JP2000012321A - セラミックスガラス複合材料及びその製造方法 - Google Patents

セラミックスガラス複合材料及びその製造方法

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    • H01F1/11Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials non-metallic substances, e.g. ferrites, e.g. [(Ba,Sr)O(Fe2O3)6] ferrites with hexagonal structure in the form of particles
    • H01F1/113Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials non-metallic substances, e.g. ferrites, e.g. [(Ba,Sr)O(Fe2O3)6] ferrites with hexagonal structure in the form of particles in a bonding agent

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 900℃程度の低い焼結温度及び十分な体積
抵抗率を有し、銀内部導体用粉体と同時焼成してコイル
状導体を含むフェライトビーズを形成しうるセラミック
スガラス複合材料を提供する。 【解決手段】 (A)一般式 Ba32Fe2441 (MはCo、Ni及びZnの中から選ばれた少なくとも
1種の二価金属)で表わされる組成の六方晶系フェライ
ト35〜55重量%と、(B)SiO2、Al23、S
rO、CaO、MgO及びB23を成分とし、SrOの
含有量が15〜25モル%の範囲にあるガラス45〜6
5重量%との混合物の焼結体からなるセラミックスガラ
ス複合材料であり、前記混合物を850〜920℃の範
囲の温度において、10〜30分間焼成することにより
製造する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、特にGHz領域の
ノイズ成分を減衰する電子部品材料として好適なセラミ
ックスガラス複合材料及びその製造方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】近年、電子機器の分野においては、素子
の搭載密度が過密になる傾向があり、その結果素子間の
相互干渉やノイズの輻射の問題が顕在化してきた。とこ
ろで、ノイズは使用する信号の高調波であるため、ノイ
ズを抑制するには、この高調波を抑制するのが有効であ
る。このようなものとしてフェライト磁性材料を用いた
ビーズがあるが、これはフェライトの高周波における吸
収作用を利用したもので、信号領域ではほとんど減衰が
なく、高調波領域でのみ吸収を起すことによってノイズ
の減衰効果を奏している。
【0003】他方、回路のある領域を金属板で遮蔽し
て、相互干渉を防止することも知られている。これは、
高調波のようなノイズ成分を他の回路ブロックから遮断
して、それへの悪影響を及ぼさないようにするものであ
る。さらに、LC共振回路によってローパスフィルター
を形成させ、それから先の段階にノイズ成分が伝播する
のを防止することも行われている。しかしながら、共振
回路によって伝播を防止されたノイズ成分は、抑制され
るわけではなく、反射されて元に戻ることになるので、
場合によっては、回路に発振などの悪影響を与える。こ
れらのノイズ抑制方法の中で、最も好ましいものは、不
要なノイズ成分を吸収させる方法すなわちフェライトビ
ーズを用いる方法である。
【0004】図1は従来のフェライトビーズの代表例を
示す斜視図であって、六方晶系フェライト1に貫通孔
2,2を設け、この貫通孔に銀導体を焼き付け、さらに
外部電極4,4を付した構造とし、信号が素子を通過す
る際に、ノイズを抑制する(特開平3−161910号
公報)。他方、スピネル型フェライト、例えばNiCu
ZnFe24については、図2に示すように、900℃
程度で焼結可能なセラミックス磁性体例えば貫通孔2を
