何らかの原因で動作時間が狂い、動作時間が許容
範囲を超えるようになった異常な空圧アクチュエータが
あっても、そのような空圧アクチュエータを発見するた
めには、各空圧アクチュエータについて、個々に動作時
間の確認をしなけらばならないため、大変な労力を要し
ていた。

【０００９】本発明はかかる問題に鑑みなされたもの
で、基板処理装置に使用される所定の空圧アクチュエー
タの動作時間を簡単確実に計測することができ、また所
定の全ての空圧アクチュエータについて動作時間が異常
なものを容易に発見することができる基板処理装置を提
供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明の基
板処理装置は、基板処理の際に作動する作動部材と、当
該作動部材を駆動する空圧アクチュエータとを有し、当
該空圧アクチュエータに対する作動信号があったとき当
該空圧アクチュエータによって前記作動部材を移動開始
位置から移動完了位置に移動させる基板処理装置であっ
て、前記移動完了位置において前記作動部材を検出する
位置検出器と、前記作動信号があったときから前記位置
検出器が前記作動部材を検出するまでの実動作時間を計
測する動作時間計測手段と、前記動作時間計測手段によ
って計測された実動作時間を表示する表示手段とを備え
ている。

【００１１】この基板処理装置によると、空圧アクチュ
エータの動作確認を行うオぺレータが確認操作として作
動信号を制御部に与えるだけで、空圧アクチュエータの
作動信号があったときから当該空圧アクチュエータによ
って駆動される作動部材が移動開始位置から移動完了位
置へ移動するまでの実動作時間が動作時間計測手段によ
り簡単かつ正確に計測される。また、計測された実動作
時間は表示手段により表示されるため、オぺレータは１
回の確認操作で当該空圧アクチュエータの正確な実動作
時間を容易に知ることができ、作動部材の移動速度の調
整ごとに動作時間を１回の確認操作で知ることができる
ため、当該アクチュエータにかかる実動作時間を目標時
間となるように容易に調整することができる。

【００１２】また、請求項２に係る発明の基板処理装置
は、請求項１に記載された基板処理装置において、前記
作動信号があったときから前記位置検出器が前記作動部
材を検出するまでに要する動作時間の目標時間となる基
準動作時間および前記実動作時間が当該空圧アクチュエ
ータの動作時間として許容される、前記基準動作時間か
らの許容時間範囲を記憶する記憶手段と、前記動作時間
計測手段によって計測された実動作時間と前記記憶手段
に記憶された基準動作時間との動作時間差を演算する演
算手段と、前記演算手段によって演算された動作時間差
が前記記憶手段に記憶された許容時間範囲を超えるとき
に前記空圧アクチュエータの動作が異常であると判断す
る異常判断手段とを備え、前記表示手段は前記記憶手段
に記憶された前記基準動作時間および前記異常判断手段
によって判断された動作異常をも表示するものである。

【００１３】この基板処理装置によると、動作時間計測
手段によって計測された実動作時間と記憶手段に記憶さ
れた基準動作時間との動作時間差が演算手段によって演
算され、この動作時間差が前記記憶手段に記憶された許
容時間範囲を超えるとき、異常判断手段により前記空圧
アクチュエータの動作が異常であると判断され、前記表
示手段に異常表示が行われるので、オぺレータはこの異
常表示の有無を確認するだけで空圧アクチュエータの動
作が正常であるか、異常であるかを速やかに知ることが
できる。そして、動作異常にかかる空圧アクチュエータ
の動作調整に際しても、その基準動作時間が表示手段に
表示されるため、この表示を見ながら、当該アクチュエ
ータにかかる実動作時間を目標時間である基準動作時間
となるように容易に調整することができる。このため、
空圧アクチュエータの動作調整をより一層簡単容易に行
うことができる。

