JP6653906B2 - ターゲット損耗検出機構及びそれを備えたスパッタ装置並びにターゲット損耗検出方法 - Google Patents
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
110:チャンバ
120:真空ポンプ
130:希ガス
140:電源
150:基板
200:ターゲット
210:材料
220:エロージョン領域
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430:光伝送路
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510:貫通孔
600:スパッタ監視機構
610:導光路
620:分光器
Claims (8)
- チャンバ内に載置された基板と、
前記基板に対してスパッタリングにより薄膜を形成するための材料からなるターゲットと、
前記ターゲットの裏面に接して前記ターゲットを前記チャンバ内に支持するとともに冷却するためのバックプレートと、
前記ターゲットの裏面を検出すべく前記バックプレート側に取り付けられた光検出手段と、を有し、
前記ターゲットは、スパッタリングを停止させるエロージョン領域の深さ位置まで、裏面側から外周側に出ない範囲で予め切削された背面溝が形成され、
前記光検出手段は、前記背面溝が形成された範囲内に配置され、スパッタリングによって前記ターゲットのエロージョン領域が前記背面溝に達することで貫通した損耗孔を通過するプラズマ光の有無を検出する、
ことを特徴とするターゲット損耗検出機構。 - 前記ターゲットは、前記背面溝が形成される代わりに、前記ターゲットと同じ材料からなり、前記背面溝が形成される場合と同じ位置に貫通孔が形成されたシートを裏面に有する、
ことを特徴とする請求項1に記載のターゲット損耗検出機構。 - 前記光検出手段は、マグネトロンスパッタの場合に発生する円環状のプラズマによって前記ターゲットに形成される円環状のエロージョン領域の範囲に合わせて配置される、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のターゲット損耗検出機構。 - 前記光検出手段は、前記ターゲットのエロージョン領域が前記背面溝又は前記貫通孔に達する直前の貫通していない損耗孔を透過するプラズマ光の強度を検出し、
当該プラズマ光の強度が予め設定した閾値以上になったときにスパッタリングを停止させる、
ことを特徴とする請求項1乃至3の何れか一に記載のターゲット損耗検出機構。 - チャンバ内に載置された基板と、
前記基板に対してスパッタリングにより薄膜を形成するための材料からなるターゲットと、
前記ターゲットの裏面に接して前記ターゲットを前記チャンバ内に支持するとともに冷却するためのバックプレートと、を有し、
前記ターゲットは、任意の位置に貫通する導光路が空けられ、
前記導光路を通過したプラズマ光を分光器で波長分析し、スパッタされている材料を特定することにより、前記ターゲットの損耗状況を監視する、
ことを特徴とするターゲット損耗検出機構。 - 前記導光路は、プラズマが通り難い形状の通路である、
ことを特徴とする請求項5に記載のターゲット損耗検出機構。 - 請求項1乃至6の何れか一に記載のターゲット損耗検出機構を備えたスパッタ装置。
- チャンバ内に載置された基板に対してスパッタリングにより薄膜を形成するための材料からなるターゲットに、スパッタリングを停止させるエロージョン領域の深さ位置まで、裏面側から外周側に出ない範囲で予め背面溝を設け、
前記ターゲットを前記チャンバ内に支持するとともに冷却するためのバックプレートを前記ターゲットの裏面に接触させ、前記背面溝が形成された範囲内であって、プラズマによって前記ターゲットに形成されるエロージョン領域の範囲に合わせて、前記バックプレート側に光検出手段を取り付け、
スパッタリングによって前記ターゲットのエロージョン領域が前記背面溝に達することで貫通した損耗孔を通過するプラズマ光を前記光検出手段が検出したときにスパッタリングを停止させる、
ことを特徴とするターゲット損耗検出方法。
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