設けたフェライト1と、銀内部導体とを組み合わせ、こ
れを同時に焼成することによって、セラミックス焼結体
内部にコイル状の導体3を形成させ、さらに外部電極
4,4を付設することも知られている。このようにすれ
ば、損失に関わる線路長を長くできる上に、インピーダ
ンスを大きくとることができ、材料における損失を効率
よく利用しうるので、結果として素子形状を小型化しう
るという利点がある。
【0005】しかしながら、スピネル型フェライトには
周波数と複素透磁率との間に、いわゆるスネークの限界
線が存在し、2GHz以上では磁性が消失し、ノイズ抑
制効果が十分に発揮されないので、これよりも高い周波
数領域においては、一般に金属で遮蔽するか、あるいは
ローパスフィルターを用いている。
【0006】ところで、六方晶系フェライトについて
は、スピネル型フェライトの周波数限界を超えた高い周
波数領域で使用可能なものであるが、その標準的な焼成
温度は1250℃付近で銀の融点以上のため、同時焼成
が困難であり、図2に示す構造のフェライトビーズを形
成させることができない。また、六方晶系フェライト
は、その比抵抗が105Ω・cm程度であるので、チッ
プ部品とする場合、端子部のめっき処理においてショー
ト不良を頻発するという欠点もある。
【0007】六方晶系フェライトの欠点である高い焼成
温度を低下させたものとして、主組成として少なくとも
アルカリ土類金属元素の少なくとも1種と、PbとCu
の中の少なくとも1種と、FeとOを含む六方晶系フェ
ライトが提案されている(特開平9−167703号公
報)。しかしながら、このものについては、比抵抗が示
されていないので、これが上記の使用態様をとりうるこ
とは予測できない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、900℃程
度の低い焼結温度及び十分な体積抵抗率を有し、銀内部
導体用粉体と同時焼成してコイル状導体を含むフェライ
トビーズを形成しうるセラミックスガラス複合材料を提
供することを目的としてなされたものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者は、低い焼成温
度及び体積抵抗率を有し、銀導体との同時焼き付けが可
能な六方晶系フェライトを開発するために鋭意研究を重
ねた結果、六方晶系フェライトに対し、SrOの含有量
が特定の範囲にあるガラスを配合し、焼結すれば六方晶
系フェライトの望ましい物性を保持したまま、その焼成
温度を低下しうることを見出し、この知見に基づいて本
発明をなすに至った。
【0010】すなわち、本発明は、(A)一般式 Ba32Fe2441 (ただし、MはCo、Ni及びZnの中から選ばれた少
なくとも1種の二価金属である)で表わされる組成の六
方晶系フェライト35〜55重量%と、(B)Si
2、Al23、SrO、CaO、MgO及びB23
成分とし、SrOの含有量が15〜25モル%の範囲に
あるガラス45〜65重量%との混合物の焼結体からな
るセラミックスガラス複合材料、及び(A)一般式 Ba32Fe2441 (ただし、MはCo、Ni及びZnの中から選ばれた少
なくとも1種の二価金属である)で表わされる組成の六
方晶系フェライト35〜55重量%と、(B)Si
2、Al23、SrO、CaO、MgO及びB23
成分とし、SrOの含有量が15〜25モル%の範囲に
あるガラス45〜65重量%との混合物を、850〜9
20℃の範囲の温度において、10〜30分間焼成する
ことを特徴とするセラミックスガラス複合材料の製造方
法を提供するものである。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明において(A)成分として
用いる六方晶系フェライトは、一般式 Ba32Fe2441 (式中のMは前記と同じ意味をもつ)で表わされる組成
をもつもの、すなわちBa3Co2Fe2441の中のCo
の一部又は全部がNi又はZnあるいはその両方で置換
された組成をもつものである。このような組成の六方晶
系フェライトは、例えばBaO、MO、Fe23を所定
の組成比になるように混合して粉砕し、1000〜13
00℃で焼成したのち、焼成物を粗粉砕したのち、さら
に水中で微粉砕することによって得ることができる。
