ES2267064T3 - Esclusa de estanqueidad para linea de deposito bajo vacio sobre producto plano. - Google Patents

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Abstract

Esclusa de estanqueidad (5) para una cámara de depósito bajo vacío sobre una banda, preferentemente metálica, en paso continuo (1), que presenta una tapa inferior (6) y una tapa superior (7) amovibles, que comprende una pluralidad de pares de rodillos metálicos (10, 10¿; 11, 11¿, ¿) entre los cuales pasa la banda (1) y mantenidos en una cuna (40, 40¿; 41, 41¿;¿) fijada a la tapa (6, 7) que le está enfrentada con una separación que define una primera fuga, definiendo dos pares de rodillos sucesivos cualesquiera una subcámara (20, 21, 22, ¿) mantenida a una presión determinada, inferior a la presión atmosférica, por un grupo de bombeo (3) conectado a dicha cámara, caracterizada porque: - los rodillos están montados sobre unos cojinetes (30, 30¿, ¿) solidarios de dichas tapas (6, 7) y son también amovibles; - los rodillos de un mismo par tienen sus ejes dispuestos en un mismo plano vertical y son de diámetros diferentes, estando la posición del rodillo de menor diámetro (10¿, 11¿, ¿) alternadaalta/baja, cuando se pasa de un par de rodillos dado al par adyacente; - las cunas (40, 40¿; 41, 41¿; ¿) de sostenimiento de dos rodillos de un mismo par presentan una prolongación lateral (9, 9¿) hacia el centro cuya separación con la superficie lateral de dichos rodillos define una segunda fuga.

Description

Esclusa de estanqueidad para línea de depósito bajo vacío sobre producto plano.
Objeto de la invención
La presente invención se refiere a una esclusa de estanqueidad mejorada de entrada y/o salida de una línea de depósito de una capa delgada bajo vacío sobre un producto plano en movimiento, preferentemente una banda de metal (acero al carbono, inoxidable, etc.).
Estado de la técnica
En el interior de una cámara de depósito bajo vacío (presión del orden de 10^{-5} mbar) pueden ser utilizados numerosos procedimientos: limpieza, depó-
sito(s), etc.
En siderurgia y metalurgia, las líneas para depósitos metálicos (metal puro, aleaciones, óxidos) u orgánicos bajo vacío en continuo presentan un interés creciente por varias razones.
En primer lugar, las mismas ofrecen una gran facilidad de desarrollo de nuevos productos. Actualmente el revestimiento de bandas de acero se limita industrialmente al procedimiento de revestimiento en inmersión o al procedimiento de electrólisis, que son procedimientos clásicos. El número de productos así obtenidos es muy limitado. La industrialización de líneas de depósito bajo vacío, cuyo principio está actualmente a punto en línea piloto, permitiría concebir decenas de nuevos productos.
En consecuencia, desde el punto de vista de la protección del entorno, si bien el procedimiento de revestimiento por inmersión es relativamente limpio, aparte de la producción de matas, el procedimiento de electrólisis requiere unos tratamientos químicos anexos tales como el filtrado, la regeneración, el tratamiento de los barros, etc. En todos los casos, la preparación de superficie produce unos efluentes a tratar en forma de baños y barros. En el lado opuesto, el depósito bajo vacío que utiliza un plasma o no es un procedimiento en seco. Es preciso únicamente recuperar los desechos secos que provienen de la limpieza de las superficies y las pérdidas de depósito.
Se conocen unas esclusas de estanqueidad destinadas a aislar la cámara de depósito bajo vacío de los otros elementos de la línea tales como la desarrolladora, arrolladora, etc. La esclusa es un elemento cuyo control es muy importante para la fase de industrialización. El estado de la técnica describe unas realizaciones de esclusas (US-A-3 158 507, US-A-3 367 667, US-A-3 467 399, US-A-3 868 106, US-A-4 501 428, US-A-5 000114, EP-A-0 535 568, US-A-5 842 855, US-A-5 865 932). La mayor parte de estas realizaciones no han dado lugar a una industrialización efectiva.
La mayor parte de las veces, a fin de evitarse fugas que existen al nivel del punto débil que constituye la esclusa de entrada o de salida, se evita la utilización de esclusas. En el cristal, se efectúan unos depósitos en batch de planos de dimensiones estándar. En el plástico, se adopta la solución del bobinado en la misma cámara bajo vacío.
