FR2758415A1 - Procede de formation de nervures de barrage d'un panneau d'affichage - Google Patents

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Abstract

L'invention concerne la formation de nervures de barrage. Elle se rapporte à un procédé qui comprend la formation d'une couche d'une pâte diélectrique contenant un ingrédient de poudre et un ingrédient de liant, comme couche (51) d'un matériau de nervures de barrage d'épaisseur prédéterminée, la formation d'un motif (54) de masque, la projection d'un matériau d'usinage à travers le motif (54) de masque afin que la couche de pâte forme ainsi une couche (51) du matériau de nervures de barrage usinées, et le frittage de cette couche (51) pour la formation des nervures de barrage, et dans lequel, avant la formation du motif (54) du masque, un film (52) de liaison fixe l'ingrédient de poudre à un état libre à la surface de la couche de pâte diélectrique. Application aux panneaux d'affichage dans un plasma.par.

Description

La présente invention concerne un procédé de formation de nervures de barrage d'un panneau d'affichage, et elle concerne notamment un procédé de formation de nervures de barrage d'un panneau d'affichage, tel qu'un panneau d'affichage à plasma (PDP), un panneau à cristaux liquides à adressage par plasma et un panneau d'affichage à émission de champ, qui comporte des nervures de barrage pour la formation de cloisons destinées à des éléments d'image et pour la conservation d'un espacement entre un substrat avant et un substrat arrière.
Ces types de panneaux d'affichage sont utilisés dans divers domaines. En particulier, le panneau PDP convient à un dispositif d'affichage à grand confort de vision puisqu'il présente une excellente visibilité et une vitesse élevée d'affichage. Le panneau PDP a attiré une attention considérable ces dernières années.
Le panneau PDP est un panneau d'affichage à luminosité intégrée puisqu'il possède un espace de décharge délimité entre deux substrats et des électrodes disposées sous forme matricielle sur le substrat. Les deux substrats se font face et sont séparés par une distance minimale, et leurs périphéries sont fermées de manière étanche.
Le panneau PDP mettant en oeuvre un système d'affichage matriciel comporte des nervures de barrage ayant une hauteur d'environ 100 à 200 Hm pour le cloisonnement de l'espace de décharge. Par exemple, un panneau PDP du type à décharge en surface qui convient à un affichage en couleurs de type fluorescent contient des nervures linéaires de barrage qui sont équidistantes et suivent les lignes d'affichage. La distance entre les nervures adjacentes de barrage est par exemple d'environ 200 ssm dans le cas d'un panneau PDP en couleurs de 53,3 cm. Les nervures de barrage empêchent le couplage par décharge et l'interpénétration des couleurs des cellules adjacentes.
Des procédés connus pour la formation des nervures de barrage comprennent un procédé de sérigraphie, un procédé de sablage et un procédé de polissage hydraulique.
Dans le procédé de sérigraphie, un motif à la configuration des nervures de barrage est imprimé de manière répétée des dizaines de fois pour la formation des nervures de barrage. Le procédé de sérigraphie présente l'avantage de permettre la fabrication de la plupart des matériaux tout en réduisant les coûts de fabrication. Cependant, la précision de production de l'écran, la précision des impressions répétées et la durabilité de l'écran posent des problèmes lorsque des nervures de barrage doivent être formées sur un panneau d'affichage de grandes dimensions, dépassant 1 m, ou lorsque des nervures de barrage de largeur minuscule doivent être placées à de très petites distances pour la formation d'un affichage de haute définition et de petites dimensions.
Dans le procédé de sablage, de fines particules d'usinage sont entraînées dans un courant d'air et projetées sur une couche d'un matériau destiné à former des nervures de barrage avec un motif de masque d'usinage formé au préalable, afin qu'une partie qui n'est pas recouverte par le motif du masque soit usinée lors de la formation des nervures de barrage. Le procédé de sablage pose des problèmes de déchets du matériau des nervures de barrage retiré par usinage et d'un coût élevé à cause de l'opération de photolithographie qui est nécessaire. Cependant, le procédé de sablage présente l'avantage de donner une meilleure précision que le procédé de sérigraphie.
Dans le procédé de polissage hydraulique, un liquide tel que de l'eau est projeté afin qu'il assure l'usinage. Le procédé de polissage hydraulique est presque le même que le procédé précité de sablage dans son déroulement et il présente un avantage analogue.
Les procédés de sablage et de polissage hydraulique sont souvent utilisés pour la formation de nervures de barrage sur un panneau d'affichage de grandes dimensions ou un panneau d'affichage de petites dimensions et de haute définition, car ces procédés conviennent à l'obtention d'une précision élevée.
On considère maintenant un exemple de formation de nervures de barrage de la technique antérieure par le procédé de sablage dans le cas d'un panneau PDP en couleurs, et notamment d'un panneau PDP piloté en courant alternatif et du type à décharge en surface.
Les figures 14A à 14D illustrent la formation de nervures de barrage destinées à un panneau PDP, par le procédé de sablage. Comme indiqué sur les figures, les nervures de barrage sont formées dans les opérations suivantes.
Une couche de base, une électrode d'adressage et une couche isolante sont formées sur un substrat arrière 21 de verre (la couche de base, l'électrode d'adressage et la couche isolante ne sont pas représentées). Une couche d'un matériau 51 de nervures de barrage est formée à l'épaisseur voulue sur la couche isolante (voir figure 14A). On utilise, comme matériau des nervures de barrage, une pâte de verre ayant des ingrédients de poudre de verre et de résine comme charge et liant. La couche 51 de matériau de nervures de barrage est séchée et un motif 54 de masque ayant la configuration des nervures de barrage est formé sur cette couche 51 du matériau de nervures de barrage par un procédé photolithographique (voir figure 14B). Un matériau d'usinage est projeté par l'organe 70 de sablage pour l'usinage d'une partie de la couche 51 du matériau de nervures de barrage qui n'est pas recouverte du motif 54 de masque. Cette couche du matériau de nervures de barrage est ainsi mise sous forme d'une couche de nervures de barrage usinée correspondant aux nervures de barrage (voir figure 14C). Le motif 54 du masque est séparé par pelage et la couche de nervures de barrage ainsi usinée est frittée sous forme de nervures 29 de barrage de verre (voir figure 14D).
Dans un panneau d'affichage à émission de champ et dans un panneau PDP monochrome ayant un pas important des points, des perles de verre dont le diamètre est de quelques centaines microns sont en général utilisées comme entretoises entre les substrats avant et arrière pour assurer leur espacement. Dans ce cas, il n'est pas obligatoire que les éléments d'image soient séparés par des cloisons. Il suffit d'assurer l'espacement des substrats avant et arrière.
