FR2564087A1 - Verre de borosilicate sans alcali pour photomasques et elements optiques de transmission de lumiere - Google Patents

Abstract

VERRES DE BOROSILICATE SANS ALCALI AYANT DES COEFFICIENTS DE DILATATION THERMIQUE (ENTRE 20C) ET 300C) INFERIEURS A 40,510, DES MASSES VOLUMIQUES INFERIEURES A 3,0GCM ET DONNANT UNE BONNE TRANSMISSION DE LUMIERE DANS LE VISIBLE ET DANS L'ULTRAVIOLET, QUI PEUVENT ETRE PRODUITS SUIVANT LES TECHNIQUES DE FUSION COURANTES CONTINUES. CES VERRES CONVIENNENT PARTICULIEREMENT BIEN POUR DES SUBSTRATS DE PHOTOMASQUES, SYSTEMES PHOTOVOLTAIQUES ET MIROIRS. LEURS COMPOSITIONS, EN POURCENTAGES PONDERAUX SONT LES SUIVANTES: SIO, 50-60; BO, 1-6; ALO, 12-15; MGO, 0-2,5; CAO, 0-5,1; BAO, 9-10; ZNO, 12-18; CEO, 0-5; ASO, 0-1,5; SBO; PBO, 0-1. SOMME MGOCAOBAO ZNO21-33,5

Description

Dans la fabrication de systèmes de semiconducteurs, on imprime des

modèlesde circuits sur

un substrat (Si ou GaAs) par le procédé généralisé sui-

vant. On oxyde un support de silicium pour y former une mince couche de surface de SiO2, puis on recouvre la surface oxydée d'une matière de photoréserve que l'on polymérise par exposition à un rayonnement ultraviolet ou à un-faisceau

d'électrons. Apres avoir appliqué la photoréserve, le sup-

port est aligné avec un photomasque portant un négatif du modèle de circuit à imprimer et exposé à l'ultraviolet ou à un faisceau d'électrons. Les parties o le rayonnement traverse le photomasque sont polymérisées, les parties o le rayonnement est arrêté par le photomasque n'étant pas polymérisées.On enlève alors la photoréserve non polymérisée puis on élimine la surface de SiO2 exposée, exposant ainsi le silicium sousjacent qui peut ensuite être dopé avec diverses impuretés, pour former le système semi-conducteur lui-même, et finalement la photoréserve polymérisée est elle-même retirée. Le rôle du photomasque est ainsi de

délimiter le modèle du circuit sur le substrat. La produc-

tion de circuits intégrés complexes implique jusqu'à douze

répétitions, ou même davantage, d'un tel procédé photolito-

graphique.

Trois genres fondamentaux de photomas-

ques sont employés dans l'industrie des semiconducteurs, qui se sont développés avec la complexité croissante des circuits intégrés. Le premier type peut être qualifié "haute dilatation" et on y utilise généralement de la chaux sodée (verre de fenêtre) et des types de crown- glass blanc, ayant des coefficients de dilatation thermique de

x 10- 7C-0C1 ou moins. Les tracés de circuits sont impri-

més sur le masque avec des émulsions formant des pellicules ou par revêtement d'une association fer-chrome. En raison du coefficient de dilatation élevé, les photomasques sont employés en contact avec le substrat pour réduire au minimum

les effets de distorsion, mais ce contact entraîne une éro-

sion du modèle de circuit, et les photomasques ne peuvent servir que pour un nombre limité d'expositions, ce qui rend

leur emploi trop coûteux. Une autre difficulté des photo-

masques à forte dilatation est que l'alcali du verre réagit chimiquement avec les émulsions, ce qui limite la résolution pouvant être obtenue. Le dépôt d'alcali à la surface du

photomasque, par suite de réactions avec l'humidité atmos-

phérique, peut de plus provoquer la formation de piqGres

qui altèrent la qualité du circuit, ainsi qu'une destratifi-

cation qui limite l'intérêt du photomasque lui-même. En

conséquence, les photomasques à forte dilatation sont prin-

cipalement employés pour fabriquer des dispositifs à gros circuits (5 à 10 /um), qui ne sont pas caractéristiques de

l'état actuel de la tehnique des circuits intégrés.

