FI72393C - Foerfarande foer framstaellning av en tunt isolerad kapacitiv hygrometer och enligt detta foerfarande framstaelld hygrometer. - Google Patents

Description

1 72393

Menetelmä ohuesti eristetyn kapasitiivisen hygrometrin valmistamiseksi ja tällä menetelmällä valmistettu hygrometri Tämä keksintö koskee kapasitiivisen ohuteristei-5 sen kosteusmittarin valmistusmenetelmää ja tällä menetelmällä saatua kosteusmittaria.

Ilman kosteuden mittaamiseksi on tunnettua käyttää hyväksi ohuena kerroksena olevaa massaa, jonka di-elektrisyysvakio vaihtelee absorboidun veden määrän funk-10 tiona ja joka muodostaa kondensaattorin eristeen.

Tietty joukko laitteita, jotka toimivat tämän periaatteen mukaisesti, on jo olemassa ja niitä on kuvattu kirjallisuudessa. Voidaan mainita USA:n patentit no. 3 168 829 (Nelson) ja no. 3 350 941 (Misevich ja 15 muut), englantilainen patentti no. 1 297 014, K. W.

Misevichin artikkeli IEEE Trans, and Ind. Electronics and control Instrumentationissa, Voi. IECI 16, no. 1, heinäkuu 1969, Vaisala-yhtiön suomalainen patentti no. 2 831 72, saman yhtiön ranskalainen patentti 20 no. 73 36153, joka vastaa edellistä ranskankielisenä, Atomienergiakomitean ranskalainen patentti no. 76 01904 Barreau, Messier, Rosilio), Vaisala-yhtiön E. Salasman ja P. Kestamon artikkeli (3. symp. on Meteorological Observations, Helmik. 1973, Washington), 25 P.E. Thoman, J.0. Collan ja R. Stewartin artikkeli IEEE trans on Compt Hybrids and Manufact. Technology1ssä voi. CHAT no. 3 Sept. 79 ja viimeksi P.E. Thoman USA:n patentti no. 3 802 268 (1974).

Erilaiset kosteusanturit voidaan jakaa kahteen 30 luokkaan. Ensimmäiselle luokalle (Misevich, Nelson, Thoma) on ominaista, että eristemassa on muodostunut polymeerikalvosta, joka on samalla anturin herkkä osa että sen mekaaninen tuki. Tämä johtaa tiettyihin haittoihin tämän tyyppisellä kosteusmittarilla: heikko 35 mekaaninen kestävyys, polymeerin vääntyminen, joka ai- 2 72393 heuttaa huomattavan hystereesin ja tietyn lämpötilava-kion.

Toiseen luokkaan kuuluvat anturit ovat muodostuneet polymeerikerroksesta (Vaisala) tai muista vedelle herkis-5 tä molekyyleistä (Barraud ja muut), jotka on saostettu kiinteän metalloidun pohjan päälle, joka muodostaa kondensaattorin ensimmäisen elektrodin. Näin kosteusmitta-rin mekaaninen tuki, yleensä lasia tai muuta kosteudelle inerttiä ainetta, on selvästi erossa vedelle herkästä 10 kerroksesta.

Tämän järjestelyn avulla on mahdollista päästä eroon ensimmäisen luokan haitoista (mekaaninen heikkous, hystereesi, hidas vaste, lämpötilavakio), mutta kondensaattorin toisen elektrodin pitää olla hyvin ohut, jot-15 ta se läpäisisi vettä, mikä edellyttää tiettyjä varotoimenpiteitä valmistuksen jälkeen ja tekee anturin tietyssä määrin särkyväksi. Toisaalta tämän elektrodin ohuus tekee sen herkäksi saasteille, mikä vähentää laitteen käyttöikää. Täten polymeerikalvon valmistaminen on 20 hyvin tarkkaa työtä, koska kalvon on oltava vailla vikoja tai kuoppia, jotta vältyttäisiin elektrodien väliseltä oikosululta. Kuitenkin tämän vaaran välttämiseksi voidaan sijoittaa ohut, vedelle epäherkkä eristyskerros ensimmäisen elektrodin ja polymeerikerroksen väliin: väl-25 tetään oikosulut siinä tapauksessa, että eriste puhkeaa muuttamatta anturin herkkyyttä, sillä eristyskerroksella on huomattava kapasitanssi.