Un ejemplo de esclusa de entrada/salida 5 para cámara de depósito bajo vacío está ilustrada en la figura 1. En esta esclusa, 9 rodillos 10, 11, 12,…, están dispuestos al tresbolillo y definen 7 subcámaras 20, 21, 22,… Cada una de las subcámaras está conectada a un sistema de bombeo 3. El conjunto de los sistemas de bombeo 3 permite obtener un vacío progresivo de cámara en cámara 20, 21, 22,.., cuyo valor en la última subcámara puede ir hasta 10^{-5} mbar. La disposición al tresbolillo es favorable para la disminución del número de rodillos y para la compacidad de la esclusa. Además, la banda forma un arco cuando tiene lugar el paso por los rodillos, lo que asegura de hecho una estanqueidad sobre la anchura de la banda, que está netamente mejorada con respecto al entrehierro de rodillos simple. Así, resulta tolerable una mayor separación entre dos rodillos.
Cada rodillo está además dispuesto en una cuna solidaria de la pared horizontal, inferior o superior, según el caso, de la cámara que está enfrentada del rodillo. En este punto, la fuga está reducida a la separación o al juego entre el rodillo y la cuna. Quedan también unas fugas entre los flancos de los rodillos cilíndricos y las paredes laterales de la cámara.
Finalmente, a fin de asegurar el mantenimiento de la estanqueidad en cada subcámara, es necesario que la presión de contacto entre la banda y los rodillos que sirven para la estanqueidad de una subcámara sea por lo menos igual a la diferencia de las presiones entre dicha subcámara y su entorno. En el caso contrario, hay un riesgo de despegado de la banda del rodillo. Para evitar este problema, conviene aplicar a la banda una tracción suficiente para absorber la diferencia de presión existente entre dos subcámaras consecutivas.
Para la industrialización en el caso de un paso continuo, deben resolverse un cierto número de problemas del estado de la técnica. En primer lugar se plantea el problema de la mantenibilidad de la herramienta. Debe poderse enfilar fácilmente la banda en la esclusa. Además, la caja que constituye la cámara de vacío tiene una altura limitada y por tanto una accesibilidad pequeña. Conviene, en el estado de la técnica actual, por ejemplo para controlar el estado de superficie de los rodillos, desmontar completamente la cámara. Otro problema que existe está ligado a las pérdidas de vacío ligadas a las fugas presentes en la esclusa, lo que afecta las características de bombeo. Resulta de ello un consumo eléctrico importante y una inversión grande en equipos de bombeo.
El bajo valor o la ausencia de los intercambios térmicos, por definición, en la parte bajo vacío de la caja no implica ninguna dilatación de los rodillos por el lado del vacío. En efecto, el único contacto de rugosidad es insuficiente para asegurar la conducción térmica entre la banda caliente y los rodillos situados por el lado del vacío. Por el contrario, una dilatación de los rodillos se produce por el lado del aire por intercambio térmico, que se propaga eventualmente a la envolvente externa de la caja. Esta dilatación de los rodillos en su longitud aumenta el riesgo de encallado por contacto de estos con las paredes laterales de la cámara. La deformación no es en efecto seguida por la parte externa de la caja situada por el lado del aire en la medida en que ésta es solidaria de la parte situada por el lado del vacío, que no se dilata.
Objetivos de la invención
La presente invención prevé proporcionar una esclusa de estanqueidad de entrada/salida, para una línea de depósito bajo vacío sobre un producto plano, que permite liberarse de los inconvenientes del estado de la técnica.
La invención prevé en particular proporcionar una esclusa de estanqueidad que pueda ser utilizada en una línea continua de depósito bajo vacío sobre un producto plano metálico tal como una banda de acero al carbono o inoxidable.
La invención tiene por objetivo complementario proporcionar una esclusa de mantenibilidad fácil (enfilado de la banda, acceso a los rodillos, etc).
La invención tiene también por objetivo proporcionar una esclusa que permita obtener mejores prestaciones de bombeo reduciendo al mismo tiempo el consumo eléctrico correspondiente y minimizando los equipos necesarios.
La invención tiene también por objetivo prevenir el riesgo de encallado de los rodillos asociado a la dilatación de las piezas metálicas parcialmente bajo vacío.
Finalmente, la invención tiene por objetivo prevenir el desgaste preferente de los rodillos provistos de un revestimiento adicional de caucho.
