JP2000028303A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
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- JP2000028303A JP2000028303A JP10197327A JP19732798A JP2000028303A JP 2000028303 A JP2000028303 A JP 2000028303A JP 10197327 A JP10197327 A JP 10197327A JP 19732798 A JP19732798 A JP 19732798A JP 2000028303 A JP2000028303 A JP 2000028303A
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- moving
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
Abstract
(57)【要約】
【課題】 温度変化時の幾何学的精度を補償できる測定
装置を提供する。 【解決手段】 ベース１０と、タッチ信号プローブＰ
と、このタッチ信号プローブＰを三次元方向へ移動可能
に保持する移動機構２０と、この移動機構２０の動作を
制御しつつタッチ信号プローブＰからの接触信号を基に
各軸の座標値を取り込み、この座標値から被測定物の寸
法などを求めるコントローラ６０とを有する測定装置に
おいて、移動機構２０を構成する主要構造部材、具体的
には、コラム２１、サポータ２２、Ｘビーム２３、Ｚ軸
構造体２５、Ｚ軸スピンドル２６を熱伝導率の高いアル
ミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウ
ム合金によって構成する。
装置を提供する。 【解決手段】 ベース１０と、タッチ信号プローブＰ
と、このタッチ信号プローブＰを三次元方向へ移動可能
に保持する移動機構２０と、この移動機構２０の動作を
制御しつつタッチ信号プローブＰからの接触信号を基に
各軸の座標値を取り込み、この座標値から被測定物の寸
法などを求めるコントローラ６０とを有する測定装置に
おいて、移動機構２０を構成する主要構造部材、具体的
には、コラム２１、サポータ２２、Ｘビーム２３、Ｚ軸
構造体２５、Ｚ軸スピンドル２６を熱伝導率の高いアル
ミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウ
ム合金によって構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、三次元測定機や座
標測定機などの測定装置に関する。詳しくは、ベース
と、測定子と、前記ベースおよび測定子を相対移動させ
る移動機構とを備えた測定装置において、温度変化に対
する精度保障、さらに、その精度保証温度範囲の拡大が
可能な測定装置に関する。
標測定機などの測定装置に関する。詳しくは、ベース
と、測定子と、前記ベースおよび測定子を相対移動させ
る移動機構とを備えた測定装置において、温度変化に対
する精度保障、さらに、その精度保証温度範囲の拡大が
可能な測定装置に関する。
【０００２】
【背景技術】ベースと、測定子と、この測定子をベース
に対して三次元方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向）へ移動させる
移動機構と、この移動機構の移動動作を制御するととも
に、測定子が被測定物に接触したときの各軸（Ｘ，Ｙ，
Ｚ軸）の座標値を取り込み、その座標値を基に被測定物
の寸法などを求めるコントローラとを備えた測定装置、
たとえば、三次元測定機や座標測定機などの測定装置が
知られている。
に対して三次元方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向）へ移動させる
移動機構と、この移動機構の移動動作を制御するととも
に、測定子が被測定物に接触したときの各軸（Ｘ，Ｙ，
Ｚ軸）の座標値を取り込み、その座標値を基に被測定物
の寸法などを求めるコントローラとを備えた測定装置、
たとえば、三次元測定機や座標測定機などの測定装置が
知られている。
【０００３】従来、この種の測定装置では、ベースや移
動機構の主要構造物については、それぞれの部分におい
て要求される剛性を備えた材料を用いて構成していた。
たとえば、ベースは、石、セラミックス、鋳物などによ
って構成し、その周囲をカバーで覆った構造であった。
また、移動機構を構成する門型フレームの両脚部には鋳
物を、その上端間に掛け渡されるビームにはセラミック
スを用い、これらを組み合わせて移動機構を構成してい
た。
動機構の主要構造物については、それぞれの部分におい
て要求される剛性を備えた材料を用いて構成していた。
たとえば、ベースは、石、セラミックス、鋳物などによ
って構成し、その周囲をカバーで覆った構造であった。
また、移動機構を構成する門型フレームの両脚部には鋳
物を、その上端間に掛け渡されるビームにはセラミック
スを用い、これらを組み合わせて移動機構を構成してい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の測定装置では、
それぞれの部分において要求される剛性を備えた異なる
材料を用いていたため、温度変化時の幾何学精度の劣化
が問題となる。この幾何学精度の劣化は、次の要因によ
って引き起こされると考えられる。
それぞれの部分において要求される剛性を備えた異なる
材料を用いていたため、温度変化時の幾何学精度の劣化
が問題となる。この幾何学精度の劣化は、次の要因によ
って引き起こされると考えられる。
【０００５】機械内部の温度分布の違いによる幾何学
精度の劣化 従来の測定装置では、それぞれの部分において要求され
る剛性を備えた異なる材料が用いられていたため、熱伝
導率が各部において異なり、機械内部の温度分布が不均
一になり、これが要因となって幾何学精度の劣化を引き
起こすと考えられる。
精度の劣化 従来の測定装置では、それぞれの部分において要求され
る剛性を備えた異なる材料が用いられていたため、熱伝
導率が各部において異なり、機械内部の温度分布が不均
一になり、これが要因となって幾何学精度の劣化を引き
起こすと考えられる。
【０００６】異種部材の締結による幾何学精度の劣化 従来の測定装置では、機械の各部で熱伝導率の異なる部
材が直接的に接合されていたため、温度変化があると、
各部材の伸縮量が異なり、これが要因となって幾何学精
度の劣化を引き起こすと考えられる。
材が直接的に接合されていたため、温度変化があると、
各部材の伸縮量が異なり、これが要因となって幾何学精
度の劣化を引き起こすと考えられる。
【０００７】ところで、三次元測定機の中には、温度補
正機能を搭載し、この温度補正機能によって精度保障温
度範囲を拡大しようとするものも知られている。しか
し、その温度補正機能を有効に機能させるためには、上
記問題（温度変化時の幾何学精度の劣化）を解決するこ
とが前提である。