La seconde catégorie de photomasques est celle à faible dilatation, qui sont ordinairement des verres de borosilicate et d'aluminosilicate ayant des coefficients de dilatation thermique de 50 x 10 70C-1 ou moins, et ces matières à plus faible dilatation thermique permettent une exposition sans contact des substrats, et ainsi une plus longue durée de service des masques et une meilleure résolution des circuits (2 à 5/um). Mais là

aussi la teneur en alcali de ces verres constitue un pro-

blème critique en ce qui concerne la formation de piqures sur le photomasque. La relation entre la teneur en alcali et la formation de piqQres a été discutée par Izumitani et al, "Surface Texture Problems for Photomasks", Hoya

Optics, Menlo Park, CA.

La troisième catégorie de photomasques comprend des matières à très faible dilatation thermique, forméesd'une manière caractéristique de silice fondue, qui

ont des coefficients de dilatation inférieurs à 1 x 10-70C-1.

Ces très faiblescoefficients de dilatation sont intéressants en ce que la déformation dans le modèle de circuit appliqué

est très peu importante, ce qui permet une plus haute réso-

lution, et comme par ailleurs la silice fondue ne contient

pas d'alcali, il ne se forme pas de piqûres ni autres dé-

fauts dus à l'alcali au cours de la fabrication du photo-

masque. Malheureusement, la silice fondue ne peut être obtenue dans les installations de fusion courantes qui servent pour les verres à plusieurs composants, elle est plus coûteuse à produire, et de plus sa qualité optique

est souvent inférieure à celle des matières de la caté-

gorie à faible dilatation thermique. Actuellement, dans la production de circuits intégrés, on utilise principalement les deux premières catégories de matières, à savoir les photomasques à haute dilatation pour des circuits à basse densité, et des matières à faible dilatation pour

des applications plus critiques.

Les tableaux 1 et 2 ci-après indiquent

les compositions et les propriétés des verres pour photo-

masques à faible dilatation qui sont le plus largement

employés (LE-30, E-6, CGW7740 et PMG 1).

T A B L E A U 1

Propriétés de matières pour photomasques du commerce Résumé comparatif Substrat de photomasques Désignation du Schott Hoya OHARA CGW fabricant PMG-1 Duran LE-30 E-6 7740 nd 1,5574 1,473 1,532 1,467 1,474 Vd 58,4 65 Masse3volumique 2,87 2,23 2,58 2,18 2,23 (g/cm) Tg (OC) 641 530 690 540 530 e20-100 (x10 70C 1) 42,4 34+ -300 (xl0-7oC-1) 38 25 0 20-300 (xlO-70C1) 46 32,5 37 32,5 Tl 7,6 (0C) 808 815 921 821

Stabilité à l'hydro-

ase (DIN 12111) 1 1 Uasse Perte ie poids (mg/dm) 26* Stabilité aux acides (DIN 12116) Classe"4 1 perte qe poids (mg/dm) 1366 77* T A B L E A U 1 (suite et fin) Désignation du Schott Hoya OHARA CGW fabricant PMG-l Duran LE-30 E-6 7740

Stabilité aux ma-

tières alcalines (DIN 52322) Classe 3 2 perte de poids (mg/dm2) 244 321* %T350nm (5 mm) 71%' 78,5%' 84% 85 % Dureté Knoop 539 657 520 418 Module d'Young (Gpa) 74,4 63 74 57,5 62,8 Rapport de Poisson ? 0,20 0,159 0,195 0,20 Coefficient optqu de tension (10 mm /N).3,45 2,86 Chaleur spécifique (J/g.K) ? 0,84 0,17 0,17 Conductibilité thermique (W/m.K) ? 1,16 2 0,96 1, 26 Log1o résistivite Vd. 15 Constante diélectrique 4,7 4,0 5,1 H20: 99 C/1 h; Acide: HNO3 0,lN, 99 C/1 h; Alcali: NaOH à 0,1 %, atm (270 C)/5 h (31588211)

+ 50 - 100 C.

