JP3640385B2 - 焦電性高誘電体のエッチング方法及び装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば光導波路用の光変調器に利用され得るLiNbO3やPZT等の焦電性高誘電率材料をプラズマ中で加工するエッチング方法及び装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のこの種のエッチング装置においては、基板電極表面は耐食性を考慮して20〜30μmの陽極酸化膜で被覆され、基板押さえ治具あるいはクランプ材料はアルミナで構成され、また基板押さえ治具あるいはクランプ裏面はアルミナ素地のままである。
【0003】
ところで、従来のエッチング装置における基板保持機構の主たる目的は、熱伝導性を良くすることにあった。従って、高誘電率材料のように、プラズマ照射により表面電位と裏面電位の間に大きな隔たりがなく、高電圧(静電)破壊が生じないので、形状制御と均一エッチングが可能な基板電極構造であれば良かった。従来技術においては、例えば金属マスクを用いてSiO2をエッチングした場合、僅かにアンダーカットが発生することが見出される。SiO2は電荷を持たないプラズマ中の活性種と反応することはなくイオン衝撃でエッチングが進行する。イオンと電子の表面への到達量の僅かな差によって発生した電荷によりマスク金属が帯電し誘電体内部と異なった電位が発生する。従って、入射イオンの軌道は表面の金属マスクに帯電した電荷の作用で曲げられ、その結果アンダーカットが発生すると解釈できる。
【0004】
誘電率の低い誘電体ではこのように僅かなアンダーカットが生じるだけで基板割れの問題は発生しない。しかし、誘電率の高い誘電体では帯電する電荷量が多く静電破壊にまで達することが数多くの実験で確認された。これまでの実験では、密度1011cm−3のAr+C4F8プラズマを用いてLiNbO3をエッチングしたとき5分間は基板の割れが発生しなかったものの10分では割れが発生した。この基板の割れは主として温度むら及びチャージアップが要因であることが判った。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は上記のような従来装置に伴う問題点である温度むら及びチャージアップを解消して基板の割れを発生しないようにしたエッチング方法及び装置を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の第1の発明によれば、真空チャンバ内にガスを導入してマイクロ波や高周波を用いて高密度プラズマを形成し、基板電極上に焦電性高誘電体材料の基板を載置して、基板を加工するエッチング装置において、表面上に加工すべき基板を受ける受け面凹部を形成し、基板受け面凹部に対応した裏面の部分に裏面凹部と、裏面凹部を囲んで基板電極に接触する周囲接触面部とを形成し、裏面凹部から基板受け面凹部に貫通する複数のガス流通路を形成したアルミニウムから成る基板トレーを有し、基板電極上に装着した際に基板を基板トレー上にクランプリングにより固定すると共に主として基板トレーの裏面側に冷却ガスを流すことができるようにように構成したことを特徴としている。
【0007】
基板トレーの裏面凹部から周囲接触面部までの高さは5〜100μm、好ましくは、10〜50μmに設定され得る。
【0008】
このように構成した本発明によるエッチング装置では、高誘電体基板の装着された基板トレーの裏面及び表面に一様に冷却ガスを流すことができるように構成されているので、基板に対して温度むらの生じるのが防止でき、それによりチャージアップも防止されるようになる。
【0009】
また、本発明の第2の発明によれば、真空チャンバ内にガスを導入してマイクロ波や高周波を用いて高密度プラズマを形成し、基板電極上に焦電性高誘電体材料の基板を載置して、基板を加工するエッチング方法において、表面上に加工すべき基板を受ける受け面凹部を形成し、基板トレーの表面における基板受け面凹部に対応した裏面の部分に裏面凹部と、裏面凹部を囲んで基板電極と接触する接触面部とを形成し、裏面凹部から基板受け面凹部に貫通する複数のガス流通路を形成したアルミニウムから成る基板トレーを用いて、基板電極上に加工すべき基板を装着し、冷却ガスを主として基板トレーの裏面側に流すことを特徴としている。
【0010】
このように構成した本発明によるエッチング方法では、高誘電体基板のエッチング時に基板を支持している基板トレーの裏側に主として冷却ガスを流すようにしているので、良好な冷却効率を得ることができるようになる。
【0011】
本発明の方法においては、基板トレーに供給される冷却ガスの漏れ量は7sccm以下に設定され処理中の基板温度を100℃以下に維持するようにされ得る。
【0012】
