FR2488831A1 - - Google Patents
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Abstract
STRATIFIE PRESENTANT UNE SURFACE DEPOURVUE DE TROUS D'EPINGLE. IL COMPREND UN SUBSTRAT 12, ET UNE FEUILLE METALLIQUE 14 ADHERANT AU SUBSTRAT, CETTE FEUILLE COMPRENANT UNE COUCHE DE LIAISON 16 DEPOSEE ELECTROLYTIQUEMENT, NOYEE DANS LE SUBSTRAT ET UN FILM 15 DEPOSE EN PHASE VAPEUR SUR LA COUCHE DE LIAISON, FORMANT UNE SEULE COUCHE AVEC ELLE ET DONT UNE SURFACE APPARENTE PRESENTE UNE TAILLE MOYENNE DE GRAINS RELATIVEMENT PETITE. APPLICATION A LA FABRICATION DE PLAQUETTES POUR CIRCUITS IMPRIMES.
Description
Tel qu'on l'utilise ici et dans les revendications
annexées le terme de "support" caractérise un matériau en feuille d'aluminium d'épaisseur calibrée lui permettant de subir une chaîne de transformations et d'être enroulé pour être stocké ou transporté, il caractérise également des matériaux en feuilles d'autres métaux ainsi que de matières plastiques, comme les produits commerciaux de Dupont, connus sous les marques MYLAR et KAPTON, et d'autres matériaux
organiques polymériques de souplesse analogue qui supporte-
ront les températures de transformation encourues dans cette invention et présenteront la résistance voulue à la température de dépôt du film de cuivre et les propriétés d'inactivité et d'aptitude à la liaison avec des revêtements d'agents de pelage nécessaires à l'adhérence du revêtement lorsqu'on arrache les produits stratifiés revêtus de cuivre des feuilles supports. De la même manière, le terme d'"agent de pelage" caractérise des oxydes dans lesquels la diffusion des atomes de cuivre est négligeable dans des conditions de pressions
et de températures comparables à une atmosphère sous 1750C.
De plus, ce sont des matériaux qui ne se lieront pas aussi fortement au cuivre ou à un autre métal déposé sous la forme d'un film qu'au matériau de support en feuille d'aluminium ou autre, et qui empêcheront encore l'interdiffusion et également la réaction entre le film de cuivre et la feuille d'aluminium ou tout autre support dans les conditions de production ou d'utilisation. L'adjectif "ultra-mince" caractérise des matériaux
d'épaisseurs inférieures à environ 16 microns.
Les termes de "film" et de "feuille", signifient,-
respectivement, dans le même contexte, un revêtement ultramince obtenu par dépôt en phase vapeur et la combinaison de ce revêtement et d'une couche de liaison déposée électrolytiquement qui est habituellement un peu plus épaisse que le film, mais faite du même matériau, qui est de préférence
du cuivre.
L'expression "dépôt en phase vapeur" recouvre la pulvérisation, l'évaporation physique (c'est-à-dire par faisceau électronique, l'évaporation inductive et/ou résistive), le dépôt chimique en phase vapeur, et le dépôt ionique.
Tel qu'il est utilisé dans cette description et dans les
revendications annexées, le terme de "substrat" caractérise
la partie du produit stratifié revêtu de cuivre ou de tout autre pièce manufacturée de cette invention qui sert de support physique au film ou à la feuille métallique, et qui est avantageusement constituée par un élément en verre-époxy, sous la forme d'un préimprégné durcissant au contact de la feuille de cuivre ou d'un autre métal. On peut citer parmi d'autres matériaux que l'on peut utiliser à cet effet, sans que l'on doive s'y limiter, ce que l'on appelle, dans le commerce des "papiers- résines phénoliques" qui sont des produits constitués par des feuilles de papier imprégnées d'une résine durcissable pour former une liaison adhésive entre le
substrat et la feuille métallique du stratifié.
Cette invention concerne la fabrication de stratifiés revêtus de cuivre que l'on peut utiliser pour la production de plaquettes de circuits imprimés, et elle concerne plus particulièrement un nouveau procédé de production de ces stratifiés et les stratifiés perfectionnés produits ainsi
que les produits intermédiaires nouveaux.
Les stratifiés revêtus de cuivre constituent l'une des matières premières utilisées pour la production de plaquettes de circuits imprimés. Ce type de stratifié est constitué par
un substrat auquel adhère fortement une feuille de-cuivre.
