FR2608633A1 - Source de pulverisation cathodique dont l'etat d'erosion peut etre controle et procede de conduite pour installation de pulverisation cathodique equipee d'une telle source - Google Patents

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Abstract

SOURCE DE PULVERISATION CATHODIQUE, DOTEE D'UN DISPOSITIF POUR DECELER L'EROSION DE LA SURFACE DE LA CIBLE. LE CORPS-CIBLE 1 SOUMIS A L'EROSION PRESENTE AU MOINS UN CAPTEUR 14 EN AU MOINS UN EMPLACEMENT PREDETERMINE, INVARIABLE PENDANT LE PROCESSUS DE LA PULVERISATION CATHODIQUE, CE CAPTEUR ETANT DESTINE A DECELER DIRECTEMENT LA PERFORATION PAR EROSION, DU CORPS-CIBLE 1 AUDIT EMPLACEMENT PREDETERMINE. LE CAPTEUR 14 EST AGENCE DE PREFERENCE A L'ENDROIT OU L'EROSION DU CORPS-CIBLE 1 EST LA PLUS FORTE PENDANT LE PROCESSUS DE PULVERISATION CATHODIQUE. APRES UN TEMPS PREDETERMINE, SUIVANT L'INSTANT OU L'EROSION A ATTEINT L'ENDROIT CONCERNE DU CORPS-CIBLE 1, ON INTERROMPT LA PULVERISATION ET L'ON REMPLACE LE CORPS-CIBLE 1.

Description

SOURCE DE PULVERISATION CATHODIQUE DONT L'ETAT D'EROSION
PEUT TRE CONTRÈLÉ, ET PROCÉDÉ DE CONDUITE D'UNE INSTALLATION
DE PULVÉRISATION CATHODIQUE ÉQUIPEE D'UNE TELLE SOURCE.
L'invention se rapporte à une source de pulvérisation, pour installations de pulvérisation cathodique, et à un procédé de conduite d'une installation de pulvérisation cathodique équipée d'une telle source. La pulvérisation cathodique est un procédé qui a trouvé une extension extraordinaire pour la réalisation de couches minces. La matière désirée est pulvérisée par bombardement ionique d'une source appropriée. Les ions nécessaires pour cela sont produits par une décharge en milieu gazeux, obtenue par application d'une tension négative à la cathode sur laquelle ils sont projetés. La densité du plasma, donc le débit de pulvérisation, peut alors être accrue au moyen de champs magnétiques supplémentaires. Dans le domaine considéré ici, il importe peu que le plasma généré soit formé par une décharge de
courant continu, ou alternatif ou à haute fréquence, ou par des micro-
ondes. Au cours du processus de pulvérisation la matière de la cathode subit une érosion qui progresse au cours du temps. Lorsqu'une certaine masse de cette matière a été enlevée pour la pulvérisation, il faut interrompre le processus de pulvérisation et remplacer, par une
cathode neuve, la cathode érodée.
Les matières cathodiques doivent être soumises à un refroidissement intense pendant la pulvérisation cathodique. Pour cela, on distingue deux méthodes. Avec le refroidissement direct, la face arrière de la cathode est balayée directement par le fluide réfrigérant. Avec la méthode indirecte, la cathode est mise au contact d'un canal de refroidissement fermé. Si l'on acceptait qu'une telle cathode soit érodée Jusqu'à être perforée, du fluide réfrigérant pénétrerait, dans le premier cas, dans la chambre de traitement et, dans le deuxième cas, de la matière constitutive des canaux de refroidissement serait pulvérisée. Si l'on tient compte des impératifs de pureté sévères auxquels les minces couches produites doivent satisfaire, une telle érosion perforante conduirait à une qualité de couche inutilisable, donc à une défaillance de toute l'installation. Le nettoyage de l'installation est en outre une cause d'arrêt prolongé
pour exécuter les travaux de nettoyage nécessaires.
