JP2000021640A

JP2000021640A - ノイズフィルタ及びその製造方法

Info

Publication number: JP2000021640A
Application number: JP10182442A
Authority: JP
Inventors: Osamu Kanda; 修神田
Original assignee: Sumitomo Metal Industries Ltd
Current assignee: Nippon Steel Corp
Priority date: 1998-06-29
Filing date: 1998-06-29
Publication date: 2000-01-21

Abstract

(57)【要約】【課題】挿入損失の周波数応答が急峻であり、ノイズ
減衰帯域幅が広く、またシート剥離、クラック、成分相
互拡散が発生しにくい積層ＬＣ複合型ノイズフィルタ及
びその製造方法を提供する。【解決手段】熱収縮率が等価であり、クラックの発生
及び成分の結晶系外への析出が少ない磁性体層であるイ
ンダクタ層１４と、ダミー層１４ａとによって、クラッ
クの発生及び成分の結晶系外への析出が起こりやすい誘
電体層であるコンデンサ層１５を上下から挟むような形
態で積層し、また、コンデンサ層における２つのコンデ
ンサ成分を容量の異なる３つのコンデンサ素子Ｃｘ，Ｃ
ｙ，Ｃｚの並列接続によって構成することにより、π型
ノイズフィルタを構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はノイズフィルタ及び
その製造方法に関し、特に、電子機器を高周波域でのノ
イズから保護するに足るノイズ減衰帯域幅を備え、また
周波数に対し急峻な応答性を備える積層ＬＣ複合型ノイ
ズフィルタ及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】携帯電話、ノート型パーソナルコンピュ
ータ等に代表されるモバイル型通信端末機器及び小型Ｏ
Ａ機器の電子部品の処理の高速化、これらが扱う電気信
号の高周波化に伴って、機器の内外で発生する電磁波ノ
イズが問題とされている。電磁波ノイズが発生した場合
には、装置、機器類が正常に動作しなくなるばかりでな
く、電磁波ノイズが大電流、または高電圧に及ぶ場合は
破壊に至るときもある。

【０００３】電磁波ノイズの抑制策としては、ノイズ発
生源を金属ケース等でシールドする方法、又は逆にノイ
ズを受けやすい装置、機器類をシールドする方法等が採
用されている。しかし、一般にノイズ発生源を個別に特
定することは現在の評価技術では困難であり、近年さら
に増加が予想されるノイズ発生頻度とノイズ周波数帯域
の拡大を考慮すればシールドによる保護策はその効果に
限度がある。

【０００４】そこで電磁波ノイズ対策として注目されて
いるものにノイズフィルタ、またはＥＭＩ（Ｅｌｅｃｔ
ｒｏ−ＭａｇｎｅｔｉｃＩｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ）
フィルタと称されるノイズ対策用電子部品がある。これ
らはノイズ発生源側、またはノイズを受けやすい装置及
び機器側に実装され、発生したノイズを熱的エネルギー
に変換し、またはグランド端子を介してノイズ発生源側
に環流することにより被ノイズ保護機器側への侵入を阻
止し、または低減させる機能を持っている。

【０００５】最も簡便なノイズフィルタとしては、ノイ
ズを受けやすい装置及び機器に対し直列実装されるイン
ダクタ成分と、並列実装されるコンデンサ成分とが知ら
れている。これらはいずれも２端子構造を有しており、
高周波帯域でのノイズ減衰性が十分でなく、ノイズフィ
ルタとしての機能に限度がある。これらに対し、入出力
端子以外にグランド端子を備え、ノイズをグランド端子
を介して発生源側に環流する３端子型構造のノイズフィ
ルタがある。

【０００６】従来の汎用３端子ノイズフィルタとして
は、３端子型コンデンサがあるが、素子等価回路を構成
する回路定数がコンデンサ成分（Ｃ成分）のみであるた
め、ノイズ周波数に対する急峻な応答性に欠け、前記し
た高周波帯域での使用にはやはり限度があった。高周波
帯域で機器を保護するに十分なノイズ減衰性を示し、し
かも急峻な周波数応答性をもつノイズフィルタとして、
３端子型の複合回路部品がある。この構成は、通常コン
デンサ成分とインダクタ成分（Ｌ成分）との組合せによ
り素子等価回路が構成される。

