JP2000011342A

JP2000011342A - クリーニングテープおよびその製造方法

Info

Publication number: JP2000011342A
Application number: JP18003598A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Shimizu; 義博清水
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-06-26
Filing date: 1998-06-26
Publication date: 2000-01-14

Abstract

(57)【要約】【課題】データ記録用蒸着型磁気テープを走査する磁
気ヘッドのクリーニングに良好な効果を示し、かつクリ
ーニング後においてエラーレートを増大させないクリー
ニングテープおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】磁気ヘッドの研磨面となるクリーニング
テープの磁性金属膜または非磁性金属膜に、原子間力顕
微鏡で測定される高さが２４ｎｍ以上で３５ｎｍ以下の
範囲内にあり、かつ走査型電子顕微鏡で測定される単位
面積当りの数が２５×１０³ 個／ｍｍ² 以上で３５×１
０³ 個／ｍｍ² 以下の範囲内にあるように突起を形成さ
せたクリーニングテープであり、製造に際しては対応す
る突起を予め形成させたポリエチレンテレフタレート・
フィルムを使用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ヘッドのクリー
ニングテープに関するものであり、更に詳しくは磁性金
属膜を磁性層とする磁気テープを走査する磁気ヘッドの
クリーニングテープに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】高密度記録を可能ならしめるために、磁
気テープは磁性塗料を非磁性支持体に塗布して磁性層を
形成させる従来の塗布型磁気テープから、現在では真空
下における蒸着、イオンプレーティングやスパッタリン
グによって磁性金属膜を非磁性支持体に形成させる蒸着
型磁気テープがビデオテープの分野で広く採用されるよ
うになっているが、コンピュータのハードディスクのバ
ックアップ用のデ−タカートリッジの分野においても、
記録容量を増大させるために上記の蒸着型磁気テープの
使用が検討され始めている。そして、このデータ記録の
分野においては、当然のことながら、記録にエラーを発
生し難いこと、すなわち、エラーレートの小さいことが
要求される。

【０００３】塗布型ビデオテープや蒸着型ビデオテープ
を使用するビデオデッキにおいて、磁気ヘッドにクロッ
グが付着して低下する電磁変換特性を回復させるため
に、適当な時期にクリーニングテープを走行させて磁気
ヘッドをクリーニングすることが行われているが、その
クリーニングテープとして、従来は、塗布型磁気テープ
と同様の工程で製造され、表面平滑化のためのカレンダ
ー処理を省略した粗面の磁性層を有する塗布型磁気テー
プがクリーニングテープとして使用されている。そし
て、データ用蒸着型磁気テープのドライブの磁気ヘッド
のクリーニングにも上記の塗布型クリーニングテープが
使用されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、蒸着型磁気テ
ープを走査する磁気ヘッドのクリーニングに従来の塗布
型クリーニングテープを使用すると、磁気ヘッドが不必
要に研磨されるためと思われるが磁気ヘッドの形状が微
妙に変化し、蒸着型磁気テープの接触性、当接性が変化
してスペーシングロス等を生起させるためか、上記のデ
−タカートリッジの分野において、エラーレートが上昇
するという好ましくない現象が見い出された。

【０００５】本発明は上述の問題に鑑みてなされ、蒸着
型磁気テープ、特にデータ記録用の蒸着型磁気テープを
走査する磁気ヘッドのクリーニングに使用される場合
に、良好なクリーニング効果を与えると共に、エラーレ
ートを上昇させないクリーニングテープを提供すること
を課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】以上の課題は、請求項１
および請求項６の構成によって解決されるが、その解決
手段を説明すれば、請求項１の発明のクリーニングテー
プは、その非磁性支持体に形成され、蒸着型磁気テープ
を走査する磁気ヘッドの研磨面となる磁性金属膜または
非磁性金属膜に、走査型プローブ顕微鏡で測定した高さ
が２４ｎｍ以上で３５ｎｍ以下の範囲内にあり、かつ走
査型電子顕微鏡で測定した単位面積当りの数が２５×１
０³ 個／ｍｍ² 以上で３５×１０³ 個／ｍｍ² 以下の範
囲内にあるように突起が形成されたクリーニングテープ
である。

【０００７】また、クリーニングテープの研磨面と磁気
ヘッドのと摺動性を高めるために、研磨面となる磁性金
属膜または非磁性金属膜の表面に潤滑剤の層を形成させ
たものであることが好ましい。

