FR2534015A1 - Procede et appareil de mesure de l'epaisseur d'un revetement de zirconium sur un tube en alliage de zirconium - Google Patents

Procede et appareil de mesure de l'epaisseur d'un revetement de zirconium sur un tube en alliage de zirconium Download PDF

Info

Publication number
FR2534015A1
FR2534015A1 FR8315587A FR8315587A FR2534015A1 FR 2534015 A1 FR2534015 A1 FR 2534015A1 FR 8315587 A FR8315587 A FR 8315587A FR 8315587 A FR8315587 A FR 8315587A FR 2534015 A1 FR2534015 A1 FR 2534015A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
impedance
thickness
tube
coating
coil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR8315587A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2534015B1 (fr
Inventor
Takahide Sakamoto
Tatsuo Hiroshima
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Sumitomo Metal Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Industries Ltd filed Critical Sumitomo Metal Industries Ltd
Publication of FR2534015A1 publication Critical patent/FR2534015A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2534015B1 publication Critical patent/FR2534015B1/fr
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/10Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
    • G01B7/105Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance for measuring thickness of coating
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21CNUCLEAR REACTORS
    • G21C17/00Monitoring; Testing ; Maintaining
    • G21C17/06Devices or arrangements for monitoring or testing fuel or fuel elements outside the reactor core, e.g. for burn-up, for contamination
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/30Nuclear fission reactors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

PROCEDE ET APPAREIL DE MESURE D'UNE EPAISSEUR D'UN REVETEMENT EN ZIRCONIUM PREVU A LA SURFACE INTERIEURE D'UN TUBE EN ALLIAGE DE ZIRCONIUM, CARACTERISE EN CE QU'IL CONSISTE A INSERER DES BOBINES 48 DANS LE TUBE 21 POUR ENGENDRER UN COURANT INDUIT, A DETECTER LA COMPOSANTE D'IMPEDANCE DANS LA DIRECTION PERPENDICULAIRE A LA DIRECTION DU CHANGEMENT D'IMPEDANCE DE LA BOBINE PROVOQUE PAR LA VARIATION DE L'ENTREFER ENTRE LES BOBINES ET LA SURFACE INTERIEURE DU TUBE, ET A OBTENIR L'EPAISSEUR DE REVETEMENT SUR LA BASE DE CETTE COMPOSANTE D'IMPEDANCE. LORSQUE LA VARIATION DE L'ENTREFER EST PLUS GRANDE, LA COMPOSANTE D'IMPEDANCE DANS LA DIRECTION DU CHANGEMENT D'IMPEDANCE DE LA BOBINE PROVOQUE PAR LA VARIATION DE L'ENTREFER EST DETECTEE, DE SORTE QUE CETTE COMPOSANTE EST UTILISEE POUR CORRIGER LA COMPOSANTE D'IMPEDANCE QUI LUI EST PERPENDICULAIRE, DE FACON A OBTENIR L'EPAISSEUR DU REVETEMENT EN FONCTION DES VALEURS CORRIGEES.