Cependant, des nervures de barrage analogues à celles d'un dispositif d'affichage à plasma, lorsqu'elles sont utilisées, améliorent la visibilité. Pour cette raison, les nervures de barrage sont parfois formées dans un panneau d'affichage à émission de champ et un panneau PDP monochrome.
Le procédé précité de sablage est un procédé utile pour la formation de nervures de barrage d'un panneau d'affichage plan. Cependant, lorsque la couche du matériau de nervures de barrage est usinée par le procédé de sablage, surtout lorsque la largeur des nervures de barrage est réduite, l'adhérence entre le motif de masque et la couche du matériau de nervures de barrage diminue. Il arrive que le motif du masque se sépare par pelage de la couche du matériau de nervures de barrage pendant l'usinage.
Pour qu'une bonne adhérence soit assurée entre le motif et la couche du matériau, la quantité de l'ingrédient liant du matériau de nervures de barrage peut être accrue.
Cependant, l'augmentation de la quantité de l'ingrédient liant provoque une réduction de la vitesse d'usinage, et cette réduction de la vitesse d'usinage nécessite une augmentation de l'adhérence entre le motif du masque et la couche du matériau de nervures de barrage.
La solution de ce problème nécessite une augmentation de l'adhérence sans réduction de la vitesse d'usinage. La demande publiée et non examinée de brevet japonais Hei 7(1995)-161 298 propose une solution. Dans un procédé proposé, la quantité de l'ingrédient liant contenu dans le matériau des nervures de barrage n'est pas modifiée mais, sur cette couche du matériau de nervures de barrage, une seconde couche d'un matériau de nervures de barrage est formée et contient une plus grande quantité de l'ingrédient liant. Selon ce procédé, on prévoit que l'adhérence entre le motif du masque et la couche du matériau de nervures de barrage est augmentée dans une certaine mesure sans réduction notable de la vitesse d'usinage par sablage.
Cependant, lorsque les nervures de barrage doivent être placées à une très petite distance pour la réalisation d'un panneau d'affichage de haute définition, la largeur des nervures de barrage doit aussi être réduite. Ainsi, l'adhérence entre le motif et la couche de nervures de barrage doit encore être augmentée.
Dans une autre solution, une surface supérieure de la couche du matériau de nervures de barrage peut être dépolie.
Cependant, la surface supérieure des nervures de barrage est avantageusement aussi plate que possible puisque ces nervures sont destinées à empêcher le couplage par décharge entre les cloisons. Si les nervures de barrage ont une surface supérieure rugueuse, elles ne sont pas en contact intime avec le substrat avant lorsque les substrats avant et arrière sont assemblés sous forme d'un panneau d'affichage.
Il se forme alors des espaces entre les nervures de barrage et le substrat avant, permettant un couplage par décharge.
En conséquence, la qualité du panneau d'affichage est réduite.
En outre, la demande publiée et non examinée de brevet japonais Hei 4(1992)-95 328 décrit un procédé d'aplatissement de la face supérieure des nervures de barrage.
La présente invention a été réalisée dans ces conditions et elle a pour objet la mise à disposition d'un procédé de formation de nervures de barrage d'un panneau d'affichage dans lequel l'adhérence entre le motif du masque et la couche du matériau de nervure de barrage est améliorée, avec obtention de la planéité de la surface supérieure des nervures de barrage.
L'invention concerne ainsi un procédé de formation de nervures de barrage d'un panneau d'affichage comprenant les étapes suivantes la formation d'une couche d'une pâte diélectrique contenant un ingrédient de poudre et un ingrédient de liant, comme couche d'un matériau de nervures de barrage avec une épaisseur prédéterminée sur un substrat, la formation d'un motif de masque sur la couche de pâte diélectrique, la projection d'un matériau d'usinage sur la couche de pâte diélectrique à travers un motif de masque afin que la couche de pâte diélectrique soit partiellement usinée et forme ainsi une couche de nervures de barrage usinée, et le frittage de la couche de nervures de barrage usinée pour la formation des nervures de barrage, dans lequel, avant la formation du motif du masque, un film de liaison est formé pour la fixation de l'ingrédient de poudre à un état libre à la surface de la couche de pâte diélectrique.
Selon l'invention, comme l'ingrédient de poudre fluide, par exemple de verre, existant à la surface de la couche de pâte diélectrique est fixé par le film de liant, l'adhérence du motif du masque peut être accrue. En conséquence, la résistance à l'usinage peut être accrue et un motif plus fin que ceux qu'on obtient habituellement peut être formé. Les nervures de barrage peuvent en outre être réalisées avec une surface supérieure plate sans réduction de l'adhérence du motif du masque.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention seront mieux compris à la lecture de la description qui va suivre d'exemples de réalisation, faite en référence aux dessins annexés sur lesquels
les figures 1A et 1B sont des coupes illustrant une augmentation de l'adhérence d'un motif de masque
les figures 2A à 2C sont des coupes illustrant des augmentations de la planéité de la surface supérieure des nervures de barrage
les figures 3A à 3C sont des coupes représentant la relation entre la planéité d'une couche d'un matériau de nervures de barrage et l'adhérence d'un motif de masque
les figures 4A et 4B sont des vues générale et détaillées en perspective représentant la structure d'un panneau
PDP du type à décharge en surface piloté en courant alternatif et destiné à un affichage en couleurs
les figures 5A à 5E sont des coupes illustrant un procédé de formation de couches de barrage selon le premier mode de réalisation
les figures 6A à 6E sont des coupes illustrant un procédé de formation de couches de barrage selon le second mode de réalisation
les figures 7A à 7F sont des coupes illustrant un procédé de formation de couches de barrage selon le troisième mode de réalisation
les figures 8A à 8F sont des coupes illustrant un procédé de formation de couches de barrage selon le quatrième mode de réalisation
les figures 9A à 9G sont des coupes illustrant un procédé de formation de couches de barrage selon le cinquième mode de réalisation
les figures 10A à 10G sont des coupes illustrant un procédé de formation de couches de barrage selon le sixième mode de réalisation
les figures llA à 11I sont des coupes illustrant un procédé de formation de couches de barrage selon le septième mode de réalisation
les figures 12A à 12C sont des coupes illustrant une couche plane d'une pâte de fines particules
les figures 13A à 13C sont des coupes d'une couche plate d'une pâte de verre de faible viscosité
les figures 14A à 14D sont des coupes illustrant un procédé classique de formation de nervures de barrage ; et
les figures 15A et 15B sont des coupes représentant les surfaces coopérantes d'un motif classique de masque et d'une couche classique d'un matériau de nervures de barrage.
Pour la solution du problème posé par la séparation par pelage du motif de masque pendant l'usinage de la couche du matériau de nervures de barrage, les inventeurs ont observé les surfaces coopérantes des motifs de masque et des couches du matériau de nervures de barrage après pelage des motifs de masque et ils ont observé les faits suivants.
