SE520148C2 - Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdendisilicidtyp vid värmebehandling av elektroniska keramer - Google Patents
Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdendisilicidtyp vid värmebehandling av elektroniska keramerInfo
- Publication number
- SE520148C2 SE520148C2 SE0004329A SE0004329A SE520148C2 SE 520148 C2 SE520148 C2 SE 520148C2 SE 0004329 A SE0004329 A SE 0004329A SE 0004329 A SE0004329 A SE 0004329A SE 520148 C2 SE520148 C2 SE 520148C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- heating element
- heating elements
- heat treatment
- increasing
- alumina
- Prior art date
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N bis($l^{2}-silanylidene)molybdenum Chemical compound [Si]=[Mo]=[Si] YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 8
- 229910021343 molybdenum disilicide Inorganic materials 0.000 title claims description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000011449 brick Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 229910021344 molybdenum silicide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 21
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 4
- YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] Chemical compound [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910020968 MoSi2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 2
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052851 sillimanite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 101150011873 Pdcd6 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 229910000323 aluminium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/58085—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicides
- C04B35/58092—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicides based on refractory metal silicides
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C29/00—Alloys based on carbides, oxides, nitrides, borides, or silicides, e.g. cermets, or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides
- C22C29/18—Alloys based on carbides, oxides, nitrides, borides, or silicides, e.g. cermets, or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides based on silicides
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D1/00—Casings; Linings; Walls; Roofs
- F27D1/0003—Linings or walls
- F27D1/0036—Linings or walls comprising means for supporting electric resistances in the furnace
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
- H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
- H05B3/148—Silicon, e.g. silicon carbide, magnesium silicide, heating transistors or diodes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
- F27B9/20—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace
- F27B9/26—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace on or in trucks, sleds, or containers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49082—Resistor making
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
75 20 25 30 520 148 Dylika element vilar på ett underlag som normalt utgörs av ett gruslager av korn av aluminiumsilikat som i sin tur vilar på ett rent aluminiumoxidtegel. Aluminiumsilikat som är kom- patibelt (ej kemiskt reagerar) med värmeelement av MoSi2 upp till en temperatur av l600° C är av typen sillimanit respek- tive mullit. Sillimanit och mullit medger lång tids använd- ning innan en reaktion sker med det SiO2-skikt som utvecklas pà ytan av MoSi2 elementen. Detta beror på att aluminiumsili- kat reagerar làngsammare än aluminiumoxidtegel med SiO2- skiktet. Nämnda reaktion innebär att aluminium inlegeras i SiO2-skiktet, vilket innebär att skiktets skyddande förmåga mot elementmaterialet försvagas med kortare elementlivslängd som följd.
Efter att reaktionen med ytskiktet skett, sker också en reak- tion i värmeelementets bulkmaterial med ytterligare korrosion och försvagning som följd.
Om inte gruslagret finns på plats sker således en snabbare reaktion genom att SiO2 på elementets yta därvid är i direkt kontakt med Al2O3-teglet.
Värmebehandling av många elektroniska keramer vid ugnstempe- raturer i intervallet 1200 till l500°C och högre. Atmosfären innehåller förutom kvävgas också typiskt c:a 5% vätgas med en varierande daggpunkt. Exempelvis kan daggpunkten vara +20° C.
Det har noterats i ett flertal fall att livslängden hos ele- menten klart understigit den förväntade på 3 - 5 år och i vissa fall endast varit några månader. Det som orsakar lokala livslängdsproblem är den aggressiva vätgasen som reagerar med gruslagret på sådant sätt att en smälta bildas huvudsakligen innehållande aluminiumsilikat. Härvid sjunker värmeelementet Kï\patent\0O0139se\Slutfóreläggande.in1 03 -O3-20.doc 70 75 20 25 30 520 148 ner i smältan varvid en temperaturhöjning sker med en accele- rerad korrosion och temperaturhöjning av elementen som följd.
Dessutom sintrar grusbädden fast i aluminiumoxidteglet. Pro- blem kan även uppstå i icke vätgasinnehållande atmosfär, var- vid elementet till följd av temperaturväxlingar och därmed dimensionsförändringar gräver sig ner i gruslagret.
På grund av gruslagret försvåras dessutom tillverkning, transport och service av ugnen.
Det är således ett önskemål att eliminera gruslagret.
Föreliggande uppfinning uppfyller detta önskemål.