また、基板トレー上に載置する基板は好ましくは、基板に実質的な機械的応力を与えずしかも基板の処理中に発生する応力を逃がすことのできる程度のクランプ力で保持され得る。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1には、高誘電体基板をエッチングする際に用いる本発明の一実施の形態によるエッチング装置の要部を示す。図1において、1は基板電極であり、アルミニウムで構成され、図示していない真空チャンバー内に配置されている。基板電極1上には基板トレー2が載置される。この基板トレー2の表面上には、LiNbO3やPZT等の焦電性高誘電率材料の基板3を受ける受け面凹部2aが形成され、この受け面凹部2aは基板3の形状及び外寸に合わせて構成され、そして受け面凹部2aの表面は高平坦度及び高平滑度となるようにし、絶縁物である基板との接触面積をできるだけ広く確保するようにしている。また、基板トレー2の裏面には、基板受け面凹部2aに対応した部分に裏面凹部2bが形成され、この裏面凹部2bは基板電極1に接触する周囲接触面部2cで画定されている。周囲接触面部2cは高平坦度及び高面精度に形成されている。さらに、基板トレー2には、その裏面凹部2bから基板受け面凹部2aに貫通する複数のガス流路2dが形成されている。基板トレー2の裏面側における裏面凹部2bの底面と周囲接触面部2cとの間の段差は、Heガスによる良好な冷却効率を得る観点から5〜100μm、好ましくは、10〜50μmに設定され得る。
【0014】
基板電極1には図示したようにHeガスの通路1aが設けられ、この通路1aの外端は真空チャンバー外に設けられた流量調節用のマスフローメーター4を介してHeガス供給源5が接続されている。通路1aの内端は基板トレー2の裏面凹部2bに連通するようにされ、それにより、Heガス供給源5からマスフローメーター4及び基板電極1の通路1aを介して基板トレー2の裏面及び表面にHeガスが供給できるようにされている。
【0015】
また、基板電極1上には、基板トレー2を位置決めするためのガイドリング6が配置されている。このガイドリング6によって位置決めされた基板トレー2に載置された基板3はクランプリング7によって本実施の形態では3点で支持されている。この場合、基板3に対する押圧力は、基板に過大な機械的応力を与えずしかも基板の処理中に発生する応力を逃がすことのできる程度に設定されるべきである。クランプリング7の構成材料としてはアルミナのような高誘電体材料は一般に金属酸化物であり、エッチング速度が低く、エッチング耐性が強いので、アルミナが最も適している。
【0016】
このように構成した図示装置の動作について説明する。
図示していないローディング室に用意された基板トレーに載置された基板は、基板電極1上に搬入され、ガイドリング6によって位置決めされ、基板トレー2の裏面側における周囲接触面部2cを基板電極1の表面に密着させて保持される。Heガス供給源5からマスフローメーター4及び基板電極1の通路1aを介して基板トレー2の裏面及び表面にHeガスが1730Paまで導入され、基板トレー2を所望の冷却温度に設定する。この場合、好ましくはHeガス供給源5からマスフローメーター4及び基板電極1の通路1aを介して導入されたHeガスは主として基板トレー2の裏側すなわち基板電極1と基板トレー2の周囲接触面部2cとの間に沿って流れる(漏れる)ようにされ、基板トレー2の表面側すなわち基板トレー2の表面と基板3との間には滞留するが実質的に流れない(漏れない)ようにされる。
【0017】
基板トレー2におけるHeガスの漏れ量について以下の条件で測定した結果を図3に示す。
Heガス供給源5からマスフローメーター4及び基板電極1の通路1aを介して基板トレー2に導入されるHeガスの圧力を1730Paとし、プラズマ放電なしでLiNbO3基板を基板トレー2に載置して測定した。
【0018】
次に、ArとC4F8の混合ガスを真空チャンバー(図示していない)に100sccm導入し、真空チャンバー内の圧力を0.33Paにし、プラズマ形成用誘導コイル(図示していない)に高周波数電力を600W、基板電極2に高周波バイアス電力を350W印加しエッチングを行った。その結果、30分間のエッチング時間において基板トレー2におけるHeガスの漏れ量は7sccm以下に保持され、それにより基板3の温度はほぼ100℃以下に維持され、エッチング中の熱流入による温度上昇を抑えることができ、それによる熱応力も抑制でき、基板割れを発生せず30分のエッチングが可能であった。
【0019】
図2には、本発明の別の実施の形態によるエッチング装置の要部を示す。図1と対応する部分は同じ符号で示す。
図2に示す構造では、基板トレー2の裏面側の周辺部に段部を設ける代りに、厚さ40μmの環状緩衝材8が貼られている。その他の構造は図1に示す実施の形態の場合と実質的に同じである。