Comme l'indiquent les figures 15A et 15B, on a observé que les ingrédients 53 sous forme d'une poudre, contenus dans le matériau de nervures de barrage, par exemple de la poudre de verre et une charge en poudre dans le cas d'une pâte de verre, adhéraient à la surface de coopération du motif 54 de masque séparé par pelage par endroits, et on a déterminé que la surface de coopération de la couche 51 du matériau de nervures de barrage était plus rugueuse qu'avant la séparation par pelage (voir figure 15B). Ceci montre que la couche 51 du matériau de nervures de barrage a une mince couche d'ingrédients de poudre fluide qui n'adhère pas totalement à la surface de la couche 51 du matériau de nervures de barrage avant la formation du motif 54 de masque (voir figure 15A). Grâce à cette couche des ingrédients de poudre, le motif 54 de masque adhère à la couche 51 du matériau de nervures de barrage. Il est impossible d'empêcher la formation de la couche des ingrédients de poudre par le procédé précité de formation de la seconde couche du matériau de nervures de barrage contenant une plus grande quantité de l'ingrédient liant sur la couche du matériau de nervures de barrage. Ainsi, on ne peut pas empêcher ce phénomene uniquement par augmentation de la quantité de l'ingrédient liant dans le matériau de nervures de barrage.
Comme représenté sur les figures 1A et 1B, les inventeurs ont trouvé un procédé grâce auquel, après la formation de la couche 51 du matériau de nervures de barrage, un film 52 de liaison est formé sur cette couche et ne contient pas d'ingrédient en poudre (voir figure 1A). De cette manière, le liant contenu dans le film de liaison pénètre dans la mince couche des ingrédients de poudre libre 53 et fixe ces ingrédients 53 sur la couche 51 du matériau de nervures de barrage. Ainsi, l'adhérence entre le motif 54 du masque et la couche 51 du matériau de nervures de barrage est accrue (voir figure 1B).
Pour que la face supérieure des nervures de barrage par ailleurs soit aplatie, une couche plate 57 est formée sur la couche du matériau de nervures de barrage. Comme représenté sur les figures 2A à 2C, les inventeurs ont déterminé un procédé de lissage de la surface supérieure des nervures de barrage par revêtement de la couche 51 d'un matériau de nervures de barrage, c'est-à-dire d'une couche de pâte ayant une surface rugueuse (voir figure 2A), par une couche plate 57 contenant un ingrédient de poudre 53a dont le diamètre est inférieur à celui des ingrédients de poudre contenus dans la couche 51 du matériau de nervures de barrage (voir figure 2B), ou par revêtement de la couche 51 du matériau de nervures de barrage ayant une surface rugueuse par une couche plate 57 de faible viscosité formée d'une pâte de faible viscosité et ayant d'excellentes caractéristiques de nivellement (voir figure 2C).
Cependant, comme l'indiquent les figures 3A à 3C, on a noté que, même lors de la formation du film de liaison 52, l'adhérence entre le motif 54 de masque et la couche 51 de matériau de nervures de barrage était mauvaise dans le cas où la surface de la couche 51 de matériau de nervures de barrage est plate (voir figure 3B), alors que l'adhérence entre le motif 54 de masque et la couche 51 du matériau de nervures de barrage est bonne dans le cas où la surface de la couche 51 de matériau de nervures de barrage est rugueuse (voir figure 3A).
L'adhérence du motif 54 de masque et de la couche 51 de matériau de nervures de barrage doit être accrue et la surface supérieure des nervures de barrage doit être aplatie. Pour que ces deux propriétés contradictoires soient obtenues simultanément, les inventeurs ont trouvé un procédé dans lequel la couche 57 d'aplatissement est formée sur la couche 51 de matériau de nervures de barrage ayant la surface rugueuse afin que la surface de la couche 51 du matériau de nervures de barrage soit régularisée, un film 55 augmentant l'adhérence ayant une surface rugueuse est formé par-dessus afin qu'il augmente l'adhérence au motif 54 de masque, et un film 52 de liaison est formé par-dessus (voir figure 3C), puis, lorsque les nervures de barrage sont formées par le procédé de sablage, le film 55 augmentant l'adhérence est retiré afin qu'il expose la couche plate 57 qui possède une surface plate.
Selon l'invention, on peut utiliser, comme substrat, un substrat arrière de verre connu de façon générale dans le domaine des panneaux PDP pour affichage en couleurs, sur lequel des électrodes ont été formées au préalable.
La couche d'une pâte diélectrique, c'est-à-dire la couche du matériau de nervures de barrage, peut être formée sur le substrat, par exemple par un procédé de sérigraphie, un procédé de revêtement avec une lame et un procédé d'utilisation d'une feuille crue.
Dans le cas du procédé de sérigraphie et du procédé de revêtement par une lame, une pâte diélectrique préparée par mélange d'une poudre diélectrique, d'un liant organique et d'une charge peut être utilisée comme matériau de nervures de barrage. Par exemple, une poudre de verre et une poudre céramique peuvent être utilisées comme poudres diélectriques, et de l'éthylcellulose, une résine acrylique ou de la nitrocellulose, etc. peut être utilisée comme liant organique. Une pâte diélectrique contenant une poudre de verre comme poudre diélectrique est appelée "pâte de verre".
De préférence, la pâte de verre à faible température de fusion, obtenue avec un verre à faible température de fusion comme matériau diélectrique, peut être utilisée comme couche de pâte diélectrique.
Dans le procédé de la feuille crue, une feuille de matière plastique appelée "feuille crue" composée d'un liant organique et d'une poudre diélectrique, par exemple une poudre de verre ou céramique, est placée sur un substrat avec application d'un cylindre de pression et subit un frittage préliminaire entre 300 et 400 OC pour que les ingrédients organiques soient chassés. Une couche d'un matériau de nervures de barrage est ainsi formée. L'extraction des ingrédients organiques est utilisée afin que les propriétés d'usinage soient meilleures.
Le motif de masque peut être formé par le procédé dit de "photolithographie". Ainsi, un film sec d'un matériau de réserve photographique ou photosensible est placé sur la couche du matériau de nervures de barrage, et le film sec du matériau de réserve photographique ou photosensible est recouvert d'un masque d'exposition à la lumière, puis est exposé à la lumière et développé pour la formation d'un motif de masque.
La couche du matériau de nervures de barrage peut être usinée par le procédé de sablage, le procédé de polissage hydraulique ou analogue. Dans le cas de l'utilisation du procédé de sablage, un matériau abrasif, ayant une dimension de quelques dizaines de microns, est projeté comme matériau d'usinage sur la couche du matériau de nervures de barrage dans un courant d'air, par utilisation d'un appareil de sablage destiné à usiner une partie de la couche du matériau de nervures de barrage qui n'est pas couverte par le motif du masque. Pour la commodité de la description, la couche du matériau de nervures de barrage formée à la configuration de nervures de barrage suivant les motifs est simplement appelée "couche de nervures de barrage usinée".