Föreliggande uppfinning hänför sig således till ett förfaran- de för att öka livslängden för värmeelement väsentligen be- stående av molybdendisilicid samt legeringar av detta grund- material, där elementet opererar vid en hög temperatur vid varmebehandling och där elementet vilar mot ugnsgolv och/el- ler ugnstak, och utmärkes av, att värmeelementet bringas att vila direkt mot ett aluminiumoxidtegel och av att värmeele- mentets material innehåller molybdensilicid samt legeringar därav, och av att detta material bringas att innehålla alumi- nium så att ett stabilt, långsamt växande skikt av aluminium- oxid upprätthàlles på värmeelementets yta.
Nedan beskrives uppfinningen närmare, delvis i samband med bifogade ritning, där - figur l visar ett utförande av en ugn i vilken uppfinningen tillämpas.
I figur l illustreras en del av en ugn av ifrågavarande slag.
K;\patent\000 I 39se\Slutfóreläg gande. inl 03 -03-20.doc 10 75 20 25 30 520 148 Figuren representerar ett segment, t.ex. en värmezon, av en s.k. genomskjutningsugn där godset passerar i utrymmet mellan elementen på t.ex. en keramisk bricka som skjuts fram t.ex. på en räls.
För värmning ovanifrån är ett gruslager 1 applicerat på en aluminiumoxidplatta 2. Ett fyrskänkligt element 3 är lagt ovanpå gruslagret. En “värmekassett” inkluderande aluminium- oxidtegel-grusbädd-element är inskjutet in i ett fack/hyll- plan 4 i omgivande tegelisolering 5. Samma metod används för element som värmer ovanifrån och underifrån, med den skillna- den att vid värmning underifrån finns en övre aluminiumoxid- platta 6. Givetvis kan andra ugnskonstruktioner förekomma där principen med ett gruslager på vilket elementet vilar tilläm- pas.
Föreliggande uppfinning avser ett förfarande för att öka livslängden för värmeelement väsentligen bestående av molyb- dendisilicid samt legeringar av detta grundmaterial, där elementet opererar vid en hög temperatur i exempelvis en korroderande vätgasinnehållande atmosfär vid värmebehandling och där elementet vilar mot ugnsgolv och/eller ugnstak.
Enligt uppfinningen bringas värmeelementet 3 att vila direkt mot ett aluminiumoxidtegel. Detta innebär att gruslagret 1 i figur l inte förefinns.
Vidare innehåller värmeelementets 3 material molybdensilicid samt legeringar därav, där detta material bringas att inne- hålla aluminium i tillräcklig grad för att ett stabilt, lång- samt växande skikt av aluminiumoxid ska upprätthållas på värmeelementets yta.
K:\patent\000l39se\Slu1föreläggande.inl 03 -03-20.doc 70 15 20 25 30 520 148 Enligt detta utförande bildas således ett stabilt långsamt växande skikt av aluminiumoxid som är stabilt i de tempera- turintervall som är aktuella för värmebehandling av elektro- niska keramer.
Enligt ett föredraget utförande bringas värmeelementets mate- rial innehàlla Mo(Siy¶Alg2, där detta material bringas att innehålla aluminium i tillräcklig grad.
Enligt ett utförande ligger x i intervallet 0.2 - 0.6.
Det är föredraget att x ligger i intervallet 0.40 - 0.50.
Härvid bildas ett stabilt oxidskikt samtidigt som sammansatt- ningen uppvisar hög temperaturtålighet och goda mekaniska egenskaper.
Enligt ett föredraget utförande innehåller värmeelementets material upp till 40 vol% A120; Aluminiumoxiden utgör en mekaniskt stabiliserande fas för elementet samtidigt som den motverkar abnormal kornförstoring hos aluminosilicidfasen.
Föreliggande förfarande innebär således att ett gruslager inte behöver användas, vilket underlättar tillverkning, transport och service av ugnen. Att ett gruslager inte behövs beror ju på att aluminiumoxid ligger mot aluminiumoxid.
Dessutom minskar risken för korrosion av systemet värmeele- ment/gruslager/aluminiumoxidtegel vilket avsevärt förlänger livslängden hos värmeelementen, varigenom driftstörningar minimeras.
Elementmaterialets lämplighet i ovannämnda sammanhang bygger på den inneboende egenskapen hos keramen Al2O3att den är kor- K:\patent\000139se\Slutiöreläggande.in1 03-03-20.doc 520 148 rösiönsbeständig i korrosiva miljöer upp till mycket höga temperaturer.