Description

25340 1 5
Procédé et appareil de mesure de l'épaisseur d'un revêtement de zirconium sur un tube en alliage de zirconium. La présente invention concerne un procédé et un appareil de mesure de l'épaisseur d'un revêtement de zirconium pour un tube du type à gainage multiple
comprenant une couche de métal de protection en zirco-
nium, prévue sur la surface intérieure d'un tube en alliage de zirconium pour éléments combustibles de
réacteur nucléaire.
Dans un réacteur, le combustible nucléaire est enfermé de façon étanche dans un tube de gainage de haute qualité en ce qui concerne la résistance à la corrosion, la non réactivité et la transmission de chaleur, les tubes étant assemblés en réseau pour
constituer l'ensemble de combustion.
Un objet principal du gainage du combustible nucléaire est d'éviter la réaction chimique entre le combustible nucléaire et le fluide de refroidissement ou le modérateur et, également, d'empêcher un produit de fission radioactif partiellement gazeux de fuir
dans le réfrigérant ou le modérateur à partir du com-
bustible Un alliage de zirconium (Zilcaloy 2 ou 4, comme spécifié par ASTM SPECIAL TECHNICAL PUBLICATION 639), utilisé comme matière pour le tube de gainage,
est de section transversale plus petite pour l'absorp-
tion des neutrons, résistant en présence d'eau pure ou de vapeur habituellement utilisée comme fluide de refroidissement du réacteur ou modérateur et, à une température de 400 'C ou moins, ductile, extrêmement stable et non réactif, de sorte qu'il est considéré
comme étant le meilleur gainage du combustible nuclé-
aire en régime constant.
La nécessité d'un fonctionnement à charge va-
riable est apparue lorsque le nombre des centrales atomiques a augmenté Dans ces conditions, lorsque la consommation de combustible augmente brusquement, la
différence de dilatation thermique entre le combusti-
ble et le tube de gainage engendre une contrainte loca-
le excessive dans le tube de gainage, ce qui entraîne un risque de fissuration par corrosion sous contrainte due à l'interaction mécanique de la contrainte locale
et de l'action chimique de corrosion du tube de gaina-
ge par le produit de fission.
La solution pour éviter une telle détériora-
tion a été d'essayer d'interposer entre le combusti-
ble et le tube de gainage diverses barrières de métal, parmi lesquelles celle qui donne le plus d'espoir est un revêtement de zirconium de pureté appropriée Ce revêtement de zirconium a une épaisseur de l'ordre de plusieurs dizaines de microns et sa flexibilité est
utilisée pour modifier la fatigue locale qui se pro-
duit à la surface intérieure du tube de gainage lors-
que la charge augmente brusquement, ce qui tend à aug-
menter la résistance contre la fissuration par corro-
sion sous contrainte, le revêtement de zirconium étant de préférence formé sur la surface intérieure du tube, de façon uniforme à une épaisseur prédéterminée, car le revêtement, s'il est d'épaisseur trop faible, ne permet pas d'obtenir l'effet ci-dessus, tandis que si
son épaisseur est trop forte, il faut réduire l'épais-
seur de l'alliage de zirconium afin de maintenir cons-
tante l'épaisseur totale, ce qui pose un problème en
ce qui concerne la résistance mécanique Par consé-
quent, on voit que l'épaisseur du revêtement est un critère important pour l'assurance de qualité, mais
les mesures usuelles d'épaisseur sont basées sur l'ob-
servation de la section transversale d'un tube coupé,
par photographie au microscope ou traitement des infor-
mations de son image Par la suite, il y a pratiquement une impossibilité à une mesure sur toute la longueur avec, en plus, une perte de temps considérable pour
effectuer une telle mesure On a donc cherché à met-
tre en oeuvre un procédé de mesure capable d'éviter
les inconvénients ci-dessus.
On sait que les ondes ultrasoniques sont uti-
lisées pour les mesures non destructives mais les on-
des, même lorsqu'elles sont dirigées à partir de la périphérie extérieure, ne permettent pas de distinguer l'écho engendré par la séparation de celui engendré
par le fond (surface du revêtement) à cause du revête-
ment mince à la périphérie intérieure du tube=; en outre, le revêtement extrêmement mince rend impossible
la mesure à partir de la périphérie intérieure du -
tube. La mesure par induction électromagnétique est également prise en considération mais, dans le cas o une sonde à bobine est introduite dans le tube, un
dispositif de guidage de grande précision est néces-
saire pour maintenir constant l'entrefer, c'est-à-dire
l'intervalle entre la bobine et la périphérie intérieu-
re du tube; un tel dispositif de guidage insérable
dans le tube est presque impossible à fabriquer.
Un procédé de mesure bien connu utilise le phénomène d'induction électromagnétique ou de courant de Foucault, comme expliqué plus loin, qui est décrit dans l'article "Mesure d'épaisseur par des procédés à courants induits", paru aux pages 73 à 84 dans
"Material Evaluation" de mai 1973 Ce procédé est en-
-core défectueux en ce qu'on ne peut pas éviter une erreur provoquée par la variation de l'entrefer. L'invention a pour premier objet un procédé et un appareil de mesure, qui permettent de mesurer avec une grande précision l'épaisseur d'un revêtement intérieur sur toute la longueur et la périphérie d'un tube, par élimination de l'influence de la variation
de l'entrefer.
L'invention a pour deuxième objet un procédé et un appareil de mesure qui permettent de mesurer l'épaisseur d'un revêtement avec une grande précision,
par élimination de l'influence des variations de l'en-
trefer, même pour des fluctuations importantes.
L'invention a pour troisième objet un appareil de mesure capable de mesurer avec une grande précision
l'épaisseur d'un revêtement, indépendamment de la lon-
gueur du tube ou de la position axiale de mesure.
D'autres objets et avantages de l'invention apparaîtront aux hommes de l'art à la lecture de la
description de sa forme de réalisation, non limitative,
représentée sur les dessins annexés dans lesquels:
la figure 1 est une coupe schématique vertica-
le illustrant les conditions de la mesure-; la figure 2 est un plan d'impédance illustrant la variation d'impédance de la bobine la figure 3 est un graphique de l'influence de l'entrefer sur l'impédance; la figure 4 illustre le principe de la mesure -par une différence de phase e la figure 5 représente des tracés de courbes de variation d'impédance lorsque l'entrefer varie la figure 6 est un graphique illustrant la relation entre W/S et une variation de la composante Vx provoquée par une variation de l'espacement; la figure 7 est un graphique de l'influence W/6 sur la composante Vx; la figure 8 est un graphique de la relation entre les composantes Vx et Vy et l'entrefer; la figure 9 est une vue qui illustre la mise en oeuvre pratique du procédé de mesure conforme à l'invention;
la figure 10 est une illustration d'une trans-
formation de coordonnées; la figure 1 i est une vue en plan schématique d'un appareil de mesure conforme à l'invention; la figure 12 est un organigramme de traitement d'une unité arithmétique; et la figure 13 est un graphique qui montre la
précision de la mesure suivant l'invention.
Le procédé de mesure d'épaisseur d'un revête-
ment, suivant l'invention, est caractérisé en ce qu'une bobine, dont une extrémité axiale est opposée
à la surface intérieure d'un tube de gainage, est in-
sérée dans ce tube et excitée à une fréquence choisie en fonction de l'épaisseur nominale de revêtement et
de la profondeur de pénétration des courants de Fou-
cault induits dans la périphérie intérieure du tube par excitation de la bobine, de manière à détecter
une composante d'impédance dans la direction perpendi-
culaire à celle de la variation d'impédance complexe
de la bobine provoquée par la fluctuation de l'entre-
fer entre la bobine et la périphérie intérieure du
tube, ce qui permet d'obtenir l'épaisseur du revête-
ment sur la base de la composante d'impédance.
On explique ci-après le procédé de mesure sui-
vant l'invention Tout d'abord, on explique pour quelle raison le procédé d'induction électromagnétique
permet de mesurer l'épaisseur de revêtement.
Un détecteur 10, contenant une bobine d'exci-
tation 11 et une bobine de détection 12 (les deux bo-
bines peuvent être combinées en fonctionnement), est disposé en face d'une couche de revêtement 13 a d'un
objet 13 à mesurer (par exemple, la couche de zirco-
nium sur un tube à revêtement de zirconium) et on
fait passer un courant de fréquence f (Hz) dans la bo-
bine d'excitation 11 Ainsi, un courant de Foucault est induit dans l'objet 13 à mesurer, ce courant étant fonction de la résistivité et de la perméabilité de l'objet à mesurer, de l'intervalle (entrefer) entre
l'objet à mesurer et le détecteur 10 (bobine d'excita-
tion 11), de la dimension de l'objet à mesurer, de la dimension du détecteur 10 (bobine d'excitation 11) et
de la fréquence utilisée pour la mesure.
Dans le cas d'un tube de zirconium, la couche
de revêtement 13 a et la couche de métal de base (cou-
che d'alliage de zirconium) 13 b sont toutes deux de perméabilité relative égale à 1 et la résistivité du revêtement 13 a est de 40 x 10 o 8 Q 2 m et celle de la couche de métal de base est de 74 x 10 i 8 m (ces deux valeurs étant spécifiées par ASTM STP 639, déjà cité),
la variation d'intensité et-de phase du courant in-
duit étant fonction de la différence entre les résis-
tivités, de l'épaisseur du revêtement et de l'épais-
seur du métal de base Le courant induit présente un effet de peau, en ce qu'il circule facilement aussi
près que possible de la surface, la profondeur de pé-
nétration ô étant donnée par l'équation suivante = / 2 p ( 1), dans laquelle = fréquence angulaire ( 2 uf) Ji = Pr x pl (H/M) pr = perméabilité relative p O = perméabilité du vide ( 4 x 10 7 H/m) p = résistivité (Q m) Par conséquent, lorsqu'on augmente la fréquen- ce f, 6 diminuesuivant l'équation ( 1), l'effet de peau devenant plus grand, de sorte-que dans le cas o
on choisit la fréquence pour que l'intensité du cou-
rant induit ne dépende pas de l'épaisseur du métal de
base (en général, f est choisi pour obtenir la rela-
tion de l'épaisseur du métal de base supérieure ou égale à 5 6), l'intensité du courant induit dépend
seulement de l'épaisseur du revêtement.
Par suite, le champ magnétique engendré par
le courant induit est capté par la bobine de détec-
tion 12, ou on détecte-sa variation d'impédance, ce
qui permet de capter une variation d'intensité du cou-
rant induit et, par suite, une variation d'épaisseur
du revêtement.
Toutefois, comme déjà indiqué, le courant in-
duit dépend de l'entrefer et la variation d'impédance de la bobine de détection, provoquée par la variation de l'entrefer, est sensiblement plus grande que celle qui est provoquée par la variation d'épaisseur de
revêtement, de sorte que l'amélioration de la préci-
sion de la mesure n'est pas envisageable tant que l'entrefer n'est pas constant Ainsi, lorsque l'objet
à mesurer est en forme de plaque, on presse le détec-
teur 10 contre l'objet pour maintenir constant l'en-
trefer mais, dans le cas o l'objet est un tube de petit diamètre et o, en outre, on veut effectuer une
mesure à la périphérie intérieure, le procédé ci-
dessus ne peut être appliqué et il est tout à fait im-
possible de maintenir constant l'entrefer sur toute
la longueur du tube.
En bref, dans le cas o le métal de base et
le revêtement diffèrent en perméabilité ou résisti-
vité, le procédé par induction électromagnétique doit principalement mesurer l'épaisseur de revêtement, ce qui est bien connu, mais la difficulté relative à
l'entrefer n'est en fait pas résolue.
La présente invention résoud le problème de la variation de l'entrefer, au moyen d'un dispositif
