FR2771948A1 - Procede pour utiliser un melange liquide acide sulfurique/peroxyde - Google Patents

Abstract

L'invention concerne un procédé pour utiliser un mélange liquide acide sulfurique/ peroxyde, qui comprend la décomposition du peroxyde dans le mélange liquide acide sulfurique/ peroxyde pour utiliser ce mélange liquide comme acide sulfurique.

Description

I La présente invention concerne un procédé pour utiliser un mélange

liquide acide sulfurique/peroxyde et plus particulièrement un procédé pour utiliser un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde qui peut être utilisé avantageusement comme procédé de réutilisation d'un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde usé. Actuellement, on utilise en grandes quantités des mélanges liquides

acide sulfurique/peroxyde comme liquides de rinçage pour pastilles semi-

conductrices principalement dans la fabrication des semiconducteurs, sous forme de mélanges liquides acide sulfurique/peroxyde d'hydrogène ou acide

sulfurique/ozone.

Un tel mélange liquide acide sulfurique/peroxyde constitue une solution de rinçage représentative utilisée principalement pour retirer un photorésist d'une pastille ou pour retirer des particules métalliques, en particulier des particules de métaux lourds. Ce mélange liquide est utilisé en quantité sensiblement plus importante que dans le cas des autres solutions de rinçage, telles que les solutions aqueuses d'ammoniac/peroxyde d'hydrogène, d'acide chlorhydrique/peroxyde

d'hydrogène ou d'acide fluorhydrique dilué.

Il en résulte la formation d'une grande quantité de liquide usé après l'utilisation, ce qui pose les problèmes suivants en ce qui concerne le rejet: (i) si le liquide usé est mélangé avec de l'eau, il en résulte un dégagement de chaleur significatif (lié à la chaleur d'hydratation de l'acide sulfurique); (ii) il reste un peroxyacide (acide de Caro) qui présente un fort pouvoir oxydant; et (iii) il reste de l'oxyde d'hydrogène, de sorte qu'un moussage vigoureux (avec dégagement d'oxygène) est susceptible de se produire par suite d'impacts ou

de la présence d'impuretés.

Du fait des problèmes évoqués ci-dessus causés par le dégagement de chaleur, une montée brutale de la pression due au moussage, ou à la possibilité d'une détérioration de l'appareillage par oxydation, on considère qu'il est délicat, pour des raisons de sécurité ou de maintenance, de transporter une telle solution usée directement pour la purifier en acide sulfurique. Ainsi, selon un procédé courant, la solution usée est diluée et refroidie avec une grande quantité d'eau, neutralisée avec un alcali comme la chaux éteinte, agglomérée avec un floculant inorganique et avec un floculant de haute masse moléculaire, dans cet ordre, et

enfin évacuée dans un effluent sous forme d'eau usée.

Comme l'eau et les agents chimiques tels que les floculants sont utilisés en une quantité qui est finalement supérieure de plusieurs dizaines à plusieurs centaines de fois a celle du mélange liquide acide sulfurique/peroxyde initial, les coûts de traitement, c'est-à-dire les coûts d'appareillage ou de maintenance, les coûts d'agents chimiques ou d'élimination des boues, sont augmentés. Si l'on considère que ceci est inévitable, la quantité de produits usés augmente également

de manière prohibitive.

On a considéré jusqu'à maintenant qu'un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde usé ne pouvait pas être rejeté autrement qu'en étant évacué

dans un effluent, sans possibilité de réutilisation.

Compte tenu du fait que le rejet d'un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde usé présente de nombreux inconvénients, on a tenté de développer une technique pour réutiliser efficacement le liquide usé et pour résoudre le problème lié à son rejet. Ainsi, la présente invention a pour but de développer un procédé pour utiliser un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde,

tel qu'un mélange liquide usé, et de supprimer le problème lié à son rejet.