【０００８】以上のように構成されるクリーニングテー
プは磁気ヘッドに対するクリーニング性が良好であると
共に、データ記録用蒸着型磁気テープが走行される場合
に、エラーレートを上昇させない。

【０００９】また請求項６によるクリーニングテープの
製造方法は、クリーニングテープの研磨面となる磁性金
属膜または非磁性金属膜に形成させるべき、走査型プロ
ーブ顕微鏡で測定した高さが２４ｎｍ以上で３５ｎｍ以
下の範囲内にあり、かつ走査型電子顕微鏡で測定した単
位面積当りの数が２５×１０³ 個／ｍｍ² 以上で３５×
１０³ 個／ｍｍ² 以下の範囲内にある突起に対応する突
起があらかじめ設けられたフィルム状の非磁性支持体に
対して磁性金属膜または非磁性金属膜を形成させること
によって行われる。そして、フィルム状の非磁性支持体
にあらかじめ形成させる上記の突起は、コロイド粒子状
の無機フィラーを添加、混練してフィルム状の非磁性支
持体を製造するか、または、コロイド粒子状の無機フィ
ラーと結合剤とを固形分とする塗料をフィルム状の非磁
性支持体に塗布することによって形成されたものであ
る。

【００１０】以上のように構成されるクリーニングテー
プの製造方法は、研磨面に形成させる高さおよび数が特
定の範囲内の突起に対応する突起をあらかじめ設けたフ
ィルム状の非磁性支持体に対して研磨面となる磁性金属
膜または非磁性金属膜を形成させて突起を設ける方法で
あり、磁性金属膜または非磁性金属膜を加工して突起を
設ける方法ではないので、突起の形成は極めて容易であ
る。

【００１１】そして、クリーニングテープの研磨面と磁
気ヘッドとが円滑に摺動するように、好ましくは、研磨
面となる磁性金属膜または非磁性金属膜の表面に潤滑剤
を塗布して潤滑剤の層を形成させる。

【００１２】

【発明の実施の形態】磁性金属膜を磁性層とする磁気テ
ープを走査する磁気ヘッドのクリーニングに使用される
本発明のクリーニングテープは非磁性支持体に形成させ
る磁性金属膜または非磁性金属膜を研磨面として作成さ
れる。

【００１３】本発明のクリーニングテープは研磨面に、
走査型プローブ顕微鏡で測定した高さが２４ｎｍ以上で
３５ｎｍ以下の範囲内にある突起を、走査型電子顕微鏡
で測定した単位面積当りの数が２５×１０³ 個／ｍｍ²
以上で３５×１０³ 個／ｍｍ² 以下の範囲内にあるよう
に形成させたものであるが、その突起はテープ状の非磁
性支持体にあらかじめ対応する突起を付与しておき、そ
の上へ磁性金属膜または非磁性金属膜を形成させること
よって得られる。

【００１４】上記の非磁性支持体の突起は、非磁性支持
体として、ポリエチレンテレフタレート・フィルムを使
用する場合を例にとると、ポリエチレンテレフタレート
・フィルムは、一般的には、ポリエチレンテレフタレー
トのペレットを溶融、混練してダイから押し出し、これ
を延伸して製造されるが、このペレットの溶融、混練時
に適量のコロイド粒子状の無機フィラーを添加混合して
おくことによって形成させることができる。また、コロ
イド粒子状の無機フィラーと結合剤とを有機溶剤と共に
混練した塗料をポリエチレンテレフタレート・フィルム
に塗布し乾燥して、例えば厚さ１μｍ程度の塗膜を形成
させることによっても得られる。そして、上記の突起を
形成させるためのコロイド粒子状の無機フィラーとして
は、ＳｉＯ₂ （酸化珪素）やＡｌ₂ Ｏ₃ （アルミナ）等
を主成分とし、粒子径が５００ｎｍ以下の粒子、例え
ば、コロイド粒子状のシリカが使用される。勿論のこと
であるが、粒子径が３０ｎｍ程度以下の粒子は使用され
ても本発明における突起の形成には寄与しない。