正機能を搭載し、この温度補正機能によって精度保障温
度範囲を拡大しようとするものも知られている。しか
し、その温度補正機能を有効に機能させるためには、上
記問題（温度変化時の幾何学精度の劣化）を解決するこ
とが前提である。
【０００８】本発明の目的は、従来の課題を解決すべく
なされたもので、温度変化時の幾何学精度を保障し、温
度変化時の精度保障、さらに、その精度保障温度範囲の
拡大を図った測定装置を提供することにある。
なされたもので、温度変化時の幾何学精度を保障し、温
度変化時の精度保障、さらに、その精度保障温度範囲の
拡大を図った測定装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の測定装置は、ベ
ースと、測定子と、前記ベースおよび測定子を相対移動
させる移動機構とを備えた測定装置において、前記移動
機構の主要構造材をアルミニウムまたはアルミニウムを
主成分とするアルミニウム合金によって構成したことを
特徴とする。このような構成によれば、移動機構の主要
構造材を熱伝導率の高いアルミニウムまたはアルミニウ
ムを主成分とするアルミニウム合金によって構成したの
で、温度変化に対する温度追従性を向上させることがで
き、その結果、装置全体の温度分布を均一化させること
ができる。たとえば、移動機構を門型フレーム、スライ
ダ、Ｚ軸スピンドルなどで構成した場合、これら門型フ
レーム、スライダ、Ｚ軸スピンドルを熱伝導率の高いア
ルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニ
ウム合金によって構成すれば、移動機構の主要構造材の
温度分布を均一化させることができる。よって、温度変
化時の幾何学精度の低下も極力抑えることができるか
ら、温度変化しても精度を保障でき、さらに、その精度
保障温度範囲の拡大も可能である。
ースと、測定子と、前記ベースおよび測定子を相対移動
させる移動機構とを備えた測定装置において、前記移動
機構の主要構造材をアルミニウムまたはアルミニウムを
主成分とするアルミニウム合金によって構成したことを
特徴とする。このような構成によれば、移動機構の主要
構造材を熱伝導率の高いアルミニウムまたはアルミニウ
ムを主成分とするアルミニウム合金によって構成したの
で、温度変化に対する温度追従性を向上させることがで
き、その結果、装置全体の温度分布を均一化させること
ができる。たとえば、移動機構を門型フレーム、スライ
ダ、Ｚ軸スピンドルなどで構成した場合、これら門型フ
レーム、スライダ、Ｚ軸スピンドルを熱伝導率の高いア
ルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニ
ウム合金によって構成すれば、移動機構の主要構造材の
温度分布を均一化させることができる。よって、温度変
化時の幾何学精度の低下も極力抑えることができるか
ら、温度変化しても精度を保障でき、さらに、その精度
保障温度範囲の拡大も可能である。
【００１０】以上において、前記移動機構は、前記測定
子を直線的に移動させる第１軸移動機構と、前記測定子
を前記第１軸移動機構の移動方向に対して直交する方向
へ移動させる第２軸移動機構と、前記測定子を前記第１
および第２軸移動機構の移動方向に対して直交する方向
へ移動させる第３軸移動機構とを含む構成が望ましい。
これによれば、測定子を三次元方向へ移動させることが
できるから、被測定物の三次元寸法を高精度に測定する
ことができる。
子を直線的に移動させる第１軸移動機構と、前記測定子
を前記第１軸移動機構の移動方向に対して直交する方向
へ移動させる第２軸移動機構と、前記測定子を前記第１
および第２軸移動機構の移動方向に対して直交する方向
へ移動させる第３軸移動機構とを含む構成が望ましい。
これによれば、測定子を三次元方向へ移動させることが
できるから、被測定物の三次元寸法を高精度に測定する
ことができる。
【００１１】また、前記第１、第２および第３軸移動機
構のうちの少なくとも１つの軸移動機構は、移動方向に
沿って固定されたガイド部材と、このガイド部材に移動
自在に設けられたスライダと、前記ガイド部材にスライ
ダの移動方向に沿って配置されかつ両端がガイド部材に
固定された送りねじ軸と、この送りねじ軸に螺合され送
りねじ軸の回転によってスライダを送りねじ軸の長手方
向へ移動させるナット部材とを備え、前記ガイド部材
は、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするア
ルミニウム合金によって形成されるとともに、前記送り
ねじ軸は、鉄によって形成され、かつ、少なくとも一端
部が軸方向へスライド可能に支持されていることが望ま
しい。
構のうちの少なくとも１つの軸移動機構は、移動方向に
沿って固定されたガイド部材と、このガイド部材に移動
自在に設けられたスライダと、前記ガイド部材にスライ
ダの移動方向に沿って配置されかつ両端がガイド部材に
固定された送りねじ軸と、この送りねじ軸に螺合され送
りねじ軸の回転によってスライダを送りねじ軸の長手方
向へ移動させるナット部材とを備え、前記ガイド部材
は、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするア
ルミニウム合金によって形成されるとともに、前記送り
ねじ軸は、鉄によって形成され、かつ、少なくとも一端
部が軸方向へスライド可能に支持されていることが望ま
しい。
【００１２】このような構成とすれば、軸移動機構を構
成するガイド部材と送りねじ軸とを熱伝導率の異なる材
料によって構成した場合でも、温度変化によってガイド
部材と送りねじ軸とに伸縮量の違いが生じても、送りね
じ軸がその軸方向へスライドできる構造であるから、ガ
イド部材と送りねじ軸とを熱伝導率の異なる材料によっ
て構成した場合による不具合を解消することができる。
もとより、ガイド部材はアルミニウムまたはアルミニウ
ムを主成分とするアルミニウム合金によって形成されて
いるから、移動機構の主要構造材の温度分布を均一化で
きる一方、送りねじ軸は剛性の高い鉄によって形成され
ているから、スライダの摺動精度を確保できる。
成するガイド部材と送りねじ軸とを熱伝導率の異なる材
料によって構成した場合でも、温度変化によってガイド
部材と送りねじ軸とに伸縮量の違いが生じても、送りね
じ軸がその軸方向へスライドできる構造であるから、ガ
イド部材と送りねじ軸とを熱伝導率の異なる材料によっ
て構成した場合による不具合を解消することができる。
もとより、ガイド部材はアルミニウムまたはアルミニウ
ムを主成分とするアルミニウム合金によって形成されて
いるから、移動機構の主要構造材の温度分布を均一化で
きる一方、送りねじ軸は剛性の高い鉄によって形成され
ているから、スライダの摺動精度を確保できる。
【００１３】また、移動機構の主要構造材に対して接合
される部材がアルミニウムまたはアルミニウムを主成分
とするアルミニウム合金以外の材料によって構成した場
合には、この両者の接合部には弾性部材を介在させるの
が好ましい。このようにすれば、温度変化によって、主
要構造材とそれに接合される部材とに伸縮量の違いが生