de choix de la fréquence d'excitation et de traite-
ment des signaux électriques détectés.
On explique maintenant la raison pour laquel-
le le procédé conforme à l'invention permet de détec-
ter l'épaisseur de revêtement, sans être affecté par la variation de l'entrefer La figure 2 est un réseau
d'impédance illustrant la variation d'impédance provo-
quée par la variation de l'épaisseur de revêtement et de l'entrefer L'axe des abscisses représente (R-RO)/ w L et l'axe des ordonnées représente w L/w Lo, et une courbe A-B-C représente les résultats de mesure pour
une épaisseur de revêtement de 90 microns et un entre-
fer de O micron, une courbe A'-B'-C' les résultats pour une épaisseur de revêtement de 90 microns et un
entrefer de 40 microns et une courbe A"-B"-C" les ré-
sultats pour une épaisseur de revêtement de 50 microns et un entrefer de O micron, les points A, A' et A" correspondant à la fréquence d'excitation f, les points B, B' et B" à la fréquence f 2 et les points C, C' et C" à la fréquence f 3, avec f 1 < f 2 < f 3 R et
L représentent la composante de résistance et la com-
posante d'inductance de la bobine de détection lors-
qu'elle approche de l'objet à mesurer, R O et L O repré-
sentant les mêmes grandeurs lorsque l'objet à mesurer
est placé à une distance infinie de la bobine de dé-
tection. Pour la fréquence de mesure fl, la variation d'épaisseur du revêtement de 90 microns à 50 -microns
apparait par le déplacement de A à A" et la varia-
tion de l'entrefer de O micron à 40 microns apparait par le déplacement de A à A' et de A à A" En bref, les changements d'impédance provoqués par la varia- tion de l'épaisseur de revêtement et la variation de
l'entrefer dans le cas de la fréquence f 1 se produi-
sent dans la même direction (sur la figure, la direc-
tion opposée) et ne peuvent donc pas être distingués.
Plus précisément, une variation de la valeur absolue de l'impédance permet l'évaluation de l'épaisseur de
revêtement, de sorte que, lorsque la variation d'impé-
dance due à la variation de l'épaisseur de revêtement est nettement plus grande que celle qui est due à la
variation de l'entrefer, l'erreur de mesure est petite.
Toutefois, les difficultés suivantes interviennent
en fait pour rendre impossible la mesure de l'épais-
seur de revêtement La figure 3 illustre la relation entre l'entrefer, porté sur l'axe des abscisses, dans le tube à revêtement de zirconium et la variation d'impédance, portée sur l'axe des ordonnées, obtenue pour la fréquence d'excitation de 1 M Hz, la variation d'impédance provoquée par une variation de 40 microns de l'épaisseur de revêtement étant représentée par la flèche On voit donc que l'influence d'une variation de 40 microns de l'épaisseur de revêtement sur la variation d'impédance est sensiblement égale à celle
d'une variation de 10 microns de l'entrefer sur l'im-
pédance Dans ce cas, il est pratiquement impossible d'évaluer l'épaisseur de revêtement par la valeur absolue du changement d'impédance Il est nécessaire,
pour mesurer l'épaisseur de revêtement avec une préci-
sion de 40 microns ou moins, de maintenir l'entrefer
à moins de 1 micron, de sorte que ce maintien de l'en-
trefer du détecteur dans le tube de gainage est bien
entendu impossible à obtenir.
En bref, la mesure de l'épaisseur de revête-
ment est impossible pour la fréquence fl.
Au contraire, pour les fréquences f 2 et f P le changement d'impédance dû à l'épaisseur de revête-
ment est différent en direction et peut être distin-
gué du changement provoqué par la variation de l'en-
trefer Autrement dit, la variation de l'épaisseur de revêtement de 90 microns à 50 microns fait passer B en B" (C en C"), pour la fréquence d'excitation f 2 (f 3), et la variation de l'entrefer de O micron à microns fait passer B en B' (C en C') En bref, les changements sont différents l'un de l'autre, en direction, ce qui permet de distinguer le changement d'impédance provoqué par la variation de l'épaisseur
de revêtement de celui qui est provoqué par la varia-
tion de l'entrefer De plus, le changement d'impé-
dance qui suit un incrément de l'entrefer est bien entendu dirigé vers le point ( 0,1) sur l'axe des
ordonnées.
Ainsi, le choix d'une fréquence appropriée
permet de distinguer les variations d'impédance provo-
quées par les variations de l'entrefer et d'épaisseur de revêtement, de sorte que le document précité de
"Material Evaluation" a proposé un procédé de sélec-
tion de la fréquence dont la différence de phase e
dans la direction de la variation d'impédance mention-
née plus haut dépend de la variation de l'épaisseur de revêtement et dé l'entrefer, et on détecte ainsi
e par la fréquence précitée.
La figure 4 illustre le principe du procédé ci-dessus, la direction de la variation de l'entrefer
étant indiquée sur l'axe des ordonnées et les diffé-
rences de phaseel, 82 ' e 3 des impédances complexes de trois échantillons, ayant chacun une épaisseur de
2534015.
revêtement t 1, t 2 ou t 3, étant portées sur la figure.
Lorsque cet angle de phase e, qui varie de façon cor-
respondante à-l'épaisseur de revêtement, est mesuré et qu'on utilise la courbe d'étalonnage préliminaire, on peut obtenir sensiblement l'épaisseur de revête-
ment L'erreur entraînée par la variation de l'entre-
fer est faible, comparativement au procédé de détec-
tion de la valeur absolue de la variation d'impédance, mais lorsque la variation de l'entrefer fait passer
le point D en D', la différence de phase de l'épais-
seur de revêtement t 1 passe de e à e'l, ce qui ne i 1
permet pas d'éviter la formation d'une erreur.
En bref, il est en principe possible de mesu-
rer l'épaisseur du revêtement par le procédé d'induc-
tion électromagnétique, lorsqu'on choisit une fréquen-
ce appropriée, la variation d'impédance peut être dé-
composée en une composante due à la variation de l'en-
trefer et en une composante due à la variation de
l'épaisseur de revêtement, et il est possible d'obte-
nir l'épaisseur de revêtement par mesure de la diffé-
rence de phase par rapport à la direction du change-
ment d'impédance provoqué par la variation de l'entre-
fer, mais la création d'une erreur entraînée par la
variation de l'entrefer est inévitable.
Le procédé de mesure suivant l'invention vise à obtenir une indication correspondant à l'épaisseur
de revêtement, par détection-de la composante sensi-
blement perpendiculaire à la direction du changement
d'impédance provoqué par la variation de l'entrefer.
Il est nécessaire pour une mesure précise que le chan-
gement d'impédance provoqué par la variation de l'en-
trefer soit différent, en direction, de celui qui est dû à la variation de l'épaisseur de revêtement et, également, il est préférable que le lieu géométrique du premier changement d'impédance soit rectiligne La
figure 5 a illustre la condition de variation d'impé-
dance pour la fréquence de 8 M Hz et la figure 5 b
illustre la même grandeur pour la fréquence de 1 M Hz.
La direction du changement d'impédance provoqué par la variation de l'entrefer est portée sur l'axe Vy (l'axe des ordonnées) et le changement d'impédance provoqué par la variation de l'épaisseur de revêtement
est porté sur l'axe Vx (l'axe des abscisses), le repè-
re O désigne une épaisseur de revêtement de 50 microns, A désigne une épaisseur de 90 microns et les indices représentent la valeur de l'entrefer par 1 (O micron), 2 ( 20 microns), 3 ( 40 microns), 4 ( 60 microns), 5 ( 80 microns) ou 6 ( 100 microns) Comme on le voit par comparaison des deux figures, la courbe obtenue pour
la fréquence de 8 M Hz est une droite, ce qui est pré-
férable puisque le procédé de l'invention utilise la coordonnée dans la direction Vx comme information pour obtenir l'épaisseur de revêtement En bref, même lorsqu'il y a variation de l'entrefer (l'indice
diffère), on désire que la composante Vx soit cons-
tante, de sorte que, dans cet exemple, la mesure à 8 M Hz est préférable à la mesure à 1 M Hz D'autre part, la flèche de 1 à A 1 représente la direction du changement d'impédance provoqué par la variation de
l'épaisseur de revêtement.
Ensuite, afin de rechercher une plage appro-
priée de fréquence, les changements de la composante Vx provoqués par la variation de l'entrefer de 60 microns (rapport des déplacements de 1 à 04 et de A 1 à A 4, dans la direction Vx), lorsque l'entrefer varie de O micron à 60 microns, ont été obtenus par utilisation de diverses fréquences, dans le cas d'une
épaisseur de revêtement de 70 microns (épaisseur nor-
male du revêtement ou épaisseur nominale) Les résul-
tats des mesures ci-dessus sont reportés sur la figu-
re 6, sur laquelle la composante Vx diminue lorsque la fréquence augmente et de laquelle on peut déduire
que la fréquence de 6 M Hz ou plus est préférable.
Toutefois, on considère que la plaque de fréquence convenable dépend de l'épaisseur de revêtement et de la profondeur de pénétration, de sorte que, lorsque l'axe des abscisses est transformé pour être remplacé par W/6 (W étant l'épaisseur nominale de revêtement), la plage de fréquence d'excitation de W/S supérieure à 0,5 devient appropriée La fréquence augmente pour
réduire l'erreur, puisque la courbe de variation d'im-
pédance qui résulte de la variation de l'entrefer devient rectiligne, comme déjà indiqué, mais lorsque W/6 dépasse 1, le courant induit est seulement induit dans la peau de la couche de revêtement, ce qui a pour conséquence une corrélation médiocre entre
l'épaisseur de revêtement et l'indication de la com-
posante Vx Par suite, il est préférable que W/8
soit situé dans une plage de 0,5 à 1.
La figure 7 est un graphique illustrant la relation entre la composante Vx (valeur normalisée) et l'épaisseur de revêtement (un rapport lié à
l'épaisseur nominale de revêtement), obtenue par uti-
lisation de W/6 comme paramètre relatif à l'épaisseur nominale de revêtement de 70 microns Cette figure montre que, lorsque W/S devient supérieur à 1, la valeur d'indication de la composante Vx est saturée lorsque l'épaisseur de revêtement augmente, ce qui ne
convient pas pour la mesure.
* Les données ci-dessus sont obtenues au moyen d'une bobine de détection de 1 mm de diamètre, qui est la valeur choisie pour détecter la variation de l'épaisseur de revêtement sur la circonférence du tube avec une résolution élevée, le diamètre de la bobine étant de préférence de l'ordre de 0,5 à 1 mm
253401 5
du point de vue de la facilité de fabrication.
Pour une variation plus grande de l'entrefer, la composante Vx doit être corrigée au moyen de la valeur de l'entrefer, puisqu'un entrefer plus grand, même lorsque l'épaisseur de revêtement est constante, diminue la valeur mesurée de la composante Vx Le
lieu du réseau d'impédance complexe, lorsque l'épais-
seur de revêtement est de 50 microns, comme indiqué sur la figure 5 a, est divisé en composantes Vx et Vy et illustré sur la figure 8 On voit, sur la figure 8, qu'il existe une corrélation entre la composante
obtenue dans la direction de la variation de l'entre-
fer (l'axe Vy) et la composante dans la direction de la variation de l'épaisseur de revêtement (l'axe Vx), de sorte qu'on mesure la composante Vy et que la valeur mesurée, au lieu de l'entrefer, corrige la composante Vx, ce qui permet d'obtenir une épaisseur précise de revêtement même lorsque la variation de
l'entrefer est plus grande.
On décrit maintenant un mode de réalisation
de l'invention, illustré sur la figure 9 Comme re-
présenté sur cette figure, un tube 21 à revêtement de zirconium est entraîné en rotation sur son axe par des galets rotatifs 22 Une sonde à bobine 23 est montée sur un porte-détecteur 24, de diamètre plus
petit que le diamètre intérieur du tube 21, le porte-