La couche de nervures de barrage usinée peut être frittée par un procédé habituellement utilisé dans ce domaine. Le frittage peut être réalisé à une température qui convient au matériau des nervures de barrage. Par exemple, lorsque la pâte de verre est utilisée dans le matériau de nervures de barrage, le frittage est réalisé à une température telle que l'ingrédient liant de la pâte de verre peut être chassé par combustion et, simultanément, la poudre de verre de la pâte de verre peut être ramollie et associée par fusion. Par exemple, lorsque la pâte de verre est utilisée pour le frittage de la couche de nervures de barrage usinée dans un panneau PDP ayant une dimension d'environ 50 cm à 1 m, la température de frittage peut être comprise de façon générale entre environ 500 et 600 OC.
Selon la présente invention, on peut utiliser comme film de liaison tout matériau qui convient comme revêtement sur la couche de pâte diélectrique du matériau de nervures de barrage, qui permet la fixation des ingrédients de poudre de la couche de pâte diélectrique, et qui a presque la même dureté que la couche de pâte diélectrique. Pour des considérations de disponibilité, le film du liant peut être formé à l'aide d'un liquide obtenu par addition d'un solvant au liant du type utilisé comme ingrédient liant de la pâte diélectrique de nervures de barrage, tel que l'éthylcellulose, une résine acrylique ou la nitrocellulose. On peut utiliser, comme solvant, du terpinéol, de l'acétate de butyl-"Carbitol" (BCA) et analogues.
Ainsi, le film du liant peut être formé par revêtement d'une couche de pâte diélectrique d'un liquide du solvant et de l'ingrédient liant de la pâte diélectrique dont l'ingrédient en poudre est exclu, avant un séchage.
Dans le cas où la couche du matériau de nervures de barrage est formée par le procédé de la feuille crue, le film de liaison n'est pas obligatoire.
Lorsque la couche du matériau de nervures de barrage est formée par le procédé de revêtement à la lame ou de la feuille crue, il est préférable que la surface de la couche du matériau de nervures de barrage soit dépolie afin que l'adhérence entre cette couche et le motif soit accrue puisque la surface de la couche du matériau de nervures de barrage est relativement plate.
Pour le dépolissage de la surface de la couche du matériau de nervures de barrage, cette couche, après avoir été formée sur le substrat, peut être recouverte d'un film augmentant l'adhérence et ayant une surface plus rugueuse que la couche du matériau de nervures de barrage. Comme film augmentant l'adhérence, on peut réaliser un film d'une pâte de verre par sérigraphie.
Comme la surface supérieure des nervures de barrage doit être plate, ce film augmentant l'adhérence peut être avantageusement retiré ou aplati par abrasion de la surface de la couche, après frittage de la couche de nervures de barrage usinée.
Dans un autre aspect, l'invention concerne un procédé de formation de nervures de barrage d'un panneau d'affichage, comprenant les étapes suivantes : la formation d'une couche d'un matériau de nervures de barrage sur un substrat, la formation d'un motif de masque sur cette couche de matériau de nervures de barrage, la projection d'un matériau d'usinage sur la couche du matériau de nervures de barrage à travers le motif du masque afin que la couche du matériau de nervures de barrage soit usinée partiellement et forme ainsi une couche de nervures de barrage usinée, et le frittage de la couche de nervures de barrage usinée pour la formation de nervures de barrage, dans lequel, avant la formation du motif du masque, le film augmentant l'adhérence est réalisé à la surface de la couche du matériau de nervures de barrage afin que l'adhérence entre la couche du matériau de nervures de barrage et le motif de masque soit accrue, le film augmentant l'adhérence ayant une surface plus rugueuse que la couche du matériau de nervures de barrage.
Selon l'invention, la couche du matériau de nervures de barrage peut être formée sur le substrat par sérigraphie, revêtement à la lame, dépôt d'une feuille crue ou analogue.
Comme matériau de nervures de barrage, on peut utiliser une pâte diélectrique ou la feuille crue précitée.
Pour la formation d'une couche ayant une surface plus rugueuse que la couche du matériau de nervures de barrage, le film augmentant l'adhérence est de préférence formé par sérigraphie avec un écran à grandes mailles. Le film augmentant l'adhérence peut être formé sur le même matériau que le matériau des nervures de barrage ou le matériau contenant un ingrédient de verre de plus grand diamètre particulaire que le matériau des nervures de barrage. Dans une variante, le film augmentant l'adhérence peut être formé d'une pâte diélectrique contenant un diélectrique différent de celui qui forme le matériau des nervures de barrage. Une pâte de verre de SiO2 peut être utilisée avec une température de ramollissement supérieure à la température de travail en cours de fabrication. Dans le cas où le film augmentant l'adhérence est formé d'une pâte de verre de SiO2, cette pâte ne s'associe pas partiellement par fusion à la couche du matériau de nervures de barrage pendant le frittage, de la même manière qu'une pâte de verre à faible température de fusion. En conséquence, la planéité de la surface de la couche du matériau de nervures de barrage n'est pas réduite.
En outre, le film augmentant l'adhérence de la pâte de verre de SiO2 peut être facilement retiré par nettoyage ultrasonore ou par soufflage d'air.
Dans le cas où le film augmentant l'adhérence est constitué d'une pâte diélectrique, l'ingrédient en poudre libre existe à la surface après la formation du film augmentant l'adhérence sur la couche du matériau de nervures de barrage. Ainsi, il est préférable de former un film de liaison sur le film augmentant l'adhérence de pâte diélectrique afin que l'ingrédient de poudre soit fixé.
Le film de liaison peut être formé d'un ingrédient liant de la pâte de verre destinée aux nervures de barrage ou d'un ingrédient liant de la pâte diélectrique destinée au film augmentant l'adhérence sans les ingrédients de poudre.
Pour que la surface supérieure des nervures de barrage soit aplatie, le film augmentant l'adhérence peut avantageusement être retiré ou aplati par abrasion de la surface de la couche après frittage de la couche de nervures de barrage usinée comme décrit précédemment.
Dans une variante, pour que le film augmentant l'adhérence soit retiré, une couche de séparation peut être formée sur la couche du matériau de nervures de barrage avant la formation du film augmentant l'adhérence. Cette couche de séparation est formée d'un matériau en poudre ayant une résistance à la chaleur telle que le matériau ne change pas pendant le frittage de la couche de nervures de barrage usinée. Le film augmentant l'adhérence peut être retiré avec la couche de séparation après frittage de la couche de nervures de barrage usinée.