【０００７】このようなＬＣ複合化を行なうことにより
共振周波数域における減衰曲線が急峻になり、ノイズフ
ィルタとしての有効性が増し、また任意にＬ／Ｃ回路定
数を組み合わせることで、共振周波数域の制御が可能と
なるため、周波数仕様を自由に選択できる等の利点もあ
る。

【０００８】一方、ノイズフィルタとしての３端子型の
複合回路部品も他の電子部品と同様に小型平面実装対応
が要求されており、汎用品の多くは既にチップ化が進ん
でいる。具体的にはインダクタ１成分とコンデンサ１成
分とを組み合わせたＬ型ノイズフィルタ、インダクタ１
成分とコンデンサ２成分とを組み合わせたπ型ノイズフ
ィルタ、インダクタ２成分とコンデンサ１成分とを組み
合わせたＴ型ノイズフィルタ等がある。

【０００９】図６は特開平５−３３５１４８号公報開示
のπ型のノイズフィルタの厚み方向の寸法比率を拡大し
た斜視図である。図において１２は四角板状の積層体で
ある。積層ＬＣ複合型ノイズフィルタは、該積層体１２
の長手方向の両端部を覆うように外部電極１３ａ，１３
ｂが設けられ、両側面の長手方向中央の全高さに亘り、
上面及び底面の両側縁の中央に至る領域に外部電極１３
ｃ，１３ｄが設けられた構造となっている。積層体１２
は磁性体セラミックスよりなるインダクタ層１４と、該
インダクタ層１４に積層された誘電体セラミックスより
なるコンデンサ層１５とが一体化された構造となってい
る。

【００１０】図７はこのノイズフィルタの縦断面図、図
８はこのノイズフィルタに用いられるグリーンシート及
びその上に形成される電極形状を説明するための分解斜
視図である。前記インダクタ層１４は磁性体セラミック
スによる磁性体グリーンシート１７ａ〜１７ｈが積層さ
れて構成されている。またインダクタ層１４内には導体
１６によって積層コイルが構成されている。該積層コイ
ルは磁性体グリーンシート１７ｃ〜１７ｆ上それぞれに
コイル導体１９ａ〜１９ｄが導電ペーストを印刷するこ
とで形成され、スルーホールによって隣り合った層上の
コイル導体同士が電気的に接続されることによって２タ
ーンのコイルとして実現されている。また、該積層コイ
ルの両端はそれぞれ外部電極１３ａ，１３ｂと電気的に
接続されている。

【００１１】一方、前記コンデンサ層１５は誘電体セラ
ミックスによる誘電体グリーンシート１８ａ〜１８ｄが
積層されて構成されている。またコンデンサ層１５内に
は内部電極２１，２２が厚み方向において誘電体セラミ
ックス層を介し、隔てて配置されている。該内部電極２
１，２２は誘電体グリーンシート１８ｂ，１８ｃ上それ
ぞれに導電ペーストを印刷することで、誘電体グリーン
シート１８ｂ，１８ｃの両側縁に至るように形成されて
いる。このため内部電極２１，２２は積層体１２の側面
の中央領域に露出されており、前記外部電極１３ｃ，１
３ｄに電気的に接続されている。

【００１２】図９はπ型のＬＣ複合型ノイズフィルタの
等価回路図である。コンデンサ層１５では、前記内部電
極２１，２２の端縁と外部電極１３ａ，１３ｂとの間で
コンデンサ素子が構成されており、この積層ＬＣ複合型
ノイズフィルタではπ型の回路が構成されている。

【００１３】図１０は従来のノイズフィルタの挿入損失
周波数特性を示す片対数グラフである。グラフの縦軸は
挿入損失（ｄＢ）を示し、横軸（対数軸）は周波数（Ｍ
Ｈｚ）を示している。図において、Ａ０はこのノイズフ
ィルタのノイズ減衰曲線である。挿入損失は、挿入損失
が−３ｄＢであるカットオフ周波数ｆｃを通過後、周波
数増加に伴って増加し続け、ＬＣ複合回路成分による共
振周波数ｆｒをピークに減少に転じ、最終的に０ｄＢに
至る。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】上述の如き従来のノイ
ズフィルタでは、共振周波数が一つしかなく、ノイズ減
衰帯域幅が広い特性を得ることが難しかった。このた
め、ノイズ減衰帯域幅を広くすることが課題となってい
た。

