FI110581B - Förfarande och anordning för lackering eller bestrykning av ett basskikt - Google Patents

Förfarande och anordning för lackering eller bestrykning av ett basskikt Download PDF

Info

Publication number
FI110581B
FI110581B FI972639A FI972639A FI110581B FI 110581 B FI110581 B FI 110581B FI 972639 A FI972639 A FI 972639A FI 972639 A FI972639 A FI 972639A FI 110581 B FI110581 B FI 110581B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
coating
container
substrate
liquid medium
capillary
Prior art date
Application number
FI972639A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI972639A (sv
FI972639A0 (sv
Inventor
Karl Appich
Manfred Stummer
Original Assignee
Steag Hamatech Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Steag Hamatech Ag filed Critical Steag Hamatech Ag
Publication of FI972639A publication Critical patent/FI972639A/sv
Publication of FI972639A0 publication Critical patent/FI972639A0/sv
Application granted granted Critical
Publication of FI110581B publication Critical patent/FI110581B/sv

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
    • B05C9/02—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material to surfaces by single means not covered by groups B05C1/00 - B05C7/00, whether or not also using other means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Claims (15)

1. Anordning för lackering eller bestrykning av ett substrat (29; 129) medelst en konstruktionsdel (12; 112) som uppvisar en kapillarspalt (13; 113), känneteck- 5. a d därav, att denna anordning omfattar en med lack eller bestrykningsvätska - som i det följande kallas flytande medium (11; 111) - fylld behallare (10; 110), i vilken konstruktionsdelen (12; 112) är anordnad pä sädant sätt, att kapillarspalten (13; 113) star i förbindelse med det flytande mediet 10 (11,111) i behällaren, varvid detta flytande medium kan inmatas i kapillarspalten (13;113), och medel (44; 144) för förflyttning av utloppsöppningen (40; 140) av kapillarspalten (13; 113) i höjdriktningen (16,28) i förhällande tili behällaren (10; 110). 15
2. Anordning enligt patentkravet 1, kännetecknad därav, att utloppsöppningen (40; 140) av kapillarspalten (13; 113) kan nedsänkas helt och hället i det flytande mediet (11; 111) genom den i höjdriktningen skeende förflyttningsrörelsen, : varvid rörelsen av konstruktionsdelen (12; 112) fördelaktigt sker som en vertikal : ·* 20 rörelse (16) av denna. * · ·
3. Anordning enligt patentkravet 1 eller 2, kännetecknad därav, att utlopp-söppningen (40; 140) av kapillarspalten (13; 113) kan placeras vid den undre sidan ' (50) av substratet (29; 129) genom den i höjdriktningen skeende förflyttningsrörelsen. 25 i * ’.;.f
4. Anordning enligt nägot av patentkraven 1—3, kännetecknad därav, att t · I » • f behällaren (10; 110) är utformad som en ränn- eller trägformad konstruktion. lit·· > · » • I .
5. Anordning enligt nägot av patentkraven 1—4, kännetecknad därav, att “ 30 en stängningsanordning (19; 119) avsedd för behällaren (10; 110) är i användning för il··· stängning av behällaren utifrän när anordningen (100) inte används, varvid stäng- 22 110581 ningsanordningen omfattar ett för behällaren (10; 110) avsett, i sidled förskjutbart övre stängningsorgan (19; 119).
6. Anordning enligt nägot av de föregäende patentkraven, kännetecknad 5 därav, att i behällaren (10; 110) är anordnat ett överrinningsrör (32; 132) för hällande av päfyllningsnivän (24; 124) av det flytande mediet (11; 111) i behällaren (10; 110) pä konstant nivä.
7. Anordning enligt nägot av de föregäende patentkraven, kännetecknad 10 därav, att en pump (34; 134) är i användning för matning av det för bestrykningen avsedda flytande mediet (11; 111) frän en lagerbehällare (33; 133) tili hälrummet (10a; 110a) av behällaren (10; 110).
8. Anordning enligt nägot av de föregäende patentkraven, kännetecknad 15 därav, att en filtreringsanordning (35; 135) och en pump (34; 134) är i användning för filtrering av det flytande mediet (11; 111) i behällaren (10; 110) i samband med cirku-lationsströmningen, varvid filtreringen fördelaktigt avbryts under bestryknings- eller lackeringsoperationen. I · · • · • · > * · 4 · · : ♦* 20