T ABLEAU 2

Composition de verres du commerce pour photomasques Désionation Schott Schott Hoya OHARA CGW, du fabricant Pourcentaces PMG-1 Duran 50 LE-30 E-6 7740 pondéraux SiO02 46,01 80r5 59,28 79142 80ó5 8203 11,31 12,8 4j26 15, 77 13jO A1203 11,l03 2,3 15,41 1,08 2,3 Na20 0,163 '3t6 l129 2,59 4,0 K20 Or31 0,6 0j80 <0>02 MgO 9X21 CaO 4,98 1,33 < 1 BaO 13,82 0196 < 1 ZnO 12104 5)95 < 1 PbO 0)92 Sb203 0143 As203 0,36 0,9 Comme on peut le voir, tous ces verres ont des coefficients de dilatation thermique compris entre et 50 x 10- 7, et tous contiennent aussi des alcalis, ce qui, comme il a été dit précédemment, est défavorable pour

la production et le comportement des photomasques.

La présente invention à précisément pour objet un verre optique sans alcali, à faible coefficient

de dilatation thermique, utilisable comme substrat pour photo-

masques et réduisant ou supprimant les inconvénients qui

ont été indiqués plus haut.

Un tel verre peut également être employé

comfme matériau optique de transmission de lumière, par exem-

pie pour la fabrication de lentilles ou fenêtres ou d'au-

tres éléments de systèmes optiques simples ou composés, ainsi que pour fabriquer des miroirs ou tous autres systèmes qui n'utilisent pas directement la transmission de lumière à

travers l'élément.

Le verre selon cette invention peut encore servir de matériau pour photomasques, et il a aussi

d'autres propriétés physiques et optiques qui sont équiva-

lentes à celles des matériaux connus à faibles dilatations thermiques ou même meilleures, évitant ainsi les défauts qui sont liés à la présence d'alcalis dans la fabrication et

l'emploi de photomasques.

La présente invention apporte ainsi un verre de qualité optique ayant un indice de réfraction nd au moins égal à 1,50, de préférence de 1,54 à 1, 57, un indice d'Abbe Vd d'au moins 55, de préférence compris entre 56 et 59, une masse volumique ne dépassant pas 3,0, de préférence 2,80 à 2,91, et un coefficient de dilatation thermique (20-300 C) (CDT) ne dépassant pas 40,5 x 10 - C 1,

de préférence de 35,5 à 39,0 x 10 70C-1, verre qui ne con-

tient pas d'alcali, qui comprend au moins 90moles % de

Si02, B203, A1203, MgO, CaO, BaO et ZnO, et dont la composi-

tion en pourcentages pondéraux est la suivante: Limites Limites générales préférées SiO2 50-60 50-56

B203 1-6 2-3,7

A1203 12-15 12-15

MgO 0-2,5 1,5-2 5 CaO 0-5,1 2-3 BaO 9-10 9-10 ZnO 12-18 14-18 CeO2 0-5 05 Limites Limites générales préférées As20 +2

SSO3 - O-1J5 0-1JS

Sb203 PbO 0-1 0-1

La somme MgO + CaO + BaO + ZnO est de 21 à 33,5 %', de pré-

férence de 23 à 33,5 %, mieux encore de 28 à 31 ou de 26,5 à 33,5 %, et d'une manière caractéristique d'environ %. En poucentages molaires la composition conforme à l'invention est essentiellement la suivante: Limites Limites générales préférées SiO2 58-66,5 58-65

B0 02-5 2-3 8

,A1203 8-11 8-11

MgO 0-4 2.8-4 CaO 0-6.5 2.5-3.5 BaO 3-5 3-5 ZnO 10-16 10-16 CeO2 0-2t5 02;5

AS2 3 0-015 0-015

sb203 PbO 0-0,5 -0,5

La somme MgO + CaO + BaO + ZnO est de 13 à 31,5, de pré-

férence de 15 à 31,5, mieux encore de 23 -26,5, et d'une

manière caractéristique de l'ordre de 26 %' en moles.

La composition du verre à faible

dilatation thermique de cette invention, qui convient par-

ticulièrement bien comme verre pour photomasques, est dif-

férente de celle de tous les autres verres connus, et les limites des pourcentages pondéraux ou des pourcentages mo- laires correspondants ont une importance déterminante pour chacun des ingrédients de ce verre, en particulier pour

l'oxyde de baryum et l'oxyde de zinc.