【００１５】クリーニングテープのベースとなる非磁性
支持体としては、上述したポリエチレンテレフタレート
のほか、ポリエチレン−２，６−ナフタレート等のポリ
エステル類、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオ
レフィン類、セルローストリアセテート、セルロースダ
イアセテート、セルローストリアセテートブチレート等
のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリ
デン等の塩素系ビニル樹脂、ポリカーボネート類、ポリ
アミド類、ポリイミド類、ポリイミドアミド類に代表さ
れる高分子材料のフィルムや、アルミニウム合金、チタ
ン合金等の軽金属の帯状厚箔を使用し得る。これら高分
子材料のフィルムや軽金属の帯状厚箔の厚さは特に限定
されず、クリーニングテープが適用される系またはシス
テムによって決定される。

【００１６】そして、突起を形成させたフィルム状の非
磁性支持体にＦｅ（鉄）、Ｃｏ（コバルト）、Ｎｉ（ニ
ッケル）系の強磁性体による膜厚０．２μｍ前後の磁性
金属膜を形成させる。そのような強磁性体としては、例
えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉの単体のほかに、Ｆｅ−Ｃｏ、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｒ（クロム）、Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−
Ｃｕ（銅）、Ｃｏ−Ａｕ（金）、Ｃｏ−Ｐｔ（白金）、
Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｏ（部分酸化コバルト）、Ｎ
ｉ−Ｃｒがあり、その他、Ｍｎ（マンガン）−Ｂｉ（ビ
スマス）、Ｍｎ−Ａｌ（アルミニウム）が挙げられる。
また、目的物はクリーニングテープであり、磁気テープ
ではないので、磁性金属膜に代えて、ＡｌやＴｉ（チタ
ン）ないしはＳｉ（シリコン）のような非磁性金属の膜
を形成させてもよい。膜の形成方法としては、真空下に
おける蒸着、イオンプレーティングやスパッタリングを
採用し得るほか、メッキによって形成させてもよい。

【００１７】更には、磁気ヘッドに当接しての走行をよ
り円滑にするために、これらの磁性金属膜または非磁性
金属膜の表面に潤滑剤層を形成させることが好ましい。
潤滑剤としてはパラフィン類、シリコーン類、パーフロ
ロアルキルポリエーテル類が好適に使用されるほか、一
般的に磁気テープの潤滑剤として使用されているものが
単独で、または有機溶剤の溶液として塗布される。なか
でも、常温で液状のパーフロロアルキルポリエーテルや
シリコーンオイルはそのまま、または加温した状態で蒸
着装置またはスパッタリング装置内での噴霧塗装が可能
であり、かつ、０．０５ｍｇ／ｍ² 程度の塗布量で十分
な潤滑性を与える。

【００１８】蒸着型磁気テープにおいては形成させた磁
性金属膜の磁気ヘッドに対する摺動耐久性を向上させる
ために、磁性金属膜上に保護膜として、膜厚が１０ｎｍ
程度のＣ（カーボン）膜、ＳｉＯ₂ （石英）膜、ＺｒＯ
₂ （ジルコニヤ）膜等を形成させることが多いが、クリ
ーニングテープにおいては、磁性金属膜または非磁性金
属膜上にこれらの保護膜を形成させてもよく、また形成
させなくともよい。また同様に、蒸着型磁気テープにお
いては、一般的には、磁性金属薄膜とは反対側の面にカ
ーボンブラックと結合剤とを主材とする膜厚０．５μｍ
程度のバックコート層を形成させるが、クリーニングテ
ープにおいてはバックコート層は設けてもよく、また設
けなくともよい。

【００１９】上記のように構成されるクリーニングテー
プは、磁気ヘッドに対して優れたクリーニング効果を示
すほか、データ用磁気テープのドライブの磁気ヘッドを
クリーニングに適用する場合に、エラーレートを増大さ
せないという極めて好ましい特性を有している。

【００２０】

【実施例】一般的に、８ｍｍヘリカルスキャン方式のヘ
ッドクリーニングには、８ｍｍＶＴＲ（ビデオテープレ
コーダ）用の塗布型クリーニングテープ、すなわち、カ
レンダー処理を施さない塗布型磁気テープが使用されて
いるが、これを従来例として、本発明のクリーニングテ
ープをその実施例および比較例によって具体的に説明す
る。