Tout matériau en poudre peut être utilisé pour la couche de séparation du moment qu'il ne change pas à la température maximale utilisée pendant la fabrication, par exemple pendant le frittage. Des exemples de tels matériaux sont de fines poudres d'alumine, d'oxyde de titane et analogues. La couche de séparation peut être formée par un procédé d'impression ou de revêtement par une barre. La couche de séparation peut être retirée par nettoyage ultrasonore, soufflage d'air ou analogue.
Pour que la surface supérieure des nervures de barrage soit aplatie, une couche plate peut être réalisée sur la couche du matériau de nervures de barrage qui contient une poudre ayant un diamètre particulaire plus petit que la poudre contenue dans le matériau de nervures de barrage.
La couche plate peut être formée du même matériau que le matériau de nervures de barrage, mais seule la viscosité est réduite.
EXEMPLES
La présente invention est décrite plus en détail dans la suite en référence à des exemples représentés sur les dessins annexés, mais ces exemples ne limitent pas la portée de l'invention. Dans les exemples, l'invention est décrite dans le cas d'un panneau PDP du type à charge de surface et pilotage alternatif convenant à un affichage en couleurs, à titre d'exemple.
Exemple 1
La figure 1 représente une structure d'un panneau PD protecteur 18 de MgO est formé à la surface de la couche diélectrique 17.
Le substrat avant décrit dans la suite représente un substrat avant déjà muni des électrodes d'entretien X et Y, de la couche diélectrique 17 et du film protecteur 18.
A la surface interne du substrat arrière 21 de verre sont formées une couche 22 de base, des électrodes A d'adressage sous forme de bandes et une couche isolante 24.
Des nervures 29 de barrage destinées à cloisonner l'espace de décharge sont formées entre les électrodes d'adressage sur cette couche isolante 24. Des couches fluorescentes de couleurs rouge, verte et bleue 28R, 28G et 28B sont formées par revêtement des électrodes A d'adressage et des parois internes des nervures de barrage dans les gorges comprises entre les nervures de barrage 29.
Le substrat arrière 21 désigne dans la suite un substrat arrière déjà muni de la couche de base 22, des électrodes A d'adressage et de la couche isolante 24.
Les substrats avant et arrière 11 et 21 ainsi réalisés sont assemblés en regard dans un panneau d'affichage en couleurs PDP 1. Un mélange de gaz Ne et Xe est introduit dans l'espace 30 de décharge compris entre les substrats avant et arrière 11 et 21.
Une région dans laquelle les électrodes X et Y d'entretien recoupent l'électrode d'adresse A est utilisée comme zone d'affichage matriciel lors de l'affichage, c'est-à-dire comme sous-élément d'image. Un élément d'affichage d'image comprend trois sous-éléments d'image adjacents suivant la ligne L.
Les nervures 29 de barrage cloisonnent l'espace 30 de décharge pour chaque sous-élément d'image et assurent aussi un espacement prédéterminé de l'espace de décharge 30. Des nervures de barrage 29 empêchent qu'une décharge électrique d'une électrode d'adressage n'affecte les cellules adjacentes, et empêchent ainsi l'interpénétration de lumière.
On décrit maintenant en détail la formation des nervures de barrage. Les figures 5A à 5E illustrent un procédé de formation de nervures de barrage à l'aide du film de liaison. Comme l'indiquent ces figures, les nervures de barrage de cet exemple sont formées au cours des étapes suivantes.
(1) Formation d'une couche d'un matériau de nervures de barrage (voir figure 5A)
Le substrat arrière 21 est d'abord préparé. Une couche 51 d'un matériau de nervures de barrage est formée avec une épaisseur prédéterminée sur le substrat arrière 21. Une pâte de verre contenant une poudre de verre, une charge et un liant est utilisée comme matériau de nervures de barrage dans le dispositif d'affichage à plasma. On utilise une poudre de verre à faible température de fusion comme poudre de verre. Cependant, on peut utiliser n'importe quel matériau diélectrique, y compris les poudres céramiques, à la place d'une poudre de verre. On utilise, comme charge, une poudre d'alumine et, comme liant, un matériau organique tel que l'éthylcellulose ou une résine acrylique. La couche 51 du matériau de nervures de barrage est un film plan et elle est réalisée par revêtement du substrat arrière 21 d'une pâte de verre par le procédé de sérigraphie, avant séchage.
Les particules de la poudre de verre se fixent çà et là à la surface de la couche 51 ainsi formée, c'est-à-dire que les particules sont à l'état libre.
(2) Formation d'un film de liaison (voir figure 5B)
Un film de liaison 52 est formé sur la couche 51 du matériau de nervures de barrage. Un liquide contenant un solvant et un liant du matériau de nervures de barrage, sans poudre de verre, est utilisé comme film 52 de liant. Le solvant est le terpinéol.
Le film 52 de liaison est formé par revêtement, sur la couche 51, d'un liquide contenant le liant et le solvant par sérigraphie ou par un procédé de revêtement par rotation, de revêtement au rouleau, de revêtement par une fente, etc., avant séchage. Un matériau différent du liant utilisé pour le matériau des nervures de barrage peut aussi être utilisé pour le film 52 du liant pourvu que le matériau possède des propriétés semblables.
Grâce au revêtement du film de liaison 52, les particules libres de verre sont fixées sur la couche 51. Pour cette raison, l'adhérence du motif de masque formé ultérieurement est accrue et la résistance au sablage est aussi accrue. Il est donc possible de former un motif plus fin que celui qu'on forme habituellement.
(3) Formation d'un motif (voir figure 5C)
Un matériau de réserve photographique est étalé sur le film de liaison 52 ou un film photosensible sec est placé sur ce film. Un motif 54 de masque ayant la configuration des nervures de barrage est formé par photolithographie. Le motif 54 de masque est un motif à bandes en plan.
(4) Usinage (voir figure 5D)
Un matériau d'usinage (matériau abrasif) ayant une dimension de quelques dizaines de microns est projeté par un courant d'air à l'aide d'un appareil 70 de sablage afin qu'une partie de la couche 51 du matériau de nervures de barrage et du film 52 de liaison qui n'est pas recouverte par le motif 54 de masque soit retirée et forme une couche de nervures de barrage usinée. Ensuite, le motif de masque 54 est séparé par pelage.
(5) Frittage (voir figure 5E)
Par frittage à température élevée d'environ 500 à 600 OC, l'ingrédient liant de la couche de nervures de barrage usinée est chassé par combustion et, simultanément, la poudre de verre de la couche de nervures de barrage usinée est ramollie afin que la fusion soit assurée. Les nervures de barrage 29 sont ainsi formées.
Le film de liaison 52 est aussi chassé par combustion car il est formé du matériau liant du matériau de nervures de barrage qui ne contient pas de poudre de verre.