Si en effet la proportion de dioxyde de silicium est supérieure à ce qui a été indiqué ci-dessus, la viscosité du verre sera trop forte, tandis que si cette proportion est inférieure à la limite spécifiée, le CDT sera

trop élevé. Une teneur en B203 supérieure à la limite indi-

quée entraîne une séparation de phases dans le verre, alors que si cette teneur est inférieure à la limite indiquée, la

viscosité du verre est trop forte. Des proportions de Al2 03-

supérieures à ce qui a été spécifié donnent un verre insta-

ble et on observe une cristallisation, alors que des propor-

tions inférieures donnent un CDT trop élevé.

L'oxyde de magnésium n'est pas un compo-

sant nécessaire dans la composition du présent verre, mais

sa présence est néanmoins préférable. Des proportions d'oxy-

de de magnésium supérieures à la gamme spécifiée ne sont pas miscibles dans la composition, rendent le verre instable, et on observe une cristallisation de celui-ci, et il en est

de même pour l'oxyde de calcium, dont la présence est facul-

tative. L'oxyde de baryum constitue l'un des

ingrédients les plus essentiels de la composition du pré-

sent verre. Par exemple, le coefficient de dilatation ther-

mique varie beaucoup plus avec des variations de la teneur

en oxyde de baryum qu'avec des variations des autres compo-

sants du verre. Des proportions d'oxyde de baryum inférieures à la gamme spécifiée entraînent une séparation de phases dans

le verre tandis que des proportions inférieures ont pour ré-

sultat un CDT trop élevé, et il est en général préférable que la proportion d'oxyde de baryum soit d'environ 9,5 à 9,35 a% en poids, c'està-dire de l'ordre de 4,24 à 4,26 %

en moles.

La teneur en oxyde de zinc est de même un facteur très critique pour obtenir les caractéristiques voulues du présent verre. Des proportions d'oxyde de zinc inférieures à ce qui a été spécifié donnent un CDT trop élévé, alors que des proportions supérieures ne sont pas miscibles dans la composition du verre et donnent un verre instable, et de plus une cristallisation est observée. Des proportions particulièrement préférables d'oxyde de zinc sont d'environ 14,5 à 17,1 % en poids, c'est- à-dire de

l'ordre de 12,5 à 15 % en moles.

D'autres ingrédients facultatifs sont

l'oxyde de cérium, l'oxyde de plomb,ainsi que l'oxyde d'anti-

moine et l'oxyde d'arsenic comme agentsde raffinage. Des proportions d'oxyde de cérium supérieures à ce qui a été spécifié donnent de trop faibles propriétés de transmission de lumière dans la gamme importante de 350 à 700 mm, et si les proportions des agents de raffinage sont trop élevées

le verre est improprement raffiné. Par ailleurs, des pro-

portions d'oxyde de plomb supérieures à la gamme spécifiée

donnent un CDT trop élevé.

Les limites qui définissent les gammes des proportions de chaque ingrédient peuvent être variées, dans les limites indiquées, pour établir des gammes plus étroites, c'est-à-dire que chaque gamme définie ci-dessus peut comprendre plusieurs gammes plus étroites. On donne par exemple pour ZnO une gamme de 12 à 18 t en poids, qui comprend les gammes plus étroites de 12,1 à 18 O%, 12,0 à 17,9 %0, 12,1 à 17,9 %, 12,2 à 18 %l etc.

, c'est-à-dire dans lesquelles une limite ou les deux limites varient d'un ou de plusieurs multiples de 0,1 %. Ainsi, la gamme générale de 12 à 18 %l comprend également les gammes plus étroites de 12,5 à 18 %l, 12,0 à 17,5 %, 12,5 à 17,5 % etc..., de même que les gammes préférées indiquées, par exemple de 14,5 à 17,1 % pour ZnO, ou même des gammes plus étroites, par exemple de 14,6 à 15,1 %. Cette dernière constitue à peu près la différence pratiquement la plus petite qui..DTD: peut être maintenue avec les procédés courants de fabrica-

tion. Les gammes d'autres ingrédients comprennent de la même façon des gammes correspondantes plus étroites. On peut fabriquer le verre de cette invention suivant les techniques tout-à-fait ordinaires qui sont normalement appliquées pour-des verres de ce