Principales elementos característicos de la invención
Un primer objeto de la presente invención se refiere a una esclusa de estanqueidad para una cámara de depósito bajo vacío sobre una banda preferentemente metálica en paso continuo, que presenta una tapa inferior y una tapa superior amovibles, que comprende una pluralidad de pares de rodillos metálicos entre los cuales pasa la banda y mantenidos en una cuna fijada a la tapa que le está enfrentada con una separación que define una primera fuga, definiendo dos pares de rodillos sucesivos cualesquiera una subcámara mantenida a una presión determinada, inferior a la presión atmosférica, por un grupo de bombeo conectado a dicha cámara, caracterizada porque:
-
los rodillos están montados sobre unos cojinetes solidarios de dichas tapas y son también amovibles;
-
los rodillos de un mismo par tienen sus ejes dispuestos en un mismo plano vertical y son de diámetros diferentes, estando la posición del rodillo de menor diámetro alternada arriba/abajo, cuando se pasa de un par de rodillos dado al par adyacente;
-
las cunas de sostenimiento de dos rodillos de un mismo par presentan una prolongación lateral hacia el centro cuya separación con la superficie lateral de dichos rodillos define una segunda fuga.
Según una forma de realización preferida de la invención, los rodillos de menor diámetro están recubiertos con un cierto espesor de caucho o de
elastómero.
Ventajosamente, los rodillos de mayor diámetro son unos rodillos cuya superficie de contacto con la banda es metálica y define la línea de paso de la
banda.
Según una forma de realización también preferida, dos rodillos de un mismo par están desalineados en la dirección transversal con respecto al movimiento de la banda, de manera que, en cada lado lateral de la esclusa, uno de los rodillos presente un desbordamiento con respecto el otro rodillo.
De manera particularmente ventajosa, la estanqueidad de cada subcámara de la esclusa está asegurada entre la banda y la mesa de los dos rodillos por un pretensado del rodillo recubierto de caucho sobre el rodillo de superficie metálica, permitiendo a la vez el paso de la banda y el aplastamiento del caucho o del elastómero alrededor de la banda.
Siempre ventajosamente, el ángulo de cambio de dirección de la banda es determinado por la relación de los diámetros de los rodillos de un mismo par y es inferior a 10º.
Una ventaja esencial de la invención es permitir que la presión más baja que reina en una subcámara sea inferior a 10^{-4} mbar, preferentemente 10^{-5} mbar.
Preferentemente, la separación o el juego que caracteriza la primera fuga es función de la anchura máxima de la banda, mientras que el que caracteriza la segunda fuga es esencialmente constante e inferior a 0,3 mm, preferentemente 0,2 mm.
Un segundo objeto de la presente invención se refiere a una instalación de tipo línea de depósito bajo vacío de una capa delgada metálica u orgánica sobre un producto metalúrgico o siderúrgico plano en movimiento a una velocidad de por lo menos 10 m/min, preferentemente una banda de acero al carbono o inoxidable, que comprende una esclusa de estanqueidad de entrada y/o salida tal como la descrita anterior-
mente.
Breve descripción de las figuras
La figura 1, ya mencionada anteriormente, representa una vista en sección de una esclusa de estanqueidad para una cámara de depósito bajo vacío, según el estado de la técnica.
La figura 2 representa una vista en sección vertical y longitudinal de una esclusa de estanqueidad para una cámara de depósito bajo vacío, según una forma de realización preferida de la invención. La figura 2 muestra también las dos tapas escamoteables.
La figura 3 representa una vista por encima de la esclusa de estanqueidad para una cámara de depósito bajo vacío de la figura 2.
La figura 4 representa una vista en sección vertical y transversal de la esclusa de la figura 2.
Descripción de una forma de realización preferida de la invención
Las figuras 2 y 3 representan un ejemplo de esclusa de entrada/salida para cámara de depósito bajo vacío según la presente invención. La banda metálica 1 penetra en la esclusa por la izquierda y sale de ella por la derecha. En el caso del ejemplo, la cámara 5 presenta 4 pares de rodillos enfrentados 10, 10', 11, 11', … entre los cuales está enfilada la banda. Dichos pares de rodillos delimitan unas subcámaras 20, 21, 22, …, en cada una de las cuales reinan unas presiones diferentes, y que van sucesivamente decreciendo para una esclusa de entrada por ejemplo. En el caso de una esclusa de salida, la situación que prevalece es la inversa.