【００１５】また、低温焼結を行なうためには、通常、
積層母材にガラスフリットを多く含ませるように組成制
御を行なうことが多い。しかし、このことは焼結に伴う
反り、クラックを発生させやすいという危険性を有して
いる。反りは積層界面におけるシート剥離を引き起こ
し、またクラックの発生は素子の機械的強度及び耐候性
を著しく損なうこととなる。また、焼結途上においてガ
ラスフリットが大気中の酸素を取込み、液相酸化物とな
って結晶系外に析出することによって、異種材間の成分
相互拡散を発生させやすいという危険性も有している。
特に、誘電体の方が磁性体よりもガラスフリットを多く
含ませることが多く、このような傾向を示しやすい。

【００１６】この様な理由によって、従来の磁性体及び
誘電体による２層構造のノイズフィルタでは、反り、ク
ラックの影響を受けやすく、また磁性体、誘電体ともに
大気に触れている面積が大きく、異種材間の成分相互拡
散を発生させやすい問題があった。

【００１７】本発明は斯かる事情に鑑みてなされたもの
であり、コンデンサ層の２つのコンデンサ成分それぞれ
を異なる容量の複数のコンデンサ素子の並列接続によっ
て構成することによって、ノイズ減衰周波数帯域が広い
ノイズフィルタを提供することを目的とする。

【００１８】また、本発明の他の目的は、コンデンサ層
をインダクタ層及びダミー層によって上下から挟む形態
で積層することによって、シート剥離、クラック、及び
異種材間の成分相互拡散が発生しにくいノイズフィルタ
及びその製造方法を提供することである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】第１発明に係るノイズフ
ィルタは、１つのインダクタ成分を備えるインダクタ層
と、２つのコンデンサ成分を備えるコンデンサ層と、入
出力端子及びグランド端子とを備え、前記１つのインダ
クタ成分と、前記２つのコンデンサ成分と、前記入出力
端子及びグランド端子とがπ型構造となるように電気的
に接続されている積層３端子型のノイズフィルタにおい
て、前記２つのコンデンサ成分それぞれが異なる容量値
の複数のコンデンサ素子の並列接続によって構成されて
いることを特徴とする。

【００２０】複数のコンデンサ素子の並列接続によっ
て、コンデンサ成分が構成されている場合、インダクタ
要素、及びコンデンサ要素を構成する導体が理想導体で
ない限りは、導体に高周波帯における表皮抵抗が存在
し、更には浮遊インダクタンスＬｓ、及び浮遊容量Ｃｓ
が発生するため、複数のコンデンサ素子が合成されたコ
ンデンサ成分による共振周波数だけでなく、複数のコン
デンサ素子それぞれによる共振周波数も存在している。
このため、このようなノイズフィルタのノイズ減衰曲線
は、それぞれのコンデンサ素子及びコンデンサ成分によ
るノイズ減衰曲線全てが合成された状態となっている。

【００２１】第１発明に係るノイズフィルタによれば、
２つのコンデンサ成分それぞれが異なる容量値の複数の
コンデンサ素子の並列接続によって構成されているた
め、そのノイズ減衰曲線は共振周波数が異なる複数のノ
イズ減衰曲線が合成された状態となっており、従来のπ
型素子に比べノイズ減衰帯域幅を広くすることが可能と
なる。

【００２２】第２発明に係るノイズフィルタは、２つの
コンデンサ成分は共に異なる容量値Ｃｘ、Ｃｙ、及びＣ
ｚの３つのコンデンサ素子の並列接続によって構成され
ており、３．０≦Ｃｘ／Ｃｙ≦３．５及び、１１．０≦
Ｃｘ／Ｃｚ≦１３．０を満たしていることを特徴とす
る。

【００２３】異なる共振周波数のそれぞれの減衰曲線
は、それぞれの共振周波数でピークを持つ略Ｖ字型の曲
線である。このため、それぞれの共振周波数が離れてい
る場合、隣り合う共振周波数の減衰曲線のお互いの交点
におけるノイズ減衰量が小さくなる。容量値Ｃｘ，Ｃｙ
及びＣｚを前述の範囲以外とした場合は、それぞれの共
振周波数が離れるため、Ｃｘ，Ｃy及びＣｚそれぞれに
よる減衰曲線と他の減衰曲線との交点におけるノイズ減
衰量が小さく、良好なノイズ減衰効果が得られる−２０
ｄＢ以下を維持できなかった。

【００２４】第２発明に係るノイズフィルタによれば、
個々の共振周波数が適度に近接するため、隣り合う減衰
曲線同士の交点におけるノイズ減衰量が−２０ｄＢ以下
を保ち、常に比較的大きなノイズ減衰量を得ることが可
能となる。

