JP6624928B2 - 多孔質電極の製造方法 - Google Patents
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Description
前記エッチング処理で除去されない電極材料と、
少なくとも前記低融点金属が凝集して微粒子化する凝集温度で加熱される被加熱基材と、
を用いて作製される多孔質電極の製造方法であって、
前記凝集温度で加熱した前記被加熱基材の表面に前記低融点金属を物理蒸着させ、
前記被加熱基材を常温に戻した状態で前記電極材料を物理蒸着により形成し、
前記低融点金属と前記電極材料とが共に蒸着された前記被加熱基材をエッチング処理して前記低融点金属のみを除去して得られることを特徴とする、多孔質電極の製造方法である。
図1に示すように、湿度センサ1は、セラミックスやガラスからなる基板2上に、下部電極3と、上部電極4と、感湿性高分子膜5とを備えて構成される。
なお、基板2、下部電極3及び感湿性高分子膜5は、工程1における物理蒸着の際に、低融点金属LMを凝集して微粒子化させるために加熱される「被加熱基材」として機能する。また、図2に示す各図では、低融点金属LMの粒径、電極材料EMや感湿性高分子膜5の膜厚等をデフォルメした状態で表現している。
まず、少なくとも低融点金属LMが凝集して微粒子化し、且つ感湿性高分子膜5が変質しない程度の温度(以下、「凝集温度」という)に被加熱基材を加熱し、この被加熱基材の表面(ここでは、感湿性高分子膜5の表面)に物理蒸着法(被加熱基材を凝集温度まで加熱しながら蒸着する方法であれば特に限定されない)により低融点金属LMを成膜する。
次に、基板2の加熱を止め、常温(20℃±15℃の範囲)に戻した後、次工程のエッチング処理によって除去(エッチング)されない金属を、スパッタリング法のようなPVD(Physical Vapor Deposition )によって低融点金属LMが蒸着された被加熱基材の表面(感湿性高分子膜5の表面)に蒸着させる。
そして、工程1で蒸着した低融点金属LMのみをエッチング処理によって除去することで貫通孔が無数に形成された多孔質な上部電極4が作製される。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば以下に示すように使用環境等に応じて適宜変更して実施することもできる。また、以下の変更例を本発明の要旨を逸脱しない範囲の中で任意に組み合わせて実施することもできる。
2…基板
3…下部電極(請求項における第2の電極)
4…上部電極(本発明に係る多孔質電極であり、請求項における第1の電極)
5…感湿性高分子膜
6…リード線
7…演算部
LM…低融点金属
EM…電極材料
Claims (1)
- 少なくとも鉛よりも融点が低く、且つエッチング処理で除去される低融点金属と、
前記エッチング処理で除去されない電極材料と、
少なくとも前記低融点金属が凝集して微粒子化する凝集温度で加熱される被加熱基材と、
を用いて作製される多孔質電極の製造方法であって、
前記凝集温度で加熱した前記被加熱基材の表面に前記低融点金属を物理蒸着させ、
前記被加熱基材を常温に戻した状態で前記電極材料を物理蒸着により形成し、
前記低融点金属と前記電極材料とが共に蒸着された前記被加熱基材をエッチング処理して前記低融点金属のみを除去して得られることを特徴とする多孔質電極の製造方法。
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