genre. On mélange par exemple en une masse fondue les ma-

tières qui correspondent aux oxydes du verre, par exemple les oxydes euxmêmes ou bien les carbonates, nitrates, hydroxydes etc..., dans les proportions qui correspondent aux proportions voulues pour le verre final. Des températures de fusion représentatives sont de 1200 à 1600 C, et l'on peut

employer les creusets ou cuves habituels, par exemple re-

couverts de graphite, en une matière céramique ou en pla-

tine. La masse fondue homogène est ensuite traitée de la

manière usuelle, par exemple raffinée, coulée dans des mou-

les, progressivement refroidie etc...

Comme il a été dit, un emploi particu-

lièrement intéressant du verre à faible dilatation thermi-

que de cette invention est le photomasquage qui a été dé-

crit plus haut, mais ce verre peut servir à d'autres usages très divers, par exemple, et sans vouloir limiter ses emplois possibles, à des applications comprenant des substrats pour systèmes photovoltaiques, fenêtres, lentilles, miroirs,

etc..., ou autres composants optiques nécessitant ses pro-

priétés propres, par exemple devant avoir une grande ré-

sistance aux chocs thermiques, à des fins générabs qui de-

mandent des miroirs de haute qualité avec très peu de dé-

formation sous l'action de la chaleur, etc.... On peut cou-

ler ou mouler le présent verre ou lui donner d'une autre manière la forme ou la configuration voulue pour tous les

nombreux usages qu'il permet.

On pense que sans ex plications

supplémentaires, cette description permettra aux spécia-

listes d'appliquer la présente invention dans sa portée

la plus étendue.

Les modes d'exécution particuliers

qui suivent ne sont donc donnés qu'à titre purement illus-

tratifs, sans qu'ils limitent en aucune manière cette in-

vention. Dans les exemples suivants toutes les températures sont données non corrigées en degrés Celsius, et à moins d'indications contraires toutes les parties et tous les

pourcentages de matières sont donnés en poids.

EXEMPLES A à F:

Ce qui suit décrit une préparation du verre qui est dénommé ci-dessous composition préférée A, et on a utilisé des procédés correspondants pour préparer les autres compositions de verre qui sont groupées dans le

tableau 3 ci-après.

Préparation du verre.

On pèse et on mélange intimement les matières suivantes: Quantités (kg) Dioxyde de silicium 0,723 Acide borique 0,073 Hydroxyde d'aluminium 0,249 Carbonate de magnésium 0,057 Carbonate de calcium 0,059 Nitrate de baryum 0,209 Plomb rouge 0,007

Trioxyde d'antimoine 0,006.

On fond le mélange dans un creuset en platine d'une capacité d'un demilitre, que l'on chauffe par induction à la température de 1530 C, puis on

homogénéise le verre et on le raffine à 1580 C pendant 5 heu-

res. On le coule ensuite dans des moules en acier recouverts de graphite, o il est recuit à une température d'environ

7000C, avec une vitesse de refroidissement de 30 C à l'heure.

On peut ensuite broyer et polir le verre recuit, sans ten-

sions, pour en former des composants optiques par les techni-

que courantes.

Le tableau 3 qui suit groupe plusieurs exemples de verres de cette invention, avecleurs caractéristiquJes,les exemples

A, B et C constituant les exemples préférés.