【００２５】第３発明に係るノイズフィルタは、コンデ
ンサ層が磁性体層であるインダクタ層及びダミー層によ
って挟着されていることを特徴とする。

【００２６】第３発明に係るノイズフィルタによれば、
通常、ガラスフリットを多く含んだ材質によって作製さ
れる誘電体層が、ガラスフリットを多く含んでいない材
質によって作製される２つの磁性体層によって上下から
挟まれた状態で積層されており、誘電体層と大気との接
触面積を従来に比べ大幅に減少することができるため、
誘電体層から磁性体層、または導体への成分拡散を未然
に防ぐことが可能となり、また、クラックが発生した場
合に、クラック発生面を被覆するため、従来に比べ素子
の機械的強度の補償、及び耐候性の補償を実現すること
が可能となる。

【００２７】第４発明に係るノイズフィルタは、インダ
クタ層及びダミー層が等しい層数を有し、互いに反りを
相殺する向きに積層されていることを特徴とする。

【００２８】第４発明に係るノイズフィルタによれば、
２つの磁性体層は等しい層数とすることによって、これ
らの熱収縮率は等価となっている。ドクターブレード法
によって作製したセラミックスシートは、通常、シート
成形媒体であるキャリアテープ（ＰＥＴ製）の接触面を
基準に凸または凹のいずれかに反る特性を有する。した
がって、２つの磁性体層が互いに反りを相殺する向きに
積層されることにより、素子の反りを抑制することが可
能となる。

【００２９】第５発明に係るノイズフィルタの製造方法
は、磁性体グリーンシート及び誘電体グリーンシートそ
れぞれに、インダクタ要素及びコンデンサ要素の導電体
による電極パターンを形成し、該電極パターンを形成し
たグリーンシートの所定の位置にスルーホールを設けて
導電体を充填し、磁性体グリーンシートの層と誘電体グ
リーンシートの層とを圧着積層するノイズフィルタの製
造方法において、誘電体グリーンシートの層を層数が等
しい２つの磁性体グリーンシートの層によって上下から
挟む形態で圧着積層することを特徴とする。

【００３０】第５発明に係る積層ＬＣ複合型ノイズフィ
ルタの製造方法によれば、通常、ガラスフリットを多く
含む誘電体グリーンシートの層を、ガラスフリットを多
く含んでおらず、また熱収縮率が等しい２つの磁性体グ
リーンシートの層によって上下から挟む形態で圧着積層
するため、シート剥離、クラック、及び異種材間の成分
相互拡散が発生しにくい積層ＬＣ複合型ノイズフィルタ
を製造することが可能となる。

【００３１】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係る積層ＬＣ複合
型ノイズフィルタの実施の形態の要部の構成を示す、厚
み方向の寸法比率を拡大した斜視図である。図において
１２は四角板状の積層体である。積層ＬＣ複合型ノイズ
フィルタは、該積層体１２の長手方向の両端部を覆うよ
うに外部電極１３ａ，１３ｂが設けられ、両側面の長手
方向中央の全高さに亘り、上面及び底面の両側縁の中央
に至る領域に外部電極１３ｃ，１３ｄが設けられた構造
となっている。積層体１２は磁性体ソフトフェライトよ
りなるインダクタ層１４と、誘電体セラミックスよりな
るコンデンサ層１５と、磁性体ソフトフェライトよりな
るダミー層１４ａとが、この順で一体化された構造とな
っている。

【００３２】図２はこの積層ＬＣ複合型ノイズフィルタ
の縦断面図、図３はこの積層ＬＣ複合型ノイズフィルタ
に用いられるグリーンシート及びその上に形成される電
極形状を説明するための分解斜視図である。前記インダ
クタ層１４は磁性体ソフトフェライトを用いてなる磁性
体グリーンシート１７ａ〜１７ｇが積層されて構成され
ている。またインダクタ層１４内には導体１６によって
積層コイルＬが構成されている。該積層コイルＬは磁性
体グリーンシート１７ｂ〜１７ｆ上それぞれにコイル導
体１９ａ〜１９ｅが導電ペーストを印刷することで形成
され、スルーホール２０ａ〜２０ｄによって隣り合った
層上のコイル導体同士が電気的に接続されることによっ
て３ターンのコイルとして実現されている。また、該積
層コイルＬの両端はそれぞれ外部電極１３ａ，１３ｂと
電気的に接続されている。

