JP5407276B2 - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、ドライエッチング装置を側面から観察した場合の概要構成例(断面図)を示す。図1において、反応室1内に、上部電極2と下部電極3とが設けられている。下部電極4の周囲には、支持部4が配置され、その上にクランプ5を設置することが可能である。クランプ5は導電性を有する金属で構成される。例えばクランプ5はアルミニウムで構成される。そして、クランプ5と下部電極3とは略同電位にする。もし、クランプ5と下部電極3との間に電位差が存在すると、半導体基板がシリコン単結晶で構成されている場合や半導体基板を貫くコンタクトが存在している場合など上面と下面とが電気的に導通する場合には、クランプ5と下部電極3との間に電流が流れ、エネルギーの損失が発生するからである。クランプ5と下部電極3とを略同電位とするためには、例えば、下部電極3とクランプ5との間に伝導性を有するコンタクト6を配置し、下部電極3とクランプ5とを電気的に導通させる。コンタクト6は、柱状をしており、複数のコンタクトが下部電極3の上に配置される。あるいはコンタクト6は環状あるいはバネ状となっていてもよく、下部電極3の周囲に配置される。またコンタクト6の役割には、クランプ5を支持部4とともに支えることが含まれていても良い。
本発明の実施形態1として、半導体素子が形成される領域(パターン領域ともいう)の周囲を、あらかじめ溝により取り囲んでおくことにより、サイドエッチングの発生を抑制する実施形態を説明する。したがって、本実施形態では、パターン領域に形成される溝よりも先に、パターン領域の周囲に形成される溝の底面を絶縁膜に到達させることにより、前記パターン領域と前記クランプとを電気的に絶縁状態に維持する。
本発明の実施形態2として、マイクロローディング効果を利用して、すくなくともパターン領域の周囲に形成される溝の底面が絶縁膜に到達した後は所定領域とクランプとを電気的に絶縁状態とする形態を説明する。実施形態1では、マスクの形成工程を2回行う必要があるが、実施形態2では、1回の形成工程で済ませることができる。
本発明の実施形態3として、パターン領域のドライエッチング時の開始時から、パターン領域が所定領域と前記クランプとを電気的に絶縁状態にして半導体素子を製造する方法を説明する。
Claims (4)
- 半導体膜を備える半導体基板であり、前記半導体膜の一方にマスクを備え、絶縁膜を前記半導体膜の他方に備え、前記マスクは、半導体素子を形成する領域内部に底部が前記絶縁膜に到達する溝と前記領域を取り囲み底部が前記絶縁膜に到達する溝とを同時に形成するためのマスクである前記半導体基板を、ドライエッチング装置の下部電極上に、前記マスクを備える面が被加工面になるように置き、
前記半導体基板の前記領域を取り囲み底部が前記絶縁膜に到達する溝が形成される位置よりも外周部を前記下部電極と略同電位となる金属性のクランプにて押さえ、
前記絶縁膜をエッチングストッパ層とする前記マスクを用いるドライエッチングを開始し、
前記領域内部に形成される溝の底部が前記絶縁膜に到達する前に前記領域を取り囲んで形成される溝により前記領域と前記クランプとを電気的に絶縁状態にする、半導体素子の製造方法。 - 前記マスクを第2のマスクとして用いる前記ドライエッチングよりも前に、前記領域を取り囲み底部が前記絶縁膜に到達する溝が形成される位置に底部が前記絶縁膜に到達していない溝が第1のマスクにより形成されている請求項1に記載の、半導体素子の製造方法。
- 前記第2のマスクの前記領域の上に別のマスク材料を配置して前記第1のマスクを形成し、
前記第1のマスクを用いて前記底部が前記絶縁膜に到達していない溝を形成し、
前記第1のマスクを除去した後、前記マスクを第2のマスクとして用いる前記ドライエッチングを行う請求項2に記載の、半導体素子の製造方法。 - 前記マスクにおいて前記領域を取り囲み底部が前記絶縁膜に到達する溝のパターンの幅が前記半導体素子を形成する領域内部に底部が前記絶縁膜に到達する溝のパターンの幅よりも大きい請求項1に記載の、半導体素子の製造方法。
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