détecteur 24 étant fixé à l'extrémité d'une tige 25 disposée concentriquement au tube 21 à revêtement de zirconium et insérée dans ce tube de manière à être
déplacée d'une extrémité à l'autre à une vitesse ap-
propriée Ainsi, on balaye tout le tube et on mesure l'épaisseur de revêtement, hélicoldalement D'autre part, le repère 26 désigne des galets de pincement pour déplacer la tige support 25 vers l'avant et vers
l'arrière.
La bobine 23 est reliée à un instrument 27 de
mesure d'impédance, de sorte que son indication d'im-
pédance mesurée est lue dans une unité arithmétique
28 qui est également prévue pour recevoir l'informa-
tion de position de mesure de l'épaisseur de revête- ment Autrement dit, un codeur rotatif 29, qui tourne en association akvec des galets de contact et qui est placé dans une zone de déplacement de la tige support , permet de lire l'information de la position de
mesure, dans la direction longitudinale du tube revê-
tu 21, correspondant à la bobine 23 Un codeur rota-
tif 30, monté sur un galet de rotation 22, est prévu pour fournir l'information de la position de rotation,
ou l'information de la position de mesure circonféren-
tielle du tube revêtu 21, correspondant à la bobine 23 L'unité arithmétique 28 calcule une épaisseur de
revêtement à partir d'une entrée venant de l'instru-
ment 27 de mesure d'impédance, l'épaisseur de revête-
ment calculée et les positions longitudinale et cir-
conférentielle du tube 21 étant affichées sur un dis-
positif d'affichage 31.
L'unité arithmétique 28 traite les informa-
tions comme décrit ci-après Tout d'abord, l'échan-
tillon de référence, d'épaisseur de revêtement connue, est utilisé pour mesurer la valeur d'impédance (X 0, Y 0) (figure 10); on fait varier l'entrefer de l'échantillon de référence, pour mesurer les valeurs d'impédance (XL): les valeurs (X 0, Y 0), (XL; Y
sont envoyées dans l'unité arithmétique 28 pour calcu-
ler la direction de variation d'impédance (par exem-
ple un angle a sur la base de l'axe des abscisses dans le système initial de coordonnées) provoquée par la variation de l'entrefer; et on détermine le système de coordonnées d'origine (X 0, Y 0) et d'axe Vx le long d'un côté de l'angle 0, l'axe Vx étant perpendiculaire
à l'axe Vy La composante Vx, dans le système de coor-
données Vx-Vy de données concernant l'objet à mesurer, obtenues au moyen de l'instrument 27 de mesure d'impé-
dance, est calculée pour être transformée en épaisseur de revêtement Lorsque la variation de l'entrefer est
plus grande, la composante Vy doit bien entendu seule-
ment être obtenue pour corriger la composante Vx Le
mouvement de la tige support 25 et la rotation du tu-
be 21 permettent de mesurer l'épaisseur de revêtement
sur toute la longueur et la circonférence du tube 21.
On décrit maintenant en détail un appareil pour la mise en oeuvre pratique du procédé de mesure suivant l'invention, qui permet une mesure avec une
erreur moindre et une transformation facile de coor-
données.
La figure 11 est une vue en plan schématique d'un exemple de réalisation de l'appareil suivant l'invention Deux rails 41 sont posés sur le socle et un chariot support mobile 42 est placé sur les rails 41, de manière à pouvoir se déplacer vers la gauche et la droite, sur la figure, au moyen d'un moteur à impulsions 44 commandé par l'unité arithmétique 28
et alimenté par une source d'énergie 43.
Le chariot support 42 porte un instrument 27 de mesure d'impédance et supporte une extrémité d'une tige creuse de balayage 46 sur laquelle sont montées des bobines 48, la tige de balayage 46
s'étendant dans la direction de déplacement du-cha-
riot 42, autrement dit dans la direction de pose des rails 41, et étant tenue rigidement par des fixations , 45 sur le chariot 42, en deux points différents
de sa longueur.
A l'extrémité de la tige de balayage 46 qui est à l'opposé du chariot est monté, concentriquement à la tige, un porte-bobines 47 de forme cylindrique
__ __ __ _____ __
25340 15
et de diamètre légèrement plus petit que celui d'un
tube revêtu 21 qui constitue l'objet à mesurer Qua-
tre groupes de bobines 48 (chaque groupe comprenant par exemple deux bobines) sont prévus à différentes positions axiales du porte-bobines 47 et elles sont
disposées axialement en parallèle à la direction ra-
diale du porte-bobines 47, près de la périphérie de celui-ci D'autre part, les groupes de bobines 48 sont espacés les uns des autres d'un angle de 90 , à la circonférence du porte-bobines 47, et ils sont séparés les uns des autres par une cloison 47 a en matière de protection électromagnétique, de façon à éliminer l'influence électromagnétique des autres
bobines 48.
Chaque bobine 48 et l'instrument 27 de mesure d'impédance sont reliés par un câble 49 inséré à travers la tige de balayage 46, le câble 49 étant supporté de façon fixe par des bornes sur la tige de
balayage 46 et sur l'instrument 27 de mesure d'impé-
dance, de sorte qu'un interrupteur, non représenté,
prévu sur l'instrument 27 de mesure d'impédance, per-
met d'effectuer la mesure séquentielle et répétée de l'impédance de chaque bobine 48, l'interrupteur étant
commandé par l'unité arithmétique 28.
Entre le porte-bobines 47 et les fixations 45, , des pièces 46 a, 46 a de guidage d'insertion, ayant chacune une configuration de cylindre court arrondi aux deux extrémités axiales, sont fixées à la tige de balayage 46 Le tube revêtu 21, qui est l'objet à mesurer, est disposé à une extrémité des rails 41,
concentriquement à la tige de balayage 46 et au porte-
bobines 47, ce dernier étant inséré dans le tube revê-
tu 21, par son orifice situé du côté du chariot 42, et déplacé en association avec le chariot 42 vers l'autre orifice du tube, par le moteur à impulsions
44 Aux extrémités des rails 41, du côté de la fixa-
tion du tube revêtu 21, est prévu un socle stationnai-
re 50, capable de tenir des tubes de référence 51 et
52 concentriquement à la tige de balayage 46, au por-
te-bobines 47 ou au tube revêtu 21, le socle fixe 50 comportant à une extrémité, du côté du chariot 42, un
tube de guidage 53 à embouchure en trompette pour gui-
der le porte-bobines 47 dans les tubes de référence 51 et 52 Les tubes de référence 51 et 52 ont la même épaisseur nominale de revêtement que le tube revêtu 21 à mesurer, mais ils diffèrent l'un de l'autre en diamètre intérieur Par exemple, le tube 51 et le tube revêtu 21 sont de même diamètre intérieur et le tube 52 est un peu plus grand que les tubes 51 et 21,
en diamètre intérieur De plus, un dispositif d'affi-
chage 31 indique les résultats des mesures.
On décrit maintenant des dispositifs de cal-
cul de l'unité arithmétique 28, avec référence à
l'organigramme de la figure 12.
Lorsqu'on envoie un ordre de début de mesure à l'unité arithmétique 28, après avoir fixé les tubes de référence 51, 52 et le tube revêtu 21 à mesurer, le chariot 42 et le porte-bobines 47, qui sont en position de dégagement vers la gauche sur la figure
11, sont déplacés vers la droite, de la quantité pré-
déterminée afin que le porte-bobines 47 se trouve dans le tube de référence 51 L'unité arithmétique
28 lit les valeurs d'impédance de la bobine prédéter-
minée, ou de toutes les bobines, fournies par l'ins-
trument 27 de mesure d'impédance.
L'impédance du câble 49 entre l'instrument
27 de mesure d'impédance et la bobine 48 a préalable-
ment été fixée dans l'unité arithmétique 28 et elle est utilisée pour effectuer un calcul de correction, afin d'obtenir l'impédance complexe effective de la bobine 48, et on détermine ainsi l'impédance complexe
(X 2 J Y 0).
Ensuite, l'unité arithmétique 28 commande le
moteur à impulsions 44, pour un déplacement à la posi-
tion prédéterminée, et arrête le porte-bobines 47 dans le tube-de référence 52, de sorte que l'entrée
de la valeur mesurée venant de l'instrument 27 de me-
sure d'impédance et le calcul de correction d'impé-
dance du câble sont effectués de la même façon que ci-
dessus, et ainsi on détermine à ce moment l'impédance
complexe (XL' YL) Une différence entre les impédan-
ces résulte de la différence de diamètre intérieur
des tubes de référence 51 et 52.
L'unité-arithmétique 28 calcule ensuite un angle a pour la rotation-du système de coordonnées,
sur la base des deux impédances.
Après achèvement de la préparation ci-dessus,
l'unité arithmétique 28 commande le moteur à impul-
sions 44 pour insérer le porte-bobines 47 dans le tube revêtu 21 à mesurer et le déplacer séquentiellement vers la droite De même, l'unité arithmétique 28 lit les valeurs mesurées d'impédance des quatre bobines
48 chaque fois que le moteur à impulsions 44 est dé-
placé du nombre de pas prédéterminé, effectue le cal-
cul de correction d'impédance du câble et calcule la composante Vy (la direction du changement d'impédance
provoqué par la variation d'entrefer) et la composan-
te Vx (la direction perpendiculaire à Vy) La compo-
sante Vy est comparée à la valeur de référence A, pour décider si la correction de grand entrefer est nécessaire ou non, de sorte que, lorsque la composante Vy est plus petite que A, le calcul d'épaisseur de
revêtement-sur la base de la composante Vx est effec-
tué sur la base des données fournies préalablement.
Lorsque la composante Vy est plus grande que A, la composante Vx est corrigée par des données fournies préalablement, de sorte que l'épaisseur de revêtement
est calculée sur la base des valeurs corrigées.
L'épaisseur de revêtement ainsi calculée est affichée dans le dispositif d'affichage 31, par utili- sation d'un signal de commande du moteur à impulsions 44 et de la sortie de l'unité arithmétique 28, en relation avec la position axiale de mesure du tube
revêtu 21.
Dans le cas o l'on utilise un tel appareil,
puisque l'instrument 27 de mesure d'impédance se dé-
place solidairement avec les bobines 48, la position
du câble 49 et sa position relative par rapport à la.
tige de balayage 46 ne varient pas, indépendamment de
la position de la bobine 48 ou de sa position de me-
sure, ce qui maintient une valeur constante d'impédan-
ce du câble et, en outre, l'impédance du câble doit être corrigée, ce qui évite la création d'une erreur
due à cette impédance de câble.
Ainsi, cette construction de l'appareil con-
forme à l'invention est plus efficace, en ce qu'il n'y a pas de changement d'impédance du câble et en ce
que la précision est meilleure que dans la construc-
tion qui utilise un porte-câble et le montage de l'instrument 27 de mesure d'impédance en dehors du
chariot 42.
La figure 13 illustre les résultats qui per-
mettent d'obtenir, dans des conditions o la fréquen-
ce d'excitation est de 8 M Hz et W/c S X 0,62, la rela-
tion entre les valeurs mesurées de l'épaisseur de re-
vêtement (l'axe des abscisses) et l'indication de composante Vx (l'axe des ordonnées) On voit, sur
cette figure, que la présente invention permet d'obte-
nir une précision de + 5 microns De plus, cette
donnée est utilisée pour la transformation de l'indi-
cation de composante Vx en épaisseur de revêtement,
par l'unité arithmétique 28.
Comme expliqué ci-dessus, dans le procédé et l'appareil de mesure suivant l'invention, les valeurs mesurées de l'épaisseur de revêtement ne sont pas affectées par la variation de l'entrefer ni par l'épaisseur totale (comprenant le tube de métal de
base en alliage de zirconium) et il existe une rela-
tion proportionnelle entre la variation de l'épais-
seur de revêtement et celle de la composante Vx de
l'impédance de bobine, dans la plage de mesure néces-
saire pour une utilisation pratique, ce qui permet
une mesure, d'un mode nouveau, de l'épaisseur de re-
vêtement de zirconium.
Il est entendu que des modifications de dé-
tail peuvent être apportées dans la forme et la mise
en oeuvre du procédé et de l'appareil suivant l'inven-
tion, sans sortir du cadre de celle-ci.