【0012】次に(B)成分として用いるガラスは、S
iO2、Al23、SrO、CaO、MgO及びB23
を成分とし、SrOの含有量が15〜25モル%の範囲
にあることが必要である。このSrOは、機械的強度を
向上させるために配合される成分であり、一般にチップ
部品においては、抗折強度試験における機械的強度とし
て1700kg/cm2以上を必要とするが、SrOの
含有量が15モル%未満では、このような機械的強度を
得ることができない。しかしながら、SrOを25モル
%よりも多く含有させると、焼成工程においてガラスの
結晶化が著しく進行する結果、針状の結晶を生じるとと
もに焼成体に多数のボイドが発生する。
【0013】他方、このガラスにおけるSrO以外の成
分の含有量については、特に制限はなく、通常のガラス
の場合と同じ範囲内で選ぶことができる。通常のガラス
において、SiO2は55〜70モル%、Al23は3
〜10モル%、CaOは2〜8モル%、MgOは1〜5
モル%、B23は1〜5モル%の範囲内で選ばれる。こ
のようなガラスは、例えばSiO2、Al23、MO、
CaCO3、MgO及びB23を所定の割合で混合し、
1200〜1500℃で焼成したのち、粗粉砕し、さら
に水中で微粉砕することによって得ることができる。
【0014】本発明のセラミックスガラス複合材料にお
いては、(A)成分の六方晶系フェライトを組成物全量
に基づき35〜55重量%、好ましくは40〜50重量
%の範囲内で用いることが必要である。このセラミック
スガラス複合材料の体積抵抗率は、この中のガラス成分
が多くなるほど高くなり好ましいが、六方晶系フェライ
ト成分が少ないと損失が少なくなりノイズ吸収ができな
くなるし、また、焼成温度低下の効果も得られなくな
る。したがって、六方晶系フェライトの含有量は35〜
55重量%の範囲内で選ばれる。また、六方晶系フェラ
イトの含有量が40重量%以上になると複素透磁率が大
きくなるので好ましい。
【0015】本発明のセラミックスガラス複合材料は、
前記した(A)成分の六方晶系フェライトと(B)成分
のガラスとを所定の割合で混合し、850〜920℃の
温度で焼成することにより製造される。焼成時間として
は、できるだけ短時間が好ましく、通常は10〜30分
間で十分である。この焼成時間が10分未満では、十分
に緻密化した複合材料が得られないし、また30分より
も長く焼成すると、ガラスが結晶化し、焼結体内部に多
くのボイドを発生する。
【0016】この焼成により、六方晶系フェライトがガ
ラスマトリックス中に分散した状態のセラミックス複合
材料が得られるが、場合により六方晶系フェライトとガ
ラスとは一部固溶体を形成することがある。このように
して、複素透磁率の虚数項(μ″)が1.3〜2.3の
範囲にあり、焼結温度850〜920℃、相対密度95
〜98%のセラミックスガラス複合材料が得られる。
【0017】
【実施例】次に実施例により、本発明をさらに詳細に説
明する。なお、各例中の物性値は次の方法によって測定
した。
【0018】(1)複素透磁率;1GHz以下の周波数
領域においては、インピーダンスアナライザー(ヒュー
レット・アンド・パッカード社製、製品記号HP429
1A)とジグ(ヒューレット・アンド・パッカード社
製、製品記号HP16454A)とを組み合わせて、ト
ロイダル試料について測定し、1GHz以上の周波数領
域については、エアラインジグにトロイダル試料を装着
し、ネットワークアナライザー(ヒューレット・アンド
・パッカード社製、製品記号HP8720C)とソフト
ウエア(ヒューレット・アンド・パッカード社製、製品
記号HP85071A)とを用いて測定した。 (2)絶縁抵抗;一辺5mm、厚さ0.5mmの角板状
試料の両面に、真空蒸着によって銀電極を形成し、超絶
縁抵抗計(ヒューレット・アンド・パッカード社製、製
品記号4339A)を用いて測定した。 (3)抗折強度;試料について、抗折強度試験機を用い
て測定した。 (4)焼結密度;計算により求めた理論密度に対するア
ルキメデス法により求めた実測値の百分比として示し
た。
【0019】参考例1 所定の組成比になるように、BaO、CoO、Fe23
を秤量し、ボールミルを用いて水中で16時間混合粉砕