じても、その違いを弾性部材の弾性変形によって吸収す
ることができるから、主要構造材とそれに接合される部
材とを熱伝導率の異なる材料によって構成した場合によ
る不具合を解消することができる。
される部材がアルミニウムまたはアルミニウムを主成分
とするアルミニウム合金以外の材料によって構成した場
合には、この両者の接合部には弾性部材を介在させるの
が好ましい。このようにすれば、温度変化によって、主
要構造材とそれに接合される部材とに伸縮量の違いが生
じても、その違いを弾性部材の弾性変形によって吸収す
ることができるから、主要構造材とそれに接合される部
材とを熱伝導率の異なる材料によって構成した場合によ
る不具合を解消することができる。
【００１４】また、移動機構の主要構造材に対して接合
される部材がアルミニウムまたはアルミニウムを主成分
とするアルミニウム合金以外の材料によって構成した場
合には、移動機構の主要構造材に対して接合される部材
の一部に弾性変形容易な部分を備えた構成でもよい。こ
の場合でも、温度変化によって、主要構造材とそれに接
合される部材とに伸縮量の違いが生じても、その違いを
接合される部材の弾性変形によって吸収することができ
るから、主要構造材とそれに接合される部材とを熱伝導
率の異なる材料によって構成した場合による不具合を解
消することができる。
される部材がアルミニウムまたはアルミニウムを主成分
とするアルミニウム合金以外の材料によって構成した場
合には、移動機構の主要構造材に対して接合される部材
の一部に弾性変形容易な部分を備えた構成でもよい。こ
の場合でも、温度変化によって、主要構造材とそれに接
合される部材とに伸縮量の違いが生じても、その違いを
接合される部材の弾性変形によって吸収することができ
るから、主要構造材とそれに接合される部材とを熱伝導
率の異なる材料によって構成した場合による不具合を解
消することができる。
【００１５】本発明の他の測定装置は、ベースと、測定
子と、前記ベースおよび測定子を相対移動させる移動機
構とを備えた測定装置において、前記ベースは、周囲が
カバーによって覆われているとともに、空気をそのカバ
ー内外へ流通させるファンを備えていることを特徴とす
る。このような構成によれば、ファンによってベースを
覆うカバー内の温度分布を均一にすることができるか
ら、温度変化時の幾何学精度を補償できる。
子と、前記ベースおよび測定子を相対移動させる移動機
構とを備えた測定装置において、前記ベースは、周囲が
カバーによって覆われているとともに、空気をそのカバ
ー内外へ流通させるファンを備えていることを特徴とす
る。このような構成によれば、ファンによってベースを
覆うカバー内の温度分布を均一にすることができるか
ら、温度変化時の幾何学精度を補償できる。
【００１６】本発明のさらに他の測定装置によれば、
ベースと、測定子と、前記ベースおよび測定子を相対移
動させる移動機構と、この移動機構の移動動作を制御す
るコントローラとを備えた測定装置において、前記コン
トローラを覆う断熱カバーが設けられ、かつ、コントロ
ーラからの排熱をコントローラの外部へ排出するファン
を備えていることを特徴とする。このような構成によれ
ば、コントローラからの熱は、ファンによって外部へ排
出されるから、この熱による悪影響を極力抑えることが
でき、この点からも温度変化時の幾何学精度を補償でき
る。
ベースと、測定子と、前記ベースおよび測定子を相対移
動させる移動機構と、この移動機構の移動動作を制御す
るコントローラとを備えた測定装置において、前記コン
トローラを覆う断熱カバーが設けられ、かつ、コントロ
ーラからの排熱をコントローラの外部へ排出するファン
を備えていることを特徴とする。このような構成によれ
ば、コントローラからの熱は、ファンによって外部へ排
出されるから、この熱による悪影響を極力抑えることが
でき、この点からも温度変化時の幾何学精度を補償でき
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の測定装置を三次元
測定機に適用した実施形態について、説明する。 ［全体構成］本実施形態の三次元測定機は、図１に示す
ように、ベース１０と、測定子としてのタッチ信号プロ
ーブＰと、このタッチ信号プローブＰを前記ベース１０
に対して三次元方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向）へ移動させる
移動機構２０と、この移動機構２０の移動動作を制御す
るとともに、タッチ信号プローブＰが被測定物に接触し
たときの各軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）の座標値を取り込み、そ
の座標値を基に被測定物の寸法などを求めるコントロー
ラ６０とを備えている。
測定機に適用した実施形態について、説明する。 ［全体構成］本実施形態の三次元測定機は、図１に示す
ように、ベース１０と、測定子としてのタッチ信号プロ
ーブＰと、このタッチ信号プローブＰを前記ベース１０
に対して三次元方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向）へ移動させる
移動機構２０と、この移動機構２０の移動動作を制御す
るとともに、タッチ信号プローブＰが被測定物に接触し
たときの各軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）の座標値を取り込み、そ
の座標値を基に被測定物の寸法などを求めるコントロー
ラ６０とを備えている。
【００１８】移動機構２０は、前記ベース１０上の両側
に前後方向（Ｙ軸方向）へ移動可能に設けられたコラム
２１およびサポータ２２と、このコラム２１およびサポ
ータ２２の上端間に掛け渡されたＸビーム２３と、この
Ｘビーム２３に沿って左右方向（Ｘ軸方向）へ移動可能
に設けられたスライダ２４と、このスライダ２４にＺ軸
構造体２５を介して上下方向へ移動可能に設けられたＺ
軸スピンドル２６とから構成されている。
に前後方向（Ｙ軸方向）へ移動可能に設けられたコラム
２１およびサポータ２２と、このコラム２１およびサポ
ータ２２の上端間に掛け渡されたＸビーム２３と、この
Ｘビーム２３に沿って左右方向（Ｘ軸方向）へ移動可能
に設けられたスライダ２４と、このスライダ２４にＺ軸
構造体２５を介して上下方向へ移動可能に設けられたＺ
軸スピンドル２６とから構成されている。
【００１９】ここに、コラム２１、サポータ２２および
Ｘビーム２３によってタッチ信号プローブＰをＹ軸方向
へ移動させる第１軸移動機構としてのＹ軸移動機構が、
スライダ２４によってタッチ信号プローブＰをＹ軸方向
に対して直交するＸ軸方向へ移動させる第２軸移動機構
としてのＸ軸移動機構が、Ｚ軸構造体２５およびＺ軸ス
ピンドル２６によってタッチ信号プローブＰをＹ軸およ
びＸ軸方向に対して直交するＺ軸方向へ移動させる第３
軸移動機構としてのＺ軸移動機構がそれぞれ構成されて
いる。
Ｘビーム２３によってタッチ信号プローブＰをＹ軸方向
へ移動させる第１軸移動機構としてのＹ軸移動機構が、
スライダ２４によってタッチ信号プローブＰをＹ軸方向
