JP1729714S - ヒーターランプ - Google Patents

ヒーターランプ

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本物品は、半導体製造装置に設置し、半導体の製造工程で使用をするヒーターランプである。本物品は、半導体の製造工程において、本物品のヒーターランプを用いてウェーハの表面を加熱して、ウェーハ上の結晶成長を促進させるために使用をするものである。
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