Exemple2
La construction du panneau PDP 1 est omise dans la description des exemples suivants car sa construction est commune à tous les exemples. On ne décrit que la formation des nervures de barrage.
Les figures 6A à 6E illustrent un procédé de formation de nervures de barrage ayant un film augmentant l'adhérence.
Comme l'indiquent ces figures, les nervures de barrage de cet exemple sont formées au cours des étapes suivantes
(1) Formation d'une couche d'un matériau de nervures de barrage (voir figure 6A),
(2) Formation d'un film augmentant l'adhérence (voir figure 6B),
(3) Formation d'un motif (voir figure 6C),
(4) Usinage (voir figure 6D), et
(5) Frittage (voir figure 6E).
Parmi ces étapes, seule la formation du film augmentant l'adhérence est différente des étapes de l'exemple 1. Ainsi, seule l'étape de formation du film augmentant l'adhérence est décrite.
Comme décrit précédemment, dans le cas où la couche 51 du matériau de nervures de barrage est formée par le procédé de revêtement à la lame ou de la feuille crue, la surface de la couche du matériau de nervures de barrage est relativement plate. En conséquence, même si le matériau de formation de nervures de barrage de l'exemple 1 est utilisé, l'adhérence entre le motif de masque et la couche du matériau de nervures de barrage ne peut pas augmenter beaucoup comme indiqué sur la figure 3B.
Un film 55 augmentant l'adhérence ayant une surface considérablement ondulée est formé sur la couche 51, et le motif 54 de masque est formé par-dessus. Ainsi, l'adhérence entre la couche 51 et le motif 54 est augmentée même si la couche du matériau de nervures de barrage a une surface plate.
On utilise, pour le film 55, le même matériau que celui des nervures de barrage. Cependant, un matériau contenant un ingrédient de verre de plus grand diamètre particulaire que l'ingrédient de verre du matériau des nervures de barrage peut aussi être utilisé. Le film 55 est formé par sérigraphie avec un écran à mailles larges.
L'ondulation de surface du film 55 est aplatie par abrasion après frittage de la couche de nervures de barrage usinée.
Dans cet exemple, le film augmentant l'adhérence 55 est formé sur la couche 51 du matériau de nervures de barrage.
Cependant, la surface de la couche 51 peut être dépolie, à la place de la formation du film 55.
Dans le procédé de sérigraphie, la couche 51 de matériau de nervures de barrage est formée de façon générale par répétition de l'impression plusieurs fois. La surface de cette couche 51 peut être dépolie par impression du même matériau que le matériau des nervures de barrage pour la formation de la couche augmentant l'adhérence 55 à la dernière impression.
Exemple3
Les figures 7A à 7F illustrent un procédé de formation de nervures de barrage ayant un film augmentant l'adhérence et un film de liaison. Comme l'indiquent ces figures, les nervures de barrage de cet exemple sont réalisées dans les étapes suivantes
(1) Formation d'une couche du matériau de nervures de barrage (voir figure 7A)
(2) Formation d'un film augmentant l'adhérence (voir figure 7B),
(3) Formation d'un film de liaison (voir figure 7C),
(4) Formation d'un motif (voir figure 7D),
(5) Usinage (voir figure 7E),
(6) Frittage (voir figure 7F).
Parmi ces étapes, seule la formation du film augmentant l'adhérence diffère des étapes de l'exemple 1, et seule l'étape de formation du film augmentant l'adhérence diffère de l'exemple 2.
Dans cet exemple, un film augmentant l'adhérence 55 présentant des ondulations considérables est formé sur la couche 51 du matériau de nervures de barrage qui a une surface plate, et un film de liaison 52 est en outre formé par-dessus. En conséquence, la surface de la couche 51 a des ondulations considérables et les particules de verre ne sont pas fixées à cette surface. L'adhérence entre la couche 51 et le motif 54 de masse peut donc être accrue par rapport au résultat donné par l'exemple 2.
Exemple4
Les figures 8A à 8F illustrent un procédé de formation de nervures de barrage ayant un film augmentant l'adhérence qui est retiré après frittage. Comme l'indiquent ces figures, les nervures de barrage de cet exemple sont formées au cours des étapes suivantes
(1) Formation d'une couche d'un matériau de nervures de barrage (voir figure 8A),
(2) Formation d'un film augmentant l'adhérence (voir figure 8B),
(3) Formation d'un motif (voir figure 8C),
(4) Usinage (voir figure 8D),
(5) Frittage (voir figure 8E), et
(6) Enlèvement du film augmentant l'adhérence (voir figure 8F).
Parmi ces étapes, seul l'enlèvement du film augmentant l'adhérence diffère de celles de l'exemple 2.
Dans cet exemple, le film 55 augmentant l'adhérence est formé d'un matériau qui ne change pas à la température maximale de travail, telle que la température de frittage.
Un exemple d'un tel matériau est une pâte de verre de SiO2 ayant une température de ramollissement supérieure à la température de travail. Lorsque le film augmentant l'adhérence est formé d'une pâte de verre de SiO2, une partie du film augmentant l'adhérence, contrairement à la pâte de verre à faible température de fusion de l'exemple 2, ne s'associe pas par fusion à la couche sous-jacente du matériau de nervures de barrage pendant le frittage. En conséquence, la planéité de la surface de la couche du matériau de nervures de barrage n'est pas affectée. En outre, dans l'étape d'extraction, le film 55 augmentant l'adhérence peut être facilement retiré par nettoyage ultrasonore ou soufflage d'air. La surface plate des nervures de barrage est exposée lors de cette extraction.
Dans cet exemple, la surface supérieure des nervures de barrage peut être aplatie sans abrasion de l'ondulation de surface de la couche augmentant l'adhérence après frittage.
Dans cet exemple, seul le film 55 augmentant l'adhérence est formé sur la couche 51 du matériau de nervures de barrage. Cependant, le film de liaison 52 peut aussi être formé sur le film 55 afin qu'il augmente l'adhérence entre la couche 51 et le motif 54.
Exemple 5
Les figures 9A à 9G illustrent un procédé de formation de nervures de barrage ayant une couche de séparation et un film augmentant l'adhérence qui sont retirés après frittage.
Comme l'indiquent les figures, les nervures de barrage de cet exemple sont formées au cours des étapes suivantes
(1) Formation d'une couche du matériau de nervures de barrage (voir figure 9A),
(2) Formation d'une couche de séparation (voir figure 9B)
(3) Formation d'un film augmentant l'adhérence (voir figure 9C),
(4) Formation d'un motif (voir figure 9D),
(5) Usinage (voir figure 9E),
(6) Frittage (voir figure 9F), et
(7) Séparation de la couche de séparation (voir figure 9G).