に対して直交するＸ軸方向へ移動させる第２軸移動機構
としてのＸ軸移動機構が、Ｚ軸構造体２５およびＺ軸ス
ピンドル２６によってタッチ信号プローブＰをＹ軸およ
びＸ軸方向に対して直交するＺ軸方向へ移動させる第３
軸移動機構としてのＺ軸移動機構がそれぞれ構成されて
いる。
【００２０】［Ｘ、Ｙ、Ｚ軸移動機構における温度対
策］本実施形態では、移動機構２０を構成するＸ、Ｙ、
Ｚ軸移動機構の主要構造材が熱伝導率の高いアルミニウ
ムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金
によって構成されている。具体的には、Ｙ軸移動機構を
構成するコラム２１、サポータ２２およびＸビーム２
３、Ｘ軸移動機構を構成するスライダ２４、Ｚ軸移動機
構を構成するＺ軸構造体２５およびＺ軸スピンドル２６
が、熱伝導率の高いアルミニウムまたはアルミニウムを
主成分とするアルミニウム合金によって構成されてい
る。
策］本実施形態では、移動機構２０を構成するＸ、Ｙ、
Ｚ軸移動機構の主要構造材が熱伝導率の高いアルミニウ
ムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金
によって構成されている。具体的には、Ｙ軸移動機構を
構成するコラム２１、サポータ２２およびＸビーム２
３、Ｘ軸移動機構を構成するスライダ２４、Ｚ軸移動機
構を構成するＺ軸構造体２５およびＺ軸スピンドル２６
が、熱伝導率の高いアルミニウムまたはアルミニウムを
主成分とするアルミニウム合金によって構成されてい
る。
【００２１】従って、移動機構を構成する主要構造材が
アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミ
ニウム合金によって構成されているから、温度変化に対
する温度追従性を向上させることができ、その結果、温
度分布も均一化することができる。従って、温度変化時
の幾何学精度低下を防止できる。なお、アルミニウムま
たはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によ
って構成する部材については、上述した構成部材に限ら
れない。精度確保上、アルミニウムまたはアルミニウム
を主成分とするアルミニウム合金以外の材料で構成しな
くてはならない箇所を除いて、全ての構成部材を同一の
材料（アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする
アルミニウム合金）によって構成するのが望ましい。
アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミ
ニウム合金によって構成されているから、温度変化に対
する温度追従性を向上させることができ、その結果、温
度分布も均一化することができる。従って、温度変化時
の幾何学精度低下を防止できる。なお、アルミニウムま
たはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によ
って構成する部材については、上述した構成部材に限ら
れない。精度確保上、アルミニウムまたはアルミニウム
を主成分とするアルミニウム合金以外の材料で構成しな
くてはならない箇所を除いて、全ての構成部材を同一の
材料（アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする
アルミニウム合金）によって構成するのが望ましい。
【００２２】また、本実施形態では、各軸移動機構の移
動位置（座標値）を検出する変位検出器（スケールおよ
び検出器からなる）を備えているが、スケールを各軸の
主要構造材に固定するためのスケール取付板（スケール
を固定するための部材）についても、同一材料（アルミ
ニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム
合金）によって構成されている。たとえば、Ｘ軸方向の
座標位置を検出する変位検出器では、図１に示すよう
に、Ｘビーム２３と、それに取り付けられるスケール取
付板２７（スケール２８を固定するための部品）とが同
一材料（アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とす
るアルミニウム合金）によって構成されている。
動位置（座標値）を検出する変位検出器（スケールおよ
び検出器からなる）を備えているが、スケールを各軸の
主要構造材に固定するためのスケール取付板（スケール
を固定するための部材）についても、同一材料（アルミ
ニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム
合金）によって構成されている。たとえば、Ｘ軸方向の
座標位置を検出する変位検出器では、図１に示すよう
に、Ｘビーム２３と、それに取り付けられるスケール取
付板２７（スケール２８を固定するための部品）とが同
一材料（アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とす
るアルミニウム合金）によって構成されている。
【００２３】［Ｘ、Ｙ、Ｚ軸移動機構の駆動系における
温度対策］Ｘ、Ｙ、Ｚ軸移動機構は、それぞれの可動部
材を移動させるための駆動系を備えている。たとえば、
Ｙ軸移動機構では、図２に示すように、移動方向（Ｙ軸
方向）に沿って固定されたガイド部材３１と、このガイ
ド部材３１に移動自在に設けられたスライダ３２と、前
記ガイド部材３１にスライダ３２の移動方向に沿って配
置されかつ両端が軸受３３，３４を介してガイド部材３
１に保持された送りねじ軸としてのボールねじ軸３５
と、このボールねじ軸３５を回転させる駆動源３６と、
前記ボールねじ軸３５に螺合されかつ前記スライダ３２
に固定され、ボールねじ軸３５の回転によって軸方向へ
移動しながらスライダ３２を送りねじ軸３５の長手方向
へ移動させるナット部材３７からなる駆動系３８を備え
る。
温度対策］Ｘ、Ｙ、Ｚ軸移動機構は、それぞれの可動部
材を移動させるための駆動系を備えている。たとえば、
Ｙ軸移動機構では、図２に示すように、移動方向（Ｙ軸
方向）に沿って固定されたガイド部材３１と、このガイ
ド部材３１に移動自在に設けられたスライダ３２と、前
記ガイド部材３１にスライダ３２の移動方向に沿って配
置されかつ両端が軸受３３，３４を介してガイド部材３
１に保持された送りねじ軸としてのボールねじ軸３５
と、このボールねじ軸３５を回転させる駆動源３６と、
前記ボールねじ軸３５に螺合されかつ前記スライダ３２
に固定され、ボールねじ軸３５の回転によって軸方向へ
移動しながらスライダ３２を送りねじ軸３５の長手方向
へ移動させるナット部材３７からなる駆動系３８を備え
る。
【００２４】ここで、ガイド部材３１は熱伝導率の高い
アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミ
ニウム合金によって、また、ボールねじ軸３５は剛性の
高い鉄によって形成されている。つまり、ガイド部材３
１とボールねじ軸３５とが熱伝導率の異なる材料によっ
て形成されている。熱伝導率の異なる材料を互いに接合