した。次いで、乾燥メッシュパスを行ったのち、120
0℃で2時間焼成した。得られた焼結体を再び水中で1
6時間粉砕し、乾燥、メッシュパスを行って六方晶系フ
ェライト粉体を得た。X線回折によって、この粉体の結
晶相を調べたところ、主相はZ相であり、このほかにY
相、W相が確認された。この粉体の比表面積は約3m2
/gであった。
【0020】参考例2 SiO257〜67モル%、Al238モル%、SrO
25〜15モル%、CaCO34モル%、MgO3モル
%及びB233モル%を全量100モル%になるように
秤量し、乳鉢を用いて混合摩砕した。次いでこのように
して得た粉体混合物をアルミナるつぼに移し、1400
℃まで加熱したのち、室温でキャストした。このように
して得たガラスを粗粉砕し、さらに水中で微粉砕し、比
表面積約2m2/gのガラス粉体を得た。
【0021】実施例1〜11 参考例1で得た六方晶系フェライト粉体と、参考例2で
得たガラス粉体とを、表1に示すフェライト含有量にな
るように混合し、ボールミルで8時間湿式粉砕した。次
いでこれを乾燥後、メッシュパスし、これにバインダー
としてポリビニルアルコール2重量%を水溶液として加
え、さらにメッシュパスを行って、約80μm程度の顆
粒を得た。この顆粒を金型に充填し、1ton/cm2
の圧力を印加し、一辺5mm、厚さ0.5mmの成形体
を作製した。次にこの成形体を電気炉に装入し、表1に
示す温度及び時間で焼結することにより表1に示す物性
をもつセラミックスガラス複合材料を得た。得られた複
合材料の物性を表1に示す。
【0022】
【表1】
【0023】この表から分るように、フェライト含有量
が35重量%になると、比抵抗、抗折強度、相対密度は
高いが、40重量%以上になると、さらに複素透磁率が
高くなる。また、実施例1の複合材料の周波数を変えた
ときの複素透磁率を図3に示す。図中の実線は実数項
μ′、鎖線は虚数項μ″を示す。
【0024】比較例1〜6 表2に示す含有量の六方晶系フェライト及びSrOモル
比のガラスの混合物を用い、表2に示す焼成条件で実施
例1〜11と同様にしてセラミックスガラス複合材料を
製造した。このものの物性を表2に示す。
【0025】
【表2】
【0026】この表2から明らかなように、フェライト
含有量が55重量%を越えると(比較例1)比抵抗が低
下するし、ガラス中のSrOのモル比が15モル%より
低くなると(比較例2)抗折強度が低下する。フェライ
ト含有量が55重量%よりも大きいものや、ガラス中の
SrOモル比が高いものは相対密度が小さくなる。ま
た、焼成条件が適切でないものは比抵抗が低くなった
り、抗折強度が劣ったものとなる。そして、相対密度が
小さくなり耐環境性を欠き、物性が不安定になり、実用
上トラブルを生じる。
【0027】参考例3 参考例1におけるCoOの一部又は全部をZnOと置換
し、参考例1と同様にして組成式 Ba3(Co1-xZnx2Fe2441 (xはCo中のZn置換率)を有する六方晶系フェライ
ト粉体を調製した。
【0028】参考例4 SiO2 62モル%、Al23 8モル%、SrO 20
モル%、CaO 4モル%、MgO 3モル%及びB23
3モル%からなる粉体混合物を用い、参考例2と同様
にしてガラス粉体を調製した。
【0029】実施例12〜22 参考例3で得た六方晶系フェライト粉体と、参考例4で
得たガラス粉体とを、表3に示すフェライト含有量にな
るように混合し、ボールミルで8時間湿式粉砕した。次
いで、これをメッシュパスしたのち、これにバインダー
としてポリビニルアルコール2重量%を水溶液として加
えて成形し、粒径約80μmの顆粒を得た。次いで、こ
の顆粒を金型に充填し、1ton/cm2の圧力でプレ
スし、一辺5mm、厚さ0.5mmの板状に成形した。
次に、この成形体を電気炉に装入し、表3に示す温度及
び時間で焼結することにより、表3に示す物性をもつセ
ラミックスガラス複合体を得た。
【0030】
【表3】
【0031】この表から分るように、フェライト含有量
が35重量%以上になると、比抵抗、抗折強度、相対密
度が高くなるが、40重量%以上になると、さらに複素
透磁率が高くなる。
【0032】比較例7,8 参考例3で得たBa3ZnCoFe2441と、参考例4
