JP1766094S - 半導体ウェハ及びサセプタ加熱用ヒータ - Google Patents
半導体ウェハ及びサセプタ加熱用ヒータInfo
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Abstract
本物品は、半導体製造装置等においてウェハおよびウェハを保持するサセプタを加熱するためのヒータである。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023024988F JP1766094S (ja) | 2023-12-01 | 2023-12-01 | 半導体ウェハ及びサセプタ加熱用ヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2023024988F JP1766094S (ja) | 2023-12-01 | 2023-12-01 | 半導体ウェハ及びサセプタ加熱用ヒータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1766094S true JP1766094S (ja) | 2024-03-19 |
Family
ID=90273602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023024988F Active JP1766094S (ja) | 2023-12-01 | 2023-12-01 | 半導体ウェハ及びサセプタ加熱用ヒータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1766094S (ja) |
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2023
- 2023-12-01 JP JP2023024988F patent/JP1766094S/ja active Active
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