9. Anordning enligt nägot av de föregäende patentkraven, kännetecknad • i · ·:·* därav, att medel (25; 125) är i användning för snabb sänkning av nivän (24; 124) av • · · ; '· det flytande mediet i behällaren i synnerhet i slutet av lackerings- eller bestryk- ningsoperationen, varvid i det flytande mediet (11;111) i behällaren (10; 110) är ' anordnad en särskilt som en bälg utformad konstruktionsdel (25; 125), vars volym 25 kan förändras särskilt pä sädant sätt, att volymen av bälgen (25; 125) kan ändras genom förmedling av en linjär drivanordning (60; 160).
’ 10. Anordning enligt nägot av de föregäende patentkraven, kännetecknad . därav, att kapillarspalten (13; 113) av konstruktionsdelen (12; 112) i omrädet av sin : " 30 utloppsöppning (40; 140) är bildad med hjälp av tvä knivformiga delar (43,44; 143, ’ * 144), mellan vilka kapillarspalten (13; 113) sträcker sig, varvid storleken av en öppning (119’) vid den övre sidan av behällaren (12; 112) är anpassad enligt dimen- 23 110581 sionerna av de knivformiga delarna (143,144) för att omsluta dessa pä ett litet av-ständ, och varvid de knivformiga delarna (43,44; 143,144) i omrädet av utloppsöpp-ningen (40; 140) fördelaktigt uppvisar en horisontal yta (177 resp. 178), vars bredd (d2 resp. d3) tili storleken är 0,1...0,5 mm och lämpligast 0,2 mm. 5
11. Anordning för lackering eller bestrykning av ett substrat (129), känne-t e c k n a d därav, att denna anordning omfattar en konstruktionsdel (112) som in-nehäller en kapillarspalt (113) och en med flytande medium (111) fylld behällare (110), i vilken nämnda konstruktionsdel (112) är anordnad pä sädant sätt, att 10 kapillarspalten (113) stär i förbindelse med det flytande mediet (11) i behällaren, och att detta medium kan inmatas i kapillarspalten (113), och tili konstruktionsdelen (112) anslutna knivformiga delar (143,144), som mellan sig bildar kapillarspalten (113) i omrädet av utloppsöppningen (140) av denna.
12. Anordning enligt patentkravet 11, kännetecknad därav, att de kniv formiga delarna (143,144) uppvisar i omrädet av utloppsöppningen (140) en vägrät yta (177 resp. 178), vars bredd (d2 resp. d3) tili storleken är 0,1...0,5 mm och lämpligast cirka 0,2 mm. : ·' 20
13. Förfarande för lackering eller bestrykning av ett substrat med ett flytande • · ; · j medium, kännetecknat därav, att detta förfarande omfattar följande steg: ledande av det flytande mediet genom en kapillarspalt frän en behällare, som inehäller detta medium; 25 • : = , och snabbt sänkande av ytnivän av det flytande mediet i behällaren i slutet av • , lackerings- eller bestrykningsprocessen för avbrytande av lackerings- eller be- . strykningsoperationen. » · : 30
14. Förfarande för lackering eller bestrykning av ett substrat med ett genom en kapillarspalt lett flytande medium, kännetecknat därav, att detta förfarande omfattar följande steg: 110581 24 a) placerande av utloppsöppningen av kapillarspalten tätt mot den undre sidan av substratet i början av bestryknings- eller lackeringsoperationen, varvid det flytande mediet i utloppsöppningen kommer i kontakt med derma undre sida; 5 b) efter detta skeende förstorande av avständet mellan denna utloppsöppning och den undre sidan av substratet tili ett tillräckligt värde för lackeringen eller bestryk-ningen.
15. Förfarande enligt patentkravet 14, kännetecknat därav, att substratet 10 efter steget b) förs bort över utloppsöppningen av kapillarspalten eller tvärtom. f ♦ » · · < « · * · • · {
FI972639A 1994-12-22 1997-06-19 Förfarande och anordning för lackering eller bestrykning av ett basskikt FI110581B (sv)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4445985A DE4445985A1 (de) 1994-12-22 1994-12-22 Verfahren und Vorrichtung zur Belackung oder Beschichtung eines Substrats
DE4445985 1994-12-22
EP9500905 1995-03-11
PCT/EP1995/000905 WO1996019295A1 (de) 1994-12-22 1995-03-11 Verfahren und vorrichtung zur belackung oder beschichtung eines substrats
US54777995 1995-10-25
US08/547,779 US5654041A (en) 1994-12-22 1995-10-25 Method and device for lacquering or coating of a substrate by a capillary slot