Tämä keksintö käsittelee juuri kapasitiivisen kos-teusmittarin valmistusmenetelmää, jolla vältetään hai-30 tat käyttämällä vettä läpäisevänä elektrodina tarpeeksi paksua metallikerrosta, jolla on hyvä mekaaninen kestävyys .

Tämän menetelmän pääpiirteiden mukaisesti niiden tyyppisille menetelmille, joissa ensimmäisen elektrodin 35 muodostavan johtavaa materiaalia olevan kerroksen päälle sovitetaan toinen kerros eristävää materiaalia, jonka di-elektrisyysvakio muuttuu absorboidun vesimäärän mukaan, sitten tämän eristävän materiaalikerroksen päälle sovitetaan

II

3 72393 toinen metallikerros, joka muodostaa toisen elektrodin, joka tehdään vettä läpäiseväksi, on ominaista se, että tämän toisen elektrodin valmistamiseksi eristekerroksen päälle sovitetaan yksi yli 200 A:n paksuinen kerros vä-5 hän hapettuvaa metallia, jota sitten lämpökäsitellään lämpötilassa, joka on lähellä eristekerroksen muodostavan materiaalin pehmenemislämpötilaa, jotta se tulisi vettä läpäiseväksi.

Keksinnön mukaiselle kosteusmittarille on tunnus-10 omaista se, mitä on esitetty patenttivaatimuksen 15 tun-nusmerkkiosassa.

Eristeen pehmenemislämpötila on yleensä lähellä sen sulamislämpötilaa. Tämä käsittely aikaansaa eristeen muodostavan aineksen rakenteen muutoksen, mikä taas ai-15 heuttaa toisen elektrodin pysyvän muodonmuutoksen: tämä saa rakeisen rakenteen, jonka rakeet ovat kooltaan yhden mikrometrin suuruusluokkaa. Näin saadaan hyviä huokoisuud-den omaava metallikerros, joka läpäisee vesihöyryn ja säilyttää samalla hyvän mekaanisen kestävyyden, etenkin hyvän 20 mekaanisen kestävyyden äkillisten lämpötilan muutosten suhteen.

Muita keksinnön ominaisuuksia ja etuja tulee esiin seuraavassa kuvailevassa tekstissä, joka annetaan pelkästään kuvailevana esimerkkinä eikä lainkaan rajoittavana 25 mukaanliitettyine piirroksineen, joissa: - kuva 1 esittää perspektiivisen kaavakuvan kapa-sitiivisesta kosteusmittarista sellaisena kuin se on saatu keksinnön mukaisella menetelmällä, - kuva 2 esittää perspektiivisen kaavakuvan, joka 30 kuvaa keksinnön mukaisen menetelmän toteuttamistapaa, - kuva 3 on kaavakuva ylhäältä päin, joka osoittaa, kuinka voidaan valmistaa neljä anturia yhdelle ainoalle levylle, ja - kuva 4 on kaavakuva ylhäältä päin, joka osoit-35 taa, kuinka voidaan valmistaa 16 anturia yhdelle ainoalle levylle.

4 72393

Kuvassa 1 nähdään metallipohja 2, joka muodostaa kapasitiivisen kosteusmittarin ensimmäisen elektrodin 3. Tässä esitetyssä esimerkissä tämä elektrodi 3 on alumiinista ja lepää jäykän alustan 5 päällä, esi-5 merkiksi lasilevyn, mutta voidaan käyttää suhteellisen paksua johtavaa kerrosta, esim. piikerrosta, joka itse muodostaa jäykän alustan.

Useimmissa tapauksissa yksi ensimmäisen elektrodin pinnoista 4 on hapettunut noin 50-200 A:n syvyydel-10 tä ja tämä pinta on kosketuksissa eristävän ainekerrok-sen kanssa, joka muodostaa anturin eristeen ja jonka dielektrisyvsvakio muuttuu absorboidun vesimäärän funktiona .