【００２１】（実施例１）原料ペッレトに無機フィラー
としてコロイド粒子状のシリカを添加、混練することに
よって表面に高さ２４ｎｍの突起を、１ｍｍ² 当り２５
×１０³ 個の密度で形成させた厚さ６．５μｍ、幅６０
０ｍｍのポリエチレンテレフタレート・フィルムの長尺
ロールを用意した。蒸着装置の真空チャンバー内で真空
度１×１０^-3Ｐａとし、水冷ハース内のＣｏインゴット
に電子線を照射して、Ｃｏを溶融、蒸発させ、巻出しロ
ールから冷却ドラムに接触して走行するポリエチレンテ
レフタレート・フィルムに対して、入射角４５度の斜め
蒸着を施し、膜厚０．２μｍの金属Ｃｏ膜を形成させ
た。そして、続いて金属Ｃｏ蒸着膜面に潤滑剤として常
温で液状のパーフロロアルキルポリエーテルを０．０５
ｍｇ／ｍ² の塗布量で噴霧塗布して、巻取りロールに巻
き取った。

【００２２】その後、蒸着装置から取り出し、塗布装置
によって、ポリエチレンテレフタレート・フィルムの金
属Ｃｏ蒸着面とは反対側の面に、カーボンブラック１０
０重量部、ポリエステルポリウレタン樹脂８０重量部、
硬化剤ポリイソシアネート１０重量部、ケトン類を主体
とする有機溶剤１０００重量部からなる塗料を塗布、乾
燥して膜厚０．５μｍのバックコート層を形成させ、８
ｍｍ幅にスリットして実施例１のクリーニングテープを
作製した。

【００２３】（実施例２）ポリエチレンテレフタレート
・フィルムに形成させる突起の高さを３０ｎｍとし、突
起の数を１ｍｍ² 当り３０×１０³ 個とした以外は、実
施例１と全く同様にして、実施例２のクリーニングテー
プを作製した。

【００２４】（実施例３）ポリエチレンテレフタレート
・フィルムに形成させる突起の高さを３５ｎｍとし、突
起の数を１ｍｍ² 当り３５×１０³ 個とした以外は、実
施例１と全く同様にして、実施例３のクリーニングテー
プを作製した。

【００２５】（比較例１）ポリエチレンテレフタレート
・フィルムに形成させる突起の高さを１５ｎｍとし、突
起の数を１ｍｍ² 当り２５×１０³ 個とした以外は、実
施例１と全く同様にして、比較例１のクリーニングテー
プを作製した。

【００２６】（比較例２）ポリエチレンテレフタレート
・フィルムの突起の高さを２４ｎｍとし、突起の数を１
ｍｍ² 当り１５×１０³ 個として、比較例２のクリーニ
ングテープを作製した。

【００２７】（比較例３）ポリエチレンテレフタレート
・フィルムの突起の高さを３５ｎｍとし、突起の数を１
ｍｍ² 当り４０×１０³ 個として、比較例３のクリーニ
ングテープを作製した。

【００２８】（比較例４）ポリエチレンテレフタレート
・フィルムの突起の高さを４２ｎｍとし、突起の数を１
ｍｍ² 当り３５×１０³ 個として、比較例４のクリーニ
ングテープを作製した。

【００２９】上述のようにして得られた７種のクリーニ
ングテープについて、研磨面となる蒸着金属Ｃｏ面の突
起の高さ、単位面積当りの突起の数、データ８ｍｍテー
プ用ドライブの磁気ヘッドをクリーニングした場合のク
リーニング効果、および同ドライブにおけるクリーニン
グ前後のエラーレートを以下に示すような方法で測定
し、測定結果を表１に示した。同時に評価した従来例の
塗布型クリーニングテープ（８ｍｍＶＴＲ〔ビデオテー
プ・レコーダ〕用）については、クリーニング効果とエ
ラーレートのみを測定した。なお、従来例のクリーニン
グテープの研磨面のＪＩＳＢ０６０１による算術平均粗
さＲａは４５ｎｍ、最大突起高さＲｍａｘは５９０ｎｍ
であった。

【００３０】（突起の高さ）走査型プローブ顕微鏡とし
て原子間力顕微鏡を使用して研磨面を走査し、求められ
る中心面から高さを突起の高さとした。原子間力顕微鏡：ディジタル・インストルメント社
製、ナノスコープ２スキャンサイズ：３０μｍ×３０μｍスキャンレート：４．３４Ｈｚサンプリング数：４００ポイント

【００３１】（突起の数）走査型電子顕微鏡による表面
写真１０枚について、突起の数をカウントして、１ｍｍ
² 当りの数に換算した。走査型電子顕微鏡：日本電子社製、ＦＥ−ＳＥＭ加速電圧、倍率：２ｋＶ、５０００倍

