JPH04110971U - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
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- JPH04110971U JPH04110971U JP2172591U JP2172591U JPH04110971U JP H04110971 U JPH04110971 U JP H04110971U JP 2172591 U JP2172591 U JP 2172591U JP 2172591 U JP2172591 U JP 2172591U JP H04110971 U JPH04110971 U JP H04110971U
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- sensitive layer
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- humidity sensor
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- Pending
Links
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸湿性を低下させることなく、しかも、薄い
高分子感湿層を用いているにも拘らず短絡などの欠陥が
なく、生産性のよい、静電容量の大きな湿度センサを提
供する。 【構成】 電極２，５間に高分子感湿層４を設け、電極
間２，５の静電容量から湿度を測定する湿度センサにお
いて、少なくとも一方の電極２と高分子感湿層４との間
に、例えばシリコン酸化層などの親水性層３を設ける。
高分子感湿層を用いているにも拘らず短絡などの欠陥が
なく、生産性のよい、静電容量の大きな湿度センサを提
供する。 【構成】 電極２，５間に高分子感湿層４を設け、電極
間２，５の静電容量から湿度を測定する湿度センサにお
いて、少なくとも一方の電極２と高分子感湿層４との間
に、例えばシリコン酸化層などの親水性層３を設ける。
Description
【０００１】
本考案は、電極間に高分子感湿層を設け、電極間に働く静電容量で湿度を測定
する湿度センサに関するものである。
【０００２】
従来、この種の湿度センサは、ガラスやアルミナなどの絶縁基板上に下部電極
を設け、その上に高分子感湿層を設け、更に、その上に上部電極を設けた積層型
のものであるが、センサの応答性、吸湿時の上記高分子感湿層の膨潤などを考慮
すると、上記高分子感湿層は、できるだけ、薄いほうがよく、この方が、静電容
量も、大きくできる利点がある。
しかし、上述のように、高分子感湿層を薄く構成すると、電極金属の撥水性が
原因とみられる微小ピンホールなどの局部的欠陥で、電極間が短絡する欠陥品の
発生確率が大きくなり、製品の歩留りを悪くするという欠点がある。
【０００３】
そこで、従来、たとえば上記高分子感湿層と電極の間に、薄いタンタル酸化膜
などの絶縁層を設けて、上記のような短絡を防止したものがあるが、この場合は
、上記絶縁層は緻密で感湿性がないため、センサ全体としての静電容量は小さく
なり、感湿性能が低下する。つまり、感湿層の容量と絶縁層の容量が直列になる
ため、相対湿度変化による容量変化分が少なくなる。
【０００４】
本考案は上記事情に基いてなされたもので、感湿性を低下させることなく、し
かも、薄い高分子感湿層を用いているにも拘らず短絡などの欠陥がなく、生産性
のよい、静電容量の大きな湿度センサを提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
このため、本考案では、図示の実施例にも明らかにしているように、電極２，
５間に高分子感湿層４を設け、電極間２，５の静電容量から湿度を測定する湿度
センサにおいて、少なくとも一方の電極２と上記高分子感湿層４との間に、例え
ばシリコン酸化層等の親水性層３を設けている。
【０００６】
従って、この高分子感湿層４と一方の電極との間に親水性層３を設けたことに
より、ピンホールの発生を抑えることができ、各電極間の電気的な短絡が阻止さ
れる。
【０００７】
以下、本考案を図示の実施例に基いて具体的に説明する。
図において、基板１は本考案に係る湿度センサが載置されるガラスやアルミナ
などより形成された絶縁性の基板であり、その上部には下部電極２が設けられて
いる。
この基板１上には、下部電極２を被覆する緻密でない親水性層３が設けられて
いる。この親水性層３は、薄いシリコン酸化（ＳｉＯ）層などより構成されてい
る。
【０００８】
そして、これら基板１及び下部電極２，親水性層３の全体を包囲するようにし
て、高分子感湿層４が設けられている。この高分子感湿層４はセルロースなどの
吸湿性を有する材質からなり、成形方法としては、下部電極２と親水性層３が設
けられた基板１をセルロース溶液に浸し漬けることでえるようになっている。
【０００９】
また、上記電極２と対向し、上記高分子感湿層４には上部電極５が設けられて
いる。
さらに、これら全体を包囲し、被覆するようにして、Ｓｉ−Ｏ結合を含む高分
子であるシリコーン層のような水分透過性保護膜６が形成されている。このシリ
コーン層のような水分透過性保護膜６は、各電極の保護膜であり、機械的衝撃に
対する保護層として形成されている。
【００１０】
このような構成では、親水性層３に感湿層４がよくなじんで製膜され、高分子
感湿層４に局部的なピンホールが発生することなく、電気的な短絡を阻止できる
。しかも、その親水性層３は絶縁皮膜でないので、センサ全体としての所要の吸
湿性を確保し、しかも、高分子感湿層４を薄く構成できることで、必要な大きさ
の静電容量を確保できる。
【００１１】
本考案は、以上詳述したように、電極間に高分子感湿層を設け、電極間の静電
容量から湿度を測定する湿度センサにおいて、少なくとも一方の電極と上記高分
子感湿層との間に、親水性層を設けたので、吸湿性を低下させることなく、しか
も、薄い高分子感湿層を用いているにも拘らず短絡などの欠陥がなく、生産性の
よい、静電容量の大きな感度の良好な湿度センサを提供することができる。
【図１】本考案の一実施例を説明するための縦断側面図
である。
である。
１…基板 ２…下部電極
３…親水性層 ４…高分子感湿層
５…上部電極 ６…水分透過性保護膜
Claims (2)
- 【請求項１】 電極間に高分子感湿層を設け、電極間の
静電容量から湿度を測定する湿度センサにおいて、少な
くとも一方の電極と上記高分子感湿層との間に、親水性
層を設けたことを特徴とする湿度センサ。 - 【請求項２】 上記親水性層は、シリコン酸化層より構
成されていることを特徴とする請求項１に記載の湿度セ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2172591U JPH04110971U (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2172591U JPH04110971U (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04110971U true JPH04110971U (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=31907419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2172591U Pending JPH04110971U (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04110971U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018128428A (ja) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | 新日本無線株式会社 | 静電容量型湿度センサ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57141546A (en) * | 1981-01-19 | 1982-09-01 | Commissariat Energie Atomique | Method of manufacturing capacitive hygrometer having thin dielectric and hygrometer obtained thereby |
-
1991
- 1991-03-13 JP JP2172591U patent/JPH04110971U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57141546A (en) * | 1981-01-19 | 1982-09-01 | Commissariat Energie Atomique | Method of manufacturing capacitive hygrometer having thin dielectric and hygrometer obtained thereby |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018128428A (ja) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | 新日本無線株式会社 | 静電容量型湿度センサ |
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