【００１４】また、請求項３にかかる発明の基板処理装
置は、基板処理の際に作動する種々の作動部材と、当該
種々の作動部材を各々駆動する複数の空圧アクチュエー
タとを有し、各空圧アクチュエータについて、ある空圧
アクチュエータに対する作動信号があったとき当該空圧
アクチュエータによって作動部材を移動開始位置から移
動完了位置に移動させる基板処理装置であって、一括作
動指令入力手段と、各空圧アクチュエータについて、あ
る空圧アクチュエータが駆動する作動部材の移動完了位
置において前記作動部材を検出する位置検出器と、前記
一括作動指令入力手段の操作により一括作動指令があっ
たとき、各空圧アクチュエータに対して作動信号を発生
する作動信号発生手段と、各空圧アクチュエータについ
て、ある空圧アクチュエータに対する作動信号があった
ときから当該空圧アクチュエータの位置検出器が当該空
圧アクチュエータが駆動する作動部材を検出するまでの
実動作時間を計測する動作時間計測手段と、各空圧アク
チュエータについて、ある空圧アクチュエータの作動信
号があったときから当該空圧アクチュエータの位置検出
器が当該空圧アクチュエータが駆動する作動部材を検出
するまでの動作時間の目標時間となる基準動作時間およ
び当該空圧アクチュエータの実動作時間が当該空圧アク
チュエータの動作時間として許容される、前記基準動作
時間からの許容時間範囲を記憶する記憶手段と、各空圧
アクチュエータについて、前記動作時間計測手段によっ
て計測された、ある空圧アクチュエータの実動作時間と
前記記憶手段に記憶された当該空圧アクチュエータの基
準動作時間との動作時間差を演算する演算手段と、各空
圧アクチュエータについて、前記演算手段によって演算
された、ある空圧アクチュエータの動作時間差が前記記
憶手段に記憶された当該空圧アクチュエータの許容時間
範囲を超えるときに当該空圧アクチュエータの動作が異
常であると判断する異常判断手段と、前記異常判断手段
により動作異常と判断された全ての空圧アクチュエータ
の動作異常を表示する表示手段とを備えている。

【００１５】この基板処理装置によると、オぺレータは
一括作動指令入力手段の操作により一括作動指令を与え
るだけで、作動信号発生手段により複数の空圧アクチュ
エータの各々に対する作動信号が発生され、各空圧アク
チュエータについて、ある空圧アクチュエータの作動信
号の入力の際から当該空圧アクチュエータの作動部材が
移動開始位置から移動完了位置へ移動するまでの実動作
時間を動作時間計測手段により簡単かつ正確に計測する
ことができる。そして、各空圧アクチュエータについ
て、動作時間計測手段によって計測されたある空圧アク
チュエータの実動作時間と記憶手段に記憶された当該空
圧アクチュエータの基準動作時間との動作時間差が演算
手段によって演算され、当該空圧アクチュエータの動作
時間差が前記記憶手段に記憶された当該空圧アクチュエ
ータの許容時間範囲を超えるとき、異常判断手段により
当該空圧アクチュエータの動作が異常が判断され、動作
異常と判断された全ての空圧アクチュエータの動作異常
が表示手段に表示されるので、オぺレータはこの異常表
示の有無を確認するだけで複数の空圧アクチュエータの
内のどの空圧アクチュエータの動作が正常であるか、異
常であるか速やかに知ることができ、異常表示がある空
圧アクチュエータについてのみ、動作調整を行えばよい
ため、メンテナンス性に優れる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図１を参照して実施形態に
係る基板処理装置について説明する。説明の便宜上、同
図には基板処理装置は２つのユニットＡ，Ｂのみが記載
されている。また、当該ユニットＡ，Ｂにおける基板処
理のために動作する制御対象部材の駆動源として、ユニ
ットＡ，Ｂが備える幾つかの空圧アクチュエータの内か
ら選択された特定の空圧シリンダのみが示されている。
なお、空圧シリンダ等の空圧アクチュエータは、後述す
るように、方向切換電磁弁のような方向制御弁により動
作方向が制御される。

【００１７】前記ユニットＡには昇降用の空圧シリンダ
１Ａが設けられており、該空圧シリンダＡはピストンロ
ッドからなる作動部材２Ａを有し、該作動部材２Ａは連
結部材を介して、例えば前記スプラッシュガード６２，
７２やノズル６３，７３等の制御対象部材に連結されて
いる。空圧シリンダ１Ａの上昇側ポート、下降側ポート
はそれぞれ流量制御弁と逆止弁が並列接続されたスピー
ドコントローラ３Ａ，４Ａを介して方向切換電磁弁５Ａ
に配管接続され、該方向切換電磁弁５Ａの入力ポートの
一方が空圧源に配管接続されている。また、前記空圧シ
リンダ１Ａの本体には、作動部材２Ａの下降位置および
上昇位置を検出する下降位置検出器６Ａおよび上昇位置
検出器７Ａが付設されている。なお、空圧シリンダ１Ａ
の作動部材２Ａが下降位置にあって上昇位置に向かって
上昇する場合、下降位置は本発明の移動開始位置に、上
昇位置は移動完了位置に相当する。これと反対に作動部
材２Ａが上昇位置にあって下降位置に向かって下降する
場合、上昇位置が本発明の移動開始位置に、下降位置が
移動完了位置に相当する。