Föreliggande uppfinning skall inte anses begränsad till den beskrivna ugnstypen utan kan användas för andra ugnstyper dar de inledningsvis nämnda problemen förekommer.
K:\patent\000 l39se\Slutförelägga.nde,inl O3-03-20.doc
Claims (5)
1. l. Förfarande för att öka livslängden för värmeelement vä- sentligen bestående av molybdendisilicid samt legeringar av detta grundmaterial, där elementet opererar vid en hög tempe~ ratur vid värmebehandling och där elementet vilar mot ugns- golv och/eller ugnstak, k ä n n e t e c k n a t a v, att varmeelementet bringas att vila direkt mot ett aluminiumoxid~ tegel och av att värmeelementets material innehåller molyb- densilicid samt legeringar därav, och av att detta material bringas att innehålla aluminium så att ett stabilt, långsamt växande skikt av aluminiumoxid upprätthålles på värmeelemen~ tets yta.
2. Förfarande enligt krav 1, k ä n n e t e c n a t a v, att värmeelementets material innehåller Mo(Siy¶AlQ2, där detta material bringas att innehålla aluminium.
3. Förfarande enligt krav l eller 2, k ä n n e t e c k n a t v, att x ligger i intervallet 0.2 - 0.6. DJ
4. Förfarande enligt krav l, 2 eller 3, k ä n n e t e c k - n a t a v, att x ligger i intervallet 0.40 - 0.50.
5. Förfarande enligt krav l, 2, 3 eller 4, k ä n n e - t e c k n a t att värmeelementets material innehåller upp till 40 vol% Al2O¿ EiV, K:\patent\000 I Wseßlutföreläggande. inl 03 -03-20.doc
Priority Applications (13)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE0004329A SE520148C3 (sv) | 2000-11-24 | 2000-11-24 | Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdendisilicidtyp vid värmebehandling av elektroniska keramer |
| CNB018158595A CN1234259C (zh) | 2000-11-24 | 2001-11-20 | 一种增加钼硅化物加热元件使用寿命的方法 |
| EP01983899A EP1336324B1 (en) | 2000-11-24 | 2001-11-20 | A method of increasing the useful life of a molybdenum silicide heating element |
| ES01983899T ES2296822T3 (es) | 2000-11-24 | 2001-11-20 | Un metodo para aumentar la vida util de un elemento calefactor de siliciuro de molibdeno. |
| DE60132237T DE60132237T2 (de) | 2000-11-24 | 2001-11-20 | Verfahren zur verlängerung der nützlichen lebensdauer eines molybdänsilizid-heizelement |
| KR1020037003382A KR100557254B1 (ko) | 2000-11-24 | 2001-11-20 | 규화몰리브덴 가열 요소의 유효 수명을 연장시키는 방법 |
| AT01983899T ATE383057T1 (de) | 2000-11-24 | 2001-11-20 | Verfahren zur verlängerung der nützlichen lebensdauer eines molybdänsilizid-heizelement |
| AU2002215292A AU2002215292A1 (en) | 2000-11-24 | 2001-11-20 | A method of increasing the useful life of a molybdenum silicide heating element |
| JP2002545030A JP4235447B2 (ja) | 2000-11-24 | 2001-11-20 | 珪化モリブデン加熱素子の有効寿命を増大する方法 |
| US10/381,643 US6921885B2 (en) | 2000-11-24 | 2001-11-20 | Method of increasing the useful life of a molybdenum silicide heating element |
| PCT/SE2001/002563 WO2002043440A1 (en) | 2000-11-24 | 2001-11-20 | A method of increasing the useful life of a molybdenum silicide heating element |
| TW090128856A TW520610B (en) | 2000-11-24 | 2001-11-21 | A method of increasing the length of useful life of molybdenum disilicide type heating elements when heat treating electronic ceramics |
| NO20032139A NO20032139D0 (no) | 2000-11-24 | 2003-05-13 | Fremgangsmåte for å öke levetiden til et oppvarmingselement av molybden silisid |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE0004329A SE520148C3 (sv) | 2000-11-24 | 2000-11-24 | Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdendisilicidtyp vid värmebehandling av elektroniska keramer |
Publications (4)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE0004329D0 SE0004329D0 (sv) | 2000-11-24 |
| SE0004329L SE0004329L (sv) | 2002-05-25 |