Les fabricants de plaquettes de circuits imprimés tracent les circuits voulus de différentes manières. Le procédé le plus courant, appelé procédé soustractif, consiste à masquer
le tracé voulu à l'aide d'un matériau de masquage photo-
résistant ou imprimé au pochoir, sur le stratifié revêtu de cuivre, puis à enlever le revêtement de cuivre indésirable
en l'attaquant.
Un autre procédé de production de tracés de circuits nécessite l'utilisation d'un substrat revêtu de cuivre ultra-mince. On procède au masquage comme on l'a décrit précédemment. Toutefois le cuivre est apparent dans la zone o on souhaite obtenir le tracé de circuit. On réalise ensuite un dépôt électrolytique qui augmente l'épaisseur des pistes, après quoi on attaque le masque et le cuivre de base mince pour les enlever. Ce procédé est connu sous le nom de procédé semi-additif. Il est, bien sur, souhaitable de produire des plaquettes
de circuits imprimés contenant un nombre maximum de pistes.
Plus on peut placer de pistes et donc de composants sur une
seule plaquette, plus on rend le produit compact et économique.
Le nombre de pistes que l'on peut appliquer dans un espace donné est toutefois limité par le degré de finesse avec lequel on peut produire ces pistes. Il est également limité par le degré de précision avec lequel on peut délimiter les pistes
elles-mêmes et les espaces entre les pistes.
L'homme de l'art comprend, à la lumière des objectifs précédents, et pour d'autres raisons, qu'il est souhaitable
d'utiliser des feuilles relativement minces pour la fabri-
cation du stratifié de base que l'on doit utiliser pour la production des plaquettes de circuits imprimés. Si on applique le procédé soustractif à des feuilles plus épaisses, il y a une perte de cuivre plus importante lorsqu'on attaque la feuille de base, comme on l'a décrit précédemment. Il se produit aussi nécessairement une attaque latérale des pistes ellesmêmes, qui diminue la quantité de matériau conducteur
de courant et change la morphologie superficielle des pistes.
Cela limite encore, bien évidemment, la proximité possible des pistes les unes par rapport aux autres. Lorsqu'on applique le procédé semi-additif à des stratifiés revêtus de feuilles de cuivre minces, il est clair que l'on réduit ces inconvénients
au minimum.
Jusqu'à maintenant on a produit les feuilles pour stratifiés revêtus de cuivre, essentiellement par dépôt électrolytique. Ce procédé présente beaucoup d'avantages, parmi lesquels on peut citer la vitesse de production,
l'économie, et l'existence d'une technologie très développée.
Il existe toutefois certaines limites inhérentes au procédé de dépôt électrolytique lorsqu'on étend cette
technologie à la production de feuilles de cuivre ultra-mince.
D'une part, il est très difficile de produire des feuilles de moins de 16 microns d'épaisseur qui soient dépourvues de trous d'épingle. Les trous d'épingle apparaissant dans les feuilles minces déposées électrolytiquement sont dues, à notre avis, à la présence d'impuretés ou de défauts placés au hasard sur la surface de l'électrode sur laquelle le dépôt se produit ou au piégeage d'impuretés inhérent au procédé de
dépôt électrolytique. Ces impuretés empêchent le dépôt élec-
trolytique à ces emplacements, créant des trous d'épingles qui
ne se ferment que l'orsqu'on a atteint une certaine épaisseur.
D'autre part, le procédé de dépôt électrolytique est encore limité par la taille des grains relativement grande des films ou des feuilles produits par ce procédé. Pour les films ou feuilles ultra-minces, et en particulier pour les plus minces, la profondeur moyenne des joints de&grains avoisine l'épaisseur des films eux-mêmes. Comme quelques impuretés organiques se rassemblent généralement en certains points des joints de grains, il existe un affaiblissement possible de
ces films ou feuilles en ces points.
On a découvert qu'il était possible de remédier aux inconvénients précédents liés à la production de feuilles de cuivre par le seul procédé de dépôt électrolytique,
conformément au nouveau procédé de l'invention. Grâce à ce-
procédé, il est possible d' utiliser des feuilles ultra-minces.