T A B L E A U 3

Pourcentages pondéraux Exemples \ préférés---EI

A* B* C* D E F

SiO2 55,28 55,56 50,51 50,56 55,17 56,49

B203 3,16 3,18 3,68 3,18 3,16 2,17

A1203 12,39 12,45 14,48 12,45 12,36 14,54

MgO 1,82 1,83 2,12 1,83 0 1,81 CaO 2,53 2,54 2,50 2,54 5;04 2,52 BaO 9,26 9,31 9,18 9,31 9,25 9,25 ZnO 14,60 14,67 17,08 14,67 14,57 12,27 CeO2 0 0 O a a O PbO 0,50 0 0 0 0 0,50 As203 + Sb203 0,46 0,46 0,45 0,46 0,45 0,46 nd 1,5514 1,548 1,5626 1,5694 1,5531 1,547 Vd 57,68 58,5 57,16 56,35 58, 06 58,52 Masse volumique (g/cm3) 2,84 2,83 2,91 2,98 2,84 2,80 CDT20 1000(XlO -7C) 31,4 31,6 32,1 35,1 34,5 31,5 CDT20_300o(xl0-70C) 36,4 36,3 38,5 40,3 39,2 35,7 CDT100,,300,(xl C) -38,2 38,2 39,4 42,3 41,3 37,4 Tg ( C) 676 679 678 674 675 699 T 107'6(oC) 898 Stabilité à l'hydrolyse (DINllll) Classe, perte de poids (mg/dm) 1/12 1/12 N.E. N.E. 1/11 1/11 Stabilité aux acides (DIN 12116) Classe, perte de poids (mg/dm2) 3/9,5 3/9,5 N.E. N.E. 3/8,3 3/6,1 Stabilité aux matières alcalines

(DIN 52322) 2

Classe, perte de poids (mg/dm2) 2/153 2/153 N.E. N.E. 2/152 2/141 Transmission UV )\50 % T (5 mm) 314 nm 316 nm N.E. N.E. 315 nm 317 n % T à 350 nm (5 mm) 83 % 82 %O N.E. N.E. 82 % 81% Module d'Young E(xlO3N/mm2) 83 83 N.E. N.E. 82 84 V, Rapport de Poisson 0,245 0,245 N.E. N.E. 0,246 0, 241 Conductibilité thermique (W/mK) 1,08 N.E. N.E. 1,06 1,10

T A B LE A U 4

Pourcentages molaires correspondant aux pourcentages pondéraux du

tableau 3

A B C D

SiO2 64,74 64,86 59,87 61,35 64,86 66 24

B203 3,19 3,20 3,77 3,33 3,20 2,19

Ai O 9i1.,1 A1203 8,54 8;56 10,!l 8,90 8>56 10;04 Mgo 3,17 3;18 3, 75 3, 31 --- 3,17 CaO 3,16 3,17 3,17 3>30 6,35 3,16 BaO 4,24 4,26 4,26 4,43 4; 26 4,25 ZnO 12,63 12,65 14,95 13,14 12,65 10;63 PbO 0, 2 ---........ 0,20 As O3 + O-, il 011 0,11 0,12 0,11 0,11 SbO CeO2......... 2,12 On peut recommencer les exemples précédents avec des résultats semblables en remplaçant les

réactifs indiqués et/ou en modifiant les conditions opéra-

toires.

RE VEND I-C A T I 0 N S

!.- Un verre sans alcali ayant un indi-

ce de réfraction au moins égal à 1,50, un indice d'Abbe d'au moins 55, une masse volumique ne dépassant pas 3,0 et un coefficient de dilatation therilque ne dépassant pas ,5 x 10-7/ C entre 20 et 300GC, qui est essentiellement formé des composants suivants, en pourcentages pondéraux: SiO2 50-60%

B203 1-6%

A1203 12-15%

MgO 0-2,5% CaO 0-5,1% BaO 9-10% ZnO 12-18% CeO2 0-5% As 203

2A+3 0-1,5%

Sb203 PbO 0-1%

Somme MgO + CaO + BaO + ZnO = 21-33,5 5.

2.- Verre défini à la revendication 1, dans lequel les pourcentages molaires des composants sont les suivants: SiO 58-66,5

BO 2-5

B203 2-5

Ai203 8-11 A203 MgO 0-4 CaO 0-6i5 BaO 3-5 1 5 ZnO 10-16 CeO2 0-2, 5 As203

+, 0-0,5

Sb OZ Sb203 PbO 0-0,5 Somme MgO + CaO + BaO + ZnO = 13-31,5 3.- Verre selon la revendication 1 Ig ayant les caractéristiques suivantes: Indice de réfraction 1,54 - 1,57 Indice d'Abbe 56 - 59 Masse volumique (g/cm3) 2, 8 - 2,9

CDT30 300o(x 10 7OC-1) 35,5 - 39,0.