【0020】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によるエッチング装置においては、表面上に加工すべき基板を受ける受け面凹部を形成し、基板受け面凹部に対応した裏面の部分に裏面凹部と、裏面凹部を囲んで基板電極に接触する周囲接触面部とを形成し、裏面凹部から基板受け面凹部に貫通する複数のガス流通路を形成したアルミニウムから成る基板トレーを有し、基板電極上に装着した際に基板を基板トレー上にクランプリングにより固定すると共に主として基板トレーの裏面側に冷却ガスを流すようにように構成したことにより、処理中基板はほぼ一様な温度に維持され、温度むら及びそれによるチャージアップが抑制でき、基板割れを起こさずに高誘電体加工が可能になるという効果を奏する。
【0021】
また、本発明によるエッチング方法においては、表面上に加工すべき基板を受ける受け面凹部を形成し、基板トレーの表面における基板受け面凹部に対応した裏面の部分に裏面凹部と、裏面凹部を囲んで基板電極と接触する接触面部とを形成し、裏面凹部から基板受け面凹部に貫通する複数のガス流通路を形成したアルミニウムから成る基板トレーを用いて、基板電極上に加工すべき基板を装着し、冷却ガスを主として基板トレーの裏面側に沿って流すことにより、基板に対する良好な冷却効率が得られ、その結果、処理中基板をほぼ一様な温度に維持することができ、温度むら及びそれによるチャージアップが抑制でき、基板割れを起こさずに高誘電体加工が可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態におけるエッチング装置の要部を示す概略断面図。
【図2】本発明の別の実施の形態におけるエッチング装置の要部を示す概略断面図。
【図3】基板トレーにおけるHeガスの漏れ量の測定結果を示すグラフ。
【符号の説明】
1 :基板電極
1a:ガスの通路
2 :基板トレー
2a:受け面凹部
2b:裏面凹部
2c:周囲接触面部
2d:ガス流路
3 :焦電性高誘電率材料の基板
4 :マスフローメーター
5 :Heガス供給源
6 :ガイドリング
7 :クランプリング
Claims (5)
- ガスを導入してマイクロ波や高周波を用いて高密度プラズマを形成し、基板電極上に焦電性高誘電体材料の基板を載置して、基板を加工するエッチング装置において、表面上に加工すべき基板を受ける受け面凹部を形成し、基板受け面凹部に対応した裏面の部分に裏面凹部と、裏面凹部を囲んで基板電極に接触する周囲接触面部とを形成し、裏面凹部から基板受け面凹部に貫通する複数のガス流通路を形成したアルミニウムから成る基板トレーを有し、基板電極上に装着した際に基板を基板トレー上にクランプリングにより固定すると共に主として基板トレーの裏面側に冷却ガスを流すようにように構成したことを特徴とする焦電性高誘電体のエッチング装置。
- 基板トレーの裏面凹部から周囲接触面部までの高さが5〜100μmであることを特徴とする請求項1に記載の焦電性高誘電体のエッチング装置。
- 真空チャンバ内にガスを導入してマイクロ波や高周波を用いて高密度プラズマを形成し、基板電極上に焦電性高誘電体材料の基板を載置して、基板を加工するエッチング方法において、表面上に加工すべき基板を受ける受け面凹部を形成し、基板トレーの表面における基板受け面凹部に対応した裏面の部分に裏面凹部と、裏面凹部を囲んで基板電極と接触する接触面部とを形成し、裏面凹部から基板受け面凹部に貫通する複数のガス流通路を形成したアルミニウムから成る基板トレーを用いて、基板電極上に加工すべき基板を装着し、冷却ガスを主として基板トレーの裏面側に沿って流すことを特徴とする焦電性高誘電体のエッチング方法。
- 基板トレーに供給される冷却ガスの漏れ量を7sccm以下に設定して処理中の基板温度を100℃以下に維持することを特徴とする請求項3に記載の焦電性高誘電体のエッチング方法。
- 基板トレー上に載置する基板を、基板に実質的な機械的応力を与えずしかも基板の処理中に発生する応力を逃がすことのできる程度のクランプ力で保持することを特徴とする請求項3に記載の焦電性高誘電体のエッチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001393513A JP3640385B2 (ja) | 2001-12-26 | 2001-12-26 | 焦電性高誘電体のエッチング方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001393513A JP3640385B2 (ja) | 2001-12-26 | 2001-12-26 | 焦電性高誘電体のエッチング方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003197607A JP2003197607A (ja) | 2003-07-11 |