【００１８】また、前記ユニットＡには、このユニット
Ａの有する種々の制御対象部材を自動制御したり、手動
制御する制御部１０Ａが設けられており、該制御部１０
Ａには前記下降位置検出器６Ａ、前記上昇位置検出器７
Ａ、前記方向切換電磁弁５Ａ並びにＣＲＴや液晶表示器
等の表示手段１１Ａ及び入力手段１２Ａが接続されてい
る。前記入力手段１２Ａは、データ入力用のキーボード
や前記空圧シリンダ１Ａの上昇ボタンスイッチおよび下
降ボタンスイッチ等の各種スイッチを備えている。

【００１９】前記ユニットＢについては、昇降用の空圧
シリンダ１Ｂ１の他、進退用の空圧シリンダ１Ｂ２が設
けられており、前記空圧シリンダ１Ａと同様、それぞれ
の空圧シリンダ１Ｂ１，１Ｂ２には、スピードコントロ
ーラ３Ｂ１，４Ｂ１，３Ｂ２，４Ｂ２、方向切換電磁弁
５Ｂ１，５Ｂ２が配管接続され、また下降位置検出器６
Ｂ１、上昇位置検出器７Ｂ１、後退位置検出器６Ｂ２、
前進位置検出器７Ｂ２が設けられている。なお、空圧シ
リンダ１Ｂ２についても、その作動部材２Ｂ２が後退位
置にあって前進位置に向かって前進する場合、後退位置
は本発明の移動開始位置に、前進位置は移動完了位置に
相当し、これと反対に作動部材２Ｂ２が前進位置にあっ
て後退位置に向かって移動する場合、前進位置が本発明
の移動開始位置に、後退位置が移動完了位置に相当す
る。

【００２０】また、前記ユニットＢについても、前記ユ
ニットＡの制御部１０Ａと同様、制御部１０Ｂが設けら
れており、前記各種位置検出器６Ｂ１，７Ｂ１，６Ｂ
２，７Ｂ２、前記方向切換電磁弁５Ｂ１，５Ｂ２並びに
表示手段１１Ｂ及び入力手段１２Ｂが接続されている。
前記入力手段１２Ｂには、前記空圧シリンダ１Ｂ１の上
昇ボタンスイッチおよび下降ボタンスイッチの他、前記
空圧シリンダ１Ｂ２の前進ボタンスイッチおよび後退ボ
タンスイッチが備えられている。

【００２１】前記ユニットＡおよびユニットＢのほか、
基板処理装置を構成する他のユニット（図示省略）にお
いても種々の空圧アクチュエータが使用されており、各
ユニットごとにこれらを制御する制御部が設けられ、各
制御部には入力手段、表示手段が接続されている。

【００２２】これらの制御部（１０Ａ，１０Ｂなど）は
統括制御部２０に接続されており、統括制御部２０は各
ユニット間の信号のやり取りや、装置全体の起動・停止
などを行う。該統括制御部２０にも表示手段２１および
入力手段２２が接続されており、前記入力手段２２には
一括作動指令入力ボタンスイッチが設けられている。一
括作動指令入力ボタンスイッチによって一括作動指令が
入力されると、一括作動指令が後述する動作確認制御を
行う各ユニットの制御部（１０Ａ，１０Ｂなど）に出力
される。なお、動作確認制御を行う各ユニットにおける
制御部および前記統括制御部２０は全体として請求項３
の発明における制御部に相当する。

【００２３】次に、各ユニットの制御部における空圧ア
クチュエータの動作確認制御について説明する。各ユニ
ットの制御部で行われる動作確認制御は、制御対象とな
る空圧アクチュエータの種類、数が異なるだけで、各空
圧アクチュエータについての基本動作は同様であるの
で、前記ユニットＡの制御部１０Ａについて説明する。
当該制御部１０Ａは、ＣＰＵ、記憶装置、入出力インタ
ーフェイスを備えており、記憶装置には動作確認制御プ
ログラムが格納されている。この動作確認制御を図２に
示した機能ブロック図を参照して説明する。