D'une autre côté, il est important que l'on puisse utiliser la plus grande quantité possible de matière de la cathode avant d'être contraint de remplacer cette dernière car, dans certains cas, les matières, par exemple or, argent, platine ou palladium, utilisées pour constituer la cible sont très onéreuses. La maîtrise des processus d'érosion de la cible détermine donc 'non seulement la fiabilité du fonctionnement mais aussi la durée utile des cibles, et par conséquent l'économie d'exploitation d'une installation de pulvérisation cathodique. Une méthode connue pour mesurer l'érosion d'une cible pour pulvérisation cathodique consiste à mesurer l'énergie électrique consommée lors de l'utilisation de cette cible. Lorsque la valeur cumulée de cette énergie atteint un certain niveau, on met la source de pulvérisation hors-circuit. Toutefois, comme la vitesse d'érosion d'une cible ne dépend pas seulement de l'énergie dépensée, mais aussi de divers autres paramètres tels que caractéristiques de la matière, pression, nature du gaz utilisé, caractéristiques de construction de la source et densité de puissance électrique, cette méthode ne conduit qu'à une connaissance indirecte de l'érosion, autrement dit de l'épaisseur résiduelle de la cible, et doit donc être complétée par un étalonnage préalable du système. La précision et la fiabilité de cette méthode sont donc faibles. Pour obtenir des résultats fiables, il faut en outre que la mise hors-circuit soit relativement précoce, alors qu'il y a encore une réserve suffisante, ce qui conduit à des durées
utiles trop faibles.
En outre, dans l'art antérieur, on a déjà proposé d'implanter un capteur de température dans le montage cathodique, à l'endroit de la plus forte érosion de la cible. La température mesurée par un tel capteur constitue une mesure de l'épaisseur de la cible à cet endroit (brevets américains US-PS 4,324,631 et 4,407,708). Lorsqu'une valeur de
température prédéterminée est atteinte, la source est mise hors-
circuit. L'inconvénient de cette méthode réside dans le fait que cette valeur de température critique, tout comme l'évolution globale de la température, doit d'abord être déterminée empiriquement, par une courbe d'étalonnage, car elle ne dépend pas seulement de la puissance de pulvérisation, mais aussi de la matière et de l'architecture de la cathode ainsi que de la méthode de refroidissement. Cette méthode ne permet donc pas d'obtenir une mesure directe et fiable du degré d'érosion. Enfin, dans l'art antérieur, on a aussi proposé que l'érosion de la cible soit connue en mesurant la tension de pulvérisation (brevet suisse CH-PS 657 382), en mesurant, dans le cas des cibles ferromagnétiques, l'induction magnétique en dessous de la cible au moyen de sondes de Hall (brevet britannique GB-OS 2'144'772, revendication 8), en mesurant l'induction d'un champ de dispersion magnétique (demande de brevet allemand DE-OS 34 25 659, page 73), ou, dans le cas de cibles en matériaux amagnétiques, en mesurant l'impédance du plasma ou la tension du plasma dans la chambre de traitement (demande de brevet allemand DE-OS 34 25 659, pages 75 et suivantes). Toutes ces méthodes conduisent à une mesure indirecte de l'érosion de la cible et exigent donc des investigations empiriques en partie très complexes pour l'étalonnage du système concerné, et restent donc affectées de facteurs de sécurité relativement importants, inacceptables en pratique, notamment s'il s'agit d'exploiter des
installations de production très automatisées.
La présente invention a donc pour but de permettre de constater directement et fiablement l'état d'érosion des cibles de pulvérisation pendant le processus de pulvérisation, et d'améliorer ainsi la
fiabilité et l'économie d'exploitation des sources de pulvérisation.
Dans le cas d'une source de pulvérisation cathodique dotée d'un dispositif pour déceler l'érosion de sa surface, ce but est atteint par le fait que le corps-cible soumis à l'érosion présente au moins un capteur en au moins un emplacement prédéterminé, invariable pendant le processus de la pulvérisation cathodique, ce capteur étant destiné à déceler directement la perforation, par érosion, du corps-cible audit
emplacement prédéterminé.