Ainsi, selon la présente invention, il est proposé un procédé pour

utiliser un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde qui comprend la décomposi-

tion du peroxyde dans le mélange pour utiliser le mélange liquide comme acide

sulfurique.

Comme le peroxyde dans le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde est décomposé pour utiliser le mélange liquide résultant comme acide sulfurique, il est possible de réutiliser efficacement un tel liquide usé s'il est traité au moyen de cette technique. Ceci permet une utilisation efficace du liquide usé et de supprimer le problème lié à son rejet. La présente invention, qui propose une technique efficace pour un liquide usé constitué par un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde peut être appliquée à un tel mélange qui n'est pas un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde usé comme procédé pour utiliser le mélange

acide sulfurique/peroxyde si l'on souhaite l'utiliser comme acide sulfurique.

En effet, on a constaté qu'en ajoutant un accélérateur de décomposition tel que l'acide nitrique à un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde, tel qu'un liquide usé issu d'un procédé de fabrication de semiconducteurs, par exemple, il est

possible d'utiliser ce liquide usé corrmme acide sulfurique régénéré.

Il en résulte qu'il n'est pas nécessaire de rejeter le liquide usé ce qui permet une utilisation efficace des ressources et réduit la quantité de produits usés comme l'eau effluente. De plus, grâce à la présente invention, le peroxyde peut être décomposé complètement sans abaisser la concentration d'acide sulfurique dans le liquide usé. Le produit résultant peut être utilisé comme modificateur, par exemple comme agent sulfonant ou comme accélérateur d'hydrolyse, pour différents composés tels que des polymères. Le liquide décomposé obtenu par la décomposition du peroxyde peut être utilisé comme modificateur pour des produits résiniques usés, de sorte que de tels produits peuvent être convertis en un produit à haute valeur ajoutée, ce qui contribue au respect de l'environnement global en

réduisant la quantité de produit usé et en utilisant efficacement les ressources.

Un mode de réalisation préféré du procédé de la présente invention va

maintenant être présenté.

Le procédé selon la présente invention utilise le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde comme acide sulfurique en décomposant le peroxyde dans le mélange liquide et peut être appliqué de la manière la plus efficace dans les cas o le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde constitue un liquide usé issu de différents domaines d'utilisation du mélange liquide acide sulfurique/peroxyde car

les différents problèmes posés par le rejet peuvent alors être évités.

Selon la présente invention, l'acide sulfurique contenu dans le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde a une concentration d'au moins 70 % en masse, de préférence d'au moins 80 % en masse car, si la concentration est inférieure à 70 % en masse, le peroxyde n'est pas susceptible d'être décomposé même par

addition d'un accélérateur de décomposition, ainsi qu'on l'expliquera dans la suite.

N n'y a pas de limitation particulière concernant les domaines d'application de tels mélanges liquides acide sulfurique/peroxyde. En général, ces mélanges liquides sont issus de préférence de différents processus de rinçage. Par exemple, on préfère les mélanges liquides acide sulfurique/peroxyde utilisés comme liquides de rinçage pour différentes pièces ou produits dans le domaine électrique,

en particulier ceux qui sont utilisés dans le procédé de production des semi-

conducteurs pour retirer les photorésists ou ceux qui sont utilisés comme liquides de rinçage, car habituellement, l'acide sulfurique présent dans les mélanges liquides

acide sulfurique/peroxyde utilisés dans les procédés de fabrication des semi-

conducteurs a une concentration de 70 % en masse ou plus.

Le peroxyde présent dans le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde peut être par exemple le peroxyde d'hydrogène, l'ozone ou un peroxyacide (acide de Caro). On note que l'acide peroxysulfurique est habituellement formé par injection de peroxyde d'hydrogène aqueux ou d'ozone gazeux dans de l'acide sulfurique. I n'y a pas de limitation particulière concernant la concentration du peroxyde dans le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde et, en général, cette concentration est de préférence de 0,001 ppm à 20 % en masse et de préférence encore de 0,01 ppm à 10 % en masse. I ne se pose aucun problème particulier si plusieurs composants autres que l'acide sulfurique et le peroxyde, comme l'eau, un acide inorganique, des tensioactifs ou des stabilisants de décomposition sont contenus dans le mélange liquide en plus de l'acide sulfurique et du peroxyde. De préférence, la teneur totale de ces composants supplémentaires ne dépasse pas

% en masse car les teneurs supérieures ont tendance à empêcher la décomposi-

tion du peroxyde dans le mélange liquide.