Les stratifiés revêtus de cuivre, produits conformément à l'invention présentent également une surface extrêmement lisse et virtuellement dépourvue de trous d'épingle pour le dépôt électrolytique ultérieur de pistes. Grâce à la qualité exceptionnellement élevée et à l'absence de défaut de cette
surface, le circuit global ainsi produit par le procédé semi-
additif sera supérieur du point de vue de sa définition à tout ce qui était possible jusque là. Puisque la feuille peut être plus mince l'attaque nécessaire pour enlever le cuivre de base sera moins importante ce qui tend à diminuer les inconvénients liés à ce procédé et que l'on a indiqués précédemment. Ces avantages font qu'il est possible de fabriquer le stratifié et les plaquettes de circuits produites à partir de celui-ci, de manière moins coûteuse, et d'en abaisser le prix pour les usagers. Il faut toutefois noter que les nouveaux procédé et produit de l'invention présentent des avantages par rapport à leurs analogues existants, même dans le cas de feuilles épaisses. L'invention ne se limite donc pas strictement à la production et à l'utilisation de stratifiés comportant des
feuilles ultra-minces.
En bref, le procédé de l'invention comprend le dépôt en phase vapeur d'un film de métal, et de préférence, de cuivre, sur un support tel qu'une feuille d'aluminium de manière à produire une liaison adhésive relativement faible. Dans le procédé de l'invention, on empêche une adhérence forte du film à la feuille d'aluminium support en revêtant la feuille avec du dioxyde de silicium ou une autre substance adaptée à cet effet. Ce revêtement peut par exemple présenter une épaisseur de 200 à 600 Angstroms ou être beaucoup plus épais, sans dépasser le point o l'intégrité physique du revêtement n'est pas suffisante pour qu'il supporte l'arrachage ou toute autre étape de séparation de la feuille décrite ici. Après la production du film sur la feuille support, on soumet la
surface apparente du film déposé en phase vapeur à un traite-
ment électrolytique pour former la couche de liaison pour constituer la feuille avant de former finalement avec elle un stratifié avec un substrat approprié comme un substrat de verre-époxy. On presse ensuite la surface apparente de la feuille complète contre le substrat voulu à une température élevée appropriée pour former le stratifié en noyant la couche de liaison dans le substrat. Lorsqu'on a formé le stratifié, on peut laisser la feuille support en place pour qu'elle serve de revêtement protecteur. On peut retirer plus tard la feuille support en enlevant avec elle le revêtement d'agent de pelage pour laisser apparente la surface ayant
subi le dépôt en phase vapeur de la feuille de cuivre.
Puisque l'on a produit cette surface par dépôt en phase vapeur, elle présentera une taille moyenne de grains de l'ordre de 500 Angstroms ou moins, qui est environ 20 fois plus petite
que la taille de grains du cuivre obtenu par dépôt électro-
lytique. Dans un procédé analogue, on applique le revêtement d'agent de pelage et la feuille de cuivre sur une surface métallique rigide, plane et lisse, et par exemple sur un
plateau de presse en acier inoxydable.
En bref, de la même manière, le stratifié revêtu de métal de cette invention comprend un substrat et une feuille de métal adhérant à ce substrat, la feuille comprenant une couche de liaison déposée électrolytiquement, noyée dans le substrat et un film déposé en phase vapeur se trouvant au-dessus de la couche de liaison et formant une seule couche avec elle, qui donne au stratifié une surface apparente de taille de grains
relativement petite.
De même, un autre produit de cette invention comprend une
feuille support revêtue d'un agent de pelage, se trouvant, de.
préférence, sous la forme d'une couche de silice déposée en
phase vapeur..
On décrira encore d'une manière générale, parmi les autres nouveaux produits de cette invention, un stratifié revêtu de cuivre constitué par une feuille support revêtue d'un agent de pelage et d'un film de cuivre recouvrant l'agent de pelage et adhérent à celui-ci, le film de cuivre présentant une taille moyenne de grain d'environ 500 Angstroms sur sa surface en
contact avec l'agent de pelage.