| SE520148C2 true SE520148C2 (sv) | 2003-06-03 |
| SE520148C3 SE520148C3 (sv) | 2003-07-16 |
Family
ID=20281965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE0004329A SE520148C3 (sv) | 2000-11-24 | 2000-11-24 | Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdendisilicidtyp vid värmebehandling av elektroniska keramer |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6921885B2 (sv) |
| EP (1) | EP1336324B1 (sv) |
| JP (1) | JP4235447B2 (sv) |
| KR (1) | KR100557254B1 (sv) |
| CN (1) | CN1234259C (sv) |
| AT (1) | ATE383057T1 (sv) |
| AU (1) | AU2002215292A1 (sv) |
| DE (1) | DE60132237T2 (sv) |
| ES (1) | ES2296822T3 (sv) |
| NO (1) | NO20032139D0 (sv) |
| SE (1) | SE520148C3 (sv) |
| TW (1) | TW520610B (sv) |
| WO (1) | WO2002043440A1 (sv) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE521794C2 (sv) * | 2002-04-05 | 2003-12-09 | Sandvik Ab | Tillverkningsförfarande för ett värmeelement av molybdensilicidtyp, jämte ett värmeelement |
| SE521796C2 (sv) * | 2002-04-05 | 2003-12-09 | Sandvik Ab | Förfarande för tillverkning av ett värmeelement av molybdensilicidtyp jämte ett värmeelement |
| ES2291624T3 (es) * | 2002-04-05 | 2008-03-01 | Sandvik Intellectual Property Ab | Metodo para la fabricacion de un elemento termico de tipo de siliciuro de molibdeno. |
| KR100974354B1 (ko) * | 2010-05-28 | 2010-08-05 | 주식회사 대림기술단 | 공동주택의 감전사고방지형 콘센트 |
| US10995036B2 (en) * | 2018-03-18 | 2021-05-04 | Sandvik Intellectual Property Ab | Heating element |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1803489A1 (de) * | 1968-10-17 | 1970-05-27 | Siemens Ag | Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelementes |
| US3859219A (en) * | 1972-11-17 | 1975-01-07 | Chevron Res | Bisphosphoramide-sulfur compound containing lubricant |
| US3945111A (en) * | 1974-01-03 | 1976-03-23 | Motorola, Inc. | Metallization system for semiconductor devices, devices utilizing such metallization system and method for making devices and metallization system |
| US4486651A (en) * | 1982-01-27 | 1984-12-04 | Nippon Soken, Inc. | Ceramic heater |
| SE458646B (sv) * | 1987-09-14 | 1989-04-17 | Kanthal Ab | Elektriskt motstaandselement av mosi2-typ |
| US5186918A (en) * | 1987-12-15 | 1993-02-16 | Uop | Substitution of Cr in place of Al in the framework of molecular sieve via treatment with fluoride salts |
| JPH04208512A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-30 | Nec Corp | 固体電解コンデンサの製造方法 |
| JP2804393B2 (ja) * | 1991-07-31 | 1998-09-24 | 京セラ株式会社 | セラミックヒータ |
| US5429997A (en) * | 1993-04-07 | 1995-07-04 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Pest resistant MoSi2 materials and method of making |
| EP0635993B1 (en) * | 1993-07-20 | 2000-05-17 | TDK Corporation | Ceramic heater |
| AU2464595A (en) * | 1994-05-13 | 1995-12-05 | Micropyretics Heaters International | Sinter-homogenized heating products |
| SE513409C2 (sv) * | 1997-07-01 | 2000-09-11 | Kanthal Ab | IR-källa som utgörs av ett spiralformat högtemperaturelement, vilket är placerat i en öppen reflektor |
| JP3657800B2 (ja) * | 1998-02-20 | 2005-06-08 | 株式会社リケン | 二珪化モリブデン系複合セラミックス発熱体及びその製造方法 |
| US20020028360A1 (en) * | 1999-08-31 | 2002-03-07 | Shaffer Peter T.B. | Composite monolithic elements and methods for making such elements |
| SE520149C2 (sv) * | 2000-09-29 | 2003-06-03 | Sandvik Ab | Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdensilicidtyp vid lägre temperatur |
-
2000
- 2000-11-24 SE SE0004329A patent/SE520148C3/sv unknown
-
2001