【００３３】一方、前記コンデンサ層１５は誘電体セラ
ミックスによる誘電体グリーンシート１８ａ〜１８ｇ及
び磁性体グリーンシート１７ｈ，１７ｉが積層されて構
成されている。またコンデンサ層１５内には内部電極２
１ａ，２１ｂ，２１ｃと、内部電極２１ｄ，２１ｅ，２
１ｆと、内部電極２１ｇ，２１ｈ，２１ｉとによって３
つのコンデンサ部が構成されている。内部電極２１ａ，
２１ｂ，２１ｃによるコンデンサ部と、内部電極２１
ｄ，２１ｅ，２１ｆによるコンデンサ部とは１枚の無地
の磁性体グリーンシート１７ｈを挟み、隔てることによ
って区切られており、同様にして内部電極２１ｄ，２１
ｅ，２１ｆによるコンデンサ部と、内部電極２１ｇ，２
１ｈ，２１ｉによるコンデンサ部とが磁性体グリーンシ
ート１７ｉによって区切られている。

【００３４】各コンデンサ部はいずれも２つのコンデン
サ素子から構成されている。内部電極２１ａ，２１ｂ，
２１ｃによるコンデンサ部では、誘電体グリーンシート
１８ａ上に平面視略ト字型の内部電極２１ａが設けられ
ている。該内部電極２１ａは外部電極１３ａ側の端縁に
全幅に亘って接していることにより、外部電極１３ａと
電気的に接続している。また外部電極１３ｂ側の端縁及
び両側縁とは一定の幅の平面視コ字型の空間を隔ててい
るため、外部電極１３ｂ，１３ｃ，１３ｄとは接続され
ていない。内部電極２１ｂは誘電体グリーンシート１８
ｂ上に平面視略十字型で設けられており、誘電体グリー
ンシート１８ｂの両側縁に接していることにより、外部
電極１３ｃ，１３ｄと電気的に接続している。また、両
端縁にはそれぞれ幅が一定の平面視コ字型と平面視逆コ
字型の空間が設けられているため、外部電極１３ａ，１
３ｂとは接続されていない。そして、内部電極２１ｃは
誘電体グリーンシート１８ｃ上に、内部電極２１ａの反
対の形状で設けられており、外部電極１３ｂと電気的に
接続している。この順で誘電体グリーンシート１８ａ〜
１８ｃが積層されることにより、内部電極２１ａ，２１
ｂ及び内部電極２１ｂ，２１ｃによってそれぞれ２つの
コンデンサ素子が構成され、内部電極２１ａ，２１ｂの
対向面積と内部電極２１ｂ，２１ｃの対向面積とが等し
くされていることによって、これらは容量値が等しいコ
ンデンサ素子Ｃｘ，Ｃｘとなされている。

【００３５】また、内部電極２１ｄ，２１ｅ，２１ｆに
よるコンデンサ部では、誘電体グリーンシート１８ｄ上
に内部電極２１ｄと内部電極２１ｅとがそれぞれ対向す
る平面視ト字型と平面視逆ト字型との形状で、間に平面
視エ字型の空間を隔てた状態で設けられている。内部電
極２１ｄ，２１ｅはそれぞれ外部電極１３ａ，１３ｂ側
の端縁と接することで外部電極１３ａ，１３ｂと電気的
に接続している。そして、誘電体グリーンシート１８ｅ
上に内部電極２１ｆが誘電体グリーンシート１８ｂに対
する内部電極２１ｂと同様な形態で設けられている。こ
のことによって内部電極２１ｆは外部電極１３ｃ，１３
ｄと電気的に接続している。この順で誘電体グリーンシ
ート１８ｄ，１８ｅが積層されることにより、内部電極
２１ｄ，２１ｆ及び内部電極２１ｅ，２１ｆによってそ
れぞれ２つのコンデンサ素子が構成され、内部電極２１
ｄ，２１ｆの対向面積と内部電極２１ｅ，２１ｆの対向
面積を等しくすることで容量値が等しいコンデンサ素子
Ｃｙ，Ｃｙとなされている。