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI972639A FI972639A (sv) 1997-06-19
FI972639A0 FI972639A0 (sv) 1997-06-19
FI110581B true FI110581B (sv) 2003-02-28

Family

ID=25943169

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI972639A FI110581B (sv) 1994-12-22 1997-06-19 Förfarande och anordning för lackering eller bestrykning av ett basskikt

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5654041A (sv)
JP (1) JP2878171B2 (sv)
CA (1) CA2148654C (sv)
DE (1) DE4445985A1 (sv)
FI (1) FI110581B (sv)
NO (1) NO972676D0 (sv)
WO (1) WO1996019295A1 (sv)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6529362B2 (en) 1997-03-06 2003-03-04 Applied Materials Inc. Monocrystalline ceramic electrostatic chuck
US5737178A (en) * 1997-03-06 1998-04-07 Applied Materials, Inc. Monocrystalline ceramic coating having integral bonding interconnects for electrostatic chucks
EP1010473B1 (de) * 1998-12-17 2006-07-12 Guardian Industries Corp. Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines ebenen Substrates
JP2001113214A (ja) * 1999-10-19 2001-04-24 Casio Comput Co Ltd 薄膜の形成方法、及び形成装置
JP2003173015A (ja) * 2001-09-28 2003-06-20 Hoya Corp グレートーンマスクの製造方法
JP4481688B2 (ja) * 2003-04-10 2010-06-16 Ｈｏｙａ株式会社 基板処理装置，塗布装置、塗布方法、及び、フォトマスクの製造方法
JP2005051220A (ja) * 2003-07-17 2005-02-24 Hoya Corp レジスト膜付基板の製造方法
US20050204334A1 (en) * 2004-03-15 2005-09-15 Ramco Systems Limited Component based software system
JP4169719B2 (ja) * 2004-03-30 2008-10-22 Ｈｏｙａ株式会社 レジスト膜付基板の製造方法
US7905194B2 (en) * 2006-06-23 2011-03-15 The Procter & Gamble Company Apparatus for gluing the tail of a convolutely wound web material thereto
JP2008168254A (ja) * 2007-01-15 2008-07-24 Hoya Corp 塗布方法及び塗布装置、並びにフォトマスクブランクの製造方法
JP5073375B2 (ja) * 2007-06-13 2012-11-14 Ｈｏｙａ株式会社 マスクブランクの製造方法及びフォトマスクの製造方法
KR101523093B1 (ko) * 2007-06-29 2015-05-26 호야 가부시키가이샤 마스크 블랭크의 제조 방법 및 도포 장치
JP5086708B2 (ja) * 2007-06-29 2012-11-28 Ｈｏｙａ株式会社 マスクブランクの製造方法及び塗布装置
JP2009010247A (ja) * 2007-06-29 2009-01-15 Hoya Corp マスクブランクの製造方法及び塗布装置
US8039052B2 (en) * 2007-09-06 2011-10-18 Intermolecular, Inc. Multi-region processing system and heads
US9333529B2 (en) * 2009-02-16 2016-05-10 Osaka University Device for producing particle film and method for producing particle film
DE102011081980B4 (de) * 2011-09-01 2023-07-06 Gebr. Schmid Gmbh & Co. Vorrichtung zum Benetzen von flachen Substraten und Anlage mit einer solchen Vorrichtung
KR20140069677A (ko) * 2012-11-29 2014-06-10 삼성디스플레이 주식회사 기판 프린팅 장치 및 기판 프린팅 방법
JP5401621B2 (ja) * 2013-03-15 2014-01-29 Ｈｏｙａ株式会社 塗布方法及び塗布装置、並びにフォトマスクブランクの製造方法
DE102014106404A1 (de) * 2014-05-07 2015-11-12 Khs Gmbh Füllvorrichtung
JP6272138B2 (ja) * 2014-05-22 2018-01-31 東京エレクトロン株式会社 塗布処理装置
US9827587B2 (en) 2014-08-28 2017-11-28 The Boeing Company Apparatuses and methods for applying viscous material to a fastener
US10201823B2 (en) * 2016-12-19 2019-02-12 Stephen Gliksman Paint sprayer attachment
CN109746157B (zh) * 2019-03-15 2023-09-15 杭州柏医健康科技有限公司 垂直方向自动涂膜机
CN110899045A (zh) * 2019-11-05 2020-03-24 湛江德利车辆部件有限公司 一种零件自动涂胶装置
CN112934610B (zh) * 2021-01-29 2022-10-25 重庆市九龙橡胶制品制造有限公司 轮胎用钢丝上胶结构
CN113893997B (zh) * 2021-09-26 2023-02-10 浙江航威专用设备有限公司 一种狭缝涂布头
CN114713433A (zh) * 2022-04-14 2022-07-08 胡云龙 一种聚氨酯漆包线生产系统