【００３２】（エラーレート）クリーニングの前後にお
いて、データ８ｍｍテープ用ドライブにエラーレート測
定用テープを走行させて測定した。ドライブ：ソニー製、ＳＤＸ−３００Ｃ測定用テープ：ソニー製、ＳＤＸ−Ｔ３Ｎ

【００３３】（クリーニング効果）データ８ｍｍテープ
用ドライブのヘリカルスキャン方式の回転ドラムに設け
られている磁気ヘッドに対して、クリーニングテープを
所定のクリーニングモードで５秒間走行させた後の磁気
ヘッドに汚れ、付着物が認められない場合、良好と判定
した。

【００３４】

【表１】

【００３５】表１の結果から明らかなように、従来例の
塗布型クリーニングテープの場合には、クリーニング効
果は良好であるが、クリーニング後においてエラーレー
トが著しく増大しており、このことは、データ用ドライ
ブの立場からは重大な問題である。これに対して、突起
の高さが２４ｎｍ以上で３５ｎｍ以下の範囲内にあり、
かつ単位面積当りの突起の数が２５×１０³ 個／ｍｍ²
以上で３５×１０³ 個／ｍｍ² 以下の範囲内にある実施
例１〜実施例３のクリーニングテープは良好なクリーニ
ング効果を示すと共に、クリーニング後においてエラー
レートは増大せず、むしろ減少する傾向を示した。しか
し、比較例１のように、単位面積当りの突起の数は上記
の範囲内にあっても、突起の高さが上記の範囲より小さ
いクリーニングテープや、比較例２のように、突起の高
さは上記の範囲内にあっても、単位面積当りの突起の数
が上記の範囲より少ないクリーニングテープは本来のク
リーニング効果が認められなかった。

【００３６】また、比較例３のように、突起の高さは上
記の範囲内にあっても単位面積当りの突起の数が上記の
範囲より多いクリーニングテープや、比較例４のよう
に、単位面積当りの突起の数は上記の範囲内にあっても
突起の高さが上記の範囲より大きいクリーニングテープ
は、クリーニング効果が良好であっても、磁気ヘッドが
不必要に研磨されて形状が微妙に変化し蒸着型磁気テー
プの接触性、当接性が変化するためか、エラーレートを
増大させるので好ましくない。

【００３７】また、８ｍｍテープ用ドライブとしてエグ
ザバイト（Ｅｘａｂｙｔｅ）社製のドライブ、すなわち
マンモス（Ｍａｍｍｏｔｈ）の磁気ヘッドに対して、実
施例１〜実施例３のクリーニングテープおよび従来例の
塗布型クリーニングテープによって、そのドライブのク
リーニングモードである走行時間１５秒間のクリーニン
グを施した。それらのクリーニング効果は何れも良好で
あったが、クリーニング前後において、専用のエラーレ
ート測定用テープ、エクザテープ（ＥＸＡＴＡＰＥ）１
７０ｍＡＭＥによってエラーレートを測定したところ、
従来例の塗布型クリーニングテープではクリーニング後
のエラーレートが２％以上に増大したに対して、実施例
１〜実施例３のクリーニングテープのクリーニング後の
エラーレートはそれぞれ０．０１％以下であった。

【００３８】本実施の形態のクリーニングテープは以上
のように構成され作用するが、勿論、本発明はこれに限
られることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の
変形が可能である。

【００３９】例えば本実施の形態においては、クリーニ
ングテープの研磨面となる磁性金属膜または非磁性金属
膜に形成させる突起の高さを原子間力顕微鏡で測定して
求めて２４ｎｍから３５ｎｍまでの範囲内にあるものと
したが、この範囲内の高さが保証される限りにおいて、
突起の高さは原子間力顕微鏡以外の同等な走査型プロー
ブ顕微鏡、例えば走査型トンネル顕微鏡、ないしは磁気
力顕微鏡や静電気力顕微鏡で測定されてもよい。

【００４０】また本実施の形態においては、本発明のク
リーニングテープを、データ記録に８ｍｍ幅テープを使
用するＤ８システムにおけるドライブの磁気ヘッドのク
リーニングに適用した場合を例示したが、３．８１ｍｍ
幅テープを使用するＤＤＳシステムにおけるドライブの
磁気ヘッドのクリーニングにも同様に効果的に適用され
る。

