ES2218708T3 - Procedimiento para la determinacion de un espesor de una capa de material conductor de la electricidad. - Google Patents
Procedimiento para la determinacion de un espesor de una capa de material conductor de la electricidad.Info
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Abstract
EN UN PROCEDIMIENTO PARA LA DETERMINACION DEL GROSOR DE UNA CAPA DE UN MATERIAL CONDUCTOR DE ELECTRICIDAD, LOS ERRORES DE MEDICION SE TRANSFORMAN EN VALORES NORMALIZADOS SIN DIMENSION CON LA AYUDA DE UN PROCEDIMIENTO DE NORMALIZACION. EN ESTA TRANSFORMACION ES POSIBLE ELIMINAR EN GRAN MEDIDA LOS ERRORES DE MEDICION, POR EJEMPLO, MEDIANTE DERIVACION TERMICA Y LAS DISTINTAS PROPIEDADES ELECTRICAS Y MAGNETICAS DE LA MATERIA PRIMA DEL CUERPO DE SOPORTE. ESTOS VALORES NORMALIZADOS SE TRANSFORMAN EN VALORES DE GROSOR DE CAPA CON LA AYUDA DE UNA CURVA DE CALIBRACION.
Description
Procedimiento para la determinación de un espesor
de una capa de material conductor de electricidad.
La invención parte de un procedimiento para la
determinación de un espesor de una capa de material conductor de
electricidad, especialmente de una capa de cromo. Hasta ahora, las
piezas cromadas se miden en la práctica, por ejemplo, con el
procedimiento de fluorescencia radiográfica. Pero este procedimiento
es caro y costoso de tiempo. También se aplica el llamado método de
medición inductiva. Pero en esto caso solamente son posibles
mediciones puntuales sobre la superficie, que requieren una
exactitud muy alta de la posición para la aplicación en la
práctica. Pero en ambos procedimientos es relativamente costoso
eliminar los errores de medición que se producen.
El procedimiento según la invención para la
determinación de un espesor de una capa de material conductor de
electricidad con las características de la reivindicación
independiente tiene, en cambio, la ventaja de que se pueden eliminar
en gran medida los errores de medición que se producen.
Especialmente las piezas recubiertas fabricadas
en una producción en masa se pueden verificar en un procedimiento de
medición que se lleva a la práctica de forma continua. Se pueden
eliminar las eventuales oscilaciones de la naturaleza del material
básico y las diferencias de la distancia entre la bobina de medición
y el objeto de medición a determinar, producidas, por ejemplo, a
través de la contaminación o bien la fricción. De esta manera, es
posible una manifestación muy fiable y clara sobre el espesor de la
capa a determinar.
A través de las medidas indicadas en las
reivindicaciones dependientes son posibles desarrollos ventajosos y
mejoras del procedimiento indicado en la reivindicación
independiente.
Un ejemplo de realización de la invención se
representa en el dibujo y se explica en detalle en la descripción
siguiente. La figura 1 muestra una estructura esquemática del
dispositivo de medición, en la figura 2 se representa la curva de la
inductividad L de la bobina de medición sobre el espesor "a"
de la capa a determinar a diferentes distancias y con diferente
naturaleza \alpha o bien \beta del material que se encuentra
debajo de la capa a determinar. En la figura 3 se representa la
relación de las diferentes distancias utilizadas en la figura 2
entre la bobina de medición y el objeto de medición. La figura 4
muestra la curva de los valores normalizados Me sobre el espesor de
capa a. - La figura 5 muestra un diagrama de bloques del
procedimiento y la figura 6 muestra la curva de los valores
normalizados Me sobre el espesor de capa a. La figura 7 muestra otro
diagrama de bloques de una variación del procedimiento y la figura
8 muestra una variación del cuerpo de calibración utilizado en el
procedimiento de medición y la figura muestra una variación del
cuerpo de calibración utilizado en el procedimiento de medición y la
figura 9 muestra una variación del cuerpo de medición utilizado en
el procedimiento de medición.