【００２４】オぺレータが入力手段１２Ａの上昇ボタン
スイッチあるいは下降ボタンスイッチを押下すると、上
昇作動信号あるいは下降作動信号が電磁弁操作手段３０
に与えられる。電磁弁操作手段３０は、上昇作動信号が
与えられたとき、方向切換電磁弁５Ａに上昇操作信号を
出力し、方向切換電磁弁５Ａを上昇側に切り換え、空圧
シリンダ１Ａの作動部材２Ａを下降位置から上昇位置へ
上昇させる。また、下降信号が与えられたときは、方向
切換電磁弁５Ａに下降操作信号を出力し、方向切換電磁
弁５Ａを下降側に切り換え、作動部材２Ａを上昇位置か
ら下降位置へ下降させる。

【００２５】前記各作動信号は動作時間計測手段３１に
も同時に与えられ、該動作時間計測手段３１は各作動信
号が与えられたときから上昇位置検出器７Ａあるいは下
降位置検出器６Ａが作動部材２Ａを検出したときに発す
る位置検出信号が入力されるまでの、上昇あるいは下降
に要する実動作時間を計測する。動作時間計測手段３１
により計測された実動作時間は、後述の演算手段３２に
与えられるとともに表示手段１１Ａに送られて表示され
る。

【００２６】一方、記憶装置内に設けられた記憶手段３
３には、前記上昇あるいは下降に要する動作時間の目標
時間となる基準動作時間および前記実動作時間が当該空
圧シリンダ１Ａの動作時間として許容される前記基準動
作時間からの許容時間範囲が予め入力手段１２Ａによっ
て入力されて記憶されている。前記基準動作時間も表示
手段１１Ａに送られて表示される。

【００２７】空圧シリンダ１Ａの上昇あるいは下降の各
動作について、前記動作時間計測手段３１により計測さ
れた実動作時間が与えられた演算手段３２は、実動作時
間と記憶手段３３に記憶された基準動作時間との動作時
間差を演算し、演算された動作時間差を異常判断手段３
５に与える。異常判断手段３５は前記動作時間差と前記
記憶手段３３に記憶された許容範囲時間とを比較し、動
作時間差が許容範囲時間内であるときは正常と、許容時
間範囲を超えるときは異常と判断し、これらの判断結果
を表示手段１１Ａに出力する。判断結果が与えられた表
示手段１１Ａはそのデータに応じて正常／異常を表示す
る。

【００２８】図３は空圧シリンダ１Ａの動作確認後の表
示手段１１Ａの表示画面を示しており、空圧シリンダ１
Ａについて、上昇あるいは下降の各々について、基準動
作時間、実動作時間、正常／異常の各表示が行われてい
る。なお、表示画面の正常／異常表示部の表示方法とし
ては、例えば正常時には白色表示を、異常時には赤色表
示を行えばよい。

【００２９】一方、統括制御部２０に入力手段２２より
一括作動指令が入力されると、この一括作動指令はユニ
ットＡの制御部１０Ａをはじめとして、他のユニットの
制御部にも与えられ、作動信号発生手段３７により上昇
作動信号および下降作動信号が実動作時間の計測が可能
なように所定の時間差をおいて発生され、これらの作動
信号により空圧シリンダ１Ａは上昇および下降の動作確
認が行われる。動作確認後、制御部１０Ａに接続された
表示手段１１Ａには、図３に示したように、上昇あるい
は下降の基準動作時間、実動作時間および正常／異常が
表示される。制御部１０Ａの異常判断手段３５によって
判断された結果は統括制御部２０を介して表示手段２１
にも与えられ、当該空圧シリンダ１Ａについての正常／
異常表示が行われる。また他のユニットの制御部からも
動作確認がなされた全ての空圧アクチュエータについて
の正常／異常の判断結果が表示手段２１に与えられ、こ
れらのデータに基づいて全ての空圧アクチュエータにつ
いて正常／異常表示が行われる。図４は一括作動指令に
より全ての空圧アクチュエータの動作確認がなされた後
の表示手段２１の表示画面を示している。

【００３０】なお、例えばユニットＢのように、ユニッ
ト内に動作確認すべき空圧アクチュエータが複数ある場
合、これらによって駆動される制御対象部材が互いに干
渉しないように作動信号の生成タイミングを取る必要が
あるが、前記作動信号発生手段３７にはかかる干渉防止
を行うインターロック回路が必要に応じて設けられてい
る。

【００３１】この実施形態によると、各ユニット内の動
作確認すべき空圧アクチュエータ、例えば空圧シリンダ
１Ａの実動作時間を１回の確認操作で簡単、正確に知る
ことができ、スピードコントローラの調整により、上昇
あるいは下降の際の動作時間を、表示手段１１Ａに表示
された基準動作時間を参照して所定の動作時間範囲内に
なるように簡単容易に調整することができる。また、実
動作時間や基準動作時間のほか、正常／異常表示も行わ
れるため、空圧シリンダ１Ａの動作時間の正常／異常を
速やかに知ることができ、動作確認や調整作業が容易で
ある。