Claims (9)

REVENDICATIONS
1 Procédé de mesure de l'épaisseur d'un re-
vêtement, notamment de l'épaisseur d'un revêtement de zirconium prévu à l'intérieur d'un tube en alliage de zirconium, caractérisé en ce qu'une bobine ( 23), dis- posée de manière à présenter son extrémité axiale en opposition à la surface intérieure du tube ( 21), est insérée dans le tube, ladite bobine étant excitée à
la fréquence choisie sur la base d'une épaisseur nomi-
nale de revêtement (W) et d'une profondeur de pénétra-
tion (<) d'un courant induit engendré sur la surface intérieure du tube par l'excitation, et on détecte une composante d'impédance (Vx) dans la direction
sensiblement perpendiculaire à la direction de la va-
riation d'impédance complexe de la bobine provoquée par une variation de l'entrefer entre la bobine et la surface intérieure du tube, de sorte qu'on obtient
une épaisseur du revêtement sur la base de cette com-
posante d'impédance détectée.
2 Procédé de mesure de l'épaisseur de revête-
ment suivant la revendication 1, caractérisé en ce
que la fréquence est comprise dans une plage répon-
dant à la condition suivante: 0,5 < W/6 < 1, o W est l'épaisseur nominale de revêtement (m), et S est
la profondeur de pénétration du courant induit (m).
3 Procédé de mesure de l'épaisseur d'un
25340 1 5
revêtement suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la bobine ( 23, 48) est amenée en face d'un échantillon de référence ( 51) semblable à un objet ( 21) à mesurer, afin de mesurer l'impédance complexe de cet échantillon, et en ce que la bobine est ensuite amenée en face de cet échantillon de référence ou d'un échantillon de référence ( 52) équivalent, dans une position telle que l'entrefer entre la bobine et l'échantillon est différent de l'entrefer lors de la mesure précédente, de sorte qu'on mesure l'impédance
complexe de la bobine, ce qui permet d'obtenir la di-
rection de changement d'impédance au moyen de deux va-
leurs mesurées.
4 Procédé de mesure de l'épaisseur d'un revé-
tement, pour mesurer une épaisseur d'un revêtement de
zirconium prévu à l'intérieur d'un tube ( 21) en allia-
ge de zirconium, caractérisé en ce qu'une bobine ( 23, 48), disposée de manière à présenter son extrémité axiale en opposition à la surface intérieure du tube, est insérée dans le tube, ladite bobine étant excitée à la fréquence choisie sur la base d'une épaisseur
nominale de revêtement et d'une profondeur de pénétra-
tion d'un courant induit engendré sur la surface inté-
rieure du tube par l'excitation, on détecte une compo-
sante d'impédance (Vy) dans la direction-de variation d'une impédance complexe de la bobine provoquée par
une variation de l'entrefer entre la bobine et la sur-
face intérieure du-tube et une composante d'impédance (Vx) dans la direction sensiblement perpendiculaire
à ladite direction de variation, et en ce qu'on corri-
ge la dernière composante d'impédance (Vx) par la pre-
mière composante d'impédance (Vy), de manière à obte-
nir l'épaisseur du revêtement sur la base des valeurs corrigées.
5 Procédé de mesure de l'épaisseur d'un revê-
tement suivant la revendication 4, caractérisé en ce
que la fréquence est comprise dans une plage répon-
dant à la condition suivante: 0,5 < W/6 < 1, o W est l'épaisseur nominale de revêtement (m) et 6 est la profondeur de pénétration du courant induit (m).
6 Procédé de mesure de l'épaisseur d'un revê-
tement suivant la revendication 1, caractérisé en ce
que la bobine ( 23, 48) est amenée en face d'un échan-
tillon de référence ( 51) semblable à un objet ( 21) à mesurer, afin de mesurer l'impédance complexe de cet
échantillon, et en ce que la bobine est ensuite ame-
née en face de cet échantillon de référence ou d'un échantillon de référence ( 52) équivalent, dans une position telle que l'entrefer entre la bobine et l'échantillon est différent de l'entrefer lors de la mesure précédente, de sorte qu'on mesure l'impédance
complexe de la bobine, ce qui permet d'obtenir la di-
rection de changement d'impédance au moyen de deux va-
leurs mesurées.
7 Appareil de mesure de l'épaisseur d'un re-
vêtement, pour mesurer une épaisseur d'un revêtement de zirconium prévu à l'intérieur d'un tube ( 21) en alliage de zirconium, caractérisé en ce qu'il comprend une tige de balayage ( 46) disposée dans le tube ( 21), un porte-bobines ( 47) monté à l'extrémité libre de la
tige de balayage, une ou plusieurs bobines ( 48) sup-
portées par le porte-bobines de manière à ce qu'une
extrémité axiale de chacune des bobines soit en opposi-
tion à la surface périphérique intérieure du tube, un socle support mobile ( 42) portant la tige de balayage à son autre extrémité et déplaçant ladite tige de balayage dans sa direction axiale, un instrument ( 27) de mesure de l'impédance des bobines, qui est monté sur le socle mobile, et une unité arithmétique ( 28)
pour calculer la composante dans la direction particu-
lière de l'impédance complexe mesurée par l'instru-
ment de mesure d'impédance.
8 Appareil de mesure de l'épaisseur d'un re-
vêtement, pour mesurer une épaisseur d'un revêtement de zirconium prévu à l'intérieur d'un tube en alliage de zirconium, caractérisé en ce qu'il comprend une tige de balayage ( 46) disposée dans le tube ( 21), un portebobines ( 47) monté à l'extrémité libre de la
tige de balayage, une ou plusieurs bobines ( 48) sup-
portées par le porte-bobines de manière à ce qu'une
extrémité axiale de chacune des bobines soit en oppo-
sition à la surface périphérique intérieure du tube,
un socle support ( 42) mobile portant la tige de bala-
yage à son extrémité et déplaçant la tige de balayage dans sa direction axiale, un instrument de mesure ( 27)
d'impédance monté sur le socle support mobile et rac-
cordé aux bobines par un câble ( 49), et une unité arithmétique ( 28) qui corrige les résultats de mesure de l'instrument de mesure d'impédance, au moyen de
l'impédance dudit câble, de manière à calculer la com-
posante dans la direction particulière de l'impédance
complexe corrigée.
9 Appareil de mesure de l'épaisseur d'un re-
vêtement suivant la revendication 8, caractérisé en ce qu'un tube de référence ( 51, 52), pour déterminer ladite composante dans la direction particulière, est disposé dans une zone de déplacement de la bobine ( 48)
à l'extérieur du tube ( 21).
FR8315587A 1982-09-30 1983-09-30 Procede et appareil de mesure de l'epaisseur d'un revetement de zirconium sur un tube en alliage de zirconium Expired FR2534015B1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57173034A JPS5967405A (ja) 1982-09-30 1982-09-30 ライナ厚測定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2534015A1 true FR2534015A1 (fr) 1984-04-06
FR2534015B1 FR2534015B1 (fr) 1985-07-05