La suite de la description se réfère aux figures annexées
qui représentent respectivement: Figure 1, une représentation schématique d'une vue en coupe droite d'un stratifié conforme à cette invention; Figure 2, un schéma de principe représentant les étapes à suivre dans la mise en pratique du procédé de cette invention pour produire un stratifié revêtu de cuivre; Figure 3, un schéma de principe représentant les étapes à suivre dans un autre procédé de cette invention pour produire un stratifié revêtu de cuivre; -1 Figure 4, une représentation schématique d'une vue en coupe droite d'un produit conforme à la présente invention; Figure 5, une représentation schématique d'une vue en coupe droite d'un autre produit conforme à la présente invention; Figure 6, une représentation schématique d'une vue en coupe droite d'un autre produit conforme à la présente invention. Comme on l'a représenté Figure 1, le produit de cette invention est un stratifié 10 composé d'un substrat 12 auquel adhère une feuille de cuivre 14. La feuille 14, constituée par un film déposé en phase vapeur 15 et une couche de liaison déposée électrolytiquement 16, présente une surface 17
d'aspect nodulaire, irrégulier, noyée dans le substrat 12.
Des nodules ou dendrites 20 dépassent de la couche 16, présen-
tant des parties en forme de têtes de massues 21 qui créent des cavités rentrantes pour le verrouillage mécanique de la
feuille 14 et du substrat 12.
La Figure 2 illustre le procédé recommandé de cette invention. On recouvre tout d'abord une feuille support d'aluminium, présentant de préférence, une épaisseur comprise entre 0,025 et 0,178 mm, mais qui peut être plus mince ou plus épaisse, avec une substance appropriée, ayant tendance à former une liaison relativement faible avec le cuivre. Ces substances, connues et désignées ici par l'expression "agents de pelage", sont constituées par du dioxyde de silicium, de l'oxide de silicium ou du verre à vitres de chaux sodée ou par d'autres matériaux capables de jouer ce rôle d'une manière satisfaisante. On peut appliquer un revêtement de dioxyde de
silicium par des techniques de pulvérisation, de dépôt chimi-
queien phase vapeur ou d'évaporation par faisceau électronique
connues de l'homme de l'art.
Lorsque la feuille support d'aluminium est convenablement
revêtue, on y applique un revêtement de cuivre par pulvérisa-
tion ou par un autre procédé de dépôt en phase vapeur. Le revêtement déposé se trouve avantageusement sous la forme d'un film ultra-mince, mais il peut être beaucoup plus épais, son épaisseur pouvant aller, par exemple jusqu'à 25 microns. Le dépôt en phase vapeur présente l'avantage de produire un revêtement de cuivre lisse, continu et virtuellement dépourvu
de trous d'épingle même pour des épaisseurs aussi faibles.
Dans l'étape suivante du procédé, on traite électroly- tiquement la surface apparente du revêtement de cuivre pour améliorer son aptitude à la liaison. Comme cela est bien connu, on peut obtenir un verrouillage mécanique très supérieur d'un
film ou d'une feuille de cuivre et d'un substrat de verre-
époxy en changeant la morphologie de la surface de cuivre que l'on doit lier. Pour ce faire on trouve un procédé bien connu dans un article paru dans "Transactions of the Institute of Metal Finishing" ("Comptes rendus de l'Institut de Finissage
des Métaux") (Vol 48, page 88, 1970). Dans une de ses réalisa-
tions ce procédé comprend le traitement électrolytique d'une surface de cuivre dans des bains contenant des concentrations progressivement de plus en plus faibles de sulfate de cuivre, maintenus à des températures différentes. Dans une autre réalisation, que l'on a trouvé satisfaisante pour certaines applications de la présente invention, on peut mettre en oeuvre le traitement en utilisant-un seul bain. Le traitement de la surface du film ou de la feuille de cuivre dans des bains successifs ou conformément à la technique utilisant un seul bain, augmente de manière importante les forces d'adhérence qui s'établissent finalement entre le substrat et le revêtement de cuivre. Cela se produit à cause de la formation de structures dendritiques ou nodulaires très irrégulières à la surface du cuivre. La taille moyenne des grains de la couche de cuivre résultant de l'application de la technique décrite dans "Transactions of the Institute of Metal Finishing", sera, comme l'Homme de l'Art le comprendra, beaucoup plus importante que celle obtenue dans la couche
déposée en phase vapeur.
On peut alors revêtir instantanément la feuille de
cuivre résultante avec du zinc par dépôt électrolytique.
C'est une étape bien connue pour la production d'une couche protectrice de laiton qui se forme lors de l'application de
chaleur pendant l'étape de formation du stratifié qui suit.