Il n'y a pas de limitation particulière concernant la température lors de

la décomposition du peroxyde du mélange liquide acide sulfurique/peroxyde.

Aucun problème particulier ne se pose si la température de décomposition est située dans un domaine de 0 à 180 C, qui constitue un domaine de température courant d'un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde. En général, plus la température du mélange est élevée, plus la décomposition du peroxyde (moussage)

au moment de la décomposition est rapide.

Il est souhaitable d'ajouter une ou plusieurs substances parmi l'acide nitrique, l'acide nitrique fumant, le dioxyde d'azote, des nitrates ou racide chlorhydrique au mélange liquide acide sulfurique/peroxyde comme accélérateur de décomposition pour le ou les peroxydes contenus dans ce mélange. I n'y a pas de limitation particulière concernant la concentration de ces composés qui, en outre, peuvent éventuellement être des composés déjà utilisés. Sous l'angle de l'utilisation efficace des ressources, on préfère des composes déjà utilisés. Pour la même raison, on préfère utiliser comme accélérateurs de décomposition pour le présent

procédé des liquides usés contenant l'un quelconque des accélérateurs de décom-

position mentionnés ci-dessus, qui sont utilisés comme liquides de rinçage de pastilles dans les procédés de fabrication des semiconducteurs. On peut ajuster de manière appropriée la quantité d'accélérateurs de décomposition que l'on ajoute au

mélange liquide acide sulfurique/peroxyde en fonction du type ou de la concentra-

tion du ou des peroxydes et de la température du liquide. En général, la quantité d'accélérateur de décomposition que l'on ajoute est de préférence de 0,001 ppm à % en masse et de préférence encore de 0,01 ppm à 5 % en masse. Si l'on agite

suffisamment le mélange liquide lorsque l'on ajoute l'accélérateur de décompo-

sition, celui-ci peut diffuser aisément, ce qui permet d'obtenir une plus grande vitesse de décomposition ou de réduire la quantité d'accélérateur de décomposition ajouté. La réaction de décomposition évoquée ci-dessus peut avoir lieu au site d'utilisation du mélange liquide, par exemple dans le récipient de rinçage de pastilles du procédé de fabrication de semiconducteurs, ou dans un dispositif destiné à la réaction de décomposition. Comme il se forme habituellement une grande quantité de gaz, principalement de l'oxygène, lors de la réaction de décomposition et qu'une chaleur de décomposition se dégage, il est souhaitable de prévoir un dispositif d'agitation et/ou un dispositif de refroidissement pour évacuer la chaleur de décomposition ou de prendre des dispositions appropriées, par exemple sous la forme de structures résistante à la pression ou d'une conduite d'abaissement de pression, pour éviter une montée du niveau de liquide due au

moussage ou une montée de la pression.

Pour réaliser une décomposition plus efficace, il est judicieux d'injecter

l'accélérateur de décomposition goutte à goutte dans le mélange liquide agité.

Généralement, cette réaction de décomposition est extrêmement rapide de sorte que, si l'accélérateur de décomposition est injecté en une fois, il est difficile de

contrôler le moussage ou le dégagement de chaleur.

Grâce au procédé décrit ci-dessus, la décomposition du ou des peroxydes dans le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde est réalisée en une courte durée et le liquide ainsi traité peut être réutilisé comme acide sulfurique. Par exemple, le liquide traité peut être réutilisé comme acide fort ou comme agent de sulfonation, notamment pour des composés de haute masse moléculaire tels que

des composés polymères, ou comme accélérateurs d'hydrolyse de tels composés.