Family

ID=15952966

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR8315587A Expired FR2534015B1 (fr) 1982-09-30 1983-09-30 Procede et appareil de mesure de l'epaisseur d'un revetement de zirconium sur un tube en alliage de zirconium

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4673877A (fr)
JP (1) JPS5967405A (fr)
CA (1) CA1237773A (fr)
DE (1) DE3335080C2 (fr)
FR (1) FR2534015B1 (fr)
SE (1) SE460309B (fr)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2572175A1 (fr) * 1984-10-24 1986-04-25 Stein Heurtey Procede et dispositif pour mesurer l'epaisseur de couches metalliques minces deposees sur un support conducteur
EP0361891A2 (fr) * 1988-09-28 1990-04-04 General Electric Company Appareil pour assembler et souder le bouchon terminal au tube de revêtement de combustible nucléaire et contrôler la soudure des bouchons terminaux par un procédé automatisé
FR2656415A1 (fr) * 1989-12-27 1991-06-28 Framatome Sa Procede et dispositif de mesure simultanee de distance entre tubes metalliques et d'epaisseur d'oxyde sur les tubes.
US5225148A (en) * 1990-06-08 1993-07-06 Framatome Method for checking the thickness and the cohesion of the interface of a duplex tube
EP0664435A2 (fr) * 1994-01-04 1995-07-26 General Electric Company Détermination de l'épaisseur
WO1997001739A1 (fr) * 1995-06-29 1997-01-16 Bekaert Naamloze Vennootschap Procede et installation pour la mesure d'epaisseur de couche conductrice non ferromagnetique sur un substrat conducteur ferromagnetique
WO1997023762A2 (fr) * 1995-12-22 1997-07-03 Siemens Aktiengesellschaft Procede et dispositif pour determiner l'epaisseur d'une couche electroconductrice