El procedimiento de medición según la invención
se basa en el llamado principio de medición de la corriente
turbulenta inductiva. En la figura 1 se representa de forma
constructiva un sensor 10 utilizado para ello. El sensor 10 está
dispuesto en la escotadura 11 de un cuerpo de base 12 y está
constituido por un cuerpo de bobina 13 sobre el que está instalada
una bobina 14 que está recorrida por una corriente alterna de alta
frecuencia, por ejemplo de 4 MHz. La bobina 14 puede estar
configurada, por ejemplo, como bobina plana o bobina anular. El
cuerpo de la bobina 13 está constituido con preferencia por
material no conductor de electricidad y material ferromagnético, por
ejemplo plástico, y es conducido casi sin fricción en la escotadura
11. El componente 17 a supervisar está montado en un cuerpo de guía
18, que coloca el componente 17 y la bobina 14 en relación entre
sí. Con la ayuda de un muelle 19 se presiona el cuerpo de la bobina
13 y, por lo tanto, la bobina 14 contra la superficie 20 del
componente 17. La superficie 20 presenta la cata a determinar. En
el componente 17 se puede tratar, por ejemplo, del racor de una
válvula de inyección, representando la capa 20 entonces una capa de
cromo. Si fluye a través de la bobina 14 una corriente alterna,
entonces se genera un campo alterno magnético, que atraviesa tanto
la capa de cromo 20 como también la capa de material subyacente de
material ferromagnético del componente 17. En la capa de cromo 20
actúa entonces solamente el efecto de la corriente turbulenta,
mientras que en el material ferromagnético del cuerpo de base 17
están activos el efecto inductivo y el efecto de corriente
turbulenta. A continuación se explican en detalle solamente los
efectos de medición respectivos, que parecerían si no estuviera
presente la otra parte respectiva. Si la bobina es atravesada por
una corriente alterna y el campo alterno magnético de la bobina
detecta solamente un material buen conductor de electricidad, pero
no ferromagnético, es decir, sólo se detectaría la capa de cromo 20
por el campo alterno magnético de la bobina, entonces actúa
solamente el llamado efecto de la corriente turbulenta. En virtud de
las corrientes turbulentas, que se configuran en el material buen
conductor de electricidad, pero no ferromagnético, resulta una
reducción de la inductividad de la bobina 14.
A continuación se describe ahora la actuación del
campo magnético de la bobina 14 recorrida por una corriente alterna
sobre el material ferromagnético que se opone a ella, es decir,
sobre el material del cuerpo de base 17. El campo alterno magnético
de la bobina recorrida por la corriente alterna detecta el material
del cuerpo de base 17. Hay que indicar en este caso que en el
material conductor de electricidad y ferromagnético actúa tanto el
efecto ferromagnético como también el efecto de la corriente
turbulenta. Mientras que el efecto de la corriente turbulenta
provoca una reducción de la inductividad de la bobina de medición,
el efecto ferromagnético provoca una elevación de la inductividad de
la bobina de medición. Cuál de los dos efectos prevalece depende en
primer término de la frecuencia de la corriente alterna, que fluye
a través de la bobina 14, y de la naturaleza del material del
cuerpo de base 17. Si se transmiten estos dos efectos de medición
sobre el cuerpo de base 17 con la capa de cromo 20, entonces se
puede establecer que cuanto más gruesa es la capa de cromo 20,
tanto más débil de configura el campo magnético y, por
consiguiente, tanto más débil es la inductividad de la bobina 14. En
la figura 2 se representa con \alpha1 una curva de medición
correspondiente, que representa la curva decreciente de la
inductividad de la bobina de medición 14 sobre el espesor creciente
de la capa de cromo 20.