L'accélérateur de décomposition peut manifester son effet même s'il est present en très petite quantité de sorte que la concentration d'acide sulfurique dans le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde n'est pratiquement pas abaissée. Ceci améliore sensiblement le rendement de régénération lors de la purification du liquide après la décomposition en acide sulfurique concentré tout en abaissant les

coûts associés.

De plus, le liquide issu du procédé de décomposition peut être utilisé en l'état comme acide sulfurique. Par exemple, ce liquide peut être utilisé comme agent sulfonant pour différents composés, notamment pour des composés insaturés contenant des groupes aromatiques, halogènes, alcools ou des composés contenant des groupes anhydride d'acide, en particulier des composés organiques hydrocarbonés, ou comme accélérateur d'hydrolyse pour différents composés. Plus spécifiquement, le liquide ainsi obtenu peut être utilisé pour la synthèse d'alkylbenzènesulfonates. Les composés énumérés ci-dessus peuvent être utilisés comme dispersants pour différents produits, c'est-à-dire comme tensioactifs, ou

comme agents antistatiques.

Le liquide obtenu peut aussi être mis à réagir avec du polystyrène pour donner des sulfonates de polystyrène et des sels de sodium de ceux-ci qui peuvent être utilisés comme dispersants, par exemple comme dispersants pour le ciment ou les suspensions aqueuses de charbon, comme résines thermoplastiques résistantes à la chaleur, comme agents antistatiques, par exemple pour le papier, les résines ou les fibres, comme floculants, par exemple pour traiter les effluents, ou comme pâtes ou résines échangeuses d'ions. Ce liquide peut aussi être mis à réagir avec la lignine pour donner de l'acide lignosulfonique et ses sels qui sont efficaces comme

dispersants pour le ciment. Le liquide obtenu peut hydrolyser les groupes acrylo-

nitriles dans une résine ABS, une résine SAN ou une résine PAN pour modifier les

hydrolysats résultants afin de les utiliser comme résines hygroscopiques.

Les composés, notamment les composés organiques, qui sont traités

avec le liquide ainsi décomposé peuvent être des composés déjà utilisés, c'est-à-

dire des composés usés. Du point de vue de l'utilisation efficace des ressources, il est préférable d'utiliser des composés usés comme produits de départ. Par exemple, une matière synthétique usée peut être utilisée de préférence comme produit de départ. Le procédé ci- dessus permet de décomposer efficacement le ou les peroxydes présents dans le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde usé, ce qui facilite la récupération de l'acide sulfurique à haute concentration qui peut être utilisé non seulement comme acide sulfurique régénéré, mais aussi comme agent sulfonant ou comme accélérateur d'hydrolyse pour différents composés tels que des

composés organiques.

Habituellement, de grandes quantités d'eau et d'agents chimiques sont nécessaires pour traiter un tel mélange liquide acide sulfurique/peroxyde, de sorte

qu'il en résulte finalement la production d'une grande quantité de produits usés.

Grâce au présent procédé, il est possible de réduire sensiblement cette quantité de produits usés. De plus, le mélange liquide, qui était rejeté jusqu'à présent, peut être converti en produits à haute valeur ajoutée. En outre, les matières synthétiques usées, qui étaient rejetées jusqu'à présent, peuvent également être converties en

produits à haute valeur ajoutée.

D apparaît d'après ce qui précède que la mise en oeuvre du procédé selon la présente invention permet d'économiser les ressources ou de réaliser des recyclages pour réduire la quantité de produits usés, ce qui contribue au respect de

l'environnement global.

La présente invention va maintenant être illustrée d'une manière plus

détaillée à l'aide d'exemples non limitatifs.