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2046596A (en) * 1932-01-13 1936-07-07 Patent Button Co Apparatus for uniformly coating flat surfaces
DE2204625A1 (de) * 1972-02-01 1973-08-09 Schildkroet Spielwaren Benetzungsvorrichtung
US4840821A (en) * 1985-05-27 1989-06-20 Canon Kabushiki Kaisha Method of and apparatus for forming film
US5203922A (en) * 1988-08-15 1993-04-20 Fuji Photo Film Co., Ltd. Application device
IT1241807B (it) * 1990-10-17 1994-02-01 Perini Navi Spa Apparecchiatura per incollare il lembo finale di rotoli di materiale nastriforme
DE4121792A1 (de) * 1991-07-02 1993-01-07 Kolbus Gmbh & Co Kg Duesenauftragssystem
DE4130432C2 (de) * 1991-09-13 1995-04-06 Kuesters Eduard Maschf Auftragselement für flüssiges, schaumförmiges oder pastenförmiges Auftragsmedium
US5455062A (en) * 1992-05-28 1995-10-03 Steag Microtech Gmbh Sternenfels Capillary device for lacquering or coating plates or disks
JP3220265B2 (ja) * 1992-12-28 2001-10-22 株式会社康井精機 塗工装置
SG52700A1 (en) * 1993-05-05 1998-09-28 Steag Micro Tech Gmbh Device for lacquering or coating of plates or disks
JP2798503B2 (ja) * 1993-05-27 1998-09-17 大日本印刷株式会社 液塗布方法および塗布装置

Also Published As

Publication number Publication date
FI972639A (sv) 1997-06-19
US5654041A (en) 1997-08-05
CA2148654A1 (en) 1996-06-23
CA2148654C (en) 2000-08-15
DE4445985A1 (de) 1996-06-27
NO972676L (no) 1997-06-11
FI972639A0 (sv) 1997-06-19
JPH08224528A (ja) 1996-09-03
NO972676D0 (no) 1997-06-11
JP2878171B2 (ja) 1999-04-05
WO1996019295A1 (de) 1996-06-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI110581B (sv) Förfarande och anordning för lackering eller bestrykning av ett basskikt
FI80151C (sv) Reagensbehållare och dispensör
CN1227071C (zh) 用催化剂涂覆基材的装置及方法
US7588631B2 (en) Vacuum deaerator
JPS58177179A (ja) ロ−ラもしくは平面帯状材料上に規定しうる液体量を一様に施こす装置
KR100209117B1 (ko) 기판 래커링 또는 코팅방법 및 장치
CN110267746A (zh) 涂敷装置和气泡去除方法
JP2016093909A (ja) 三次元造形装置
JPH06339656A (ja) 流体塗布装置
US11529656B2 (en) Probe wash station for analytical instrumentation
KR101923388B1 (ko) 약액 공급 성능이 향상된 기판 처리 장치
EP0353280A1 (en) Method and apparatus for coating internal cavities
JP3634579B2 (ja) 塗布装置及び塗布方法
JP5023565B2 (ja) 塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法および製造装置
JP2011156338A (ja) シリンジポンプ
JPH0532471A (ja) 施釉装置
KR200415118Y1 (ko) 자동 충전장치
KR101111082B1 (ko) 잉크 분사 유닛 및 이를 갖는 잉크젯 마킹 장치
JPH11244766A (ja) 液体吐出装置
JPH062251B2 (ja) 塗布調整装置
JP2001321709A (ja) 塗工装置及びその方法
JPH03212929A (ja) レジスト塗布装置
JPH0864521A (ja) 薄膜形成方法およびこの方法に用いられる装置
KR101787009B1 (ko) 기판 코팅장치
JPH03262503A (ja) 接着剤脱泡機

Legal Events

Date Code Title Description
MA Patent expired