On met en oeuvre l'étape de formation du stratifié de manière classique en pressant la surface traitée de la feuille contre la feuille de préimprégné verre-époxy traité. On le fait à une température suffisamment élevée pour que la résine époxy se trouve dans un état semi-liquide lui permettant de s'écouler à l'intérieur et autour des irrégularités de surface de la feuille de cuivre, qui après le durcissement sera ainsi fortement verrouillée mécaniquement avec le substrat. Les résistances au pelage résultantes, si on utilise l'essai de pelage Jaquet à 90% classique, seront de 14 N/cm ou plus, les
situant dans-une gamme commercialement très acceptable.
L'étape finale concerne l'enlèvement du support d'aluminium. Pour ce faire on arrache mécaniquement le support du produit stratifié. L'agent de pelage, qu'il soit de dioxyde de silicium, d'oxyde de silicium ou autre reste avec le support et la surface métallique du produit stratifié en est donc entièrement débarrassée. Le produit résultant porte un revêtement de cuivre continu, lisse et virtuellement dépourvu de trous d'épingle. Comme on l'a noté précédemment, la surface
apparente du revêtement de cuivre présente une taille de grain.
moyenne relativement petite. Le produit résultat, comportant une surface de cuivre présentant ces qualités supérieures convient vraiment idéalement pour la production de plaquettes
de circuits.
La Figure 3 illustre une autre réalisation du procédé de l'invention dans laquelle on remplace le support d'aluminium par un plateau de presse en acier inoxydable. La différence entre ces deux procédés apparait principalement dans l'étape finale de retrait du plateau de presse du produit stratifié, par opposition à l'arrachage mécanique du support d'aluminium du produit stratitié. A d'autres égards, toutefois les procédés sont tout à fait semblables, excepté que l'on procède à l'arrachage au moment de la formation du stratifié alors qu'on recycle le plateau de presse en fin de production; et que lorsqu'on enlève le stratifié du plateau de presse, on peut appliquer sur la surface du stratifié un revêtement physiquement protecteur métallique ou polymérique pelable, à cause de sa nature fragile. La dernière étape est la seconde
étape facultative indiquée Figure 3.
On comprendra que l'on peut commercialiser l'invention de différentes manières. Par exemple, des fabricants pourront trouver commode de vendre la feuille support d'aluminium, revêtue d'un agent de pelage approprié, et revêtue ou non par dépôt en phase vapeur d'un film de cuivre ou d'un revêtement plus lourd. Il peut être avantageux, dans certains cas,- de poursuivre jusque l'étape ultérieure de dépôt électrolytique d'une couche de liaison de cuivre sur le revêtement ou film de cuivre comme on l'a décrit précédemment. On a représenté, Figure 4, 5 et 6 trois produits intermédiaires de cette invention qui seront don- utiles pour la production de stratifiés revêtus de cuivre, utilisés, en dernier lieu pour la fabrication de plaquettes de circuits. Les acheteurs
pourront, bien sûr, facilement utiliser ces produits inter-
médiaires pour la fabrication finale de plaquettes de circuits
imprimés revêtues de cuivre.
On donne les quatre exemples suivants illustrant le procédé
de cette invention et les résultats obtenus.
Exemple I
On a préparé un certain nombre de films de cuivre de microns d'épaisseur obtenus par pulvérisation sur une feuille support d'aluminium préalablement revêtue de dioxyde de silicium. On a recouvert électrolytiquement chacun des films pour former des feuilles dans un bain comprenant 220g/litre de Cu2SO4-5H20 et 1OOg/litre de H 2SO4 400C. On a agité modérément, en utilisant des temps de dépôt compris entre 30 secondes et 5 minutes, sous des densités de courant de l'ordre de 0,155 A/cm2 à 0,620 A/cm2. On a ensuite recouvert électrolytiquement chacune des feuilles dans un second bain comprenant 80g/litre de Cu2SO4 -5H0 et 1OOg/litre de H2S04 à 200C. On a agité légèrement, en utilisant des temps de dépôt compris entre 30 secondes et 3 minutes, sous une densité de courant de 0,155 A/cm2. A la suite de ce traitement, on a déposé électrolytiquement un revêtement instantané de zinc sur la surface apparente du cuivre en utilisant un bain de chlorure de zinc, pendant 5 secondes, sous 0,465 A/cm2. On a ensuite placé les feuilles de cuivre traitées contre une feuille de préimnprégné verre-époxy qui est connue dans le commerce dans sa forme durcie sous la marque FR4 Board. On a utilisé une technique classique de formation de stratifié et on a appliqué une pression d'environ 0,0413 daN/mm2, en maintenant une température d'environ 170'C pendant 40 minutes, et on a obtenu ainsi un durcissement complet. Après refroidissement et retrait de la presse o on a formé le stratifié, on a arraché les supportsd'aluminiumde l'ensemble stratifié pour conserver le produit stratifié voulu. Les résistances au pelage
étaient toutes comprises entre 17,51 et 21,01 N/cm.