Les exemples 1 et 2 présentent des cas spécifiés de décomposition de peroxydes dans un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde usé. De même, les exemples 3 à 9 et les exemples comparatifs présentent des cas spécifiés d'utilisation de produits de décomposition du mélange liquide acide sulfurique/peroxyde. Dans les exemples qui illustrent la décomposition des peroxydes dans le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde et l'utilisation des produits de décomposition, on utilise les mélanges liquides acide sulfurique/peroxyde usés (a) et (b) suivants pour l'évaluation: (a) un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde usé utilisé comme liquide de rinçage pour un prétraitement avant la formation d'un film d'oxyde dans un procédé de fabrication de semiconducteurs (étape préliminaire) (rapport de mélange initial H2SO4H20 = 5:1 en volume, température d'utilisation 80 C, une petite quantité de peroxyde d'hydrogène étant ajouté au cours de l'utilisation), et (b) un mélange liquide acide sulfurique/ozone usé utilisé comme liquide de retrait de photorésist dans un procédé de fabrication de semiconducteurs (étape préliminaire) (acide sulfurique concentré dans lequel est insufflé de l'ozone,

température d'utilisation: 110 C).

Les concentrations initiales d'acide sulfurique et de peroxyde

d'hydrogène sont de 96 % en masse et 30 % en masse respectivement.

Exemple 1

On a injecté 5 1 de liquide usé (a) dans un récipient réactionnel muni d'un agitateur et d'un dispositif réfrigérant et on les a refroidis à la température de l'eau. Puis on a ajouté S gouttes d'acides nitrique fumant usé, utilisé comme liquide de retrait de résist en aval de l'étape d'interconnexion de métaux dans le procédé de fabrication de semiconducteurs, chaque goutte pesant approximativement 0,2 g, sous agitation. Au site d'addition goutte à goutte de l'acide nitrique, il est apparu un moussage qui peut être attribué à la décomposition des peroxydes, et ce moussage a disparu en environ 2 min. On a analysé la quantité résiduelle de

peroxyde d'hydrogène dans le liquide avant et après la réaction de décomposition.

On a constaté que cette quantité résiduelle, qui était d'environ 1 % en masse, avait diminué à 10 ppm ou moins après la décomposition. La concentration de l'acide sulfurique dans le liquide décomposé, obtenu par décomposition, était de 82 % en masse. Cet acide sulfurique, obtenu par purification, a pu être réutilisé comme

acide sulfurique industriel.

Exemple 2

A 20 1 de liquide usé (b) à 1 1 0 C contenu dans un récipient de rinçage de pastilles muni d'un filtre de circulation, on a ajouté goutte à goutte 7 gouttes d'acide nitrique à 70 %, chaque goutte pesant 0,3 g. Au site d'addition goutte à goutte de l'acide nitrique, il s'est produit un moussage dû à la décomposition des peroxydes, comme dans le cas de l'exemple 1. Ce moussage a disparu en environ 1 min. On a ajouté goutte à goutte une solution de résist au liquide usé avant et après la décomposition. Dans le cas de la solution avant la décomposition, le liquide est devenu jaune pâle juste après l'injection de la solution de résist et est redevenu transparent comme précédemment en environ 3 min. Dans le cas de la solution après la décomposition, la couleur jaune pâle est restée. La raison en est que le traitement a permis la décomposition du peroxyde dans le liquide usé. La concentration de l'acide sulfurique dans le liquide décomposé obtenu par décomposition était de 90 % en masse. L'acide sulfurique purifié a pu être réutilisé

comme acide sulfurique industriel comme dans l'exemple 1.

Exemple 3

A 5 g de la solution décomposée obtenue dans l'exemple 1 (concentra-

tion de l'acide sulfurique: 82 % en masse), on a ajouté 0,2 g d'un produit usé d'une partie grise (résine ABS) d'une plaque de sécurité d'une cassette de 8 mm et on a conduit une réaction à 80 C pendant 60 min. Après la fin de la réaction, on a récupéré un produit solide que l'on a lavé à l'eau jusqu'à ce qu'il ne contienne plus d'acide. On a séché à 80 C pendant 2 h le produit gélifié résultant. La masse solide noire résultante présentait un effet hygroscopique correspondant à environ 100 fois et environ 50 fois sa propre masse pour l'eau pure et l'urine artificielle, respectivement.