した場合、温度変化が生じたとき、伸縮量に違いが生じ
るため、いずれかの部材に撓みが生じるという問題があ
る。そこで、本実施形態では、ボールねじ軸３５の片方
の端部を軸受３３を介してガイド部材３１に支持すると
ともに、他の片方の端部を軸方向へスライド可能に保持
するスラスト軸受３４を介してガイド部材３１に支持し
ている。つまり、図３に示すように、円筒状のリティー
ナ３４Ａの周壁に複数のボール３４Ｂを回転自在に埋設
した構造のスラスト軸受３４を介して、ボールねじ軸３
５の他端をガイド部材３１に回転可能かつ軸方向へスラ
イド可能に支持している。
アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミ
ニウム合金によって、また、ボールねじ軸３５は剛性の
高い鉄によって形成されている。つまり、ガイド部材３
１とボールねじ軸３５とが熱伝導率の異なる材料によっ
て形成されている。熱伝導率の異なる材料を互いに接合
した場合、温度変化が生じたとき、伸縮量に違いが生じ
るため、いずれかの部材に撓みが生じるという問題があ
る。そこで、本実施形態では、ボールねじ軸３５の片方
の端部を軸受３３を介してガイド部材３１に支持すると
ともに、他の片方の端部を軸方向へスライド可能に保持
するスラスト軸受３４を介してガイド部材３１に支持し
ている。つまり、図３に示すように、円筒状のリティー
ナ３４Ａの周壁に複数のボール３４Ｂを回転自在に埋設
した構造のスラスト軸受３４を介して、ボールねじ軸３
５の他端をガイド部材３１に回転可能かつ軸方向へスラ
イド可能に支持している。
【００２５】このような構造にすれば、温度変化によっ
てボールねじ軸３５の伸縮量とガイド部材３１の伸縮量
とに違いが生じた場合でも、ボールねじ軸３５が軸方向
へスライドするので、いずれかの部材に撓みが生じると
いう問題を解消することができる。この場合、図４に示
すように、ボールねじ軸３５の一端にボールベアリング
４１を嵌合し、そのボールベアリング４１をベアリング
支持部材４２に形成した孔４３に「すきばばめ」の状態
で嵌合させた構造、具体的には、ボールベアリング４１
の外径とベアリング支持部材４２の孔４３の内径との間
に僅かな隙間（たとえば、５μｍ程度のクリアランス）
をもって嵌合させた構造としても、同様な効果が期待で
きる。
てボールねじ軸３５の伸縮量とガイド部材３１の伸縮量
とに違いが生じた場合でも、ボールねじ軸３５が軸方向
へスライドするので、いずれかの部材に撓みが生じると
いう問題を解消することができる。この場合、図４に示
すように、ボールねじ軸３５の一端にボールベアリング
４１を嵌合し、そのボールベアリング４１をベアリング
支持部材４２に形成した孔４３に「すきばばめ」の状態
で嵌合させた構造、具体的には、ボールベアリング４１
の外径とベアリング支持部材４２の孔４３の内径との間
に僅かな隙間（たとえば、５μｍ程度のクリアランス）
をもって嵌合させた構造としても、同様な効果が期待で
きる。
【００２６】［Ｚ軸移動機構における温度対策］Ｚ軸移
動機構は、図５に示すように、前記Ｚ軸構造体２５を覆
うＺカバー５１Ａ，５１Ｂを備え、これらがボルト５２
によってＺ軸構造体２５に固定されている。具体的に
は、図６に示すように、Ｚ軸構造体２５の上下部にブラ
ケット５３，５４が固定され、この上下のブラケット５
３，５４の間に２つのカバー取付板５５が対向して固定
され、この２つのカバー取付板５５に前記Ｚカバー５１
Ａ，５１Ｂが前記ボルト５２によって固定されている。
つまり、Ｚ軸移動機構の主要構造材であるＺ軸構造体２
５に、ブラケット５３，５４を介してカバー取付板５５
が固定されている。
動機構は、図５に示すように、前記Ｚ軸構造体２５を覆
うＺカバー５１Ａ，５１Ｂを備え、これらがボルト５２
によってＺ軸構造体２５に固定されている。具体的に
は、図６に示すように、Ｚ軸構造体２５の上下部にブラ
ケット５３，５４が固定され、この上下のブラケット５
３，５４の間に２つのカバー取付板５５が対向して固定
され、この２つのカバー取付板５５に前記Ｚカバー５１
Ａ，５１Ｂが前記ボルト５２によって固定されている。
つまり、Ｚ軸移動機構の主要構造材であるＺ軸構造体２
５に、ブラケット５３，５４を介してカバー取付板５５
が固定されている。
【００２７】ここで、Ｚ軸移動機構の主要構造材である
Ｚ軸構造体２５が熱伝導率の高いアルミニウムまたはア
ルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって形
成され、これにブラケット５３，５４を介して取り付け
られるカバー取付板５５がアルミニウムまたはアルミニ
ウムを主成分とするアルミニウム合金以外の材料によっ
て構成されている。この場合でも、熱伝導率の異なる材
料が互いに接合されているから、温度変化が生じたと
き、いずれかの部材に撓みが生じるという問題がある。
Ｚ軸構造体２５が熱伝導率の高いアルミニウムまたはア
ルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって形
成され、これにブラケット５３，５４を介して取り付け
られるカバー取付板５５がアルミニウムまたはアルミニ
ウムを主成分とするアルミニウム合金以外の材料によっ
て構成されている。この場合でも、熱伝導率の異なる材
料が互いに接合されているから、温度変化が生じたと
き、いずれかの部材に撓みが生じるという問題がある。
【００２８】そこで、本実施形態では、図７に示すよう
に、Ｚ軸構造体２５とカバー取付板５５との接合部、具
体的には、Ｚ軸構造体２５に取り付けられたブラケット
５３，５４とカバー取付板５５との接合部に、ゴムなど
の弾性部材５６が介在させてある。つまり、Ｚ軸構造体
２５に取り付けられたブラケット５３（５４）に孔５７
を形成し、この孔５７に弾性部材５６の一端径大部５６
Ａを保持させる。弾性部材５６の他端側には、径大部５
６Ｂと径小部５６Ｃとが形成されている。径大部５６Ｂ
を挟んで、径小部５６Ｃにカバー取付板５５に形成した
孔５８を嵌合させたのち、そのカバー取付板５５側から
ボルト５９を弾性部材５６に螺合することにより、Ｚ軸
構造体２５に取り付けられたブラケット５３とカバー取
付板５５とを中間に弾性部材５６を挟んで固定した構造
である。
に、Ｚ軸構造体２５とカバー取付板５５との接合部、具
体的には、Ｚ軸構造体２５に取り付けられたブラケット
５３，５４とカバー取付板５５との接合部に、ゴムなど
の弾性部材５６が介在させてある。つまり、Ｚ軸構造体
２５に取り付けられたブラケット５３（５４）に孔５７
を形成し、この孔５７に弾性部材５６の一端径大部５６
Ａを保持させる。弾性部材５６の他端側には、径大部５
６Ｂと径小部５６Ｃとが形成されている。径大部５６Ｂ
を挟んで、径小部５６Ｃにカバー取付板５５に形成した
孔５８を嵌合させたのち、そのカバー取付板５５側から
ボルト５９を弾性部材５６に螺合することにより、Ｚ軸
構造体２５に取り付けられたブラケット５３とカバー取
付板５５とを中間に弾性部材５６を挟んで固定した構造
である。
【００２９】このような構造では、温度変化によってＺ