で得たSiO2 62モル%、Al23 8モル%、Sr
O 20モル%、CaO 4モル%、MgO 3モル%及
びB23 3モル%からなるガラス粉体又は参考例4に
おけるSiO2の割合を72モル%、SrOの割合を1
0モル%に変えて得たガラス粉体とを用いて、表4に示
すフェライト含有量の混合物を調製し、実施例12〜2
2と同様にして保持温度900℃で20分間焼結するこ
とにより、表4に示す物性をもつセラミックスガラス複
合体を得た。
【0033】
【表4】
【0034】この表から分るように、フェライト含有量
が55重量%以上になると比抵抗及び相対密度が小さく
なる。他方、SrOモル比が15モル%未満になると抗
折強度が低下する。
【0035】参考例5 参考例1におけるCoOの一部又は全部をNiOと置換
し、参考例1と同様にして、組成式 Ba3(Co1-yNiy2Fe2441 (yはCo中のNi置換率)を有する六方晶系フェライ
ト粉体を調製した。
【0036】実施例23〜33 参考例5で得た六方晶系フェライト粉体と、参考例4で
得たガラス粉体とを、表5に示すフェライト含有量にな
るように混合し、ボールミルで8時間湿式粉砕した。次
いで、これをメッシュパスしたのち、これにバインダー
としてポリビニルアルコール2重量%を水溶液として加
えて成形し、粒径約80μmの顆粒を得た。次いで、こ
の顆粒を金型に充填し、1ton/cm2の圧力でプレ
スし、一辺5mm、厚さ0.5mmの板状に形成した。
次に、この成形体を電気炉に装入し、表5に示す温度及
び時間で焼結することにより、表5に示す物性をもつセ
ラミックスガラス複合体を得た。
【0037】
【表5】
【0038】この表から分るように、フェライト含有量
が40重量%以上になると特に複素透磁率が高くなる。
【0039】比較例9,10 参考例5で得たBa3ZnCoFe2441と、参考例4
で得たSiO2 62モル%、Al23 8モル%、Sr
O 20モル%、CaO 4モル%、MgO 3モル%及
びB23 3モル%からなるガラス粉体又は参考例4に
おけるSiO2の割合を72モル%、SrOの割合を1
0モル%に変えて得たガラス粉体とを用いて、表6に示
すフェライト含有量の混合物を調製し、実施例23〜3
3と同様にして保持温度900℃で20分間焼結するこ
とにより、表6に示す物性をもつセラミックスガラス複
合体を得た。
【0040】
【表6】
【0041】この表から分かるように、フェライト含有
量が55重量%以上になると比抵抗及び相対密度が小さ
くなる。他方、SrOモル比が15モル%未満になると
抗折強度が低下する。
【0042】
【発明の効果】本発明のセラミックスガラス複合材料
は、焼成温度が低く、銀と同時焼成することができるの
で、これまで六方晶系フェライトにより形成することが
できなかったGHz帯域で損失をもつ内部にコイル状導
体を備えたフェライトビーズの製造用として好適であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来のフェライトビーズの例の斜視図。
【図2】 トロイダル型フェライトビーズの例の斜視
図。
【図3】 実施例1の複合材料の複素透磁率のグラフ。
【符号の説明】
1 セラミックス磁性体(フェライト) 2 貫通孔 3 銀導体 4 外部電極
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成11年6月2日(1999.6.2)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0013
【補正方法】変更
【補正内容】
【0013】他方、このガラスにおけるSrO以外の成
分の含有量については、特に制限はなく、通常のガラス
の場合と同じ範囲内で選ぶことができる。通常のガラス
において、SiO2は55〜70モル%、Al23は3
〜10モル%、CaOは2〜8モル%、MgOは1〜5
モル%、B23は1〜5モル%の範囲内で選ばれる。こ
のようなガラスは、例えばSiO2、Al23、Sr
O、CaCO3、MgO及びB23を所定の割合で混合
し、1200〜1500℃で焼成したのち、粗粉砕し、
さらに水中で微粉砕することによって得ることができ