Exemple 4

On a conduit la réaction dans les mêmes conditions que dans l'exemple 3, en utilisant une résine styrène-acrylonitrile (SAN) transparente comme produit de départ et un liquide décomposé obtenu dans l'exemple 2 (concentration d'acide sulfurique: 90 % en masse). La masse solide transparente résultante présentait un effet hygroscopique correspondant à environ 150 fois et environ 70 fois sa propre

masse pour l'eau pure et l'uirine artificielle, respectivement.

Exemple comparatif 3' (exemple comparatif de l'exemple 3)

On a utilisé le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde (a), c'est-à-

dire un mélange liquide usé non traité par décomposition d'oxyde. Pour le reste, on a conduit la réaction dans les mêmes conditions que dans l'exemple 3. Dans ce cas, la résine usée était totalement décomposée par le peroxyde résiduel et n'a pas pu

être transformée en une résine hygroscopique.

Exemple comparatif 4' (exemple comparatif de l'exemple 4)

On a utilisé le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde (b), c'est-à-

dire un liquide usé non traité par décomposition d'oxyde. Pour le reste, on a conduit la réaction dans les mêmes conditions que dans l'exemple 4. Dans ce cas, la résine SAN usée n'a pas pu être modifiée en résine hygroscopique, comme dans

l'exemple comparatif 3'.

Exemple 5

A du polystyrène dissous dans le 1,2-dichloroéthane (masse molécu-

laire environ 280 000), on a ajouté le liquide décomposé obtenu dans l'exemple 1 (concentration d'acide sulfurique: 82 % en masse) et de l'anhydride acétique (rapport molaire 1:1:2) pour conduire la réaction à 60 C pendant 5 h. Après la fin de la réaction, on a versé le produit réactionnel dans de l'eau chaude pour le rincage et la reprécipitation. On a séché le précipité résultant pour obtenir un polystyrène sulfoné (SPS) à 10 mol%. On a ajusté le taux de sulfonation avec le taux d'introduction d'acide sulfurique récupéré. On a dissous le polystyrène sulfoné produit dans le tétrahydrofurane. A la solution résultante, on a ajouté une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium en une quantité équimolaire aux groupes sulfones dans le polystyrène sulfoné. On a récupéré la solution résultante et on l'a séchée pour obtenir du polystyrène sulfoné de sodium (SPS-Na). La température de transition vitreuse (Tg) du polystyrène sulfoné de sodium produit était augmentée d'environ 40 C par rapport à celle du polystyrène initial (environ 100 C), de sorte

que l'on a pu rendre ce polystyrène résistant à la chaleur grâce au présent procédé.

Exemple 6

On a mis en oeuvre le procédé de la même manière que dans l'exemple , à ceci près que l'on a utilisé comme produit de départ un boîtier pour lecteur de

CD-ROM (alliage polystyrène-polyphénylèneéther contenant du noir de carbone).

La température de transition vitreuse (Tg) de la résine produite était augmentée

d'environ 30 C par rapport à celle du produit usé de départ.

Exemple comparatif 6' (exemple comparatif de l'exemple 6) On a utilisé le mélange liquide acide sulfurique/ozone et, pour le reste, on a conduit la réaction dans les conditions de l'exemple 6. Dans ce cas, le produit usé à base de polystyrène expansé était complètement décomposé au cours de la

réaction de sulfonation.

Exemple 7

On a introduit des billes de polystyrène réticulées avec 5 % de divinyl-

benzène dans le liquide décomposé obtenu dans l'exemple 2 pour réaliser une sulfonation à 80 C pendant 15 h. A la fin de la réaction, on a rincé le produit sulfoné avec une grande quantité d'eau pour obtenir une résine échangeuse de

cations.

