ES2296822T3 - Un metodo para aumentar la vida util de un elemento calefactor de siliciuro de molibdeno. - Google Patents
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Abstract
Un método para aumentar la vida útil de elementos calefactores que comprende esencialmente siliciuro de molibdeno y aleaciones de este material básico, operando dichos elementos a temperaturas de 1200ºC o superiores en procesos de tratamiento de calor y apoyando sobre el piso y/o techo de un horno, caracterizado por disponer el elemento calefactor (3) en contacto directo de apoyo con material de ladrillo de óxido de aluminio (2, 6), y en donde dicho material se realiza de modo que contenga aluminio hasta una extensión suficiente para que mantenga una capa en lento desarrollo estable de óxido de aluminio sobre la superficie del elemento calefactor (3).
Description
Un método para aumentar la vida útil de un
elemento calefactor de siliciuro de molibdeno.
\global\parskip0.930000\baselineskip
El presente invento se refiere a un método para
aumentar la extensión útil de vida de elementos calefactores cuando
se calientan tratando cerámicas electrónicas. Estas cerámicas
pueden ser ferritas (cerámicas magnéticas) y titanatos (por ejemplo
BaTio_{3}).
Mas concretamente el invento se refiere a
alementos del tipo de siliciuro de molibdeno y siliciuro de
molibdeno tungsteno, incluyendo diferentes aleaciones de estos
materiales básicos. Estos elementos se fabrican por peticionarios
en una serie de diseños.
La WO 89/02647 se refiere a un elemento de
resistencia de alta temperatura, en donde parte del molibdeno en el
siliciuro de molibdeno se ha sustituido por tungsteno.
Las cerámicas electrónicas se utilizan
actualmente en una serie de aplicaciones en, por ejemplo, optrónics,
telefonía móvil y electrónicas de vehículo. Las cerámicas
electrónicas que tienen una estructura de perovskita con
propiedades dieléctricas, piezoeléctricas y ferroeléctricas, entre
otras. Ejemplos de estos materiales incluyen BaTiO_{3} y Pb (Zr,
Ti)O_{3}. Los componentes que se fabrican típicamente a
partir de estos materiales son resonadores, filtros y
condensadores. Los condensadores se producen en forma de los
llamados condensadores de capas múltiples (MLCC) por ejemplo. Las
cerámicas se ponen con frecuencia en contacto con un conductor
metálico, tal como níquel, en la etapa de tratamiento por calor.
Cuando se utilizan estos elementos calefactores
en la fabricación de las cerámicas llamadas electrónicas, los
elementos se sitúan con frecuencia sobre una superficie de soporte y
se calientan respectivamente desde el piso y techo de hornos de
sinterización continuos. Un diseño muy preferido de elementos
calefactores en estos hornos, por ejemplo hornos del tipo llamado
Riedhammer para hornos llamados de sinterización de ferrita son
llamados elementos meandro de 4 brazos que miden 6/12 mm en la zona
de calentamiento y parte de conexión respectivamente.
Estos elementos descansan típicamente sobre una
capa de grava de partículas de aluminio-silicato,
que, a su vez, descansa sobre un ladrillo puramente de óxido de
aluminio. El silicato de aluminio es compatible (no reacciona
químicamente) con elementos calefactores. Puede utilizarse
silimanita y mulita durante un periodo de tiempo prolongado antes
de que tenga lugar una reacción con la capa de SiO_{2} que se
desarrolla sobre la superficie de elementos de MoSi_{2}. Esto se
debe a que el silicato de aluminio reacciona mas lentamente con la
capa de SiO_{2} que el ladrillo de óxido de aluminio. Esta
reacción hace que el aluminio se alee en la capa de SiO_{2},
debilitando así la capacidad de la capa para proteger el material de
elemento, resultando en una vida mas corta del elemento.
A continuación de esta reacción con la capa
superficial tiene también lugar una reacción en el material de masa
del elemento calefactor, resultando en ulterior corrosión y
debilitamiento.
En ausencia de dicha capa de partículas o lecho
de grava, se producirá una reacción mas rápida en virtud del
SiO_{2} sobre la superficie del elemento que está en contacto
directo con el ladrillo de Al_{2}O_{3}.
Muchas cerámicas electrónicas se tratan por
calor a temperaturas de horno que oscilan entre 1200 y 1500º y mas.
En adición a gas de nitrógeno, la atmósfera contiene también
típicamente entorno del 5% de gas de hidrógeno que tiene un punto
de rocío variable. Por ejemplo el punto de rocío puede ser de
+20ºC.
Se ha apreciado que en muchos casos la extensión
de vida útil de dichos elementos cae significativamente por debajo
del espacio esperado de 3-5 años, y en algunos casos
solo se extiende hasta unos pocos meses. La causa de problemas de
extensión de vida local es el gas de hidrógeno agresivo que
reacciona con el lecho de grava de modo que forma una fusión que
contiene principalmente silicato de aluminio. El elemento de
calentamiento se sumerge en la fusión, con lo cual tiene lugar un
aumento de la temperatura con corrosión acelerada y aumento de
temperatura de los elementos como resultado. Además, el lecho de
grava sinteriza firmemente en el ladrillo de óxido de aluminio.