Pero el desarrollo de la curva de medición de la
inductividad L sobre el espesor de la capa "a" depende de la
naturaleza del material del cuerpo de base 17, es decir, por
ejemplo, de la resistencia eléctrica, de la permeabilidad del
material y de la distancia entre la bobina 14 y la superficie 20,
que debe medirse. Si se modifica la distancia entre la bobina de
medición 14 y la capa de cromo 20, por ejemplo condicionada por
contaminaciones o por desgaste del cuerpo de la bobina, entonces
resultan diferentes curvas características del desarrollo de la
inductividad L sobre el espesor de la capa a. En la figura 2 se
representan aquí diferentes ejemplos. Las curvas características
\alpha2, \alpha3 y \alpha4 representan en este el desarrollo
el desarrollo de la inductividad L sobre el espesor de la capa
"a" a diferente distancia entre la bobina de medición y la
capa de cromo a supervisar, pero con la misma naturaleza del
material del cuerpo de base 17. En la figura 3 se representa en
este caso el tamaño de la distancia \alpha entre la bobina 14 y la
capa de cromo 20 a supervisar. Se deduce claramente que cada vez se
incrementa más la distancia desde \alpha1 hasta \alpha4. En
cambio, si se modificase la naturaleza del material del cuerpo de
base 17, entonces resultarían las curvas características \beta1 a
\beta4. Las curvas características \beta1 a \beta4 significan
de nuevo una variación de la distancia entre la bobina de medición y
la capa de cromo a supervisar en una segunda naturaleza del
material del cuerpo de base. A partir del diagrama según la figura
2 se deduce claramente que se pueden asociar una pluralidad de
espesores de capa posibles a un valor medido de la inductividad L.
En lugar de la inductividad se puede evaluar también el valor de la
resistencia de la corriente alterna de la bobina.
El procedimiento de medición según la invención
posibilita ahora también una asociación clara entre los valores
medidos de la inductividad L de la bobina de medición 14 y el
espesor "a" de la capa de cromo 20, cuando se modifica la
naturaleza del material del cuerpo de base 17 y/o la distancia entre
la bobina de medición 14 y la superficie de la capa de cromo a
determinar. El núcleo del procedimiento según la invención consiste
en realizar una normalización, que elimina los errores de medición
producidos y que determina un valor de medición que puede ser
asociado claramente.
El procedimiento según la invención para la
determinación del espesor de una capa se lleva a cabo en varias
etapas de medición y de evaluación. Antes del recubrimiento del
cuerpo de base 17 se determina, en una llamada medición previa, un
valor de la inductividad L_{0} de la bobina 14. En este caso, la
bobina 14 se asienta, a ser posible, directamente sobre la
superficie (superficie de medición) no recubierta todavía, dirigida
hacia la bobina, del cuerpo de base 17. Por lo tanto, solamente se
lleva a cabo una medición frente al material del cuerpo de base 17.
El tamaño del valor de la inductividad L_{0} depende de la
naturaleza del cuerpo de base, especialmente de sus propiedades
magnéticas y eléctricas. Esta naturaleza del cuerpo de base 17
puede oscilar en una fabricación en serie. Por lo tanto, hay que
determinar el valor de la inductividad 10 al comienzo de la
medición para cada cuerpo de base 17 individuar y hay que
memorizarla de forma asociado en una memoria de datos.
A continuación se provee ahora el cuerpo de base
17 en una instalación de recubrimiento correspondiente con una capa
de cromo 20. A continuación se lleva a cabo una segunda medición,
es decir, una llamada medición posterior, que se realiza en el
mismo lugar del cuerpo de base 17 que la medición previa mencionada
anteriormente. En este caso, resulta un valor de la inductividad
L_{x} de la bobina de medición 14. La magnitud del valor de la
inductividad L_{x} se determina, entre otras cosas, a partir del
espesor de la capa de cromo 20 y de la naturaleza del material del
cuerpo de base 17. hay que asegurar que ambos valores de la
inductividad L_{0} y L_{x} calculados deben asociarse en cada
caso claramente al mismo cuerpo de base 17. Estos dos valores de la
inductividad L_{0} y L_{x} son convertidos ahora con la ayuda
de un algoritmo en valores normalizados, es decir, en índices
adimensionales, que se pueden asociar a un espesor de capa
correspondiente. Para poder realizar esta formación del valor
normalizado, debe determinarse el valor de la inductividad
L\infty. Se obtiene este valor de la inductividad L\infty
cuando se lleva a cabo en un cuerpo de calibración una medición
exclusivamente con respecto a una capa de cromo. La superficie del
cuerpo de calibración debe presentar en este caso una capa de cromo
tan gruesa que blinda todo el campo magnético de la bobina, de
manera que no pueden repercutir ni el efecto inductivo ni el efecto
de la corriente turbulenta en el material básico ferromagnético del
cuerpo de calibración. Dado el caso, en el cuerpo de calibración se
puede utilizar como substituto, en el lugar de cromo, también otro
material ferromagnético conductor de electricidad, pero no
ferromagnético. De acuerdo con la ecuación 1 se determina ahora el
valor normalizado Me. El factor 1000 se puede variar de una manera
discrecional entre cero y el infinito.