L'idée fondamentale à la base de l'invention est de faire reagir un capteur à une grandeur qui est modifiée de manière subite par le fait que ce capteur, ou l'évidement du corps-cible dans lequel il fixé, est dégagé lors de l'érosion perforante du corps-cible et reçoit ainsi un accès direct à l'intérieur de la chambre de traitement. Au contraire des dispositifs et procédés connus par l'état de la technique, le dispositif selon l'invention n'exige aucun étalonnage préalable du système. Bien plus, l'instant de la variation subite de la grandeur mesurée peut être sélectionné par un emplacement approprié du capteur, en fonction des impératifs de la procédure réelle. Conmme, la position prédéterminée choisie pour le capteur pendant la pulvérisation cathodique ne sera plus modifiée, la variation subite que la grandeur mesurée subira du fait du dégagement (perforation par érosion) constituera une mesure directe de l'usure de la surface de la cible, au contraire des dispositifs décrits à propos de l'art antérieur, lesquels ne décèlent cette usure que de manière indirecte, par des effets secondaires. Conviennent en principe comme grandeur mesurée, pour mettre en oeuvre l'invention, toutes les variables qui, pendant le processus de pulvérisation cathodique, génèrent à l'intérieur de la chambre de traitement des valeurs sensiblement différentes de celles existant en dehors de cette chambre de traitement et qui, lors du dégagement du capteur par l'érosion, provoquent une variation subite du signal: grandeurs photométriques (intensité lumineuse, densité d'éclairement, flux lumineux, etc.), nombre et densité des porteurs de charges électriques, température, pression, etc.. Pour des applications particulières, d'autres grandeurs de mesure s'avèrent convenir, par exemple pression partielle de composants déterminés dans la chambre de traitement, longueur d'onde de la lumière émise, etc.. La réalisation de l'invention est particulièrement simple et efficace si les grandeurs mesurables de la décharge de plasma proprement dite sont utilisées
pour la mesure et son traitement.
Il s'avère particulièrement avantageux que le capteur soit agencé à l'endroit o l'érosion du corps-cible est la plus forte au cours du processus de pulvérisation cathodique. Pour les sources de pulverisation dont il faut déceler non seulement un état final, mais aussi des stades intermédiaires de l'érosion de la cible, il est en outre avantageux de disposer plusieurs capteurs en des endroits de la cible qui sont différents en direction horizontale, ce qui autorise une observation pasà-pas du développement de la figure d'érosion. La
capacité de diagnostic inhérente à cette procédure d'observation pas-
à-pas est encore accrue si l'on fixe plusieurs capteurs en des endroits de la cible qui sont différents en direction verticale et qui
correspondent à la progression de l'érosion de la surface de la cible.
Dans toutes ces formes de réalisation de l'invention, les capteurs
peuvent être fixés soit dans des évidements à l'intérieur du corps-
cible soumis à l'érosion, soit dans des évidements d'une plaque de refroidissement se trouvant derrière ce corps-cible. Dans ce dernier cas, les capteurs peuvent soit déborder en partie dans un évidement du corpscible, soit se trouver simplement combinés à des évidements de la face arrière ou inférieure du corps-cible, soit encore se trouver en
contact mécanique ou optique avec cette surface du corps-cible.
Lorsqu'une cible a été perforée par l'érosion et que le capteur se trouve dégagé de ce fait, ce capteur risque d'être partiellement recouvert de matière apportée par rétroprojection. Dans le cas le plus simple, cela impose un nettoyage supplémentaire du capteur. Dans le cas le plus défavorable, le signal de mesure se trouve perturbé. Ce phénomène secondaire indésirable peut être évité si l'emplacement prédéterminé o la perforation par érosion du corps-cible doit être décelée, et l'endroit o le capteur est agencé ne coïncident pas et communiquent entre eux par un évidement dans le corps-cible. De la matière éventuellement rétroproJetée se dépose alors sur les parois de
l'évidement, et le capteur proprement dit est ménagé.
Après que l'érosion de la cible a perforé celle-ci, donc dégagé le capteur, ce dernier est lui-même érodé pendant un bref laps de temps. Cela peut être une cause d'impuretés dans les minces couches produites dans la chambre de traitement, ce qui, compte tenu des impératifs sévères concernant la pureté de ces couches, pourrait éventuellement conduire à des inconvénients économiques énormes. Cette difficulté peut être éliminée si le corps-cible et le caFteur, éventuellement aussi la monture du capteur ou un couvercle de capteur, sont, dans la zone active, faits de la même matière. Alors, si de la matière du capteur dégagé se trouve pulvérisée, cela ne compromet pas
du tout la qualité des couches.
Le nombre des modes de réalisation possibles des diverses formes de réalisation de la présente invention est très grand. Par exemple, des capteurs peuvent être fixés dans des trous borgnes dont
les axes correspondent à celui du processus d'érosion de la cible.