Exemple Il
Dans une autre expérience analogue à celle de l'Exem-
ple I, on a suivi la même procédure, excepté que l'on a omis la première étape de revêtement électrolytique. On a toutefois trouvé que les résistances au pelage des produits stratifiés résultants, étaient à peu près les mêmes que celles mesurées dans l'Exemple I.
Exemple III
Dans une autre expérience conforme à cette invention,
on a utilisé la procédure de l'Exemple I, excepté qu'au-
lieu d'utiliser des feuilles comme on l'a décrit dans cet exemple, on a préparé plusieurs films de cuivre de 5 microns d'épaisseur obtenus par pulvérisation sur une feuille support d'aluminium que l'on avait revêtue par pulvérisation avec du verre à vitres de chaux-sodée au lieu de dioxyde de silicium. On a trouvé que cette couche d'agent de pelage différent produite par la technique de pulvérisation agissait essentiellement de la même manière que les couches d'agent de pelage utilisées dans les essais expérimentaux des
Exemples I et II.
Exemple IV On a préparé un certain nombre de feuilles de cuivre de 5 et 10 microns d'épaisseur par pulvérisation sur des plateaux de presse en acier inoxydable préalablement
revêtus de dioxyde de silicium. On a recouvert électro-
lytiquement chacune des feuilles dans un bain comprenant
220g/litre de Cu2S04Q 5H20 et 100g/1 de H2S04 à 40 C.
On a agité modérément en utilisant des temps de dépôt compris entre 30 seconde et 5 minutes, sous des densités de courant de l'ordre de 0,155 A/cm2 à 0,620 A/cm2. On a ensuite recouvert électrolytiquement chacune des feuilles dans un second bain comprenant 80g/1 de Cu2S04-5H20 et 100g/litre de H2S04 à 20 C. On a agité légèrement en utilisant des temps de dépôt compris entre 30 secondes et 3 minutes, sous une densité de courant de 0,155 A/cm2. A
la suite de ce traitement, on a déposé électrolytiquement-
un revêtement instantané de zinc sur la surface apparente de la feuille de cuivre en utilisant un bain de chlorure de zinc pendant 5 secondes sous une densité de courant de 0,465 A/cm2. On a ensuite utilisé les feuilles traitées dans le procédé de formation de stratifié décrit dans l'Exemple I. Apres refroidissement et retrait de la presse o on a formé le stratifié, on a arraché les plateaux de presse en acier inoxydable du montage de stratifié pour conserver le produit stratifié voulu. Les résistances au
pelage étaient toutes comprises entre 17,51 et 21,01 N/cm.
Claims (22)
1. Stratifié revêtu de métal caractérisé en ce qu'il comprend un substrat (12) et - une feuille métallique (14) adhérant au substrat, cette feuille comprenant une couche de liaison (16) déposée électrolytiquement, noyée dans le substrat et un film (15) déposé en phase vapeur sur la couche de liaison, formant une seule couche avec elle et donc une surface apparente présente
une taille moyenne de grains relativement petite.
2. Stratifié revêtu de métal selon la revendication 1, caractérisé en ce que le film, au moins, est pratiquement
dépourvu de trous d'épingle.
3. Stratifié revêtu de métal selon la revendication 1, caractérisé en ce que le côté de la couche de liaison (16) en contact avec le substrat (12) présente des irrégularités nodulaires et en ce que le matériau du substrat en contact avec la couche de liaison épouse ces irrégularités de façon à ce que l'adhérence du substrat à la feuille soit due au
moins en partie à un verrouillage mécanique.
4. Stratifié revêtu de métal selon la revendication 3,
caractérisé en ce que le métal est le cuivre.