Según la invención, a fin de asegurar la mantenibilidad de la cámara y el acceso a los rodillos, se prevé que los cojinetes de los rodillos 30, 30',… sean escamoteables y solidarios de la tapa inferior 6 o superior 7 de la cámara, según la posición, respectivamente baja o alta, del rodillo considerado. Se prevé también que se puedan separar suficientemente en un plano vertical las dos tapas 6 y 7, por medio de gatos (no representados). Así, cuando tiene lugar una operación de mantenimiento, se puede acceder fácilmente a los rodillos o a los cojinetes. Otra ventaja reside en la facilidad de enfilado de la banda.
Un cierto número de elementos han sido ideados para mejorar la estanqueidad de la cámara al nivel de cada par de rodillos.
En primer lugar, el rodillo de menor diámetro 10', 11', 12',… está provisto, por lo menos en toda su superficie de contacto, de un recubrimiento de caucho o elastómero. Así, para cada par de rodillos, el rodillo metálico determina la línea de paso de la banda, mientras que la posición del rodillo recubierto de caucho es ajustada inicialmente para que éste presione suficientemente sobre el rodillo metálico correspondiente, deformándose al nivel del caucho, para encajar con el perfil de la banda (ver figura 4). Así, gracias al aplastamiento de la banda entre el caucho y el rodillo metálico desnudo, la estanqueidad está asegurada en la superficie de la banda, en toda su anchura, y al nivel de los costados laterales de la banda.
Ventajosamente, se puede prever que los rodillos 10, 10',… presenten unos diámetros diferentes alternativamente a cada lado de la banda 1 (por ejemplo 300 y 250 mm respectivamente). Así, la banda adopta un camino no rectilíneo (quebrado de la línea de paso). Concentrándose el desgaste sobre el mayor ángulo de contacto, se minimiza el del rodillo recubierto de caucho. Sin embargo, por el hecho de que los rodillos están alineados por pares y que la banda es presionada entre ellos, se beneficia de la ventaja de que no hay lugar a preocuparse por una tensión de \DeltaP entre la atmósfera y la primera subcámara de vacío, lo que permite bombear más en esta última. Además, la tracción ejercida sobre la banda no es crítica para el mantenimiento de la estanqueidad de las diferentes subcámaras de vacío a la altura de la banda.
Además, los rodillos son sostenidos por el lado de la tapa 6, 7 que les está enfrentada en una cuna 40, 40', 41, 41',… esta disposición permite minimizar la fuga, dependiendo entre otros del juego entre la cuna y el rodillo, como será explicado a continuación.
En efecto, según la invención, los problemas de fuga y de dilatación térmica al nivel de las paredes laterales están resueltos:
-
por una parte prolongando las cunas superior (40', …) e inferior (40, …) de los rodillos lateralmente, por un retorno hacia el centro (9, 9'), tal como se ha representado en la figura 4, y
-
por otra parte, desplazando los rodillos de cada par (10, 10', …) uno con respecto al otro en la anchura de la cámara.
Así, según la cara lateral, cada uno de los dos rodillos presenta un desbordamiento con respecto al otro rodillo e inversamente. Esta disposición permite el posicionado de la cuna modificado (40, 40',…) tal como se ha descrito anteriormente. Se observará que por construcción la cuna modificada no se encuentra transversalmente en el mismo lado para los dos rodillos. En cada rodillo, el cojinete correspondiente a la cuna modificada tiene una doble función:
-
absorción de la dilatación térmica del cilindro considerado;
-
mantenimiento de un juego lateral constante, es decir independiente de dicha dilatación, o, enunciado de forma equivalente, independiente de la longitud efectiva de los rodillos. La fuga lateral, es decir tomada a lo largo de la superficie lateral del rodillo es por tanto independiente de la dilatación térmica. La estanqueidad no se realiza ya sobre el flanco sino sobre la mesa del rodillo.
Para regímenes de flujos laminar y molecular, conviene alargar lo más posible el camino del gas al nivel de la cámara. En régimen molecular, las bombas deben estar lo más cerca posible de la fuente y las secciones 8 las más importantes posibles (figuras 3 y 4).