軸構造体２５の伸縮量とカバー取付板５５の伸び量とに
違いが生じた場合でも、その違いを弾性部材５６の弾性
変形によって吸収することができるから、いずれかの部
材に撓みが生じるという問題を解消することができる。
この場合、図８に示すように、カバー取付板５５の腕の
部分５５Ａを長く形成して弾性変形しやくすしても、同
様な効果が期待できる。つまり、主要構造材に対して接
合される部材の一部に、剛性の弱い部分（弾性変形容易
な部分）を形成して弾性変形しやすくしても、同様な効
果が期待できる。
軸構造体２５の伸縮量とカバー取付板５５の伸び量とに
違いが生じた場合でも、その違いを弾性部材５６の弾性
変形によって吸収することができるから、いずれかの部
材に撓みが生じるという問題を解消することができる。
この場合、図８に示すように、カバー取付板５５の腕の
部分５５Ａを長く形成して弾性変形しやくすしても、同
様な効果が期待できる。つまり、主要構造材に対して接
合される部材の一部に、剛性の弱い部分（弾性変形容易
な部分）を形成して弾性変形しやすくしても、同様な効
果が期待できる。
【００３０】［ベースにおける温度対策］ベース１０
は、図９に示すように、上面にテーブル１１Ａ（図１参
照）を有する脚１１と、この脚１１の周囲を覆う脚カバ
ー１２とを備える。脚カバー１２は、図１０にも示すよ
うに、複数に分割されたカバー部材１２Ａ〜１２Ｈによ
って矩形枠状に形成されている。具体的には、前面カバ
ー部材１２Ａと、右前カバー部材１２Ｂと、左前カバー
部材１２Ｃと、右側面カバー部材１２Ｄと、左側面カバ
ー部材１２Ｅと、右後カバー部材１２Ｆと、左後カバー
部材１２Ｇと、後面カバー部材１２Ｈとから構成されて
いる。
は、図９に示すように、上面にテーブル１１Ａ（図１参
照）を有する脚１１と、この脚１１の周囲を覆う脚カバ
ー１２とを備える。脚カバー１２は、図１０にも示すよ
うに、複数に分割されたカバー部材１２Ａ〜１２Ｈによ
って矩形枠状に形成されている。具体的には、前面カバ
ー部材１２Ａと、右前カバー部材１２Ｂと、左前カバー
部材１２Ｃと、右側面カバー部材１２Ｄと、左側面カバ
ー部材１２Ｅと、右後カバー部材１２Ｆと、左後カバー
部材１２Ｇと、後面カバー部材１２Ｈとから構成されて
いる。
【００３１】これらのカバー部材１２Ａ〜１２Ｈのう
ち、前面カバー部材１２Ａおよび後面カバー部材１２Ｈ
は、パンチングメタル（多孔板）によって形成されてい
る。また、一側部には、前記コントローラ６０を収納す
る収納部１３が形成されているとともに、それらの周囲
壁には、空気を脚カバー１２内外へ流通させるための複
数のファン１４Ａ〜１４Ｇが所定間隔位置にそれぞれ設
けられている。従って、ファン１４Ａ〜１４Ｇが駆動す
ると、空気は、前面カバー部材１２Ａおよび後面カバー
部材１２Ｈの孔から脚カバー１２内へ吸入されたのち、
ファン１４Ａ〜１４Ｇを通じて脚カバー１２の外へ排気
されるため、ベース内の温度分布を均一にすることがで
きる。よって、温度変化時の幾何学精度を補償できる。
ち、前面カバー部材１２Ａおよび後面カバー部材１２Ｈ
は、パンチングメタル（多孔板）によって形成されてい
る。また、一側部には、前記コントローラ６０を収納す
る収納部１３が形成されているとともに、それらの周囲
壁には、空気を脚カバー１２内外へ流通させるための複
数のファン１４Ａ〜１４Ｇが所定間隔位置にそれぞれ設
けられている。従って、ファン１４Ａ〜１４Ｇが駆動す
ると、空気は、前面カバー部材１２Ａおよび後面カバー
部材１２Ｈの孔から脚カバー１２内へ吸入されたのち、
ファン１４Ａ〜１４Ｇを通じて脚カバー１２の外へ排気
されるため、ベース内の温度分布を均一にすることがで
きる。よって、温度変化時の幾何学精度を補償できる。
【００３２】［コントローラにおける温度対策］コント
ローラ６０は、図１１および図１２に示すように、キャ
スタ６１を有するラック６２内に収納されている。ラッ
ク６２の外側は断熱カバー６３によって覆われている。
断熱カバー６３は、ラック６２の前面および底面を除く
全ての面を覆う主カバー６４と、ラック６２の前面を覆
う補助カバー６５とから構成されている。断熱カバー６
３の側面には、カバー６３内の熱を外部へ排出するファ
ン６６が設けられている従って、コントローラ６０から
の熱は、断熱カバー６３によって遮断され、かつ、ファ
ン６６によって外部へ排出されるから、この熱による悪
影響を極力抑えることができ、この点からも温度変化時
の幾何学精度を補償できる。
ローラ６０は、図１１および図１２に示すように、キャ
スタ６１を有するラック６２内に収納されている。ラッ
ク６２の外側は断熱カバー６３によって覆われている。
断熱カバー６３は、ラック６２の前面および底面を除く
全ての面を覆う主カバー６４と、ラック６２の前面を覆
う補助カバー６５とから構成されている。断熱カバー６
３の側面には、カバー６３内の熱を外部へ排出するファ
ン６６が設けられている従って、コントローラ６０から
の熱は、断熱カバー６３によって遮断され、かつ、ファ
ン６６によって外部へ排出されるから、この熱による悪
影響を極力抑えることができ、この点からも温度変化時
の幾何学精度を補償できる。
【００３３】なお、上記実施形態では、三次元測定機に
ついて説明したが、これに限らず、ベース１０に対して
タッチ信号プローブＰが移動自在であれば、二次元測定
機などでもよい。また、測定子としては、タッチ信号プ
ローブＰに限らす、非接触式のプローブでもよい。
ついて説明したが、これに限らず、ベース１０に対して
タッチ信号プローブＰが移動自在であれば、二次元測定
機などでもよい。また、測定子としては、タッチ信号プ
ローブＰに限らす、非接触式のプローブでもよい。
【００３４】
【発明の効果】本発明の測定装置によれば、移動機構の
主要構造材を熱伝導率の高いアルミニウムまたはアルミ
ニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成し
たので、温度変化時の温度追従性を向上させることがで
き、その結果、移動機構の主要構造材の温度分布を均一
化させることができる。よって、温度変化時の幾何学精
度を補償できる。また、移動機構の主要構造材に対して
接合される部材がアルミニウムまたはアルミニウムを主
成分とするアルミニウム合金以外の材料によって構成し
た場合でも、この両者の接合部に弾性部材を介在させた
り、あるいは、弾性変形容易な箇所を形成したので、主
要構造材とそれに接合される部材とを熱伝導率の異なる
材料によって構成した場合による不具合を解消すること
ができる。
主要構造材を熱伝導率の高いアルミニウムまたはアルミ
ニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成し
たので、温度変化時の温度追従性を向上させることがで
き、その結果、移動機構の主要構造材の温度分布を均一
化させることができる。よって、温度変化時の幾何学精
度を補償できる。また、移動機構の主要構造材に対して
接合される部材がアルミニウムまたはアルミニウムを主
成分とするアルミニウム合金以外の材料によって構成し
た場合でも、この両者の接合部に弾性部材を介在させた