5. Stratifié revêtu de métal selon la revendication 1, caractérisé en ce que la partie de la feuille constituée par le film est relativement lisse et présente une taille de
grain moyenne d'environ 500 Angstr6ms.
6. Stratifié revêtu de métal selon la revendication 5, caractérisé en ce que l'adhérence est suffisante pour
produire des résistances au pelage supérieures à 14,008 N/cm.
7. Stratifié revêtu de métal selon la revendication 6, caractérisé en ce que la surface apparente de la couche de
liaison est revêtue d'une couche de laiton relativement mince.
8. Stratifié composé d'une feuille d'aluminium revêtue d'un agent de pelage sous la forme d'une couche de Si02
déposé en phase vapeur.
9. Stratifié revêtu de métal composé d'un support revêtu d'un agent de pelage et d'un film de métal adhérent à l'agent
de pelage.
Z488 fl31
10. Stratifié revêtu de cuivre composé d'une feuille support revêtue sur au moins une face d'un agent de pelage,
et d'un film de cuivre adhérent à l'agent, le film présen- -
tant une taille moyenne de grains d'environ 500 Angstr6ms sur la surface en contact avec l'agent de pelage.
11. Stratifié revêtu de cuivre selon la revendication , caractérisé en ce que la feuille support est en aluminium et en ce que l'on forme le film de cuivre sur
l'agent par dépôt en phase vapeur.
12. Stratifié revêtu de cuivre selon-la revendication , caractérisé en ce que l'on forme une couche de cuivre
sur le film de cuivre.
13. Stratifié revêtu de cuivre selon la revendication 12, caractérisé en ce que la couche comprend des dépôts
nodulaires.
14. Stratifié revêtu de cuivre selon la revendication - 13, caractérisé en ce qu'on forme la couche de cuivre par
dépôt électrolytique.
15. Stratifié revêtu de cuivre selon la revendication 14, caractérisé en ce que la couche de cuivre est de forme dendritique.
16. Procédé de revêtement d'un substrat avec une feuille de métal pratiquement dépourvue de trous d'épingle caractérisé en ce qu'il comprend les étapes de: revêtement d'un support ou d'un plateau de presse avec un agent de pelage - formation sur ce revêtement, d'un film de métal présentant une taille de grains moyenne d'environ 500 Anstrôms; - traitement électrolytique du film pour produire une feuille afin d'améliorer l'adhérence à un substrat; formation d'un stratifié avec la feuille métallique et un substrat de manière à créer une adhérence relativement forte entre la feuille de métal et le substrat; et - enlèvement du support revêtu de l'agent de pelage ou du plateau de presse pour conserver le substrat auquel
adhère la feuille métallique.
2488?31
17. Procédé selon la revendication 16, caractérisé en ce que la première étape de formation comprend tout d'abord le dépôt en phase vapeur d'un film du métal sur un plateau
de presse revêtu.
18. Procédé selon la revendication 16, caractérisé en ce que l'agent de pelage est choisi dans le groupe constitué par le dioxyde de silicium, l'oxide de silicium et le verre
à vitres de chaux sodée.
19. Procédé selon la revendication 16, caractérisé en
ce que le métal est le cuivre.
20.- Procédé selon la revendication 19, caractérisé en
ce qu'il comprend encore une étape de revêtement électroly-
tique de la feuille de cuivre avec un revêtement de zinc relativement mince, après son traitement électrolytique
et avant l'étape de formation du stratifié.
21. Procédé selon la revendication 19, caractérisé en ce que le support est en aluminium et en ce que l'on met en
oeuvre l'étape d'enlèvement par arrachage.
22. Produit fabriqué selon le procédé de la revendi-
cation 19.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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US06/180,341 US4357395A (en) | 1980-08-22 | 1980-08-22 | Transfer lamination of vapor deposited foils, method and product |
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FR2488831A1 true FR2488831A1 (fr) | 1982-02-26 |
FR2488831B1 FR2488831B1 (fr) | 1986-03-21 |
Family
ID=22660086
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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FR8115979A Expired FR2488831B1 (fr) | 1980-08-22 | 1981-08-20 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4357395A (fr) |
JP (1) | JPS5772851A (fr) |
DE (1) | DE3131688A1 (fr) |
FR (1) | FR2488831B1 (fr) |
GB (2) | GB2122646B (fr) |
IT (1) | IT1137853B (fr) |
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