【００３６】また、内部電極２１ｇ，２１ｈ，２１ｉに
よるコンデンサ部では、誘電体グリーンシート１８ｆ上
に内部電極２１ｇと内部電極２１ｈとがそれぞれ対向す
る平面視ト字型と平面視逆ト字型との形状で、間に平面
視エ字型の空間を隔てて、また前記内部電極２１ｄ，２
１ｅと同様な形態で設けられている。内部電極２１ｇ，
２１ｈはそれぞれ外部電極１３ａ，１３ｂ側の端縁と接
することで外部電極１３ａ，１３ｂと電気的に接続して
いる。そして、誘電体グリーンシート１８ｇ上の長手方
向中央に、平面視Ｉ字型である内部電極２１ｉが設けら
れている。内部電極２１ｉは誘電体グリーンシート１８
ｇの両側縁に接しており、このことによって外部電極１
３ｃ，１３ｄと電気的に接続している。この順で誘電体
グリーンシート１８ｆ，１８ｇが積層されることによ
り、内部電極２１ｇ，２１ｉ及び内部電極２１ｈ，２１
ｉによってそれぞれ２つのコンデンサ素子が構成され、
内部電極２１ｇ，２１ｉと内部電極２１ｈ，２１ｉの位
置関係を等しくすることで容量値が等しいコンデンサ素
子Ｃｚ，Ｃｚとなされている。

【００３７】また、それぞれの内部電極の対向面積を調
節することによって、前記コンデンサ素子Ｃｘ、Ｃｙ、
及びＣｚは次の条件、Ｃｘ＞Ｃｙ＞Ｃｚ及び、３．０≦Ｃｘ／Ｃｙ≦ ３．５及び、１１．０≦Ｃｘ／Ｃｚ≦１３．０を満たすようにしてある。

【００３８】外部電極１３ａ側の３つのコンデンサ素子
Ｃｘ，Ｃｙ，Ｃｚは入出力端子である外部電極１３ａ
と、グランド端子である１３ｃ，１３ｄとの間で並列接
続されているため、１つのコンデンサ成分Ｃとみなすこ
とができ、コンデンサ成分Ｃの容量値は次式で与えられ
る。Ｃ＝Ｃｘ＋Ｃｙ＋Ｃｚ

【００３９】また、同様にして外部電極１３ｂ側の３つ
のコンデンサ素子Ｃｘ，Ｃｙ，Ｃｚも、１つのコンデン
サ成分Ｃとみなすことができる。

【００４０】図４はπ型の積層ＬＣ複合型ノイズフィル
タの等価回路図である。この積層ＬＣ複合型ノイズフィ
ルタでは、前記２つのコンデンサ成分Ｃ，Ｃによってπ
型の等価回路が構成されている。

【００４１】図５はこの積層ＬＣ複合型ノイズフィルタ
の挿入損失周波数特性を示す片対数グラフである。グラ
フにおける縦軸は挿入損失（ｄＢ）を示し、横軸（対数
軸）は周波数（ＭＨｚ）を示している。図において、Ａ
は実測曲線である。実測曲線Ａによれば、この積層ＬＣ
複合型ノイズフィルタでは、周波数２０ＭＨｚ付近まで
挿入損失がなく、２０ＭＨｚを越えた辺りから挿入損失
が増加しはじめる。通過帯域と減衰帯域との境界であ
り、挿入損失が−３ｄＢに至る周波数ポイントであるカ
ットオフ周波数ｆｃは、３０ＭＨｚ付近である。カット
オフ周波数ｆｃを通過後、周波数増加に伴って挿入損失
は増加し続け、６５ＭＨｚ付近で−５０ｄＢに至る。こ
の辺りから挿入損失にほとんど変化がなくなり、周波数
１０００ＭＨｚ付近までほぼ一定である。周波数１００
０ＭＨｚを越えた辺りで挿入損失は減少に転じる。

【００４２】積層コイルＬとコンデンサ素子Ｃｘ，Ｃ
ｙ，Ｃｚ及びコンデンサ成分Ｃそれぞれとの共振周波数
ｆｒｘ，ｆｒｙ，ｆｒｚ及びｆｒは、以下のように与え
られる。ｆｒｘ＝１／２π√（ＬＣｘ）ｆｒｙ＝１／２π√（ＬＣｙ）ｆｒｚ＝１／２π√（ＬＣｚ）ｆｒ＝１／２π√（ＬＣ）これらはＣ＞Ｃｘ＞Ｃｙ＞Ｃｚであることから、ｆｒｚ
＞ｆｒｙ＞ｆｒｘ＞ｆｒとなっている。そして、この積
層ＬＣ複合型ノイズフィルタのノイズ減衰曲線は、共振
周波数が僅かに異なる４種のノイズ減衰曲線が合成され
た状態となっており、ノイズ減衰帯域幅は共振周波数ｆ
ｒからｆｒｚにまで至っている。