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5967405A (ja) * 1982-09-30 1984-04-17 Sumitomo Metal Ind Ltd ライナ厚測定方法
JPS6138404A (ja) * 1984-07-30 1986-02-24 Kobe Steel Ltd ライナ−被覆管のライナ−層厚・ジルカロイ厚測定法
JPS6138403A (ja) * 1984-07-30 1986-02-24 Kobe Steel Ltd ライナ−被覆管のライナ−層厚・ジルカロイ厚の測定法
JPS6193901A (ja) * 1984-10-15 1986-05-12 Kobe Steel Ltd ライナ厚測定方法
JPS6196401A (ja) * 1984-10-18 1986-05-15 Kobe Steel Ltd 2周波によるライナ厚測定方法
JPH0514165Y2 (fr) * 1984-12-22 1993-04-15
JPS61225603A (ja) * 1985-03-29 1986-10-07 Sumitomo Metal Ind Ltd ライナ厚さ測定装置
JPS6221003A (ja) * 1985-07-19 1987-01-29 Kobe Steel Ltd ライニング管の厚み測定法
US5006801A (en) * 1989-06-02 1991-04-09 General Electric Company Eddy current inspection probe with probe coil resonace reduction
US5015950A (en) * 1989-07-21 1991-05-14 Iowa State University Research Foundation, Inc. Method and apparatus for determining thermal resistance and structural integrity of coatings on conducting materials by monitoring electrical conductance of the underlying material upon localized heating of the overlying coating
CA1330829C (fr) * 1989-08-09 1994-07-19 Peter P. Roosen Appareil servant a mesurer des elements metalliques, et methode connexe
US5017869A (en) * 1989-12-14 1991-05-21 General Electric Company Swept frequency eddy current system for measuring coating thickness
US5101366A (en) * 1989-12-18 1992-03-31 General Electric Company Method for controlling the manufacture of zirconium tubes
JPH03129718U (fr) * 1990-04-09 1991-12-26
US5251765A (en) * 1990-11-13 1993-10-12 Westinghouse Electric Corp. Apparatus and method for segregating rods of undesirable alloy composition
US5394084A (en) * 1991-12-23 1995-02-28 The Boeing Company Method and apparatus for reducing errors in eddy-current conductivity measurements due to lift-off by interpolating between a plurality of reference conductivity measurements
US5341678A (en) * 1993-05-12 1994-08-30 General Electric Company Method for determining thickness of ferromagnetic material deposition on nuclear fuel rods
US5541510A (en) * 1995-04-06 1996-07-30 Kaman Instrumentation Corporation Multi-Parameter eddy current measuring system with parameter compensation technical field
US5661241A (en) * 1995-09-11 1997-08-26 The Babcock & Wilcox Company Ultrasonic technique for measuring the thickness of cladding on the inside surface of vessels from the outside diameter surface
SE508354C2 (sv) * 1996-07-05 1998-09-28 Asea Atom Ab Förfarande och anordning för bestämning av skikttjocklek
DE19702950C2 (de) * 1997-01-28 2001-05-03 Helmut Fischer Gmbh & Co Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Schichtdicke an zylindrischen Kleinteilen
US7498164B2 (en) * 1998-05-16 2009-03-03 Applied Biosystems, Llc Instrument for monitoring nucleic acid sequence amplification reaction
DE19860487A1 (de) * 1998-12-28 2000-07-06 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur räumlichen Vermessung einer Inhomogenität an einer Oberfläche eines Kernreaktorbauteils und Anwendung des Verfahrens zur Vermessung einer elektrisch praktisch nicht leitenden Schicht
EP1052505A1 (fr) * 1999-05-11 2000-11-15 Asea Brown Boveri AG Méthode pour l'analyse d'une surface d'un object comprenant au moins une couche conductrice électrique
US6366083B1 (en) * 1999-09-17 2002-04-02 Framatome Anp Inc. Method for measuring the thickness of oxide layer underlying crud layer containing ferromagnetic material on nuclear fuel rods
US6369566B1 (en) * 1999-09-27 2002-04-09 Framatone Anp Inc. Method for measuring crud thickness on nuclear fuel rods
WO2001046684A1 (fr) * 1999-12-23 2001-06-28 Kla-Tencor Corporation Surveillance de metallisation sur site a l'aide de mesures par courant de foucault et de mesures optiques
TWI241398B (en) * 2000-03-28 2005-10-11 Toshiba Corp Eddy current loss measuring sensor, film thickness measuring device, film thickness measuring method and recording medium
US6924641B1 (en) * 2000-05-19 2005-08-02 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for monitoring a metal layer during chemical mechanical polishing
DE10102303C1 (de) * 2001-01-19 2002-08-22 Framatome Anp Gmbh Meßsystem zur Ermittlung der Schichtdicke einer Oxidschicht
US6608495B2 (en) 2001-03-19 2003-08-19 Applied Materials, Inc. Eddy-optic sensor for object inspection
US6966816B2 (en) * 2001-05-02 2005-11-22 Applied Materials, Inc. Integrated endpoint detection system with optical and eddy current monitoring
US6811466B1 (en) * 2001-12-28 2004-11-02 Applied Materials, Inc. System and method for in-line metal profile measurement
US7001242B2 (en) * 2002-02-06 2006-02-21 Applied Materials, Inc. Method and apparatus of eddy current monitoring for chemical mechanical polishing
US20030210040A1 (en) * 2002-05-08 2003-11-13 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Permeability detection system of ferrite core using magnetic field induction method
US6945845B2 (en) * 2003-03-04 2005-09-20 Applied Materials, Inc. Chemical mechanical polishing apparatus with non-conductive elements
US7025658B2 (en) * 2003-08-18 2006-04-11 Applied Materials, Inc. Platen and head rotation rates for monitoring chemical mechanical polishing
JP4451111B2 (ja) * 2003-10-20 2010-04-14 株式会社荏原製作所 渦電流センサ
SE530770C2 (sv) * 2005-08-24 2008-09-09 Westinghouse Electric Sweden System och användning avseende virvelströmsmätningar på komponenter för nukleära reaktorer
US8337278B2 (en) 2007-09-24 2012-12-25 Applied Materials, Inc. Wafer edge characterization by successive radius measurements
US7705589B2 (en) * 2008-02-19 2010-04-27 Korea Research Institute Of Standards And Science Sensor for detecting surface defects of metal tube using eddy current method
JP2010164483A (ja) * 2009-01-16 2010-07-29 Idemitsu Eng Co Ltd 非破壊検査装置および非破壊検査方法
JP2021001814A (ja) * 2019-06-21 2021-01-07 国立大学法人 岡山大学 非破壊検査方法及び非破壊検査装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3358225A (en) * 1964-03-27 1967-12-12 Richard S Peugeot Lift-off compensation for eddy current testers
US4098126A (en) * 1976-04-06 1978-07-04 British Gas Corporation Non-destructive testing of pipeline
GB2011004A (en) * 1977-12-12 1979-07-04 Gen Electric Corrosion measuring apparatus
DE2844747A1 (de) * 1978-10-13 1980-04-17 Kraftwerk Union Ag Einrichtung zur ueberwachung von radioaktiven metallischen bauteilen
EP0059301A2 (fr) * 1981-02-27 1982-09-08 NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG Appareil de mesure pour les boîtes combustibles nucléaires