【００３２】また、上記実施形態によると、一括作動指
令を統括制御部２０に入力することで、個々の空圧アク
チュエータごとに動作確認操作を行うことなく、動作確
認をすべき全ての空圧アクチュエータについての正常／
異常表示が得られる。このため、前記全ての空圧アクチ
ュエータについて簡単かつ正確に動作確認することがで
き、異常表示がある空圧アクチュエータについてのみ、
動作調整を行えばよいため、調整作業も容易で、メンテ
ナンス性に優れる。

【００３３】上記実施形態では、空圧シリンダ１Ａ，１
Ｂ１，１Ｂ２のピストンロッドを作動部材２Ａ，２Ｂ
１，２Ｂ２として説明したが、ピストンロッドのみなら
ず、空圧アクチュエータによって作動させる制御対象部
材や、該制御対象部材とピストンロッドとの間に設けら
れた連結部材など、空圧アクチュエータの動作位置を直
接的、間接的に検出することができるものであればいず
れの部材も作動部材として把握することができる。ま
た、作動部材２Ａ，２Ｂ１，２Ｂ２の位置検出器６Ａ，
６Ｂ１，６Ｂ２，７Ａ，７Ｂ１，７Ｂ２の取付場所につ
いても、必ずしもシリンダ本体に設ける必要はなく、作
動部材の移動位置を検出することができる場所であれば
いずれの場所でもよい。

【００３４】また、上記実施形態では、入力手段１２
Ａ，１２Ｂに空圧シリンダ１Ａ，１Ｂ１，１Ｂ２を作動
させるボタンスイッチを設け、これにより作動信号を制
御部１０Ａ，１０Ｂに入力するようにしたが、図３に示
すように、表示画面において「上昇」、「下降」表示部
をマウス等により指示することにより各動作に対応した
作動信号を入力するようにしてもよい。

【００３５】また、各ユニットにおける表示手段の動作
確認後の表示内容としては、図３のものに限らず、少な
くとも実動作時間が表示されればよい。この場合、空圧
アクチュエータの動作調整は、操作説明書等に記載され
た基準動作時間を参照して動作時間が所定の動作時間範
囲内になるように調整すればよい。また、統括制御部２
０の表示手段２１の表示内容についても、図４に限ら
ず、個々の空圧アクチュエータについて基準動作時間や
実動作時間を表示するようにしてもよい。

【００３６】また、上記実施形態では、各ユニット毎に
制御部（例えば１０Ａ，１０Ｂ）を設け、これらを統括
する統括制御部２０を設けたが、基板処理装置に対して
１の制御部を設け、これによって各ユニット内の空圧ア
クチュエータの動作確認制御を行うようにしてもよい。

【００３７】また、上記実施形態では、昇降や進退のよ
うにピストンロッドの伸縮２方向について空圧アクチュ
エータの動作確認を行ったが、２方向のうちの一方のみ
に対して動作確認するようにしてもよい。また、動作確
認制御を行うべき空圧アクチュエータとして、各ユニッ
トごとに特定のものを選択することができるが、基板処
理装置の全ての空圧アクチュエータを動作確認制御の対
象としてもよい。

【００３８】

【発明の効果】本発明の基板処理装置によれば、所望の
空圧アクチュエータの動作時間をストップウォッチを用
いることなく、１回の確認操作で簡単かつ正確に知るこ
とができるので、動作時間の測定を何回も行う必要がな
く、空圧アクチュエータの調整作業が容易である。ま
た、一括作動指令を入力することで、複数の空圧アクチ
ュエータの内から動作時間の狂ったものを簡単かつ容易
に見つけ出すことができ、メンテナンス性に優れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態にかかる基板処理装置の要部配置図で
ある。