L'érosion de la cible a pour effet d'ouvrir ces trous borgnes du coté chambre de traitement. Toutefois, des' capteurs peuvent aussi être agencés dans des rainures ou trous traversants, dont l'axe est dirigé plus ou moins perpendiculairement à celui du processus d'érosion de la cible. Cette variante s'avère particulièrement avantageuse dans le cas des sources de pulvérisation avec refroidissement direct, pour lesquelles un passage du capteur au travers d'un courant de fluide réfrigérant impliquerait des difficultés de construction. Dans cette forme de réalisation, les capteurs peuvent aussi être réalisés sous forme d'émetteur de signal et de récepteur de signal, et la perturbation d'un signal constant, due au dégagement du trou ou de la rainure au cours du processus d'érosion, constitue alors une mesure directe de l'érosion de la cible. Par exemple, des variations d'un flux lumineux, de la conductibilité électrique ou de la pression dans le trou, peuvent servir à déceler l'érosion conformément aux
considérations précédentes.
Le procédé de conduite d'une installation de pulvérisation cathodique au moyen de la source de pulvérisation selon l'invention présente les caractéristiques suivantes: (a) on décèle immédiatement et automatiquement la perforation par érosion du corps-cible au moyen d'au moins un capteur en au moins un emplacement prédéterminé, à l'intérieur ou à proximité du corps-cible, cet emplacement étant invariable pendant le processus de pulvérisation cathodique, (b) à l'intérieur d'un laps de temps prédéterminé, après que l'érosion a atteint l'emplacement concerné du corps-cible (1), on interrompt le processus de pulvérisation, et
(c) on remplace le corps-cible.
Par rapport aux méthodes dévoilées dans l'état de l'état de la technique, ce procédé présente l'avantage que l'érosion du corps-cible, et par conséquent la perforation par érosion, est constatée directement, sans, recourir à des grandeurs auxiliaires dont le
comportement devrait d'abord être établi sur une courbe d'étalonnage.
En outre, la méthode selon l'invention fournit une variation subite d'une grandeur de mesure et par conséquent un signal tout à fait univoque et peu susceptible d'être erroné. Enfin, l'instant de cette variation subite des grandeurs mesurées, donc aussi l'instant de la mise en circuit de la source de pulvérisation dans le cadre des paramètres préétablis du système, peuvent être fixés avec une entière liberté, par sélection d'un emplacement déterminé du capteur dans le corps-cible. Les grandeurs mesurées peuvent être des variables photométriques (intensité lumineuse, densité d'éclairement, flux lumineux, rayonnement lumineux spécifique, quantité de lumière, éclairement, exposition, etc.), des grandeurs électrostatiques ou électriques (nombre ou densité des porteurs de charge électrique, conductibilité électrique, etc.), ou la température de sources de chaleur, ou encore la pression dans la chambre de traitement. Un autre mode de mise en oeuvre de l'invention comporte la mesure de la pression partielle de composants individuels dans la chambre de traitement, en utilisant des méthodes de détectioJn chimique, et comporte le traitement sélectif des signaux obtenus en se basant sur des fréquences caractéristiques de la décharge pendant le processus de pulvérisation cathodique, ou en se basant sur la longueur d'onde caractéristique de la lumière, pour des grandeurs photométriques. Dans le premier cas, cela signifie que les signaux captés aux points de mesure seront traités de manière à n'exploiter que des fréquences caractéristiques de la décharge pendant le processus de pulvérisation cathodique, les autres fréquences n'étant par contre pas traitées. Dans le deuxième cas, le traitement sélectif basé sur la longueur d'onde exige que le système de traitement soit complété par un
monochromateur.
Four retransmettre les signaux, dans le cas des grandeurs
photométriques, on peut utiliser les fibres optiques connues en soi.
Elles offrent en outre cet avantage structurel qu'il n'est pas
nécessaire que la monture du capteur soit an une matière isolante.