Etu, joka saavutetaan kahden päällekkäisen osan 15 muodostamasta eristeestä, yhdestä, joka on epäherkkä vedelle ja muodostunut hyvin ohuesta 250-200 A) alumiinioksidi- tai esimerkiksi piioksidikerroksesta, ja toisesta, jonka paksuus on huomattavampi (500-2000 A) ja joka on kosteudelle herkkä, on se, että saavutetaan 20 hyvin tehokas suoja vedelle herkän kerroksen aiheuttamien mahdollisten oikosulkujen varalta. Koska oksidi-kerroksen kapasitanssi on hyvin suuri, sen kytkeminen sarjaan toimivan eristeen kerroksen kanssa ei käytännöllisesti katsoen vähennä anturin herkkyyttä. Näin voi-25 daan siis muodostaa antureita, joilla on nopea vaste ja suuri ominaiskapasitanssi ja jotka on hyvin suojattu oksidikerroksella oikosulkua vastaan. Tällaisten antu- 2 rien ominaiskapasitanssi on 10-20 nF/cm :n suuruusluokkaa, eli suurempi kuin useimpien nykyään käytettävien 30 kapasitiivisten kosteusmittarien ominaiskapasitanssi.

Eristävänä aineksena, jonka dielektrisyysvakio muuttuu absorboidun vesimäärän funktiona, voidaan käyttää luonnostaan vedelle herkkiä polymeerejä kuten selluloosan estereitä, selluloosa-asetobutyraattia tai po-35 lyvinyyliasetaattia. Voidaan myös käyttää polymeerejä, jotka voivat verkkoutua lämpötilan tai ultraviolettisäteilyn vaikutuksesta, kuten selluioosa-asetokrotonaat- li 5 72393 ti tai selluloosa-asetobutyrokrotonaatti. Näin saadaan kosteusmittareita, jotka kestävät erityisen hyvin kuumuutta ja kemiallisia aineita (happoja, liuottimia, saasteita,...).

5 Voidaan myös käyttää päällekkäisiä, orgaanisesta aineesta muodostettuja yksimolekulaarisiä kerroksia, jotka on tehty niin sanotulla "Langmuirin ja Blodgettin" menetelmällä, mainitut kerrokset on ensin tehty vedelle herkiksi sopivalla käsittelyllä.

10 Kuvassa 1 näkyy vielä yksi metallikerros 8, joka muodostaa toisen elektrodin 9. Tämä on mieluiten tehty vähän hapettuvasta metallista kuten kullasta ja suhteellisen paksuksi kerrokseksi (yli 200 A) ja tehty vettä läpäiseväksi myöhemmällä käsittelyllä.

15 Kosteusmittari voi olla myös muodostunut yhdestä tai useista orgaanisesta aineesta tehdyistä yksimole-kulaarisista kerroksista 10, aineesta joka suojaa läpäisevää elektrodia syöpymiseltä, mutta nämä yksimole-kulaariset kerrokset eivät ole välttämättömiä.

20 Kuva 2 esittää keksinnön kohteena olevan menetel män toteuttamistavan. Lasialustalle 5 saostetaan esimerkiksi tyhjöhaihdutuksella alumiinikerros 2. Sitten laitetaan eristävä kappale kerroksen 2 viereen kohtaan 11 esimerkiksi piioksidista. Kuvan 2 esimerkissä yksi 25 elektrodin 2 kulmista on koverrettu niin, että eristä vä kappale 11 voidaan sijoittaa koloon ja kosketuksiin elektrodin 2 kanssa. Lisäksi kappale 11 on täsmälleen yhtä paksu kuin elektrodi 2, jotta eriste 6 voitaisiin asettaa tasaiselle alustalle, jonka muodostavat kappa-30 le 11 ja elektrodi 2. Tämän tehtävä paljastuu tämän ku vauksen kuluessa. Tässä valmistusvaiheessa alumiinikerros on käsitelty anodisella hapetuksella, jotta muodostuisi ohut alumiinioksidikerros 4.

Seuraavassa vaiheessa levitetään kerros vedelle 35 herkkää eristävää ainetta 6. Tässä tapauksessa, jossa 6 72393 käytetään polymeeriä (esim. selluloosa-asetobutyraa-tin), voidaan metallioksidoitu alusta upottaa polymee-riliuokseen ja liuottimeen ja sitten kuivata. Näin saadaan 1000-2000 A:n paksuinen kerros.

5 Tapauksessa, jossa eriste on muodostunut orgaani sista yksimolekulaarisista, nämä valmistetaan niin sanotulla "Langmuirin ja Blodgettin" menetelmällä, ja kerroksen paksuus on noin 500 A:n suuruusluokkaa. Sellaiset orgaaniset aineet kuin kalsiumstearaatti sopivat 10 hyvin tähän käyttöön. Kuitenkin näin saatu eriste ei tietysti ole vettä läpäisevä ja se täytyy tehdä läpäiseväksi erikoiskäsittelyllä, joka voi olla gammasäteil-lä tai elektroneilla säteilytys. Eräässä parhaista toteuttamismuodoista käytetään koboltti 60 lähteestä 15 peräisin olevia gammasäteitä. Absorboitunut annos on 40 Mradin luokkaa ja joka tapauksessa yli 20 Mradia, mikä annos absorboituu yli tunnin aikana.