【図２】基板処理装置を構成するユニットの制御部によ
って実現される諸制御機能を示す機能ブロック図であ
る。

【図３】ユニットＡの表示手段に表示された動作確認後
の表示内容の説明図である。

【図４】統括制御部の表示手段に表示された動作確認後
の表示内容の説明図である。

【図５】基板処理装置の一例を示す全体斜視図である。

【符号の説明】

１Ａ，１Ｂ１，１Ｂ２ 空圧シリンダ ２Ａ，２Ｂ１，２Ｂ２ 作動部材 ６Ａ，７Ａ，６Ｂ１，７Ｂ１，６Ｂ２，７Ｂ２ 位置検
出器 １０Ａ，１０Ｂ 制御部 １１Ａ，１１Ｂ 表示手段 ２０ 統括制御部 ２１ 表示手段 ３１ 動作時間計測手段 ３２ 演算手段 ３３ 記憶手段 ３５ 異常判断手段 ３７ 作動信号発生手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 彰彦 京都府京都市伏見区羽束師古川町322番地 大日本スクリーン製造株式会社洛西事業 所内 (72)発明者 高橋 和浩 京都府京都市伏見区羽束師古川町322番地 大日本スクリーン製造株式会社洛西事業 所内 Ｆターム(参考） 5F031 CC11 GG02 GG12 KK09

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板処理の際に作動する作動部材と、当該
   作動部材を駆動する空圧アクチュエータとを有し、当該
   空圧アクチュエータに対する作動信号があったとき当該
   空圧アクチュエータによって前記作動部材を移動開始位
   置から移動完了位置に移動させる基板処理装置であっ
   て、 前記移動完了位置において前記作動部材を検出する位置
   検出器と、 前記作動信号があったときから前記位置検出器が前記作
   動部材を検出するまでの実動作時間を計測する動作時間
   計測手段と、 前記動作時間計測手段によって計測された実動作時間を
   表示する表示手段とを備えた基板処理装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載した基板処理装置におい
   て、 前記作動信号があったときから前記位置検出器が前記作
   動部材を検出するまでに要する動作時間の目標時間とな
   る基準動作時間および前記実動作時間が当該空圧アクチ
   ュエータの動作時間として許容される、前記基準動作時
   間からの許容時間範囲を記憶する記憶手段と、 前記動作時間計測手段によって計測された実動作時間と
   前記記憶手段に記憶された基準動作時間との動作時間差
   を演算する演算手段と、 前記演算手段によって演算された動作時間差が前記記憶
   手段に記憶された許容時間範囲を超えるときに前記空圧
   アクチュエータの動作が異常であると判断する異常判断
   手段とを備え、 前記表示手段は前記記憶手段に記憶された前記基準動作
   時間および前記異常判断手段によって判断された動作異
   常をも表示する基板処理装置。
3. 【請求項３】基板処理の際に作動する種々の作動部材
   と、当該種々の作動部材を各々駆動する複数の空圧アク
   チュエータとを有し、各空圧アクチュエータについて、
   ある空圧アクチュエータに対する作動信号があったとき
   当該空圧アクチュエータによって作動部材を移動開始位
   置から移動完了位置に移動させる基板処理装置であっ
   て、 一括作動指令入力手段と、 各空圧アクチュエータについて、ある空圧アクチュエー
   タが駆動する作動部材の移動完了位置において前記作動
   部材を検出する位置検出器と、 前記一括作動指令入力手段の操作により一括作動指令が
   あったとき、各空圧アクチュエータに対して作動信号を
   発生する作動信号発生手段と、 各空圧アクチュエータについて、ある空圧アクチュエー
   タに対する作動信号があったときから当該空圧アクチュ
   エータの位置検出器が当該空圧アクチュエータが駆動す
   る作動部材を検出するまでの実動作時間を計測する動作
   時間計測手段と、 各空圧アクチュエータについて、ある空圧アクチュエー
   タの作動信号があったときから当該空圧アクチュエータ
   の位置検出器が当該空圧アクチュエータが駆動する作動
   部材を検出するまでの動作時間の目標時間となる基準動
   作時間および当該空圧アクチュエータの実動作時間が当
   該空圧アクチュエータの動作時間として許容される、前
   記基準動作時間からの許容時間範囲を記憶する記憶手段
   と、 各空圧アクチュエータについて、前記動作時間計測手段
   によって計測された、ある空圧アクチュエータの実動作
   時間と前記記憶手段に記憶された当該空圧アクチュエー
   タの基準動作時間との動作時間差を演算する演算手段
   と、 各空圧アクチュエータについて、前記演算手段によって
   演算された、ある空圧アクチュエータの動作時間差が前
   記記憶手段に記憶された当該空圧アクチュエータの許容
   時間範囲を超えるときに当該空圧アクチュエータの動作
   が異常であると判断する異常判断手段と、 前記異常判断手段により異常と判断された全ての空圧ア
   クチュエータの動作異常を表示する表示手段とを備えた
   基板処理装置。