FI72393B - Foerfarande foer framstaellning av en tunt isolerad kapacitiv hygrometer och enligt detta foerfarande framstaelld hygrometer - Google Patents

Foerfarande foer framstaellning av en tunt isolerad kapacitiv hygrometer och enligt detta foerfarande framstaelld hygrometer Download PDF

Info

Publication number
FI72393B
FI72393B FI820142A FI820142A FI72393B FI 72393 B FI72393 B FI 72393B FI 820142 A FI820142 A FI 820142A FI 820142 A FI820142 A FI 820142A FI 72393 B FI72393 B FI 72393B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
electrode
layer
insulating
polymer
hygrometer
Prior art date
Application number
FI820142A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI820142L (fi
FI72393C (sv
Inventor
Andre Lorin
Andre Rosilio
Jean Tanguy
Original Assignee
Commissariat Energie Atomique
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat Energie Atomique filed Critical Commissariat Energie Atomique
Publication of FI820142L publication Critical patent/FI820142L/fi
Publication of FI72393B publication Critical patent/FI72393B/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI72393C publication Critical patent/FI72393C/sv

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
    • G01N27/225—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity by using hygroscopic materials

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Claims (15)

1. Förfarande för framställning av en kapacitiv hygrometer med ett tunnt dielektrikum, varvid pä ett skikt, vilket utgörs av ett ledande material och vilket 5 bildar en första elektrod (3) anordnas ett andra skikt (6) av ett dielektriskt material, vars dielektricitets-konstant förändras med den absorberande vattenmängden, sedan anordnas pä detta dielektriska materialskikt ett andra metallskikt (8), vilket bildar en andra elektrod 10 (9), vilken görs vattengenomsläppande, känn e t e c k - n a t därav, att för framställning av denna andra elektrod (9) anordnas pä det dielektriska skiktet (6), ett över 200 Ä tjockt skikt (8) av en ringa oxiderbar metall, vilket sedan värmebehandlas vid en temperatur närä mjuk- 15 ningstemperaturen för det dielektriska skiktet (6) bil-dande materialet för att det skulle bli vattengenom-s.läppande.
2. Förfarande enligt patentkravet 1, känne-t e c k n a t därav, att för bildande av det skikt (8), 20 vilket bildar den andra elektroden, används guld, nickel eller krom.
3. Förfarande enligt patentkravet 1, känne-t e c k n a t därav, att för bildande av den andra elektroden (9) används flera olika metallskikt av guld, 25 nickel eller krom.
4. Förfarande enligt nägot av patentkraven 1-3, kännetecknat därav, att det metallskikt som bildar den första elektroden (3) oxideras för erhällande av ett oxidskikt pä den här elektrodens yta, vilken mäste 30 vara i kontakt med dielektrikumet (6).
5. Förfarande enligt nägot av patentkraven 1-4, kännetecnat därav, att den första elektroden (3) anordnas pä ett styvt, isolerande underlag (5).
6. Förfarande enligt patentkravet 5, känne- 35 tecknat därav, att det omfattar följande steg: - pä det styva underlaget (5) anordnas ett metallskikt (2), vilket bildar den första elektroden, och bredvid 14 7239 3 denna ett isolerande block (11) med exakt samma tjocklek som metallskiktet (2), - det dielektriska materialet (6) anordnas samtidigt säväl pä det första metallskiktet (2) som pä det isolerande 5 blocket (11), - det andra metallskiktet (8) anordnas pä det dielektriska skiktet (6), och - en första och andra elkontakt (12, 13) med den första (3) respektive andra elektroden (9) förverkligas. 10
7. Förfarande enligt patentkravet 5 eller 6, k ä n - netecknat därav, att till bildande av det dielektriska skiktet (6) används en polymer med en smältpunkt lika med eller mindre än 250°C.
8. Förfarande enligt patentkravet 7, kanne- 15 tecknat därav, att den andra elektroden (9) ges en sadan form, att elekroden sträcker sig delvis pä det isolerande blocket (11) och täcker endast delvis den första elektroden (3), varvid den andra elkontankten astadkommits genom svetsning till den andra elektroden och kontakten sträcker 20 sig till det isolerande blocket (11) genom polymeren, medan den första elkontakten astadkommits genom svetsning till den första elektroden ocksi genom polymeren.
9. Förfarande enligt patentkravet 5 eller 6, k ä n -netecknat därav, att för bildande av det dielektris- 25 ka skiktet (6) används en polymer med en smältpunkt lika med eller större än 300°C.
10. Förfarande enligt patentkravet 9, k ä n netecknat därav, att den andra elektroden (9) ges en sadan form, att elektroden sträcker sig delvis pä det iso- 30 lerande blocket (11) och täcker endast delvis den första elektroden (3), varvid den andra elkontakten (13) är svetsad till den metall, vilken bildar den andra elektroden (9) och den första elkontakten (12) har blivit svetsad till den första elektroden (3) efter det att polymeren har blivit 35 inristad.
11. Förfarande enligt nägot av patentkraven 1-10, känne tecknad därav, att för bildande av det di- II
FI820142A 1981-01-19 1982-01-18 Förfarande för framställning av en tunt isolerad kapacitiv hygrometer och enligt detta förfarande framställd hygrometer. FI72393C (sv)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8100890 1981-01-19
FR8100890A FR2498329A1 (fr) 1981-01-19 1981-01-19 Hygrometre capacitif a dielectrique mince et son procede de fabrication