Las características de mejora de la esclusa para cámara de depósito bajo vacío según la invención presentan por tanto las ventajas siguientes:
-
la mantenibilidad se hace más fácil y menos costosa gracias a la utilización de bancos de rodillos escamoteables;
-
las prestaciones de bombeo están mejoradas y por tanto, reducidos el consumo de energía eléctrica y las inversiones en equipo, a consecuencia de la mejora de la estanqueidad (desalineación de los rodillos de un mismo par, deformación de los rodillos recubiertos de caucho);
-
los problemas de dilatación diferencial de las piezas metálicas debidos a la puesta bajo vacío están resueltos por la adopción de cunas modificadas en forma de zócalos que sostienen el cojinete y prolongadas en forma de un anillo que recubre parcialmente la mesa así como por la desalineación de los rodillos;
-
la adopción de diámetros diferentes para los rodillos permite favorecer el desgaste del rodillo metálico y minimizar el del polímero.

Claims (10)

1. Esclusa de estanqueidad (5) para una cámara de depósito bajo vacío sobre una banda, preferentemente metálica, en paso continuo (1), que presenta una tapa inferior (6) y una tapa superior (7) amovibles, que comprende una pluralidad de pares de rodillos metálicos (10, 10'; 11, 11',…) entre los cuales pasa la banda (1) y mantenidos en una cuna (40, 40'; 41, 41';…) fijada a la tapa (6, 7) que le está enfrentada con una separación que define una primera fuga, definiendo dos pares de rodillos sucesivos cualesquiera una subcámara (20, 21, 22, …) mantenida a una presión determinada, inferior a la presión atmosférica, por un grupo de bombeo (3) conectado a dicha cámara, caracterizada porque:
-
los rodillos están montados sobre unos cojinetes (30, 30', …) solidarios de dichas tapas (6, 7) y son también amovibles;
-
los rodillos de un mismo par tienen sus ejes dispuestos en un mismo plano vertical y son de diámetros diferentes, estando la posición del rodillo de menor diámetro (10', 11',…) alternada alta/baja, cuando se pasa de un par de rodillos dado al par adyacente;
-
las cunas (40, 40'; 41, 41'; …) de sostenimiento de dos rodillos de un mismo par presentan una prolongación lateral (9, 9') hacia el centro cuya separación con la superficie lateral de dichos rodillos define una segunda fuga.
2. Esclusa de estanqueidad según la reivindicación 1, caracterizada porque los rodillos de menor diámetro (10', 11', …) están recubiertos con un cierto espesor de caucho o de elastómero.
3. Esclusa de estanqueidad según la reivindicación 2, caracterizada porque los rodillos de mayor diámetro (10, 11, …) son unos rodillos cuya superficie de contacto con la banda (1) es metálica y define la línea de paso de la banda.
4. Esclusa de estanqueidad según cualquiera de las reivindicaciones 2 y 3, caracterizada porque dos rodillos de un mismo par están desalineados en la dirección transversal con respecto al movimiento de la banda, de manera que, a cada lado lateral de la esclusa, uno de los rodillos presente un desbordamiento con respecto al otro rodillo.
5. Esclusa de estanqueidad según la reivindicación 4, caracterizada porque la estanqueidad de cada subcámara de la esclusa está asegurada entre la banda y la mesa de los dos rodillos por un pretensado del rodillo recubierto de caucho sobre el rodillo de superficie metálica, que permite a la vez el paso de la banda y el aplastamiento del caucho o del elastómero alrededor de la banda.
6. Esclusa de estanqueidad según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizada porque el ángulo de cambio de dirección de la banda es determinado por la relación de los diámetros de los rodillos de un mismo par y es inferior a 10º.
7. Esclusa de estanqueidad según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizada porque la presión más baja que reina en una subcámara (20, 21, 22, …) es inferior a 10^{-4} mbar, preferentemente 10^{-5} mbar.
8. Esclusa de estanqueidad según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizada porque la separación que caracteriza la primera fuga es función de la anchura máxima de la banda.
9. Esclusa de estanqueidad según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizada porque la separación que caracteriza la segunda fuga es esencialmente constante e inferior a 0,3 mm, preferentemente 0,2 mm.
10. Instalación de tipo línea de depósito bajo vacío de una capa delgada metálica u orgánica sobre un producto metalúrgico o siderúrgico plano en movimiento a una velocidad de por lo menos 10 m/min, preferentemente una banda de acero al carbono o inoxidable, que comprende una esclusa de estanqueidad (5) de entrada y/o de salida según cualquiera de las reivindicaciones anteriores.
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