- 2001-11-20 AT AT01983899T patent/ATE383057T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-11-20 EP EP01983899A patent/EP1336324B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-20 CN CNB018158595A patent/CN1234259C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-11-20 DE DE60132237T patent/DE60132237T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-20 JP JP2002545030A patent/JP4235447B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-11-20 US US10/381,643 patent/US6921885B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-11-20 AU AU2002215292A patent/AU2002215292A1/en not_active Abandoned
- 2001-11-20 ES ES01983899T patent/ES2296822T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-20 KR KR1020037003382A patent/KR100557254B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-11-20 WO PCT/SE2001/002563 patent/WO2002043440A1/en active IP Right Grant
- 2001-11-21 TW TW090128856A patent/TW520610B/zh not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-05-13 NO NO20032139A patent/NO20032139D0/no not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20040094535A1 (en) | 2004-05-20 |
| SE0004329L (sv) | 2002-05-25 |
| TW520610B (en) | 2003-02-11 |
| CN1234259C (zh) | 2005-12-28 |
| NO20032139D0 (no) | 2003-05-13 |
| ATE383057T1 (de) | 2008-01-15 |
| EP1336324B1 (en) | 2008-01-02 |
| SE520148C3 (sv) | 2003-07-16 |
| KR20030061799A (ko) | 2003-07-22 |
| CN1459215A (zh) | 2003-11-26 |
| DE60132237D1 (de) | 2008-02-14 |
| WO2002043440A1 (en) | 2002-05-30 |
| US6921885B2 (en) | 2005-07-26 |
| JP4235447B2 (ja) | 2009-03-11 |
| AU2002215292A1 (en) | 2002-06-03 |
| ES2296822T3 (es) | 2008-05-01 |
| EP1336324A1 (en) | 2003-08-20 |
| SE0004329D0 (sv) | 2000-11-24 |
| JP2004515041A (ja) | 2004-05-20 |
| KR100557254B1 (ko) | 2006-03-07 |
| DE60132237T2 (de) | 2008-12-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1793015A3 (en) | Corrosion inhibiting ceramic coating and method of application | |
| Warlimont | Ceramics | |
| Rodríguez-Rojas et al. | Anomalous oxidation behaviour of pressureless liquid-phase-sintered SiC | |
| JP2006028015A (ja) | 環境障壁被覆膜系を含む物品、及びその製造方法 | |
| Osada et al. | Kinetics of self‐crack‐healing of alumina/silicon carbide composite including oxygen partial pressure effect | |
| US6210645B1 (en) | Honeycomb regenerator | |
| SE520148C2 (sv) | Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdendisilicidtyp vid värmebehandling av elektroniska keramer | |
| Klemm et al. | Long-term stability of nonoxide ceramics in an oxidative environment at 1500° C | |
| Mechnich | Y2SiO5 coatings fabricated by RF magnetron sputtering | |
| Nickel | Corrosion of non-oxide ceramics | |
| Parchovianský et al. | Passive filler loaded polysilazane‐derived glass/ceramic coating system applied to AISI 441 stainless steel, part 2: Oxidation behavior in synthetic air | |
| US10544062B2 (en) | Molybdenum silicide based composition | |
| BR0209166B1 (pt) | liga de ferro-cromo-alumìnio. | |
| Sahu et al. | High-temperature materials chemistry and thermodynamics | |
| Yazhenskikh et al. | Critical thermodynamic evaluation of oxide systems relevant to fuel ashes and slags. Part 3: Silica–alumina system | |
| JP4117377B2 (ja) | 高温耐腐食層を有する非酸化物セラミックス構造体及びその製造方法 | |
| JP2013095644A (ja) | 多結晶セラミックス接合体およびその製造方法 | |
| EP1328491B1 (en) | Method to improve the life span of a heating element of a molybdenium disilicide at lower temperatures | |
| JP2000302554A (ja) | 窒化珪素結合炭化珪素質耐火物 | |
| JP4034390B2 (ja) | 二珪化モリブデン系発熱体の保護皮膜再生方法 | |
| ATE338738T1 (de) | Schutzschichtsystem für nichtoxidische, si- haltige substrate | |
| JPS59143301A (ja) | 高温用サ−ミスタ | |
| JP2015175527A (ja) | セラミックファイバーブロックの固定冶具及び固定構造 | |
| Hasselman | Tailoring of the thermal transport properties and thermal shock resistance of structural ceramics | |
| JPH07215782A (ja) | 炭化けい素発熱体の耐食絶縁コーティング方法 |