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI820142L FI820142L (fi) 1982-07-20
FI72393B true FI72393B (fi) 1987-01-30
FI72393C FI72393C (sv) 1987-05-11

Family

ID=9254283

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI820142A FI72393C (sv) 1981-01-19 1982-01-18 Förfarande för framställning av en tunt isolerad kapacitiv hygrometer och enligt detta förfarande framställd hygrometer.

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4482581A (sv)
EP (1) EP0058102B1 (sv)
JP (1) JPS57141546A (sv)
CA (1) CA1195011A (sv)
DE (1) DE3268194D1 (sv)
FI (1) FI72393C (sv)
FR (1) FR2498329A1 (sv)

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5932857A (ja) * 1982-08-17 1984-02-22 Murata Mfg Co Ltd 湿度センサ
GB2136130B (en) * 1983-02-28 1987-02-11 Theodore Henry Krueger Chemical assay systems and methods
DE3313150C1 (de) * 1983-04-12 1984-10-04 Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7867 Maulburg Duennschicht-Feuchtsensor zur Messung der absoluten Feuchte und Verfahren zu seiner Herstellung
JPS60168044A (ja) * 1984-02-10 1985-08-31 Sharp Corp 感湿素子
JPS60188835A (ja) * 1984-03-08 1985-09-26 Sharp Corp 感湿素子
DE3413135A1 (de) * 1984-04-06 1985-10-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Messsonde zur erfassung qualitativer aenderungen von fluessigkeiten
US5269175A (en) * 1984-04-06 1993-12-14 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. Sensor for investigating liquids
JPS6157847A (ja) * 1984-08-29 1986-03-24 Sharp Corp 電界効果型湿度センサ
US4662220A (en) * 1985-06-20 1987-05-05 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Water-absorbing capacitor system for measuring relative humidity
US4795968A (en) * 1986-06-30 1989-01-03 Sri International Gas detection method and apparatus using chemisorption and/or physisorption
US4894785A (en) * 1987-09-18 1990-01-16 Fernandes Roosevelt A High voltage conductor mounted line powered monitoring system
US4892709A (en) * 1987-10-02 1990-01-09 Sri International Microdevice for gas and vapor sensing
US4909070A (en) * 1987-10-12 1990-03-20 Smith Jeffery B Moisture sensor
JPH02150754A (ja) * 1988-11-30 1990-06-11 Toshiba Corp 感応素子の製造方法
FI84862C (sv) * 1989-08-11 1992-01-27 Vaisala Oy Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och förfarande för framställning därav
DE3938026A1 (de) * 1989-11-13 1991-05-16 Schoettler Lunos Lueftung Entlueftungsgeraet, insbesondere fuer innenliegende sanitaerraeume
JPH0758270B2 (ja) * 1989-11-27 1995-06-21 山武ハネウエル株式会社 感湿素子の製造方法
JP2753654B2 (ja) * 1990-11-19 1998-05-20 理化工業株式会社 感湿素子
JPH04110971U (ja) * 1991-03-13 1992-09-25 株式会社チノー 湿度センサ
US5273779A (en) * 1991-12-09 1993-12-28 Industrial Technology Research Institute Method of fabricating a gas sensor and the product fabricated thereby
FI96640C (sv) * 1993-08-23 1996-07-25 Vaisala Oy Förfarande för mätning av den relativa fuktigheten, speciellt i radiosonder
US5533393A (en) * 1995-01-13 1996-07-09 Honeywell Inc. Determination of dew point or absolute humidity
ES2219788T3 (es) * 1997-12-31 2004-12-01 Societe D'applications Electroniques Pour La Physique, La Science Et L'industrie Captador capacitativo de la medicion de la humedad y procedimiento de fabricacion de estos captadores.
US20110301569A1 (en) 2001-01-20 2011-12-08 Gordon Wayne Dyer Methods and apparatus for the CVCS
EP1262767B1 (en) * 2001-05-31 2011-02-16 Ngk Spark Plug Co., Ltd Humidity sensor
PL3162952T3 (pl) 2015-10-26 2019-09-30 Electrolux Appliances Aktiebolag Urządzenie do materiałów pranych z funkcją wykrywania pojemnościowego stopnia suszenia materiałów pranych
JP6624928B2 (ja) * 2015-12-25 2019-12-25 株式会社チノー 多孔質電極の製造方法
PL3562991T3 (pl) * 2016-12-28 2022-01-03 Electrolux Appliances Aktiebolag Urządzenie do prania zawierające czujnik wilgotności
AU2016434982B2 (en) 2016-12-28 2023-09-28 Electrolux Appliances Aktiebolag Appliance with reliable information of a drying cycle
AU2018412044A1 (en) * 2018-03-07 2020-08-20 Electrolux Appliances Aktiebolag Appliance with capacitive humidity sensor