(1)Me = 1000 \cdot
\frac{L_{x} - L_{0}}{L \infty -
L_{0}}
Me = valor de medición / valor normalizado
L_{0} = valor de la inductividad (cuerpo básico
no recubierto)
L_{x}= valor de la inductividad (parte
recubierta)
L\infty = valor de la inductividad (cuerpo de
calibración de cromo)
En la figura 4 se representa ahora la curva
\gamma de los valores de medición Me normalizados de acuerdo con
la ecuación (1) sobre el espesor de capa 1. Las diferentes curvas
representadas en la figura 2 muestran un desarrollo \gamma casi
coincidente de los valores normalizados Me determinados en cada
caso. De deduce claramente que en la figura 4 es posible, frente a
la figura 2, una asociación clara de un valor normalizado M a un
espesor de la capa 20.
Con la ayuda de la ecuación 1 casi han sido
eliminados hasta ahora los errores, que se producen debido a las
distancias de diferente magnitud entre la bobina de medición y la
capa a determinar y debido a las diferentes propiedades magnéticas o
eléctricas del material del cuerpo de base 17. Pero también es
posible todavía suprimir la influencia de la llamada desviación que
se produce, entre otras cosas, a través de las oscilaciones de la
temperatura, sobre el resultado de la medición. A tal fin, se puede
detectar también el valor de la inductividad de la bobina de
medición, que se obtiene cuando la bobina de medición mide
exclusivamente con relación al aire, es decir, cuando no se opone ni
la capa de cromo ni otro componente. Este valor de medición se
designa a continuación como valor original del aire LI\infty. Se
determina poco antes o después (a ser posible al mismo tiempo) que
se determina el valor de la inductividad L\infty con la ayuda de
un cuerpo de calibración. Este valor LI\infty representa un valor
de base, que se utiliza en cada caso para las mediciones
siguientes. Durante la medición individual del cuerpo de base
individual 17 se determina poco antes o después de la llamada
medición previa mencionada anteriormente, es decir, a ser posible
al mismo tiempo que la determinación del valor de la inductividad
L_{0} de la bobina, un valor de la inductividad LI_{0}, que se
obtiene cuando la bobina de medición mide de nuevo con relación al
aire. A continuación se lleva a cabo, por ejemplo, en un
microordenador una formación de la diferencia \DeltaL_{0} =
LI_{0} - LI\infty. Con la ayuda de este valor \DeltaL_{0} se
calculan ahora los valores de la inductividad corregidos L_{0}* =
L_{0} - \DeltaL_{0}. De acuerdo con el sentido, también hay
que determinar durante la medición del valor de la inductividad
L_{x} el valor de medición corregido L_{0}*. En este caso, se
registra en el tiempo poco antes o después de la llamada medición
siguiente mencionada anteriormente, es decir, poco antes o después
de la determinación del valor L_{x}, el valor de la inductividad
de la bobina con relación al aire, que se designa con LI_{x}. Aquí
se puede determinar de nuevo el valor de la bobina frente al aire,
puesto que puede estar presente una diferencia de tiempo y, por lo
tanto, una oscilación de la temperatura entre el registro del valor
de la inductividad de la bobina con respecto al aire en la llamada
medición previa y en la llamada medición posterior. El llamado
valor original del aire LI\infty determinado una vez se puede
utilizar tanto durante la corrección del valor de la inductividad
L_{0} como del valor de la inductividad L_{x} durante un
periodo de tiempo prolongado. También es suficiente que el valor de
la inductividad L\infty, que representa el valor de la
inductividad de una medición exclusivamente con respecto a una capa
de cromo, sea registrado sólo a intervalos de tiempo y sea
memorizado durante un periodo de tiempo prolongado en una base de
datos. Pero si se registra de nuevo el valor de la inductividad
L\infty, para tener en cuenta, por ejemplo, una modificación
lenta y continua de la distancia entre la bobina de medición y el
objeto de medición (por ejemplo, fricción), entonces hay que renovar
al mismo tiempo también el llamado valor original del aire
LI\infty. Para tener en cuenta ahora, durante la formación del
valor normalizado, también la desviación del resultado de la
medición, que se provoca a través de las oscilaciones de la
temperatura, se puede utilizar la ecuación 2.