Puede producirse también problemas en atmósferas que no contengan
gas de hidrógeno, con lo que el elemento se sumerge en la capa de
partículas como resultado de los cambios de temperatura y con ello
cambios dimensionales.
El lecho de grava, o capa de partículas también
hace mas difícil de llevar a cabo la fabricación, transporte y
mantenimiento del horno.
Se desea por tanto eliminar el lecho de grava
del proceso.
El presente invento soluciona este deseo.
El presente invento se refiere por tanto a un
método para aumentar la vida útil de elementos calefactores que
consiste esencialmente de siliciuro de molibdeno y aleaciones de
este material básico, operando dichos elementos a temperaturas de
1200ºC o superiores en procesos de tratamiento térmico y descansando
contra el piso y/o techo de un horno, caracterizado por disponer el
elemento calefactor en contacto directo con material de ladrillo de
óxido de aluminio y en donde dicho material se obtiene de modo que
contenga aluminio hasta una extensión suficiente que mantenga una
capa de lento crecimiento estable de óxido de aluminio sobre la
superficie del elemento calefactor.
\global\parskip1.000000\baselineskip
El invento se describirá ahora con mayor
detalle, particularmente con referencia al dibujo que se acompaña,
en donde
La figura 1 ilustra un diseño de horno en donde
se aplica el invento.
La figura 1 ilustra parte de un horno del tipo
implicado. El dibujo representa un segmento, por ejemplo una zona
calefactora, de un horno llamado de empuje pasante en donde el
material pasa a través del espacio entre los elementos calefactores
sobre, por ejemplo, una cubeta cerámica que es empujada hacia
delante sobre, por ejemplo, raíles.
Para calentar el material desde arriba se
dispone una capa de grava o lecho de partículas 1 sobre una placa
de óxido de aluminio 2. Un elemento de cuatro brazos 3 se dispone
en la parte superior del lecho de partículas. Un "casete
calefactor" que incluye elementos de lecho
ladrillo-grava de óxido de aluminio es empujado en
un plano de compartimiento/estante 4 en aislamiento de ladrillo
circundante 5. El mismo procedimiento se utiliza para elementos
que se calientan desde arriba y desde abajo, con la diferencia de
que cuando se calienta desde abajo se utiliza una placa de óxido de
aluminio 6. Naturalmente pueden utilizase otras construcciones de
horno que apliquen el principio en donde el elemento descansa sobre
un lecho de grava.
El presente invento se refiere a un método para
aumentar la vida útil de elementos calefactores que consiste
esencialmente de siliciuro de molibdeno y aleaciones de este
material básico, donde dichos elementos operando en el proceso de
tratamiento calefactor a altas temperaturas en, por ejemplo, una
atmósfera corrosiva que contiene gas de hidrógeno, y en donde
dichos elementos descansan contra el piso del horno y/o descansan en
apoyo con el techo del horno.
En el caso de la realización ilustrada los
elementos de calentamiento 3 están en apoyo directo con ladrillo de
óxido de aluminio. Esto significa que el lecho de grava 1 de la
figura 1 se excluye de conformidad con el invento.
El material con el que está constituido el
elemento calefactor 3 incluye siliciuro de molibdeno y sus
aleaciones, haciéndose que este material contenga suficiente
aluminio para mantener una capa en desarrollo lento y estable de
óxido de aluminio sobre la superficie del elemento calefactor.
En el caso de esta realización se obtiene así
una capa de lento desarrollo de óxido de aluminio que es estable en
la gama de temperatura relevante en respecto del tratamiento de
calor de cerámicas electrónicas.
De conformidad con una modalidad preferida el
material con el cual está constituido el elemento calefactor se
hace que incluya
Mo(Si_{1-x}Al_{x})_{2}, y se
hace también que contenga una suficiencia de aluminio.
De conformidad con una modalidad, x tiene un
valor del orden de 0,2 - 0,6.
Se prefiere que x se encuentre en un valor
dentro de la gama de 0,40 - 0,50. Esto resulta en una capa de
óxido estable mientras que, al mismo tiempo, se obtiene una
composición que es duradera a alta temperatura y tiene buenas
propiedades mecánicas.
De conformidad con una modalidad preferida del
invento el material del elemento calefactor contiene hasta el 40%
en volumen de Al_{2}O_{3}. El óxido de aluminio constituye una
fase estabilizadora mecánica del elemento y actúa contra el
agrandamiento del tamaño de partícula de la fase de
aluminosiliuro.
El método del invento obvia de este modo la
necesidad de una capa de grava, facilitando así la fabricación,
transporte y mantenimiento del horno. El motivo por el cual no se
requiere la capa de grava se debe a que el óxido de aluminio apoya
contra óxido de aluminio.
Además se reduce el riesgo de corrosión del
sistema, elemento calefactor/capa de grava/ladrillo de óxido de
aluminio, con lo que se prolonga en gran manera la vida útil de los
elementos calefactores y se minimizan de este modo trastornos
operacionales.