Seuraavassa vaiheessa valmistetaan toinen elektrodi 9, joka voi olla 200 A:n paksuinen kultakerros, joka 20 on tehty kaikilla tunnetuilla tavoilla ja etenkin tyh- jömetalloinnilla. Paksuutensa vuoksi tämä kultakerros ei läpäise vettä. Keksinnön mukaisesti se tehdään läpäiseväksi käsittelemällä anturia lämpötilassa, joka on lähellä eristeen pehmenemislämpötilaa. Suurimmalla 25 osalla niistä aineista, joita käytetään eristekerroksen muodostamiseen, on pehmenemislämpötila 150-250°C eli lähellä niiden sulamislämpötilaa. Riittää kun kosteus-mittari pannaan muutamaksi minuutiksi tähän lämpötilaan normaalipaineessa, kondensaattori on ilman jännitettä, jol-30 loin saadaan aikaan eristeen rakenteen muutos, joka joh taa kultakerroksen pysyvään muodonmuutokseen. Tämä saa rakeisen rakenteen, jossa rakeiden koko on 0,1-5 pm ja i yleensä lähellä 1 pm. Nämä rakeet ja niiden huokoisuus näkyvät mikroskoopilla (valo- tai elektronimikroskoopilla) 35 ja ne osoittavat, että kosteusmittari on valmistettu kek sinnön mukaisella menetelmällä.

tl 7 72393

Tarvittaessa toinen elektrodi suojataan sitten kerroksella, joka on useina orgaanisesta aineesta valmistettuina yksimolekulaarisinä kerroksina, jotka on tehty Langmuirin ja Blodgettin menetelmällä.

5 Lopuksi anturi tehdään valmiiksi tuottamalla säh köinen kontakti elektrodeihin 3 ja 9. Kuvassa 2 näkyy, että eristekerros 6 ei peitä kokonaan elektrodia 4, jol-lon ensimmäinen johto 12 voidaan hitsata suoraan elektrodin 4 paljaaseen osaan puhkaisemalla pinnalla oleva 10 oksidikerros. Mitä läpäisevään elektrodiin 9 tulee, se ulottuu kerroksen 6 päällä yhtaikaa ensimmäiseen elektrodiin 4 ja eristävään kappaleeseen 11. Juuri tämä elektrodi 9 joka sijaitsee kappaleen 11 päällä, hitsataan toiseen sähköjohtoon 13.

15 Voidaan myös käyttää muita menetelmiä sähköjohto jen valmistamiseksi. Siinä tapauksessa, että ensimmäinen elektrodi on lasilevylle tehty metallikerros ja jossa eriste on alhaisen sulamispisteen omaava polymeeri (su-lamislämpötila on alle 250°C), johdot voidaan hitsata 20 polymeerin läpi. Näin eristekerros 6 voi peittää kokonaan ensimmäisen elektrodin 3, koska polymeeri sulaa, kun ensimmäinen johto 12 hitsataan ja toinen johto 13 voidaan hitsata toiseen elektrodiin 9 ja se ulottuu eristävään kappaleeseen 11. Jos käytetään polymeeriä, jonka 25 sulamispiste on korkea, (sulamislämpötila on yli 300°C) toinen johto 13 juotetaan elektrodiin 9, kuten on näytetty kuvassa 2, mutta polymeeri täytyy poistaa esim. kaivertamalla ennen ensimmäisen johdon 12 hitsaamista.

Jos ensimmäisenä elektrodina käytetään piialus-30 taa, ensimmäinen johto yhdistetään suoraan johdinalus-taan hitsaamatta. Tässä tapauksessa, jos polymeerillä on korkea sulamispiste, voidaan eristävä kappale 11 jättää pois ja hitsata toinen johto ylempään elektrodiin 9. Jos polymeerillä on alhainen sulamispiste, toi-35 nen johto juotetaan läpäisevään elektrodiin ja se ulottuu eristävään kappaleeseen.