(2)Me = 1000 \cdot
\frac{(L_{x} -(LI_{x} - LI \infty))-(L_{0} -(LI_{0} - LI
\infty))}{L \infty-(L_{0} -(LI_{0} - LI
\infty))}
En el caso de substitución de un sensor, debe
registrarse de nuevo el valor de la inductividad L\infty y
LI\infty. Si se lleva a cabo la substitución entre la medición
previa y la substitución interior, entonces debe utilizarse también
durante la medición posterior el valor de referencia antiguo
LI\infty.
En muchos materiales para el cuerpo de base 17 se
modifican los valores eléctricos y magnéticos del material del
cuerpo de base, considerados durante ciclos de tiempo prolongados.
Esta modificación, es decir, esta desviación, puede ser de
diferente magnitud en cada cuerpo de medición a determinar, puesto
que esta desviación depende, además de la naturaleza del material,
también del tratamiento térmico individual, que se lleva a cabo
antes del cromado. Por lo tanto, para el registro de las curvas
características de ajuste, ver la figura 4, se fabrican cuerpos de
calibración, como se representan en la figura 8. El cuerpo de
calibración 30 presenta dos superficies frontales 31 y 32. La
superficie de medición 31 está constituida aquí por el cuerpo de
base no recubierto y la superficie de medición 32 está provista con
la capa de cromo. Pero ambas superficies de medición 31 y 32 están
formadas iguales. Se conoce el espesor de la capa de cromo, que está
aplicada sobre la superficie de medición 32. El valor normalizado
determinado durante la calibración con este cuerpo de calibración
30 no se modifica o sólo en una medida no esencial, aunque se
modifiquen las propiedades eléctricas y magnéticas del material de
base, condicionadas por procesos de envejecimiento. En este caso,
se presupone una modificación homogénea de las propiedades
magnéticas y eléctricas del material de base sobre todo el cuerpo de
calibración.
A continuación se indican las etapas de medición
y de cálculo individuales de nuevo con la ayuda del diagrama según
la figura 5. El procedimiento de medición se lleva a cabo, como se
explica de forma general, en tres etapas, un llamado registro del
valor de calibración, una llamada medición previa y una llamada
medición posterior. En el registro del valor de calibración, se
registra el valor de la inductividad L\infty, que se determina
exclusivamente con respecto al material (o bien su material de
substitución), cuyo espesor es determinado, siendo el espesor del
cuerpo de calibración con preferencia mayor que la profundidad de
penetración del campo alterno magnético de la bobina de medición. A
continuación, se determina el valor de la inductividad LI\infty,
que representa el valor de la inductividad de la bobina de medición
frente al aire a ser posible en el instante del registro del valor
L\infty.
Ahora se inicia la llamada sección de medición
previa.
- 3.
- Registro del valor actual de la inductividad de la bobina frente al aire LI_{0}.
- 4.
- Formación de la diferencia \DeltaL_{0} = LI_{0}- LI\infty.
- 5.
- Determinación del valor de inductividad L_{0}, es decir, del valor de la inductividad con respecto al cuerpo de base no recubierto.
- 6.
- Determinación del valor corregido L_{0}* de acuerdo con la formación de la diferencia L_{0}* = L_{0} - \DeltaL_{0}.
A continuación siguen las etapas del cálculo de
la llamada medición siguiente:
- 7.
- Determinación del valor de la inductividad de la bobina con relación al aire LI_{x}.
- 8.
- Formación de la diferencia \DeltaL_{0} = LI_{0} - LI\infty.
- 9.
- Determinación del valor de la inductividad L_{x}.
- 10.
- Determinación del valor corregido L_{x}* a través de la formación de la diferencia L_{x}* = L_{x} - \DeltaL_{x}.
- 11.
- Realización del cálculo del valor normalizado de acuerdo con la ecuación con los valores L\infty, y L_{x} o bien L_{0}*.
- 12.
- Conversión del valor normalizado determinado en 11 en un espesor de capa con la ayuda de una curva de calibración.