La idoneidad del material del elemento en el
anterior contexto se basa en la propiedad inherente de la cerámica
Al_{2}O_{3} de resistir la corrosión en ambientes corrosivos
hasta temperaturas muy altas.
El presente invento no deberá considerarse
limitado al tipo descrito de horno, sino que puede aplicarse con
otros tipos de hornos en donde existan los citados problemas.
Claims (4)
1. Un método para aumentar la vida útil de
elementos calefactores que comprende esencialmente siliciuro de
molibdeno y aleaciones de este material básico, operando dichos
elementos a temperaturas de 1200ºC o superiores en procesos de
tratamiento de calor y apoyando sobre el piso y/o techo de un horno,
caracterizado por disponer el elemento calefactor (3) en
contacto directo de apoyo con material de ladrillo de óxido de
aluminio (2,6), y en donde dicho material se realiza de modo que
contenga aluminio hasta una extensión suficiente para que mantenga
una capa en lento desarrollo estable de óxido de aluminio sobre la
superficie del elemento calefactor (3).
2. Un método, de conformidad con la
reivindicación 1, caracterizado porque el material de
elemento calefactor (3) contiene
Mo(Si_{1-x}Al_{x})_{2}, en donde
x tiene un valor en la gama de 0,2 - 0,6.
3. Un método, de conformidad con la
reivindicación 1 o 2 caracterizado porque x tiene un valor
en la gama de 0,40 - 0,50.
4. Un método, de conformidad con la
reivindicación 1, 2 o 3, caracterizado porque el material del
elemento calefactor (3) contiene hasta el 40% en volumen de
Al_{2}O_{3}.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE0004329A SE520148C3 (sv) | 2000-11-24 | 2000-11-24 | Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdendisilicidtyp vid värmebehandling av elektroniska keramer |
SE0004329 | 2000-11-24 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
ES2296822T3 true ES2296822T3 (es) | 2008-05-01 |
Family
ID=20281965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES01983899T Expired - Lifetime ES2296822T3 (es) | 2000-11-24 | 2001-11-20 | Un metodo para aumentar la vida util de un elemento calefactor de siliciuro de molibdeno. |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6921885B2 (es) |
EP (1) | EP1336324B1 (es) |
JP (1) | JP4235447B2 (es) |
KR (1) | KR100557254B1 (es) |
CN (1) | CN1234259C (es) |
AT (1) | ATE383057T1 (es) |
AU (1) | AU2002215292A1 (es) |
DE (1) | DE60132237T2 (es) |
ES (1) | ES2296822T3 (es) |
NO (1) | NO20032139D0 (es) |
SE (1) | SE520148C3 (es) |
TW (1) | TW520610B (es) |
WO (1) | WO2002043440A1 (es) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE60316133T2 (de) * | 2002-04-05 | 2008-05-29 | Sandvik Intellectual Property Ab | Verfahren zur herstellung eines heizelements vom molybdänsilizid-typ |
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-
2000
- 2000-11-24 SE SE0004329A patent/SE520148C3/sv unknown
-
2001
- 2001-11-20 ES ES01983899T patent/ES2296822T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-20 US US10/381,643 patent/US6921885B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-11-20 KR KR1020037003382A patent/KR100557254B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-11-20 AU AU2002215292A patent/AU2002215292A1/en not_active Abandoned
- 2001-11-20 JP JP2002545030A patent/JP4235447B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-11-20 WO PCT/SE2001/002563 patent/WO2002043440A1/en active IP Right Grant
- 2001-11-20 CN CNB018158595A patent/CN1234259C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-11-20 DE DE60132237T patent/DE60132237T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-20 AT AT01983899T patent/ATE383057T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-11-20 EP EP01983899A patent/EP1336324B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-21 TW TW090128856A patent/TW520610B/zh not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-05-13 NO NO20032139A patent/NO20032139D0/no not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20030061799A (ko) | 2003-07-22 |
SE520148C3 (sv) | 2003-07-16 |
US6921885B2 (en) | 2005-07-26 |
ATE383057T1 (de) | 2008-01-15 |
CN1234259C (zh) | 2005-12-28 |
SE0004329L (sv) | 2002-05-25 |
AU2002215292A1 (en) | 2002-06-03 |
SE520148C2 (sv) | 2003-06-03 |
DE60132237T2 (de) | 2008-12-11 |
JP4235447B2 (ja) | 2009-03-11 |
SE0004329D0 (sv) | 2000-11-24 |
NO20032139D0 (no) | 2003-05-13 |
JP2004515041A (ja) | 2004-05-20 |
KR100557254B1 (ko) | 2006-03-07 |
DE60132237D1 (de) | 2008-02-14 |
TW520610B (en) | 2003-02-11 |
US20040094535A1 (en) | 2004-05-20 |
EP1336324A1 (en) | 2003-08-20 |
EP1336324B1 (en) | 2008-01-02 |
CN1459215A (zh) | 2003-11-26 |
WO2002043440A1 (en) | 2002-05-30 |
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