Piialustaa käytettäessä säästytään yhden johdon 3 72393 hitsaamiselta ja laitteen valmistaminen yksinkertaistuu. Sen avulla on myös mahdollista kosteusmittarin koon tehokkaampi pienentäminen.

Kuva 3 esittää laitetta, jonka avulla voidaan 5 valmistaa useampia kosteusmittareita käyttämällä lähtökohtana osaa 15, joka leikataan nuolten mukaan. Ensimmäinen elektrodi tehdään kuin osa 15 muodostaisi vain yhden anturin, mutta eristävä kappale 11 sijoitetaan keskelle osaa 15 niin, että se ylettyy jokaiseen anturiin, joka 10 saadaan leikkaamalla (neljään osaan tässä kuvatussa esimerkissä) . Elektrodilla 9 on osat 9a, jotka ylettyvät yli suurimman osan kappaleesta 11 ja osat 9b, jotka vastaavat kutakin kosteusmittaria.

Kuva 4 esittää menetelmää, jonka avulla voidaan 15 valmistaa suuri määrä antureita käyttämällä lähtökohtana alustaa 16, johon valmistetaan useita osia kuten osa 15, joka on kuvattu kuvassa 3.

Keksinnön mukaisella menetelmällä on useita etuja. Ensinnäkin se, että toinen elektrodi on muodostunut 20 paksusta metallikerroksesta, joka on tehty vettä läpäiseväksi sopivalla käsittelyllä, poistaa kaikki ohuen elektrodin haitat, jolloin valmistustapa helpottuu ja elektrodi on vähemmän herkkä saastumiselle, mikä taas pidentää anturin käyttöikää. Toisaalta kun toisen elekt-25 rodin päällä on oksidikerros, joka muodostaa toisen eristeen yhdessä vedelle herkän eristävän aineen kanssa, vältytään elektrodien välisiltä oikosuluilta, tällöin on mahdollista käyttää hyvin ohutta kerrosta tätä vedelle herkkää ainesta ja saada tälle kokoonpanolle suuri omi-30 naiskapasitanssi, jolloin on hyvät keinot mitata di-elektrisyysvakio. Lopuksi ohut eriste tekee anturin vasteen hyvin nopeaksi: standardoidussa kokeessa (63 % maksimaalinen laajuus 100 % kosteudelle) saadaan alle 0,5 sekunnin vasteaika, mikä nykyisillä klassisilla 35 kosteusmittareilla on useiden sekuntien luokkaa.

Il 9 72393

On selvää, että keksintö ei rajoitu yksin esimerkkeihin, jotka juuri mainittiin, vaan että voidaan suunnitella muunnelmia, jotka sopivat keksintöön. Näin siis voidaan valmistaa läpäisevä elektrodi kullasta tai 5 muusta vähän hapettuvasta metallista kuten kromista tai nikkelistä. Voidaan myös käyttää useita kerroksia edellä mainittuja eri metalleita.

Mitä sovellutuksiin tulee, ne eivät rajoitu ainoastaan ilman kosteusasteen mittaamiseen: keksinnön mu-10 kaisia antureita voidaan käyttää kaikkien suureitten mittaamiseen, joiden muutos aiheuttaa eristävän materiaalin dielektrisyysvakion muutoksen.

Claims (15)

1. Menetelmä ohuteristeisen, kapasitiivisen kosteus-mittarin valmistamiseksi, jolloin ensimmäisen elektrodin (3) 5 muodostavan johtavaa materiaalia olevan kerroksen päälle sovitetaan toinen kerros (6) eristävää materiaalia, jonka di-elektrisyysvakio muuttuu absorboidun vesimäärän mukaan, sitten tämän eristävän materiaalikerroksen päälle sovitetaan toinen metallikerros (8), joka muodostaa toisen elektrodin 10 (9), joka tehdään vettä läpäiseväksi, tunnettu siitä, että tämän toisen elektrodin (9) valmistamiseksi eristeker-roksen (6) päälle sovitetaan yksi yli 200 A:n paksuinen kerros (8) vähän hapettuvaa metallia, jota sitten lämpökäsitel-lään lämpötilassa, joka on lähellä eristekerroksen (6) muo-15 dostavan materiaalin pehmenemislämpötilaa, jotta se tulisi vettä läpäiseväksi.

2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että toisen elektrodin muodostavan kerroksen (8) muodostamiseen käytetään kultaa, nikkeliä tai kromia.