り、あるいは、弾性変形容易な箇所を形成したので、主
要構造材とそれに接合される部材とを熱伝導率の異なる
材料によって構成した場合による不具合を解消すること
ができる。
【００３５】また、本発明の測定装置によれば、ベース
の周囲をカバーによって覆うとともに、ファンを設けた
ので、ファンによってベース内の温度分布を均一にする
ことができる。また、本発明の測定装置によれば、コン
トローラを覆う断熱カバーを設けるとともに、コントロ
ーラからの排熱をコントローラの外部へ排出するファン
を設けたので、コントローラからの熱は、ファンによっ
て外部へ排出されるから、この熱による悪影響を極力抑
えることができ、この点からも温度変化時の幾何学精度
を補償できる。
の周囲をカバーによって覆うとともに、ファンを設けた
ので、ファンによってベース内の温度分布を均一にする
ことができる。また、本発明の測定装置によれば、コン
トローラを覆う断熱カバーを設けるとともに、コントロ
ーラからの排熱をコントローラの外部へ排出するファン
を設けたので、コントローラからの熱は、ファンによっ
て外部へ排出されるから、この熱による悪影響を極力抑
えることができ、この点からも温度変化時の幾何学精度
を補償できる。
【図１】本発明の一実施形態に係る三次元測定機を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】同上実施形態におけるＹ軸移動機構の駆動系を
示す図である。
示す図である。
【図３】図２に示すＹ軸移動機構の駆動系におけるボー
ルねじ軸の一端を支持する支持機構を示す断面図であ
る。
ルねじ軸の一端を支持する支持機構を示す断面図であ
る。
【図４】図２に示すボールねじ軸の一端を支持する支持
機構の他の例を示す断面図である。
機構の他の例を示す断面図である。
【図５】同上実施形態における移動機構の一部を示す斜
視図である。
視図である。
【図６】図５の内部構造を示す斜視図である。
【図７】図６の部分断面図である。
【図８】図６の異なる例を示す図である。
【図９】同上実施形態におけるベースの断面図である。
【図１０】図９に示す脚カバーを示す斜視図である。
【図１１】同上実施形態におけるコントローラの斜視図
である。
である。
【図１２】同上実施形態におけるコントローラの分解斜
視図である。
視図である。
１０ ベース １２ 脚カバー １４Ａ〜１４Ｆ ファン ２０ 移動機構 ２１ コラム（主要構造材） ２２ サポータ（主要構造材） ２３ Ｘビーム ２４ スライダ ２５ Ｚ軸構造体 ２６ Ｚ軸スピンドル ３１ ガイド部材 ３２ スライダ ３３ 軸受 ３４ スラスト軸受 ３５ ボールねじ軸（送りねじ軸） ３７ ナット部材 ５５ カバー取付板 ５６ 弾性部材 ６０ コントローラ ６３ 断熱カバー ６６ ファン Ｐ タッチ信号プローブ（測定子）
Claims (7)
- 【請求項１】 ベースと、測定子と、前記ベースおよび
測定子を相対移動させる移動機構とを備えた測定装置に
おいて、 前記移動機構の主要構造材をアルミニウムまたはアルミ
ニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成し
たことを特徴とする測定装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の測定装置において、 前記移動機構は、前記測定子を直線的に移動させる第１
軸移動機構と、前記測定子を前記第１軸移動機構の移動
方向に対して直交する方向へ移動させる第２軸移動機構
と、前記測定子を前記第１および第２軸移動機構の移動
方向に対して直交する方向へ移動させる第３軸移動機構
とを含むことを特徴とする測定装置。 - 【請求項３】 請求項２に記載の測定装置において、 前記第１、第２および第３軸移動機構のうちの少なくと
も１つの軸移動機構は、移動方向に沿って固定されたガ
イド部材と、このガイド部材に移動自在に設けられたス
ライダと、前記ガイド部材にスライダの移動方向に沿っ
て配置されかつ両端がガイド部材に固定された送りねじ
軸と、この送りねじ軸に螺合され送りねじ軸の回転によ
ってスライダを送りねじ軸の長手方向へ移動させるナッ
ト部材とを備え、 前記ガイド部材は、アルミニウムまたはアルミニウムを
主成分とするアルミニウム合金によって形成されるとと
もに、 前記送りねじ軸は、鉄によって形成され、かつ、少なく
とも一端部が軸方向へスライド可能に支持されているこ
とを特徴とする測定装置。 - 【請求項４】 請求項１に記載の測定装置において、 前記移動機構の主要構造材に対して接合される部材がア
ルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニ
ウム合金以外の材料によって構成され、この両者の接合
部には弾性部材が介在されていることを特徴とする測定
装置。 - 【請求項５】 請求項１に記載の測定装置において、 前記移動機構の主要構造材に対して接合される部材がア
ルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニ
ウム合金以外の材料によって構成され、かつ、一部に弾
性変形容易な部分を備えていることを特徴とする測定装
置。 - 【請求項６】 ベースと、測定子と、前記ベースおよび
測定子を相対移動させる移動機構とを備えた測定装置に
おいて、 前記ベースは、周囲がカバーによって覆われているとと
もに、空気をそのカバー内外へ流通させるファンを備え
ていることを特徴とする測定装置。 - 【請求項７】 ベースと、測定子と、この測定子を前記
ベースに対して移動させる移動機構と、この移動機構の
移動動作を制御するコントローラとを備えた測定装置に
おいて、 前記コントローラを覆う断熱カバーが設けられ、かつ、
コントローラからの排熱をコントローラの外部へ排出す
るファンを備えていることを特徴とする測定装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19732798A JP3633788B2 (ja) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | 測定装置 |
| US09/348,286 US6370787B1 (en) | 1998-07-13 | 1999-07-07 | Measuring machine |
| DE19932446A DE19932446B4 (de) | 1998-07-13 | 1999-07-12 | Messvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19732798A JP3633788B2 (ja) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | 測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000028303A true JP2000028303A (ja) | 2000-01-28 |
| JP3633788B2 JP3633788B2 (ja) | 2005-03-30 |