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1480606A (fr) * 1965-05-20 1967-05-12 Johnson Service Co élément sensible à l'humidité
US3350941A (en) * 1965-05-20 1967-11-07 Johnson Service Co Humidity sensing element
US3802268A (en) * 1971-05-06 1974-04-09 Johnson Service Co Capacitance humidity sensing element
FI48229C (sv) * 1972-10-12 1974-07-10 Vaisala Oy Kapacitiv fuktighetsgivare och framställningsförfarande för densamma.
FR2339169A1 (fr) * 1976-01-23 1977-08-19 Commissariat Energie Atomique Hygrometre a couches monomoleculaires
US4203087A (en) * 1977-01-31 1980-05-13 Panametrics, Inc. Absolute humidity sensors and methods of manufacturing humidity sensors
US4273636A (en) * 1977-05-26 1981-06-16 Kiyoo Shimada Selective chemical sensitive field effect transistor transducers
JPS54156690A (en) * 1978-05-31 1979-12-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Humidity sensing element
DE2848034A1 (de) * 1978-11-06 1980-05-14 Siemens Ag Kapazitiver feuchtefuehler
GB2043908A (en) * 1979-03-09 1980-10-08 Moisture Control & Mesurement Humidity Sensor Element
DE2938434C2 (de) * 1979-09-22 1981-07-09 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Kapazitiver Feuchtigkeitsfühler und Verfahren zur Herstellung des Fühlers

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0227620B2 (sv) 1990-06-19
FR2498329A1 (fr) 1982-07-23
US4482581A (en) 1984-11-13
DE3268194D1 (en) 1986-02-13
EP0058102A1 (fr) 1982-08-18
FR2498329B1 (sv) 1985-05-17
FI820142L (fi) 1982-07-20
FI72393C (sv) 1987-05-11
JPS57141546A (en) 1982-09-01
CA1195011A (fr) 1985-10-08
EP0058102B1 (fr) 1986-01-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI72393C (sv) Förfarande för framställning av en tunt isolerad kapacitiv hygrometer och enligt detta förfarande framställd hygrometer.
US4164868A (en) Capacitive humidity transducer
US3987676A (en) Relative humidity detector
US4305112A (en) Capacitance humidity sensing element
US5400489A (en) Method of stabilizing the surface properties of objects to be thermally treated in a vacuum
US4532016A (en) Capacitive hygrometer and its production process
JP2938531B2 (ja) 容量性湿度センサの製造方法
KR100351810B1 (ko) 절대습도센서
US8220988B2 (en) Sensor device
GB2149922A (en) Capacitive moisture sensor and process for producing same
US4343688A (en) Method of making humidity sensors
US20090008635A1 (en) Columnar electric device and production method thereof
GB2159956A (en) Moisture sensors and method of producing the same
US4515653A (en) Method for production of a moisture sensor
US4393434A (en) Capacitance humidity sensor
US3683245A (en) Hermetic printed capacitor
EP0647833B1 (en) Capacitive humidity sensor, in particular for radiosonde operation, as well as a process for the manufacture of a detector
US3676754A (en) Thin-film temperature sensor and method of making same
GB2158073A (en) Moisture sensitive material
JPH02105512A (ja) 電解コンデンサ及びその製造方法
GB2043908A (en) Humidity Sensor Element
US4073052A (en) Method of making a reference electrode
RU2096777C1 (ru) Датчик влажности
FI113806B (sv) Fuktdetekteringselement och förfarande för framställning av detta
SU1188615A1 (ru) Способ изготовлени датчика влажности

Legal Events

Date Code Title Description
MM Patent lapsed

Owner name: COMMISSARIAT A L ENERGIE ATOMIQUE