【００４３】本実施の形態における積層ＬＣ複合型ノイ
ズフィルタは以下のようにして製造されている。磁性体
はＸ−Ｆｅ２Ｏ４系ソフトフェライトであり、誘電体は
Ｂａ−Ｂｉ−Ｐｂ−Ｔｉ−Ｏ系セラミックスである。こ
れらは低温焼成を行なうために通常よりも多くのガラス
フリットを含ませた組成としてある。とりわけ、誘電体
はチタン酸バリウムを主成分としており、この焼結点を
１３００℃から９００℃近傍にまで引き下げるため、磁
性体組成以上の多量のガラスフリットを含ませている。

【００４４】それぞれの原料を配合後、大気中にて８０
０℃で仮焼合成する。後のシート成形が行ない易いよう
に仮焼粉の平均粒径はφ１．０μｍ以下に整粒する。そ
して、仮焼粉と有機溶剤とバインダとを混合させること
によってスラリーが作製され、粘性等を調整後、ドクタ
ーブレード法により１００μｍの厚みのシート化が行な
われる。磁性体グリーンシートと誘電体グリーンシート
を作製後、導体パターンが印刷しやすいように所定のシ
ートサイズに裁断される。導体は全てＡｇ、またはＡｇ
／Ｐｄ系金属を主成分とする電極用ペーストの印刷によ
り形成される。印刷はスクリーン印刷法による。

【００４５】以上のようにして得られた誘電体グリーン
シート及び磁性体グリーンシートが積層され、インダク
タ層１４、コンデンサ層１５、及びダミー層１４ａの３
層構造であり、前記インダクタ層１４を構成する磁性体
グリーンシート、及び前記ダミー層１４ａを構成する磁
性体グリーンシートそれぞれが、シート化が行なわれた
際にキャリアテープに接触していた面をコンデンサ層側
へ向けた状態の積層体にされる。この積層体が大気中で
８５０℃〜９２０℃で焼成され、脱バインダ処理と、磁
性体，誘電体材料焼結と、導体形成とが一括して行なわ
れる。

【００４６】焼成後の積層体に反り、クラック、または
導体拡散等がないことを確認した後、Ａｇを主成分とす
る外部電極を設けて完成素子とする。外部電極の形成方
法は外部電極用ペーストの印刷と焼き付け、または電極
材のスパッタリングのいずれによる方法でもよい。

【００４７】

【発明の効果】以上詳述した如く第１発明に係る積層Ｌ
Ｃ複合型ノイズフィルタによれば、π型ノイズフィルタ
の２つのコンデンサ成分をそれぞれ容量の異なる複数の
コンデンサ素子の並列接続によって構成しているため、
共振周波数が異なる複数のノイズ減衰曲線によって挿入
損失の周波数特性が表され、従来のπ型ノイズフィルタ
に比べノイズ減衰帯域幅を広くすることが可能となる。

【００４８】また、第２発明に係る積層ＬＣ複合型ノイ
ズフィルタによれば、コンデンサ成分Ｃを次の条件、
３．０≦Ｃｘ／Ｃｙ≦３．５及び、１１．０≦Ｃｘ／Ｃ
ｚ≦１３．０を満たすような３つのコンデンサ素子Ｃ
ｘ，Ｃｙ，Ｃｚの並列接続によって構成するため、それ
ぞれの共振周波数が適度に近接し、常に比較的大きな挿
入損失を得ることが可能となる。

【００４９】また、第３発明に係る積層ＬＣ複合型ノイ
ズフィルタによれば、ガラスフリットを多く含んでいる
誘電体層を、比較的ガラスフリットを多く含んでいない
２つの磁性体層によって上下から挟まれた状態で積層さ
れるため、誘電体層と大気との接触面積を少なくし、異
種材間の成分相互拡散、クラック発生を抑制することが
可能となる。

【００５０】また、第４発明に係る積層ＬＣ複合型ノイ
ズフィルタによれば、２つの磁性体層の層数を等しくす
ることによって、熱収縮率を等しくし、また互いに反り
を相殺する方位で積層することによって、シート剥離を
抑制することが可能となる。