Le traitement des signaux peut être conçu de manière que la variation subite de la ou des grandeurs mesurées, lors de la perforation du corpscible par érosion, provoque sans délai la aise hors-circuit de la source de pulvérisation. Dans certains cas, il peut
être opportun d'adopter pour la profondeur du capteur dans le corps-
cible une valeur telle qu'il subsiste encore, après la perforation par érosion, suffisamment de matière de cible pour que l'étape de processus commencée puisse être menée à bonne fin dans tous les cas. Pour cela, on programme préalablement un intervalle de temps, entre la variation subite du signal lors de la perforation par érosion et la coupure pour arrêt de l'installation, cet intervalle de temps correspondant au temps nécessaire & une étape de processus complète dans les conditions imposées. On est ainsi assuré qu'un processus commencé ne devra pas être interrompu prématurément, ce qui constituerait une opération indésirable compromettant la qualité des couches produites, conduisant
même à des rebuts ainsi qu'à des arrêts de fabrication anti-
économiques. On décrira maintenant plus en détail une forme de réalisation particulière de l'invention qui en fera mieux comprendre les caractéristiques essentielles et les avantages, étant entendu toutefois que cette forme de réalisation est choisie à titre d'exemple
et qu'elle n'est nullement limitative. Sa description est illustrée par
les dessins annexés dans lesquels les figures représentent: - la figure 1, une coupe transversale d'une source de pulvérisation selon l'invention, avec refroidissement indirect; - la figure 2, un détail agrandi de la figure 1; - la figure 3, une coupe transversale d'une source de pulvérisation selon l'invention, avec une pluralité de capteurs, et avec refroidissement indirect; - la figure 4, une aurtre coupe transversale d'une source de pulvérisation cathodique selon l'invention, dans laquelle l'endroit prévisibie de la perforation par érosion ne coïncide pas avec l'emplacement du capteur; - la figure 5, une coupe transversale d'une source de pulvérisation selon l'invention, avec refroidissement direct; et - la figure 6, une coupe transversale d'une source de pulvérisation cathodique selon l'invention, avec refroidissement indirect, dans laquelle les deux capteurs sont réalisés sous forme
d'émetteur de signal et de récepteur de signal.
La source de pulvérisation représentée sur la figure 1 est montée sur un corps-cible 1 en forme de plaque qui est érodé au cours du processus de pulvérisation cathodique et dont la matière sert à
produire, sur un susbstrat, les couches minces concernées.
En son bord, ce corps-cible 1 présente un épaulement et est assemblé à une plaque de refroidissement 5 par un cadre de fixation de cible 2 tourné vers la chambre de traitement et placé dans cet épaulement et par des moyens d'assemblage par vis 3. Le contact thermique entre corps-cible 1 et plaque de refroidissement 5 peut etre amélioré par interposition d'une feuille intercalaire 4 en une matière ayant une bonne conductibilité thermique. La plaque de refroidissement
5 présente plusieurs canaux 6 par lesquels passe un fluide réfrigérant.
L'ensemble corps-cible 1 et plaque de refroidissement 5 est fixé sur le corps cathodique 11 à l'intérieur duquel se trouve un système magnétique constitué par des aimants permanents 10. Au moyen d'isolateurs 9, le corps cathodique 11 est fixé à une bride 8 de la chambre de traitement. Sur le côté de cette bride tourné vers la chambre de traitement, un masque d'espace sombre 7 est disposé en tant qu'anode. Pour déceler l'érosion 12 du corps-cible 1 en forme de plaque, celui-ci présente, en son côté non tourné vers la chambre de traitement, un évidement 13 en vis- à-vis duquel se trouve un trou correspondant aménagé dans la plaque de refroidissement 5. Dans ce trou de la plaque de refroidissement 5 est vissée une monture 15 pour un capteur 14 dont l'extrémité en forme de plaquette déborde dans le corps-cible 1. Selon la nature de la grandeur que le capteur doit mesurer, la monture 15 de ce capteur est en une matière isolante ou en
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une matière électriquement conductrice.
Lorsqu'au cours du processus de pulvérisation cathodique la frontière de l'évidement 13 est traversée par l'érosion, le paramètre utilisé comme grandeur mesurée (par exemple: grandeurs photométriques, charge électrique, température, pression, etc.) passe subitement, par exemple d'une valeur nulle (ou faible) à la valeur régnant dans la chambre de traitement. Cette variation rapide est décelée par le capteur 14 et transmise, en tant que signal correspondant, par la ligne 16 et le trou 17 du corps cathodique 11, au système de traitement qui, de manière connue en soi, est constitué d'un amplificateur-séparateur 18, d'un amplificateur de commande 19 et d'un interrupteur 20. Les conditions adoptées sont alors avantageusement telles que la source de pulvérisation ne soit mise hors-circuit qu'après un intervalle de temps prédéterminé, ce qui assure une utilisation optimale du corps-cible 1. La durée utile de la cible est ainsi accrue, ce qui peut être particulièrement appréciable
dans le cas des matières onéreuses.