3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tun nettu siitä, että toisen elektrodin (9) muodostamiseksi käytetään useita eri metallikerroksia kultaa, nikkeliä tai kromia.

4. Jonkin patenttivaatimuksen 1-3 mukainen menetel-25 mä, tunnettu siitä, että ensimmäisen elektrodin (3) muodostavaa metallikerrosta hapetetaan, jotta saadaan oksidi-kerros tämän elektrodin pinnalle, jonka on oltava kosketuksissa eristeen (6) kanssa.

5. Jonkin patenttivaatimuksen 1-4 mukainen menetel-30 mä, tunnettu siitä, että ensimmäinen elektrodi (3) sovitetaan jäykän, eristävän alustan (5) päälle.

6. Patenttivaatimuksen 5 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että se käsittää seuraavat vaiheet: - jäykän alustan (5) päälle sovitetaan metallikerros (2), jo-35 ka muodostaa ensimmäisen elektrodin, ja tämän viereen eristävä kappale (11), joka on paksuudeltaan täsmälleen sama kuin metallikerros (2), II 11 72393 - eristemateriaali (6) sovitetaan yhtaikaa sekä ensimmäisen metallikerroksen (2) että eristävän kappaleen (11) päälle, - toinen metallikerros (8) sovitetaan eristekerroksen (6) päälle, ja 5. muodostetaan ensimmäinen ja toinen sähkökontakti (12, 13) ensimmäiseen (3) vastaavasti toiseen elektrodiin (9).

7. Patenttivaatimuksen 5 tai 6 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että eristekerroksen (6) muodostamiseen käytetään polymeeriä, jonka sulamispiste on yhtäsuuri 10 tai pienempi kuin 250°C.

8. Patenttivaatimuksen 7 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että toinen elektrodi (9) tehdään sellaisen muotoiseksi, että elektrodi ulottuu osittain eristävän kappaleen (11) päälle ja peittää vain osittain ensimmäisen 15 elektrodin (3), jolloin toinen sähkökontakti (13) on saatu aikaan hitsaamalla toiseen elektrodin (9) ja kontakti ulottuu eristävään kappaleeseen (11) polymeerin läpi, kun taas ensimmäinen sähkökontakti on saatu aikaan hitsaamalla ensimmäiseen elektrodiin myös polymeerin lävitse.

9. Patenttivaatimuksen 5 tai 6 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että eristekerroksen (6) muodostamiseksi käytetään polymeeriä, jonka sulamispiste on yhtäsuuri tai suurempi kuin 300°C.

10. Patenttivaatimuksen 9 mukainen menetelmä, t u n - 25. e t t u siitä, että toinen elektrodi (9) tehdään sellaisen muotoiseksi, että elektrodi ulottuu osittain eristävän kappaleen (11) päälle ja peittää vain osittain ensimmäisen eleketrodin (3), jolloin toinen sähkökontakti (13) on hitsattu metalliin, joka muodostaa toisen elektrodin (9) ja 30 ensimmäinen sähkökontakti (12) on hitsattu ensimmäisen elektrodiin (3) polymeerin uurtamisen jälkeen.

10 72393

11. Jonkin patenttivaatimuksen 1-10 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että eristekerroksen (6) muodostamiseksi käytetään polymeeriä, joka kykenee verkkoutumaan 35 lämmön tai ultraviolettisäteilyn vaikutuksesta.

12. Patenttivaatimuksen 11 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että eristemateriaali on seiluloosa-aseto- 72393 krotonaatti tai selluloosa-asetobutyrokrotonaatti.

13. Jonkin patenttivaatimuksen 1-8 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että neljä kosteusmittaria valmistetaan yhdestä ainoasta elementistä, joka leikataan sen 5 jälkeen, kun on sovitettu metallikerros (8), joka muodostaa toisen elektrodin siten, että kerros ylettyy yhtaikaa näiden neljän kosteusmittarin yli, jotka leikataan elementistä (15).

14. Patenttivaatimuksen 13 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että valmistetaan suuri määrä kosteusmitta- 10 reita yhdestä ainoasta alustasta, joka leikataan niin, että saadaan patenttivaatimuksen 13 mukaisia elementtejä.

15. Jonkin patenttivaatimuksen 1-14 mukaisesti valmistettu kosteusmittari, tunnettu siitä, että toisella elektrodilla (9) on rakeinen struktuuri, jonka rakeiden 15 koko on 0,1 - 5 ^um. Il 13 72393