JP3640385B2 true JP3640385B2 (ja) | 2005-04-20 |
Family
ID=27600488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001393513A Expired - Lifetime JP3640385B2 (ja) | 2001-12-26 | 2001-12-26 | 焦電性高誘電体のエッチング方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3640385B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010098012A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Ulvac Japan Ltd | エッチング装置及びエッチング方法 |
JP2010098010A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Ulvac Japan Ltd | エッチング装置及びエッチング方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007043528A1 (ja) | 2005-10-12 | 2007-04-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、及びトレイ |
JP4997141B2 (ja) * | 2008-02-21 | 2012-08-08 | 株式会社アルバック | 真空処理装置、基板の温度制御方法 |
KR100954754B1 (ko) | 2008-03-25 | 2010-04-27 | (주)타이닉스 | 플라즈마 처리장치용 기판 트레이 |
JP5207365B2 (ja) * | 2008-04-23 | 2013-06-12 | 株式会社アルバック | 強誘電体基板のエッチング方法 |
JP5264403B2 (ja) * | 2008-10-14 | 2013-08-14 | 株式会社アルバック | プラズマエッチング装置において用いる基板トレイ、エッチング装置及びエッチング方法 |
KR101062185B1 (ko) | 2009-08-21 | 2011-09-05 | 김남진 | 플라즈마 처리장치 |
KR101228484B1 (ko) * | 2012-07-03 | 2013-01-31 | 주식회사 기가레인 | 플라즈마 처리장치의 기판 재치대 |
TWI660452B (zh) * | 2014-02-17 | 2019-05-21 | 優貝克科技股份有限公司 | 用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組 |
-
2001
- 2001-12-26 JP JP2001393513A patent/JP3640385B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010098012A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Ulvac Japan Ltd | エッチング装置及びエッチング方法 |
JP2010098010A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Ulvac Japan Ltd | エッチング装置及びエッチング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003197607A (ja) | 2003-07-11 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040531 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041117 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080128 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110128 Year of fee payment: 6 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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