La figure 2 représente un détail agrandi de la figure 1. On peut y voir, en tant que structure en forme de téton, la monture 15 du capteur, laquelle présente un filetage pour la visser dans un trou correspondant de la plaque de refroidissement 5. Le capteur 14 se
termine par une plaquette 21 qui déborde dans l'évidement 13 du corps-
cible 1 et qui peut servir, par exemple, d'électrode pour capter les charges électriques dans la chambre de traitement. Cette plaquette est avantageusement faite de la même matière que le corps-cible concerné 1. Comme, après que l'érosion a traversé la cible, de la matière de cette plaquette est inévitablement enlevée par pulvérisation pendant un court laps de temps, cette identité des matières de la cible et de la plaquette évite que la mince couche produite soit souillée par ce
processus.
Sur la figure 3, on a représenté un autre corps-cible avec refroidissement indirect. Ce corps-cible présente une pluralité d'évidements 13a, 13b et 13c, de profondeurs différentes, qui pénètrent dans le corps-cible, par le côté arrière de celui-ci. Un tel agencement permet de suivre la progression de l'érosion 2 du corps-cible 1 à 3] différents instants au cours du processus de pulvérisation cathodique, et de pré-programmer la mise hors-circuit de la source avec les
intervalles de temps correspondants.
La forme de réalisation de l'invention représentée sur la figure 4 présente cette particularité que l'emplacement o il est prévu que le corps-cible 1 sera percé par l'érosion ne coïncide pas avec la position du capteur 14 qui doit déceler cette percée. Ces deux emplacements ne communiquent entre eux que par un évidement 13. le capteur 14 est en outre inséré dans l'alésage de la plaque de refroidissement 5 de manière à être 'légèrement en retrait de la surface de celle-ci, de sorte qu'il ne se trouve pas en contact mécanique avec le corps-cible 1. Cette forme de mise en oeuvre de l'invention, particulièrement avantageuse dans le cas des capteurs optiques, n'évite pas seulement l'enlèvement de matière du capteur après que la cible a été percée par l'érosion, mais évite aussi que ce capteur 14 soit revêtu de matière pulvérisée de sorte que le résultat de la mesure ne sera pas faussé et qu'il ne sera pas nécessaire d'effectuer un nettoyage compliqué du capteur. Pour éviter les souillures, on peut prévoir une plaquette de recouvrement la, en
matière identique à celle de la cible.
La forme de réalisation de l'invention représentée sur la figure présente un refroidissement direct, dans lequel le canal de refroidissement 6 borde directement le corps-cible 1, un Joint d'étanchéité 22 étant prévu entre ce corps-cible et la plaque de refroidissement 5. Avec cette forme de réalisation, il est moins opportun que le ou les capteurs soient fixés au corps-cible par le côté arrière de celui-ci. Par contre, il s'avère plus opportun que le capteur 14 soit inséré dans un évidement 13 aménagé dans le côté du corps-cible 1. Cet évidement 13 est alors réalisé sous la forme d'un trou borgne dont la profondeur dépend de l'emplacement o l'érosion 12 du corps-cible doit être décelée. Si, comme représenté sur la figure, le capteur 14 est constitué par une fibre optique (fibre conductrice de lumière), la profondeur plus importante du trou borgne 11 n'est alors pas une cause de difficulté supplémentaire et, dans ce cas, il n'est pas nécessaire que la monture 15 du capteur soit en une matière isolante. Une variante de cette forme de réalisation de l'invention est représentée sur la figure 6. Dans cette variante, deux capteurs sont fixés latéralement, l'un comme émetteur de signal 14a et l'autre comme récepteur de signal 14b. Ils communiquent entre eux par un trou traversant 23. C'est alors une grandeur photométrique, par exemple la densité d'éclairement, qui est utilisée comme grandeur de mesure, et l'agencement représenté opère en tant que barrière photoélectrique par transmission. Cette variante présente l'avantage que l'érosion 12 du corps-cible 1 peut être surveillée simultanément sur toute l'étendue de celui-ci et que, par conséquent, l'emplacement du maximum d'érosion 12
n'a pas à être déterminé préalablement avec une précision ponctuelle.
Naturellement, l'invention n'est en rien limitée par les particularités qui ont été spécifiées dans ce qui précède ou par les détails du mode de réalisation particulier choisi pour illustrer l'invention. Toutes sortes de variantes peuvent être apportées & la réalisation particulière qui a été décrite à titre d'exemple et à ses
éléments constitutifs sans sortir pour autant du cadre de l'invention.
Cette dernière englobe ainsi tous les moyens constituant des équivalents techniques des moyens décrits ainsi que leurs combinaisons.