En una variación del procedimiento, no se
determina el valor de la inductividad L_{0} ya en cada componente
particular de una manera individual con respecto a éste, sino que
ahora se mide y se memoriza con la ayuda de un elemento de
calibración. Esta parte de ajuste no puede modificar sus
propiedades eléctricas y magnéticas durante el periodo de
funcionamiento de la instalación. El valor de la inductividad
L\infty se determina como se ha descrito anteriormente. A
continuación se representan ahora las etapas de medición de acuerdo
con la figura 7, sin tener en cuenta, para la simplificación y por
razones de claridad, la corrección de la desviación de la
temperatura. Para esta variación del procedimiento es necesario
registrar para cada material una curva de calibración de conversión
propia de acuerdo con la figura 6, que se registra con los mismos
elementos de calibración utilizados en la etapa 1.
Etapa
1
- 1.
- Registro del valor de la inductividad L\infty y memorización en la base de datos.
- 2.
- Registro del valor de la inductividad L_{0} con respecto a un elemento de calibración y memorización en la base de datos.
Etapa
2
- 3.
- Determinación del valor de la inductividad L_{0} en un componente no recubierto.
- 4.
- Cálculo del valor normalizado Me con la ayuda de la ecuación 1 con un espesor de capa cero.
- 5.
- Selección de la curva de calibración de conversión relacionada con el material según la figura 6.
Etapa
3
- 6.
- Determinación del valor de la inductividad Lx en un componente recubierto.
- 7.
- Cálculo del valor normalizado con la ayuda de la ecuación 1.
- 8.
- Conversión de los valores normalizados en valores de espesores de capa con la ayuda de una curva de calibración seleccionada.
Hay que indicar que en el procedimiento, a
diferencia del procedimiento de la corriente turbulenta o bien del
procedimiento inductivo utilizados en el estado de la técnica, la
bobina de medición es recorrida por una corriente alterna de alta
frecuencia, por ejemplo de 4 MHz. No es necesario un núcleo de
bobina, de manera que es posible un tipo de construcción variable y
económico.
A través del empleo de un llamado multiplexor, es
posible poder medir las piezas de medición en poco tiempo. En este
caso, están asociadas muchas bobinas de medición al mismo tiempo a
las superficies de medición a determinar. Poco tiempo después, se
exploran estas superficies de medición por medio del multiplexor.
Esto es posible, aunque se determinen los valores de la
inductividad con la frecuencia de medición alta mencionada
anteriormente, por ejemplo, de 4 MHz.
En la figura 9 se representa otra configuración
de la disposición constructiva según la figura 1. El registro,
descrito en el procedimiento, del valor de la inductividad L_{0}
(medición de la bobina con respecto al componente no recubierto) se
puede realizar también con una segunda bobina de medición 40
separada. A tal fin, después del cromado, es decir, después de la
aplicación de la capa, debe medirse su espesor, debiendo estar
presente sobre la superficie del componente a supervisar todavía una
zona no recubierta. En el componente 41 representado en la figura
9, se proyecta un apéndice 44 del cuerpo de la bobina 42 en un
taladro 43 del componente 41. La pared del taladro 43 no está
cubierta en este caso con la capa de cromo a determinar. Con la
ayuda de la bobina 40 se puede determinar ahora la propiedad
eléctrica y magnética del cuerpo de base, mientras que se puede
realizar al mismo tiempo, con la ayuda de la bobina de medición 14,
una medición con respecto a la capa de cromo a determinar. Con la
ayuda de este sensor, es posible que el componente sólo sea
colocado una vez sobre el sensor, para que se obtenga un tiempo del
ciclo todavía más corto.
Claims (6)
1. Procedimiento para la determinación de un
espesor de una capa (20) de material conductor de electricidad, que
está aplicada sobre un cuerpo (17) de material ferromagnético, con
la ayuda de al menos una bobina de medición (14) que está recorrida
por una corriente alterna de alta frecuencia, cuya modificación de
la inductividad es evaluada, ejecutando las siguientes etapas de
medición:
- -
- determinación del valor de la inductividad L\infty de la bobina (14) en una medición exclusivamente frente a una capa del material conductor de electricidad,
- -
- determinación del valor de la inductividad L_{0} de la bobina (14) en una medición exclusivamente frente a un cuerpo de material ferromagnético,
- -
- determinación del valor de la inductividad L_{x} de la bobina (14) en una medición frente a la capa (20) a determinar,
- -
- conversión de los valores de la inductividad L\infty, L_{0} y L_{x} en un valor adimensional M_{e},
- -
- conversión del valor M_{e} con la ayuda de una curva de calibración en un valor del espesor de la capa.