【００４１】また本実施の形態においては、本発明のク
リーニングテープとしてデータ記録のＤ８システムのド
ライブに使用されるクリーニングテープを例示したが、
本発明のクリーニングテープはこれ以外の蒸着型磁気テ
ープが使用される分野、例えば蒸着型磁気テープがディ
ジタル記録のビデオテープとして使用される場合におけ
るビデオテープレコーダの磁気ヘッドのクリーニングに
も適用されることは言うまでもない。

【００４２】また本実施の形態においては、金属Ｃｏ蒸
着膜面への潤滑剤パーフロロアルキルポリエーテルの塗
布を蒸着装置内で行ったが、蒸着装置外へ取り出した後
に塗布してもよい。

【００４３】

【発明の効果】本発明のクリーニングテープは、上述し
たように、磁気ヘッドの研磨面となる磁性金属膜または
非磁性金属膜に、特定の高さ範囲内にある突起が、特定
の面積密度で形成されているので、蒸着型磁気テープを
走査する磁気ヘッドに対するクリーニング効果が良好で
あり、かつ、データ記録に蒸着型磁気テープが走行され
る場合にもクリーニング後にエラーレートを増大させな
い。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁性金属膜を磁性層とする磁気テープを
走査する磁気ヘッド用のクリーニングテープにおいて、前記クリーニングテープの非磁性支持体に形成され、前
記磁気ヘッドに対する研磨面となる磁性金属膜または非
磁性金属膜に、走査型プローブ顕微鏡で測定した高さが
２４ｎｍ以上で３５ｎｍ以下の範囲内にあり、かつ走査
型電子顕微鏡で測定した単位面積当りの数が２５×１０
³ 個／ｍｍ² 以上で３５×１０³ 個／ｍｍ² 以下の範囲
内にあるように突起が設けられていることを特徴とする
クリーニングテープ。
【請求項２】前記磁性金属膜または前記非磁性金属膜
の表面に、潤滑剤の層が形成されていることを特徴とす
る請求項１に記載のクリーニングテープ。
【請求項３】前記潤滑剤がパーフロロアルキルエーテ
ルまたはシリコーンオイルであることを特徴とする請求
項２に記載のクリーニングテープ。
【請求項４】前記クリーニングテープがヘリカルスキ
ャン方式の回転ドラムに取り付けられた前記磁気ヘッド
をクリーニングするものであることを特徴とする請求項
１に記載のクリーニングテープ。
【請求項５】前記クリーニングテープがデータ記録用
磁気テープのドライブの前記回転ドラムに取り付けられ
た前記磁気ヘッドをクリーニングするものであることを
特徴とする請求項４に記載のクリーニングテープ。
【請求項６】磁性金属膜を磁性層とする磁気テープを
走査する磁気ヘッド用のクリーニングテープの製造方法
において、前記クリーニングテープの研磨面となる磁性金属膜また
は非磁性金属膜に形成させるべき、走査型プローブ顕微
鏡で測定した高さが２４ｎｍ以上で３５ｎｍ以下の範囲
内にあり、かつ走査型電子顕微鏡で測定した単位面積当
りの数が２５×１０³ 個／ｍｍ² 以上で３５×１０³ 個
／ｍｍ² 以下の範囲内にある突起に対応する突起があら
かじめ設けられたフィルム状の非磁性支持体に対して前
記磁性金属膜または前記非磁性金属膜を形成させる。こ
とを特徴とするクリーニングテープの製造方法。
【請求項７】前記磁性金属膜または前記非磁性金属膜
の表面に潤滑剤の層を形成させることを特徴とする請求
項６に記載のクリーニングテープの製造方法。
【請求項８】液状または溶液状のパーフロロアルキル
エーテルまたはシリコーンオイルを塗布して前記潤滑剤
の層を形成させることを特徴とする請求項７に記載のク
リーニングテープの製造方法。
【請求項９】前記フィルム状の非磁性支持体における
前記突起が前記フィルム状の非磁性支持体の製造時にコ
ロイド粒子状の無機フィラーを添加、混練することによ
り形成されたものであることを特徴とする請求項６に記
載のクリーニングテープの製造方法。
【請求項１０】前記フィルム状の非磁性支持体におけ
る前記突起が前記コロイド粒子状の無機フィラーと結合
剤とを固形分とする塗料を前記フィルム状の非磁性支持
体に塗布することにより形成されたものであることを特
徴とする請求項６に記載のクリーニングテープの製造方
法。