Claims (17)

REVENDICAIIOIS
1. Source de pulvérisation, pour installations de pulvérisation cathodique, cette source étant dotée d'un dispositif pour déceler l'érosion de la surface de la cible et étant caractérisée par le fait que le corps-cible (1) soumis à l'érosion présente au moins un capteur (14) en au moins un emplacement prédéterminé, invariable pendant le processus de la pulvérisation cathodique, ce capteur étant destiné à déceler directement la perforation, par érosion, du corps-cible (1)
audit emplacement prédéterminé.
2. Source selon la revendication 1, caractérisée par le fait que le capteur (14) est agencé à l'endroit o l'érosion du corps-cible (1)
est la plus forte pendant le processus de pulvérisation cathodique.
3. Source selon les revendications 1 et 2, caractérisé par le
fait que plusieurs capteurs (14) sont disposes en des endroits de la figure d'érosion du corps-cible (1) qui sont différents en direction horizontale.
4. Source selon l'une quelconque des revendications 1 à 3,
caractérisée par le fait que plusieurs capteurs (14) sont disposés en des endroits de la cible (1) qui sont différents en direction verticale et correspondent à des positions d'érosion croissante (12) de la
surface de la cible.
5. Source selon l'une quelconque des revendications 1 à 4,
caractérisée par le fait que l'emplacement prédéterminé o la perforation par érosion du corps-cible (1) doit être décelée, et l'endroit o le capteur (14) est agencé ne coïncident pas et communiquent entre eux par un évidement (13) dans le corps-cible. (1), cet évidement étant destiné à éviter un encrassement du capteur (14)
au moment o le corps-cible (1) est perforé par érosion.
6. Source selon l'une quelconque des revendications 1 à 5,
caractérisée par le fait que le corps-cible (1), le capteur (14) et la monture (15) de ce capteur sont faits de la môme matière, afin d'éviter que les couches minces produites soient souillées par des
impuretés dans le cas le corps-cible (1) est perforé par l'érosion.
-7. Source, selon l'une quelconque des revendications 1 à 6,
caractérisée par le fait que le ou les évidements (13) dans le corps-
cible (1) ont la forme de trous borgnes.
8. Source selon l'une quelconque des revendications 1 à 6,
caractérisée par le fait que plusieurs évidements (13) dans le corps-
cible (1) communiquent entre eux par des trous traversants (23) ou par
des rainures.
9. Source selon la revendication 8, caractérisée par le fait que les capteurs (14) présentent au moins un émetteur de signal (14a) et
au moins un récepteur de signal (14b).
10. Procédé de conduite d'une installation de pulvérisation cathodique, caractérisé par le fait que (a) on décèle immédiatement et automatiquement la perforation par érosion du corps-cible (1) au moyen d'au moins un capteur (14) en au moins un emplacement prédéterminé, à l'intérieur ou à proximité du corps-cible (1), cet emplacement étant invariable pendant le processus de pulvérisation cathodique, (b) à l'intérieur d'un laps de temps prédéterminé, après que l'érosion (12) a atteint l'emplacement concerné du corps-cible (1), on interrompt le processus de pulvérisation, et
(c) on remplace le corps-cible (1).
11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé par le fait que le ou les capteurs (14) captent l'intensité d'éclairement et/ou une
autre grandeur photométrique dans la chambre de traitement.
12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé par le fait
que la grandeur photométrique est captée au moyen d'une fibre optique.
13. Procédé selon la revendication 10, caractérisé par le fait que le ou les capteurs (14) décèlent des porteurs de charges
électriques dans la chambre de traitement.
14. Procédé selon la revendication 10, caractérisé par le fait que le ou les capteurs (14) captent la température de sources de
chaleur dans la chambre de traitement.
15. Procédé selon la revendication 10, caractérisé par le fait que le ou les capteurs (14) captent la pression dans la chambre de traitement.
16. Procédé selon l'une quelconque des revendications 10 à 15,
]5 caractérisé par le fait que les signaux à capter aux points de mesure sont traités de façon à ne traiter que des fréquences caractéristiques de la décharge pendant le processus de pulvérisation cathodique, les
autres fréquences n'étant par contre pas traitées.
17. Procédé selon l'une quelconque des revendications 10 à 16,
caractérisé par le fait que le laps de temps compris entre la perforation par érosion et la mise hors-circuit de la source de pulvérisation correspond au moins à la durée nécessaire à une étape de
procédé complète.
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