2. Procedimiento según la reivindicación 1,
caracterizado porque el valor adimensional M_{e} se
determina con la ayuda de la ecuación:
Me = A \cdot \frac{L_{x}
-L_{0}}{L \infty -
L_{0}}
L_{0} = valor de la inductividad de cuerpos de
base no recubiertos,
L_{x} = valor de la inductividad de la parte
recubierta.
L\infty = valor de la inductividad
exclusivamente frente a la capa
A = factor.
3. Procedimiento según las reivindicaciones 1 y
2, caracterizado porque el valor de la inductividad L_{0}
se determina frente a una parte de calibración, porque se forma un
valor normalizado M_{e} con un espesor de capa cero, con el que se
selecciona la curva de conversión correspondiente.
4. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 1 a 3, caracterizado porque el valor
adimensional Se me determina con la ayuda de la ecuación:
Me = A \cdot
\frac{(L_{x}-(LI_{x} - LI \infty)) - (L_{0}-(LI_{0} - LI
\infty))}{L \infty -(L_{0}-(LI_{0} -
LI\infty))}
LI_{x}: valor de la inductividad con respecto
al aire antes o después del registro de L_{x}
LI_{0}: valor de la inductividad con respecto
al aire antes o después del registro de L_{0}
LI\infty: Valor de la inductividad con respecto
al aire antes o después del registro de L\infty.
5. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 1 a 4, caracterizado porque se lleva a cabo
una determinación del valor de la inductividad L_{0} y del valor
de la inductividad L_{x} en un cuerpo de calibración (30) con
composición homogénea del material.
6. Procedimiento según una de las
reivindicaciones 1 a 5, caracterizado porque el valor de la
inductividad L_{0} y el valor de la inductividad L_{x} se
determinan casi al mismo tiempo con la ayuda de una bobina de
medición (14, 40) propia.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19652750 | 1996-12-18 | ||
| DE19652750A DE19652750C2 (de) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | Verfahren zur Bestimmung einer Dicke einer Schicht aus elektrisch leitendem Material |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ES2218708T3 true ES2218708T3 (es) | 2004-11-16 |
Family
ID=7815183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ES97949895T Expired - Lifetime ES2218708T3 (es) | 1996-12-18 | 1997-11-08 | Procedimiento para la determinacion de un espesor de una capa de material conductor de la electricidad. |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6198278B1 (es) |
| EP (1) | EP0891532B1 (es) |
| JP (1) | JP4233609B2 (es) |
| KR (1) | KR100485199B1 (es) |
| CN (1) | CN1133865C (es) |
| AU (1) | AU726794B2 (es) |
| BR (1) | BR9707547A (es) |
| DE (2) | DE19652750C2 (es) |
| ES (1) | ES2218708T3 (es) |
| WO (1) | WO1998027400A1 (es) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19820546C1 (de) * | 1998-05-08 | 1999-11-04 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Eliminierung von Meßfehlern bei der Bestimmung einer Dicke einer Schicht aus elektrisch leitendem Material |
| DE19951015C1 (de) | 1999-10-22 | 2001-01-25 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Charakterisierung von Metallelektroden keramischer Sensorelemente |
| JP4643782B2 (ja) * | 1999-12-10 | 2011-03-02 | 株式会社キーエンス | 渦電流式変位計とそれを用いた距離測定方法 |
| WO2001046684A1 (en) * | 1999-12-23 | 2001-06-28 | Kla-Tencor Corporation | In-situ metalization monitoring using eddy current measurements and optical measurements |
| DE102004034081A1 (de) | 2004-07-15 | 2006-02-09 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur berührungsfreien Bestimmung einer Dicke einer Schicht aus elektrisch leitendem Material |
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| JP4699797B2 (ja) * | 2005-04-20 | 2011-06-15 | 株式会社リベックス | 測定方法および装置 |
| US7282909B2 (en) * | 2005-06-29 | 2007-10-16 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus for determining the thickness of a conductive layer on a substrate |
