JP3028275B2 - センサの較正方法 - Google Patents
センサの較正方法Info
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D18/008—Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00 with calibration coefficients stored in memory
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
- G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
- G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
- G01N27/9046—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents by analysing electrical signals
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定量をセンサによっ
て検出する際、測定結果に影響を与えるいわゆる影響変
数(influence variables)が考慮され、前記影響変数が
測定に影響を与える少なくとも１つの妨害変数(disturb
ance variables)と前記測定量から決定される少なくと
も１つの対象物値(target value)からなるセンサの較正
(calibration)方法に関する。特に、本発明は、距離測
定及び材料試験のための渦電流センサの較正方法に関す
る。
て検出する際、測定結果に影響を与えるいわゆる影響変
数(influence variables)が考慮され、前記影響変数が
測定に影響を与える少なくとも１つの妨害変数(disturb
ance variables)と前記測定量から決定される少なくと
も１つの対象物値(target value)からなるセンサの較正
(calibration)方法に関する。特に、本発明は、距離測
定及び材料試験のための渦電流センサの較正方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】非電気的、すなわち、主として機械的な
量を測定するために、近年の自動製造プロセスでは、コ
ントロールセンサとして電子センサ、特に、非接触型距
離センサを使用する傾向にある。また、測定量検出が殆
ど非反応的(nonreactive)であることを除き、このよう
なセンサの他の有利な点は、応答性に実質的な遅延がな
く、振動、塵埃、水分及び化学的活性ガスに無関係であ
り、且つ保守に費用が嵩まないということである。
量を測定するために、近年の自動製造プロセスでは、コ
ントロールセンサとして電子センサ、特に、非接触型距
離センサを使用する傾向にある。また、測定量検出が殆
ど非反応的(nonreactive)であることを除き、このよう
なセンサの他の有利な点は、応答性に実質的な遅延がな
く、振動、塵埃、水分及び化学的活性ガスに無関係であ
り、且つ保守に費用が嵩まないということである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】渦電流センサは、これ
らのセンサの代表例であって、苛酷な環境下において
も、僅かな変位や距離を測定することに特に適してい
る。他の多くの測定方法と同じように、渦電流測定原理
によって距離を測定する場合にも、測定されるべき量は
目的とする量、すなわち、距離によって影響を受けるだ
けでなく、周辺の他の影響変数にも同じように影響を受
ける。測定時又は調節時において知られている因子、例
えば、コイル及び測定対象物の構造や、コイル電流の周
波数及び振幅に加えて、測定対象物の殆ど知られていな
い材料特有の影響が大きな問題となる。ここで注意を要
することは、導電率及び透磁率が均質でないことや、温
度変動及び材料の欠陥である。測定対象物、すなわち、
目標物の導電率及び透磁率は、以下、妨害変数として説
明される。
らのセンサの代表例であって、苛酷な環境下において
も、僅かな変位や距離を測定することに特に適してい
る。他の多くの測定方法と同じように、渦電流測定原理
によって距離を測定する場合にも、測定されるべき量は
目的とする量、すなわち、距離によって影響を受けるだ
けでなく、周辺の他の影響変数にも同じように影響を受
ける。測定時又は調節時において知られている因子、例
えば、コイル及び測定対象物の構造や、コイル電流の周
波数及び振幅に加えて、測定対象物の殆ど知られていな
い材料特有の影響が大きな問題となる。ここで注意を要