Exemple 8

On a mélangé 18 g du liquide décomposé obtenu dans l'exemple 1, 8 g de polystyrène (masse moléculaire 10 000) et 8 g de naphtalène pour conduire la réaction à 150 C pendant 5 h. On a refroidi la masse réactionnelle à 90 C et on a ajouté 10 g d'eau. On a fait réagir la masse résultante à 100 C pendant 5 h en ajoutant goutte à goutte 7 g de solution de formaldéhyde à 37 %. Après la réaction, on a ajouté au système réactionnel 30 g d'eau et 10 g d'une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à 48 %. On a agité le produit résultant à 80 C pendant 30 min, on a ajouté 5 g d'hydroxyde de calcium et on a agité pendant 1 h. On a pu utiliser le produit obtenu par filtration comme agent déshydratant pour le

ciment ou comme dispersant pour une suspension aqueuse de charbon.

Exemple 9

A 70 g de cyclohexane contenu dans un récipient réactionnel, maintenu à 50 C, on a ajouté goutte à goutte simultanément en 60 min 12 g du liquide décomposé obtenu dans l'exemple 1 et une solution obtenue en dissolvant à chaud du polystyrène expansé usé dans 68 g de cyclohexane. On a ensuite conduit la réaction pendant 1 h en maintenant la température à 50+2 C. Au cours de la réaction, il s'est formé un produit analogue à une suspension dans le liquide réactionnel. On a ajouté progressivement une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium au système réactionnel pour la neutralisation, en agitant. Puis, on a chassé par distillation à chaud le cyclohexane du système réactionnel. Enfin, on a ajusté à pH 8 la solution aqueuse résiduelle avec de l'hydroxyde de sodium pour obtenir

une solution aqueuse à 10 % en masse d'électrolyte de haute masse moléculaire.

On a pu utiliser cet électrolyte de haute masse moléculaire hydrosoluble comme floculant de haute masse moléculaire ou comme déshydratant pour le traitement

d'effluents ou d'eaux usées.

Claims (10)

REVENDICATIONS

1. Procédé pour utiliser un mélange liquide acide sulfurique/peroxyde, caractérisé en ce qu'il comprend la décomposition du peroxyde dans le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde pour utiliser ce mélange liquide comme acide sulfurique.

2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde est un liquide usé et le procédé est un procédé

pour sa réutilisation.

3. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes,

caractérisé en ce que la concentration de l'acide sulfurique dans le mélange liquide

acide sulfurique/peroxyde est d'au moins 70 % en masse.

4. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes,

caractérisé en ce que le peroxyde dans le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde est le peroxyde d'hydrogène, l'ozone ou l'acide peroxysulfurique, ou un mélange de

deux ou plusieurs de ceux-ci.

5. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes,

caractérisé en ce que, lors de la décomposition du peroxyde dans le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde, on ajoute au mélange une ou plusieurs substances parmi l'acide nitrique, l'acide nitrique fumant, le dioxyde d'azote, des

nitrates et l'acide chlorhydrique.

6. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes,

caractérisé en ce que le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde est un liquide

usé issu d'un procédé de fabrication de semiconducteurs.

7. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que la ou les substances parmi l'acide nitrique, l'acide nitrique fumant, le dioxyde d'azote, les nitrates et l'acide chlorhydrique sont ajoutés comme accélérateur de décomposition

du peroxyde dans le mélange liquide acide sulfurique/peroxyde.

8. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes,

caractérisé en ce que l'acide sulfurique obtenu à partir du mélange liquide acide

sulfurique/peroxyde est utilisé comme agent sulfonant.

9. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes,

caractérisé en ce que l'acide sulfurique obtenu à partir du mélange liquide acide sulfuriique/peroxyde est utilisé dans une réaction de sulfonation et/ou d'hydrolyse

d'un composé de haute masse moléculaire.

10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que le composé

de haute masse moléculaire est une matière synthétique usée.