Family
ID=16372630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19732798A Expired - Fee Related JP3633788B2 (ja) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | 測定装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6370787B1 (ja) |
| JP (1) | JP3633788B2 (ja) |
| DE (1) | DE19932446B4 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2006308296A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Kuroda Precision Ind Ltd | 測定部支持機構およびそれを備えた薄板の表面形状測定装置 |
| JP2010107281A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機の昇降装置 |
| CN103743341A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-04-23 | 江苏申模数字化制造技术有限公司 | 非接触式三坐标测量仪精度检测装置 |
| CN112815901A (zh) * | 2014-12-19 | 2021-05-18 | 赫克斯冈技术中心 | 坐标测量机、探测系统以及补偿探针元件处的力的方法 |
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| WO2002090878A1 (en) * | 2001-05-10 | 2002-11-14 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Precision measuring apparatus provided with a metrology frame with a thermal shield consisting of at least two layers |
| US6860025B1 (en) | 2002-12-30 | 2005-03-01 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Measurement of container wall thickness |
| JP3987811B2 (ja) * | 2003-03-20 | 2007-10-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Ｘｙステージ、ヘッドキャリッジおよび磁気ヘッドあるいは磁気ディスクのテスタ |
| SE527421C2 (sv) * | 2004-04-27 | 2006-02-28 | Hexagon Metrology Ab | Koordinatmätmaskin som är sammansatt av var för sig kalibrerade enheter |
| DE602007009188D1 (de) * | 2007-03-26 | 2010-10-28 | Hexagon Metrology Ab | Verfahren zur Verwendung eines mehrachsigen Positionierungs- und Messsystems |
| ITBO20070451A1 (it) | 2007-06-29 | 2008-12-30 | Jobs Spa | Dispositivo di verifica delle dimensioni di svasature. |
| US7587834B2 (en) * | 2008-02-07 | 2009-09-15 | Eaton Homer L | Motorized coordinate measuring device |
| US8082673B2 (en) | 2009-11-06 | 2011-12-27 | Hexagon Metrology Ab | Systems and methods for control and calibration of a CMM |
| USD643319S1 (en) | 2010-03-29 | 2011-08-16 | Hexagon Metrology Ab | Portable coordinate measurement machine |
| JP5816475B2 (ja) * | 2010-08-02 | 2015-11-18 | 株式会社ミツトヨ | 産業機械 |
| EP2820376B1 (en) | 2012-03-02 | 2022-02-16 | Hexagon Metrology, Inc | Coordinate measuring machine with support beam having springs |
| US9069355B2 (en) | 2012-06-08 | 2015-06-30 | Hexagon Technology Center Gmbh | System and method for a wireless feature pack |
| DE102013210821A1 (de) | 2013-06-10 | 2014-12-11 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät |
| CN104330005A (zh) * | 2014-10-28 | 2015-02-04 | 重庆佳速汽车零部件有限公司 | 换挡杆的杆体端部位置检具 |
| EP3239649B1 (en) * | 2015-01-30 | 2019-04-17 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
| CN107768558A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-06 | 惠州市天翔昌运电子有限公司 | 铝合金电池盖高度加工工艺及铝合金电池盖 |
| JP2019158706A (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置のベース |
| CN111141832A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-05-12 | 北京机电工程研究所 | 基于主动风冷的耐高温声发射传感器 |
Family Cites Families (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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