Parmi ces étapes, à part la formation de la couche de séparation et la séparation de cette couche de séparation, les étapes sont les mêmes que dans l'exemple 2.
Cet exemple est destiné à la solution du problème selon lequel, dans l'exemple 2, une partie du film 55 augmentant l'adhérence est associée par fusion à la couche 51 du matériau de nervures de barrage pendant le frittage et la planéité de la surface est donc affectée.
La couche 56 de séparation qui peut être retirée avec le film 55 augmentant l'adhérence après frittage est formée sur la couche 51 du matériau de nervures de barrage. La couche 56 de séparation est formée de fines particules d'alumine qui ne changent pas de forme à la température maximale de travail, telle que la température de frittage, et qui possèdent un très petit diamètre particulaire. On peut aussi utiliser de l'oxyde de titane à la place d'alumine. La couche 56 de séparation est formée par un procédé d'impression. Cette couche 56 est retirée par nettoyage ultrasonore ou soufflage d'air.
Dans cet exemple, le film 55 augmentant l'adhérence accroît l'adhérence entre la couche du matériau de nervures de barrage et le motif du masque pendant l'étape d'usinage.
En outre, la couche 56 de séparation empêche la réduction de la planéité de la surface de la couche du matériau de nervures de barrage pendant le frittage. La planéité de la surface des nervures de barrage peut donc être conservée.
Dans cet exemple, la couche 56 de séparation et le film 55 augmentant l'adhérence sont formés sur la couche 51 du matériau de nervures de barrage. Cependant, le film 52 de liaison peut aussi être formé sur le film 55 afin qu'il accroisse l'adhérence entre la couche 51 et le motif 54.
Exemple 6
Les figures 10A à 10G illustrent un procédé de formation de nervures de barrage blanches et d'un film noir augmentant l'adhérence. Comme l'indiquent les figures, les nervures de barrage sont formées dans les étapes suivantes
(1) Formation d'une couche d'un matériau de nervures de barrage blanc (voir figure 10A),
(2) Formation d'une couche de séparation (voir figure lOB)
(3) Formation d'un film noir augmentant l'adhérence (voir figure 10C),
(4) Formation d'un motif (voir figure 10D),
(5) Usinage (voir figure 10E),
(6) Frittage (voir figure 10F), et
(7) Séparation de la couche de séparation (voir figure 10G).
Parmi ces étapes, seule la formation d'une couche d'un matériau de nervures de barrage blanc et celle d'un film noir augmentant l'adhérence sont différentes de celles de l'exemple 5.
Dans cet exemple, une pâte de verre blanche de viscosité élevée est utilisée pour les nervures de barrage.
L'utilisation de la couche d'un matériau de nervures de barrage blanches permet une augmentation de la réflexion à l'état éclairé après que la panneau a été fabriqué sous forme d'un dispositif d'affichage à plasma. La couche 51 du matériau de nervures de barrage est rendue blanche par mélange d'alumine (au203) ou d'oxyde de titane (TiO2) à la pâte de verre. Le film noir 55 augmentant l'adhérence est utilisé afin qu'il empêche des réflexions irrégulières lorsqu'il est exposé à la lumière dans l'opération photolithographique. Le film 55 est rendu noir par mélange de CuO ou Cr0 à la pâte de verre à faible température de fusion. La couche 51 et le film augmentant l'adhérence sont réalisés par le même procédé d'impression que dans l'exemple 5.
Dans cet exemple, comme le film 55 augmentant l'adhérence est noir, la réflexion irrégulière est empêchée lors de l'exposition à la lumière dans l'étape photolithographique pour la formation du motif du masque. Ainsi, la formation du motif du masque est améliorée. En outre, le rendement lumineux du panneau d'affichage réalisé est accru grâce aux nervures de barrage blanches.
Dans cet exemple, la couche 56 de séparation et le film 55 augmentant l'adhérence sont réalisés sur la couche 51 du matériau de nervures de barrage comme indiqué dans l'exemple 5. Cependant, le film de liaison 52 peut aussi être formé sur le film 55 augmentant l'adhérence afin que l'adhérence entre la couche 51 du matériau de nervures de barrage et le motif 54 de masque soit accrue.
Exemple7
Les figures lîA à 11I illustrent un procédé de formation de nervures de barrage blanches ayant une couche plate, une couche de séparation et un film noir augmentant l'adhérence, avec extraction de la couche de séparation et des couches formées sur elle après frittage. Comme l'indiquent les figures, les nervures de barrage de cet exemple sont formées dans les étapes suivantes
(1) Formation d'une couche d'un matériau blanc de nervures de barrage (voir figure llA)
(2) Formation d'une couche plate (voir figure llB),
(3) Formation d'une couche de séparation (voir figure lac),
(4) Formation d'un film noir augmentant l'adhérence (voir figure llD),
(5) Formation d'un film de liaison (voir figure îlE),
(6) Formation d'un motif (voir figure 11F),
(7) Usinage (voir figure llG)
(8) Frittage (voir figure 11H), et
(9) Séparation de la couche de séparation (voir figure 11I).
Parmi ces étapes, seule la formation d'une couche plate et celle d'un film de liaison sont différentes de celles de l'exemple 6, et l'étape de formation d'un film de liaison est la même que dans l'exemple 3.
Dans l'étape de formation d'une couche d'un matériau blanc de nervures de barrage, une pâte de verre blanche de viscosité élevée est utilisée comme matériau de nervures de barrage, comme dans l'exemple 6. La couche 51 de ce matériau est formée par sérigraphie avec un écran à grandes mailles afin que la couche du matériau de nervures de barrage d'épaisseur voulue puisse être formée avec un petit nombre d'impressions. Dans ce cas, comme un écran à grosses mailles est utilisé, la surface de la couche 51 présente des ondulations importantes.
La couche plate 57 ayant la surface plate est formée par revêtement de la couche 51 d'une pâte à poudre fine de verre de dimension particulaire inférieure à celle du matériau de nervures de barrage, avant séchage.
Ainsi, la couche 51 de matériau de nervures de barrage à surface rugueuse (voir figure 12A) est revêtue d'une pâte d'une poudre fine avec une poudre de verre de diamètre particulaire moyen plus petit que celui du matériau des nervures de barrage (voir figure 12B), et est séchée (voir figure 12C) . De cette manière, la couche plate 57 est formée. La poudre fine de verre reste dans la pâte de poudre fine juste après revêtement, mais pénètre dans les parties concaves des ondulations de la couche 51 du matériau de nervures de barrage après séchage.
Dans une variante, la couche plate 57 peut être formée par revêtement de la couche 51 du matériau de nervures de barrage d'une pâte de verre ayant une viscosité inférieure à celle du matériau de nervures de barrage.