4.- Verre selon la revendicaiton 1

essentiellement formé des composants suivants, en pourcenta-

ges pondéraux: SiO2 50-56%

B203 2-3,7%

2 0 2

AI2 3 12-15%

A203 MgO 1,5-2 5% CaO 2-3% BaO 9-10% ZnO 14-18% CeO2 0-5% CeO2 As2O3

+Z 0-1.5%

Sb2O3 PbO 0-1%

Somme MgO + CaO + BaO + ZnO = 26, 5-33, 5 %.

16 5

5.- Verre selon la revendication 2 ayant les caractéristiques suivantes: Indice de réfraction 1,54 - 1,57 Indice d'Abbe 56 - 59 Masse volumique (g/cm3) 2,8 - 2,9 7c)

CDT 203000(x 10-7C1) 35,5 - 39,0.

6.- Verre selon la revendication 2

essentiellement formé des composants suivants, en pourcen-

tages molaires: SiO2 58-65

B203 2-3,8

B203 Ai2 3 8-11 A203 MgO 2,8-4 CaO 2 5-3 5 BaO 3-5 ZnO 10-16 CeO2 0-2,5 As O

+23 0-0,5

Sb203 PbO 0-0,5 Somme MgO + CaO + BaO + ZnO = 23-26, 5 7.- Verre selon la revendication 1 comprenant les proportions approximatives suivantes des composants indiqués,en poucentages pondéraux:

sioz 55, 3.

B203 3, 2%

A1203 12,4%

MgO 1,8% 1 7 CaO 2,5% BaO 9, 3% ZnO 14,6% As203 + Sb203 0,5% PbO 0,5% 8.Verre selon la revendication 1 comprenant les proportions approximatives suivantes des composants indiqués, en pourcentages pondéraux:

S102 55,6%

B203 3,2%

A1203 12,5%

MgO 1,8% CaO 2,5% BaO 9,3% ZnO 14,7% As203 + Sb2O3 0 5% 9.- Verre selon la revendication 1 comprenant les proportions approximatives suivantes des composants indiqués, en pourcentages pondéraux: SiO2 50, 5%

B203 3,7%

A1203 14,5%

MgO Z1 MgO 2,1% CaO 2,5% BaO 9,2% ZnO 17,1% As203 + Sb203 0,5% 1 8 10.Verre selon la revendication 1 comprenant les proportions approximatives suivantes des composants indiqués, en pourcentages pondéraux: Si02 50,6%

B203 3,2%

A1203 12,5%

MgO 1,8% CaO 2,5% 8aO 9, 3% ZnO 14,7% CeO2 5,0% 15.As203 + Sb203 0,5% 11.Verre selon la revendication 1 comprenant, en pourcentages pondéraux: SiO2 50,5 - 55, 6

B203 3,2 - 3,7

A1203 12,4 - 14,5

MgO 1,8 - 2,1 CaO 2,5 - 2,55 BaO 9,2 - 9,3 ZnO 14,6 - 17, 1 As O As203

+ 0,4 - 0,45

Sb203 PbO 0 - 0,5 1 9 12.- Un photomasque de verre dont la

composition du verre est celle définie à la revendication 1.

13.- Un élément de verre optique trans-

mettant la lumière dans lequel la composition du verre est celle définie à la revendication 1.

14.- Elément optique selon la revendica-

tion 13 qui est une lentille simple ou composée ou une fenê-

tre. 15.- Un élément optique comprenant un substrat de verre recouvert, dans lequel la composition du

substrat de verre est la composition définie à la reven-

*dication 1.

16.- Une méthode de photofabrication comprenant l'irradiation par un rayonnement actiniqued'un substrat recouvert d'une photoréserve, rayonnement qui est focalisé sur le substrat à travers un photomasque pour qu'un modèle de rayonnement voulu frappe le substrat, méthode

caractérisée en ce que le photomasque est un verre de com-

position définie à la revendication 1.

17.- Une méthode de conduction de lumière suivant un trajet optique voulu comprenant un ou

plusieurs éléments de verre optique transmettant ou réfrac-

tant la lumière, ou bien un ou plusieurs éléments de verre optique réfléchissant la lumière, méthode caractérisée en ce que l'un au moins de ces éléments optiques comprend un

verre ayant la composition définie à la revendication 1.