FR3094789B1 - Procédé de fabrication d'un détecteur pyroélectrique - Google Patents
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Abstract
Procédé de fabrication d'un détecteur pyroélectrique, le détecteur pyroélectrique comportant un matériau pyroélectrique, s'étendant entre une première électrode et une deuxième électrode, de telle sorte que sous l'effet d'une irradiation infrarouge, une tension électrique apparaisse entre la première électrode et la deuxième électrode, le procédé comportant les étapes suivantes : formation d'une couche support (14) sur un premier substrat (10), le premier substrat comportant une partie centrale (10c) autour de laquelle s'étend une partie périphérique (10p); formation d'une première couche conductrice (16) en dessus de la couche support (14), la première couche conductrice étant destinée à former la première électrode ; formation d'une couche pyroélectrique (17) sur de la première couche conductrice, la couche pyroélectrique (17) étant formée du matériau pyroélectrique ; formation d'une deuxième couche conductrice (18) sur la couche pyroélectrique, la deuxième couche conductrice étant destinée à former la deuxième électrode ; le procédé étant caractérisé en ce qu'il comporte : une formation d'ouvertures transversales (162, 172, 182,), à travers la première couche conductrice, la couche pyroélectrique, la deuxième couche conductrice, puis à travers la couche support; un retrait d'une partie du premier substrat, sous la couche support, Figure d'abrégé : figure 4B
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