る。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0023
【補正方法】変更
【補正内容】
【0023】この表から分るように、フェライト含有量
が35重量%になると、比抵抗、抗折強度、相対密度は
高いが、40重量%以上になると、さらに複素透磁率が
高くなる。また、実施例2の複合材料の周波数を変えた
ときの複素透磁率を図3に示す。図中の実線は実数項
μ′、鎖線は虚数項μ″を示す。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図3
【補正方法】変更
【補正内容】
【図3】 実施例2の複合材料の複素透磁率のグラフ。

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)一般式 Ba32Fe2441 (ただし、MはCo、Ni及びZnの中から選ばれた少
    なくとも1種の二価金属である)で表わされる組成の六
    方晶系フェライト35〜55重量%と、(B)Si
    2、Al23、SrO、CaO、MgO及びB23
    成分とし、SrOの含有量が15〜25モル%の範囲に
    あるガラス45〜65重量%との混合物の焼結体からな
    るセラミックスガラス複合材料。
  2. 【請求項2】 式中のMがCoである請求項1記載のセ
    ラミックスガラス複合材料。
  3. 【請求項3】 (A)成分中のMがNiである請求項1
    記載のセラミックスガラス複合材料。
  4. 【請求項4】 (A)成分中のMがZnである請求項1
    記載のセラミックスガラス複合材料。
  5. 【請求項5】 (A)成分中のMがCo及びNiである
    請求項1記載のセラミックスガラス複合材料。
  6. 【請求項6】 (A)成分中のMがCo及びZnである
    請求項1記載のセラミックスガラス複合材料。
  7. 【請求項7】 (A)成分40〜50重量%及び(B)
    成分60〜50重量%との混合物の焼結体からなる請求
    項1〜6のいずれかに記載のセラミックスガラス複合材
    料。
  8. 【請求項8】 (A)一般式 Ba32Fe2441 (ただし、MはCo、Ni及びZnの中から選ばれた少
    なくとも1種の二価金属である)で表わされる組成の六
    方晶系フェライト35〜55重量%と、(B)Si
    2、Al23、SrO、CaO、MgO及びB23
    成分とし、SrOの含有量が15〜25モル%の範囲に
    あるガラス45〜65重量%との混合物を、850〜9
    20℃の範囲の温度において、10〜30分間焼成する
    ことを特徴とするセラミックスガラス複合材料の製造方
    法。
  9. 【請求項9】 (A)成分中のMがCo又はCoとNi
    又はCoとZnである請求項8記載のセラミックスガラ
    ス複合材料の製造方法。
  10. 【請求項10】 (A)成分中のMがNiである請求項
    8記載のセラミックスガラス複合材料の製造方法。
  11. 【請求項11】 (A)成分中のMがZnである請求項
    8記載のセラミックスガラス複合材料の製造方法。
  12. 【請求項12】 (A)成分40〜50重量%及び
    (B)成分60〜50重量%との混合物を用いる請求項
    8ないし11のいずれかに記載のセラミックスガラス複
    合材料の製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002075723A (ja) * 2000-08-25 2002-03-15 Qinghua Univ 高周波特性に優れた低温焼結多層チップインダクタ材料およびその製造方法
JP2014165307A (ja) * 2013-02-25 2014-09-08 Murata Mfg Co Ltd フェライト磁器組成物、及びセラミック電子部品
CN111925207A (zh) * 2020-07-08 2020-11-13 杭州电子科技大学 一种Mg3B2O6-Ba3(VO4)2复合陶瓷材料及制备方法

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