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| CN102023477B (zh) * | 2009-09-17 | 2013-06-19 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 光刻方法 |
| CN101788260B (zh) * | 2010-03-18 | 2011-12-28 | 清华大学 | 一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法 |
| CN102759722A (zh) * | 2012-07-17 | 2012-10-31 | 江苏省晶石磁性材料与器件工程技术研究有限公司 | 一种锰锌铁氧体粉体磁化强度测试装置及方法 |
| CN103852000B (zh) * | 2014-03-24 | 2016-05-25 | 电子科技大学 | 多层导电涂层厚度的涡流检测方法和装置 |
| WO2018119160A1 (en) * | 2016-12-20 | 2018-06-28 | Nickel Greg | Devices, systems and methods for evaluating objects subject to repair or other alteration |
| DE102018206794A1 (de) | 2018-05-03 | 2019-11-07 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Vermessung von Elektrodenfilmen |
| DE102019112238A1 (de) * | 2019-05-10 | 2020-11-12 | HELLA GmbH & Co. KGaA | Verfahren zur Kontrolle der Beschichtung eines elektronischen Bauteils |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1237335B (de) * | 1963-12-03 | 1967-03-23 | Dr Phil Friedrich Foerster | Anordnung zur Messung von Schichtdicken nichtferromagnetischer Medien auf ferromagnetischem Material |
| FR2071173A5 (es) * | 1969-12-19 | 1971-09-17 | Centre Scient Tech Batiment | |
| GB2145827B (en) * | 1983-08-31 | 1987-04-08 | Fischer Gmbh & Co Inst Fur Ele | Electromagnetic measuring probe |
| DE3404720A1 (de) * | 1984-02-10 | 1985-08-14 | Karl Deutsch Prüf- und Meßgerätebau GmbH + Co KG, 5600 Wuppertal | Verfahren und vorrichtung zur schichtdickenmessung |
| DE4119903C5 (de) * | 1991-06-17 | 2005-06-30 | Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zur Messung dünner Schichten |
| DE4227735C2 (de) * | 1992-08-21 | 1995-10-12 | Leybold Ag | Anordnung zum berührungslosen Messen der Dicke von Schichten |
| US5343146A (en) * | 1992-10-05 | 1994-08-30 | De Felsko Corporation | Combination coating thickness gauge using a magnetic flux density sensor and an eddy current search coil |
| DE4327712C2 (de) * | 1993-08-18 | 1997-07-10 | Micro Epsilon Messtechnik | Sensoranordnung und Verfahren zum Erfassen von Eigenschaften der Oberflächenschicht eines metallischen Targets |
-
1996
- 1996-12-18 DE DE19652750A patent/DE19652750C2/de not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-11-08 CN CNB971921210A patent/CN1133865C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-08 JP JP52716298A patent/JP4233609B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-08 KR KR10-1998-0706374A patent/KR100485199B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-11-08 AU AU53072/98A patent/AU726794B2/en not_active Ceased
- 1997-11-08 ES ES97949895T patent/ES2218708T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-08 EP EP97949895A patent/EP0891532B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-08 WO PCT/DE1997/002615 patent/WO1998027400A1/de active IP Right Grant
- 1997-11-08 BR BR9707547A patent/BR9707547A/pt not_active IP Right Cessation
- 1997-11-08 DE DE59711472T patent/DE59711472D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-08 US US09/125,434 patent/US6198278B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1998027400A1 (de) | 1998-06-25 |
| KR19990082635A (ko) | 1999-11-25 |
| EP0891532B1 (de) | 2004-03-31 |
| CN1210584A (zh) | 1999-03-10 |
| BR9707547A (pt) | 1999-07-27 |
| AU726794B2 (en) | 2000-11-23 |
| KR100485199B1 (ko) | 2005-08-17 |
| EP0891532A1 (de) | 1999-01-20 |
| DE19652750A1 (de) | 1998-07-02 |
| CN1133865C (zh) | 2004-01-07 |
| DE59711472D1 (de) | 2004-05-06 |
| AU5307298A (en) | 1998-07-15 |
| JP2000505905A (ja) | 2000-05-16 |
| DE19652750C2 (de) | 1999-12-02 |
| JP4233609B2 (ja) | 2009-03-04 |
| US6198278B1 (en) | 2001-03-06 |
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