【００５１】また、第５発明に係る積層ＬＣ複合型ノイ
ズフィルタの製造方法によれば、通常、ガラスフリット
を多く含んでいる誘電体グリーンシートによる誘電体層
を、ガラスフリットを多く含んでいない磁性体グリーン
シートによる磁性体層によって上下から挟む形態で圧着
積層するため、積層界面におけるシート剥離、クラッ
ク、成分相互拡散が発生しにくい積層ＬＣ複合型ノイズ
フィルタを製造できる等本発明は優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る積層ＬＣ複合型ノイズフィルタの
実施の形態の要部の構成を示す、厚み方向の寸法比率を
拡大した斜視図である。

【図２】本実施の形態における積層ＬＣ複合型ノイズフ
ィルタの縦断面図である。

【図３】本実施の形態における積層ＬＣ複合型ノイズフ
ィルタに用いられるグリーンシート及びその上に形成さ
れる電極形状を説明するための分解斜視図である。

【図４】本実施の形態における積層ＬＣ複合型ノイズフ
ィルタの等価回路を示す回路図である。

【図５】本実施の形態における積層ＬＣ複合型ノイズフ
ィルタの挿入損失周波数特性を示す片対数グラフであ
る。

【図６】特開平５−３３５１４８号公報開示の積層ＬＣ
複合型ノイズフィルタの厚み方向の寸法比率を拡大した
斜視図である。

【図７】従来の積層ＬＣ複合型ノイズフィルタの縦断面
図である。

【図８】従来の積層ＬＣ複合型ノイズフィルタに用いら
れるグリーンシート及びその上に形成される電極形状を
説明するための分解斜視図である。

【図９】従来の積層ＬＣ複合型ノイズフィルタの等価回
路を示す回路図である。

【図１０】従来のノイズフィルタの挿入損失周波数特性
を示す片対数グラフである。

【符号の説明】

１１積層ＬＣ複合型ノイズフィルタ１２積層体１３ａ，１３ｂ外部電極（入出力端子）１３ｃ，１３ｄ外部電極（グランド端子）１４インダクタ層１４ａダミー層１５コンデンサ層１６導体２１ａ〜２１ｉ内部電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 5E070 AA05 AB02 BA12 CB03 CB08 CB13 CB17 CC01 DA17 EA01 5E082 AA01 AB03 BB02 BC31 DD08 DD09 EE04 EE23 EE35 FG06 FG26 FG27 FG54 GG10 GG11 GG25 GG28 HH43 JJ03 JJ12 JJ21 JJ23 KK01 LL02 MM22 MM24 PP01 5J024 AA01 BA02 DA05 DA29 DA35 EA08 KA02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】１つのインダクタ成分を備えるインダク
タ層と、２つのコンデンサ成分を備えるコンデンサ層
と、入出力端子及びグランド端子とを備え、前記１つの
インダクタ成分と、前記２つのコンデンサ成分と、前記
入出力端子及びグランド端子とがπ型構造となるように
電気的に接続されている積層３端子型のノイズフィルタ
において、前記２つのコンデンサ成分それぞれが異なる
容量値の複数のコンデンサ素子の並列接続によって構成
されていることを特徴とするノイズフィルタ。
【請求項２】２つのコンデンサ成分は共に異なる容量
値Ｃｘ、Ｃｙ、及びＣｚの３つのコンデンサ素子の並列
接続によって構成されており、３．０≦Ｃｘ／Ｃｙ≦ ３．５及び、１１．０≦Ｃｘ／Ｃｚ≦１３．０を満たしていることを特徴とする請求項１記載のノイズ
フィルタ。
【請求項３】コンデンサ層が磁性体層であるインダク
タ層及びダミー層によって挟着されていることを特徴と
する請求項１または請求項２のいずれかに記載のノイズ
フィルタ。
【請求項４】インダクタ層及びダミー層が等しい層数
を有し、互いに反りを相殺する向きに積層されているこ
とを特徴とする請求項３記載のノイズフィルタ。
【請求項５】磁性体グリーンシート及び誘電体グリー
ンシートそれぞれに、インダクタ要素及びコンデンサ要
素の導電体による電極パターンを形成し、該電極パター
ンを形成したグリーンシートの所定の位置にスルーホー
ルを設けて導電体を充填し、磁性体グリーンシートの層
と誘電体グリーンシートの層とを圧着積層するノイズフ
ィルタの製造方法において、誘電体グリーンシートの層
を層数が等しい２つの磁性体グリーンシートの層によっ
て上下から挟む形態で圧着積層することを特徴とするノ
イズフィルタの製造方法。