Ainsi, la couche 51 du matériau de nervures de barrage à surface rugueuse (voir figure 13A) est revêtue d'une pâte de verre de viscosité inférieure à celle du matériau de nervures de barrage (voir figure 13B), puis est séchée (voir figure 13C). De cette manière, la couche plate 57 est réalisée. Dans ce cas, la pâte de verre de faible viscosité est facilement mise sous forme d'une couche plate lors du revêtement. En outre, comme la pâte de verre de faible viscosité sèche tout en gardant sa planéité, elle s'incorpore aux parties concaves des ondulations de la couche 51 du matériau de nervures de barrage après séchage.
Le revêtement de la couche plate 57 peut être réalisé par sérigraphie, par revêtement par un masque métallique sans écran, ou par utilisation d'un appareil de revêtement par rotation, par un cylindre, par une fente ou analogue.
Pour que la surface soit plate, il est préférable d'utiliser un procédé qui n'utilise pas un écran ayant des mailles.
Dans le procédé de formation des nervures de barrage de cet exemple, l'adhésivité du motif du masque est accrue sans réduction de la planéité de la surface des nervures de barrage. Le motif peut être réalisé avec une configuration plus fine que celle des motifs classiques. En outre, le rendement de lumière d'émission est accru grâce aux nervures blanches de barrage et la formation du motif lors de l'exposition à la lumière est aussi meilleure grâce à la couche noire augmentant l'adhérence.
En résumé, selon la présente invention, l'adhérence du motif de masque à la couche du matériau de nervures de barrage est accrue par fixation de l'ingrédient de poudre libre à la surface de la couche du matériau de nervures de barrage. Cette plus grande adhérence du motif de masque donne une meilleure résistance au travail d'usinage et permet donc la formation de motifs plus fins que par les procédés classiques. Par ailleurs, les nervures de barrage peuvent être formées avec une surface supérieure plus plate que par utilisation de la technique antérieure, sans réduction de l'adhérence du motif du masque.
Bien entendu, diverses modifications peuvent être apportées par l'homme de l'art aux procédés qui viennent d'être décrits uniquement à titre d'exemple non limitatif sans sortir du cadre de l'invention.

Claims (11)

REVENDICATIONS
1. Procédé de formation de nervures de barrage d'un panneau d'affichage, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes
la formation d'une couche d'une pâte diélectrique contenant un ingrédient de poudre et un ingrédient de liant, comme couche (51) d'un matériau de nervures de barrage avec une épaisseur prédéterminée sur un substrat,
la formation d'un motif (54) de masque sur la couche de pâte diélectrique,
la projection d'un matériau d'usinage sur la couche de pâte diélectrique à travers un motif (54) de masque afin que la couche de pâte diélectrique soit partiellement usinée et forme ainsi une couche (51) du matériau de nervures de barrage usinée, et
le frittage de la couche (51) du matériau de nervures de barrage usinée pour la formation des nervures de barrage,
dans lequel, avant la formation du motif (54) du masque, un film (52) de liaison est formé pour la fixation de l'ingrédient de poudre à un état libre à la surface de la couche de pâte diélectrique.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le film (52) de liaison contient le même type de liant que l'ingrédient de liant de la pâte diélectrique.
3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la surface de la couche de pâte diélectrique est dépolie.
4. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la surface des nervures de barrage subit une abrasion après frittage de la couche (51) du matériau de nervures de barrage usinée.
5. Procédé de formation de nervures de barrage d'un panneau d'affichage, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes
la formation d'une couche (51) d'un matériau de nervures de barrage sur un substrat,
la formation d'un motif (54) de masque sur la couche (51) du matériau de nervures de barrage,
la projection d'un matériau d'usinage sur la couche (51) du matériau de nervures de barrage à travers le motif (54) de masque afin que la couche (51) du matériau de nervures de barrage soit partiellement usinée et forme ainsi une couche (51) du matériau de nervures de barrage usinée, et
le frittage de la couche (51) du matériau de nervures de barrage usinée pour la formation des nervures de barrage, et
en ce que, avant la formation du motif (54) du masque, un film (55) augmentant l'adhérence est formé sur la couche (51) du matériau de nervures de barrage pour augmenter l'adhérence entre le motif (54) du masque et la couche (51) du matériau de nervures de barrage, le film (55) augmentant l'adhérence ayant une surface plus rugueuse que la couche (51) du matériau de nervures de barrage.
6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que le film (55) augmentant l'adhérence est formé d'une pâte diélectrique comprenant un ingrédient de poudre et un ingrédient de liant, et un film (52) de liaison est formé pour la fixation de l'ingrédient de poudre à l'état libre à la surface du film de pâte diélectrique.
7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que la couche (51) du matériau de nervures de barrage est formée d'une pâte diélectrique comprenant un ingrédient de poudre et un ingrédient de liant, et le film (52) de liaison contient le même type de liant que l'ingrédient de liant de la pâte diélectrique utilisée comme matériau de nervures de barrage, ou le même type de liant que l'ingrédient de liant de la pâte diélectrique utilisée comme matériau pour le film (55) augmentant l'adhérence.
8. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que, après le frittage de la couche (51) du matériau de nervures de barrage usinée, la surface du film (55) augmentant l'adhérence subit une abrasion ou le film (55) augmentant l'adhérence est retiré.
9. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'une couche (56) de séparation est formée sur la couche (51) du matériau de nervures de barrage avant la formation de la couche augmentant l'adhérence, la couche (56) de séparation étant composée d'un matériau de poudre qui ne change pas de forme à la température de frittage de la couche (51) du matériau de nervures de barrage usinée, et la couche (56) de séparation est retirée avec la couche augmentant l'adhérence après le frittage de la couche (51) du matériau de nervures de barrage usinée.
10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que la couche (51) du matériau de nervures de barrage est formée d'une pâte diélectrique contenant un ingrédient de poudre et un ingrédient de liant, et une couche plate est formée sur la couche (51) du matériau de nervures de barrage avant la formation de la couche (56) de séparation, la couche plate étant composée d'une pâte diélectrique contenant un ingrédient de poudre dont le diamètre particulaire est inférieur à celui de l'ingrédient de poudre contenu dans la pâte diélectrique utilisée pour le matériau de nervures de barrage, si bien que la planéité de la surface de la couche (51) du matériau de nervures de barrage est accrue.
11. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que la couche (51) du matériau de nervures de barrage est formée d'une pâte diélectrique ayant une viscosité prédéterminée, et une couche plate est formée sur la couche (51) du matériau de nervures de barrage avant la formation de la couche (56) de séparation, la couche plate étant composée d'une pâte diélectrique ayant une viscosité inférieure à celle de la pâte diélectrique utilisée pour le matériau de nervures de barrage, si bien que la planéité de la surface de la couche (51) du matériau de nervures de barrage est accrue.
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