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2641841A (en) * 1948-01-28 1953-06-16 Dorothy B Ladrach Electromagnetic gauging equipment
US3132299A (en) * 1960-10-17 1964-05-05 Budd Co Electromagnetic-testing bridge-net-work with digital programming control for operation under a plurality of initial unbalance conditions
GB1142145A (en) * 1965-04-29 1969-02-05 Richard Woolliscroft Haigh Method of, and apparatus for, testing the thickness of non-magnetic sheet material
US3526829A (en) * 1968-04-24 1970-09-01 Chrysler Corp Pulsed eddy current apparatus for nondestructive testing of resistance type welds
GB1305092A (fr) * 1969-04-23 1973-01-31
DE2600206C2 (de) * 1975-01-06 1986-01-09 The Reluxtrol Co., Seattle, Wash. Vorrichtung zur zerstörungsfreien Materialprüfung nach der Wirbelstrommethode
US4047103A (en) * 1975-02-04 1977-09-06 Westinghouse Electric Corporation Eddy current position indicating apparatus for measuring displacements of core components of a liquid metal nuclear reactor
DE2657165A1 (de) * 1976-12-17 1978-06-22 Albert Dipl Ing Ott Verfahren und anordnung zu seiner durchfuehrung zur messung der dicke von schichten und elektrisch leitenden folien
US4292588A (en) * 1978-12-18 1981-09-29 Schlumberger Technology Corporation Electromagnetic inspection tool for ferromagnetic casings
US4503392A (en) * 1981-07-21 1985-03-05 Rizhsky Politekhnichesky Institut Apparatus for non-destructive testing of spot welds using an electromagnetic field
DE3176014D1 (en) * 1981-10-14 1987-04-23 Combustion Eng Clad thickness measuring device
JPS58166203A (ja) * 1982-03-26 1983-10-01 Nuclear Fuel Ind Ltd 核燃料用被覆管内面コ−テイング膜厚測定法ならびにその装置
JPS5967405A (ja) * 1982-09-30 1984-04-17 Sumitomo Metal Ind Ltd ライナ厚測定方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3358225A (en) * 1964-03-27 1967-12-12 Richard S Peugeot Lift-off compensation for eddy current testers
US4098126A (en) * 1976-04-06 1978-07-04 British Gas Corporation Non-destructive testing of pipeline
GB2011004A (en) * 1977-12-12 1979-07-04 Gen Electric Corrosion measuring apparatus
DE2844747A1 (de) * 1978-10-13 1980-04-17 Kraftwerk Union Ag Einrichtung zur ueberwachung von radioaktiven metallischen bauteilen
EP0059301A2 (fr) * 1981-02-27 1982-09-08 NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG Appareil de mesure pour les boîtes combustibles nucléaires

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
POST-IRRADIATION EXAMINATION - Proceedings of the Conference held in Grange-over-Sands, 13-16 mai 1980, British Nuclear Energy Society, 1981, Londres (GB); *

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4752739A (en) * 1984-10-16 1988-06-21 Stein Heurtey Device for measuring the thickness of thin metallic layers deposited on a conductive support
FR2572175A1 (fr) * 1984-10-24 1986-04-25 Stein Heurtey Procede et dispositif pour mesurer l'epaisseur de couches metalliques minces deposees sur un support conducteur
EP0179720A1 (fr) * 1984-10-24 1986-04-30 Stein Heurtey Procédé et dispositif pour mesurer l'épaisseur de couches métalliques minces déposées sur un support conducteur
EP0361891A2 (fr) * 1988-09-28 1990-04-04 General Electric Company Appareil pour assembler et souder le bouchon terminal au tube de revêtement de combustible nucléaire et contrôler la soudure des bouchons terminaux par un procédé automatisé
EP0361891A3 (en) * 1988-09-28 1990-08-29 General Electric Company Apparatus for assembling and welding end plugs to nuclear fuel cladding tubes and inspecting the end plug welds on an automated basis
EP0435757A1 (fr) * 1989-12-27 1991-07-03 Framatome Procédé et dispositif de mesure simultanée de distance entre tubes métalliques et d'épaisseur d'oxyde sur les tubes
FR2656415A1 (fr) * 1989-12-27 1991-06-28 Framatome Sa Procede et dispositif de mesure simultanee de distance entre tubes metalliques et d'epaisseur d'oxyde sur les tubes.
US5225148A (en) * 1990-06-08 1993-07-06 Framatome Method for checking the thickness and the cohesion of the interface of a duplex tube
EP0664435A2 (fr) * 1994-01-04 1995-07-26 General Electric Company Détermination de l'épaisseur
EP0664435A3 (fr) * 1994-01-04 1996-12-11 Gen Electric Détermination de l'épaisseur.
WO1997001739A1 (fr) * 1995-06-29 1997-01-16 Bekaert Naamloze Vennootschap Procede et installation pour la mesure d'epaisseur de couche conductrice non ferromagnetique sur un substrat conducteur ferromagnetique
AU700581B2 (en) * 1995-06-29 1999-01-07 Bekaert Naamloze Vennootschap Method and installation for measuring the thickness of a non-ferromagnetic conductive layer on a ferromagnetic conductive substrate
US5963031A (en) * 1995-06-29 1999-10-05 N.V. Bekaert Naamloze Vennootschap Method and apparatus for measuring the thickness of a non-ferromagnetic conductive layer on a ferromagnetic conductive substrate
WO1997023762A2 (fr) * 1995-12-22 1997-07-03 Siemens Aktiengesellschaft Procede et dispositif pour determiner l'epaisseur d'une couche electroconductrice
WO1997023762A3 (fr) * 1995-12-22 1997-08-28 Siemens Ag Procede et dispositif pour determiner l'epaisseur d'une couche electroconductrice

Also Published As

Publication number Publication date
DE3335080A1 (de) 1984-04-05
US4673877A (en) 1987-06-16
SE460309B (sv) 1989-09-25
DE3335080C2 (de) 1986-01-30
JPS5967405A (ja) 1984-04-17
JPH0226721B2 (fr) 1990-06-12
FR2534015B1 (fr) 1985-07-05
SE8305277D0 (sv) 1983-09-29
SE8305277L (sv) 1984-03-31
CA1237773A (fr) 1988-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2534015A1 (fr) Procede et appareil de mesure de l&#39;epaisseur d&#39;un revetement de zirconium sur un tube en alliage de zirconium
EP0461018B2 (fr) Procédé et dispositif de contrÔle de l&#39;épaisseur et de la cohésion de l&#39;interface d&#39;un tube duplex
EP0074877B1 (fr) Système de contrôle non destructif de la structure interne d&#39;objets
EP0187094B2 (fr) Méthode de contrôle par courants de foucault sans contact et dispositif de mise en oeuvre
EP0179720B1 (fr) Procédé et dispositif pour mesurer l&#39;épaisseur de couches métalliques minces déposées sur un support conducteur
CA2585846C (fr) Mesure des epaisseurs de paroi, notamment d&#39;aube, par courants de foucault
EP0146091B1 (fr) Méthode et système de test non destructif à courants de Foucault utilisant un balayage en fréquences
FR2513753A1 (fr) Sonde profilometrique pour la verification interne des tubes
FR2566115A1 (fr) Procede et dispositif de mesure de l&#39;epaisseur de paroi d&#39;une couche
FR2656415A1 (fr) Procede et dispositif de mesure simultanee de distance entre tubes metalliques et d&#39;epaisseur d&#39;oxyde sur les tubes.
BE897469A (fr) Procede et appareil pour la determination de l&#39;epaisseur de revetements
JPH01123143A (ja) 過電流欠陥探傷方法及びその装置
FR2743148A1 (fr) Dispositif et procede de controle de tubes par courants de foucault
FR2743184A1 (fr) Dispositif et procede de controle de crayons de grappe de commande pour reacteur nucleaire
FR2594532A1 (fr) Procede de traitement de signaux et detecteur de defauts a courants de foucault pour un test d&#39;induction electromagnetique
EP1155313B1 (fr) Procede et dispositif de mesure in situ de la distance entre deux elements donnes dans une conduite tubulaire
FR2459476A1 (fr) Procede et dispositif d&#39;inspection de produits metalliques par courants de foucault
US6453264B1 (en) Surface flaw detection using spatial raman-based imaging
EP0622610A1 (fr) Procédé et dispositif d&#39;étalonnage pour un ensemble de mesure du profil transversal d&#39;épaisseur d&#39;un produit plat
EP0669516A1 (fr) Procédé et dispositif de contrôle par ultrasons de facettes sur la surface intérieure de la paroi d&#39;une gaine
JP5495820B2 (ja) 管内スケール計測装置及び計測方法
JPH07294220A (ja) 多層薄膜の膜厚検出方法および装置
US5974885A (en) Method and apparatus for measuring silver sheath thickness during drawing of high temperature superconducting wire
EP1167917A1 (fr) Procédé de mesure d&#39;épaisseur de paroi d&#39;une aube creuse
FR2706613A1 (fr) Procédé pour déterminer la résistance à la déchirure ductile d&#39;un matériau.