することは、導電率及び透磁率が均質でないことや、温
度変動及び材料の欠陥である。測定対象物、すなわち、
目標物の導電率及び透磁率は、以下、妨害変数として説
明される。
【０００４】本発明の目的は、妨害変数を抑えることが
できる、種々のセンサ、特に、渦電流センサの較正方法
を提供することである。
できる、種々のセンサ、特に、渦電流センサの較正方法
を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の方法は、請求項１の特徴項にある。従って、
センサを較正するために、対象物の量の種々の値と影響
変数によって特徴付けられる種々の状態とが最初に定義
付けられる。対象物の量の定義値と定義状態の組合せに
対して、測定されるべき量の対応値が得られる。最後
に、対象物の各定義値と測定されるべき量の対応値か
ら、係数のセットが全ての定義付けられた状態に対して
決定される。その結果、対象物の量の定義付けされたも
のの数だけの数の係数のセットが得られ、これらの係数
は対象物量の各対応値に関連付けられ、そして、記憶さ
せられる。
の本発明の方法は、請求項１の特徴項にある。従って、
センサを較正するために、対象物の量の種々の値と影響
変数によって特徴付けられる種々の状態とが最初に定義
付けられる。対象物の量の定義値と定義状態の組合せに
対して、測定されるべき量の対応値が得られる。最後
に、対象物の各定義値と測定されるべき量の対応値か
ら、係数のセットが全ての定義付けられた状態に対して
決定される。その結果、対象物の量の定義付けされたも
のの数だけの数の係数のセットが得られ、これらの係数
は対象物量の各対応値に関連付けられ、そして、記憶さ
せられる。
【０００６】本発明によると、このようにして決定され
た係数のセットは、測定される量に対する妨害変数の変
化の影響を反映するものであり、決定された係数のセッ
ト及び測定データの特定の処理によって、この妨害変数
を無くすることができることが見出された。
た係数のセットは、測定される量に対する妨害変数の変
化の影響を反映するものであり、決定された係数のセッ
ト及び測定データの特定の処理によって、この妨害変数
を無くすることができることが見出された。
【０００７】このような較正では、考慮されるべき影響
変数と少なくとも同じ数の測定量を前以て準備をしてお
く必要がある。較正されるセンサが交流で作動する場
合、いわゆる多段周波数(multifrequency)法、すなわ
ち、パルス法を利用することにより、異なる検査周波数
でセンサを作動させて、追加的な測定量を実現すること
が可能であろう。
変数と少なくとも同じ数の測定量を前以て準備をしてお
く必要がある。較正されるセンサが交流で作動する場
合、いわゆる多段周波数(multifrequency)法、すなわ
ち、パルス法を利用することにより、異なる検査周波数
でセンサを作動させて、追加的な測定量を実現すること
が可能であろう。
【０００８】本発明によるセンサの較正方法及び測定デ
ータの処理方法を補うため、すなわち、対象物に関する
未知の値を決定するために、対象物の或る量の未知の値
に対応するような測定し得る量の値を検出することが好
ましい。測定されるべき量のこれらの検出値は、次い
で、記憶された係数のセットに対して掛算されることに
よってオフセットされ、サブトータルとして加算される
が、該サブトータルは、各々の係数のセットと同じ対象
物グループの定義値に関連付けられる。その後、対象物
の量の２つの連続する値の間の範囲が未知の対象物の量
の値の範囲として決定され、対応するサブトータルから
の偏差が、対象物の量のこれらの２つの定義値の１つに
対して正（ポジティブ）になる。
ータの処理方法を補うため、すなわち、対象物に関する
未知の値を決定するために、対象物の或る量の未知の値
に対応するような測定し得る量の値を検出することが好
ましい。測定されるべき量のこれらの検出値は、次い
で、記憶された係数のセットに対して掛算されることに
よってオフセットされ、サブトータルとして加算される
が、該サブトータルは、各々の係数のセットと同じ対象
物グループの定義値に関連付けられる。その後、対象物
の量の２つの連続する値の間の範囲が未知の対象物の量
の値の範囲として決定され、対応するサブトータルから
の偏差が、対象物の量のこれらの２つの定義値の１つに
対して正（ポジティブ）になる。
【０００９】評価のさらなるステップでは、対象物の量
の定義値と対応するサブトータルの間の差が、対象物の
量に依存するエラー（誤差）関数の値と解釈される。対
象物の量の未知の値は、次いで、エラー関数がゼロを通
過するときの対象物の量の値として推定することができ
る。
の定義値と対応するサブトータルの間の差が、対象物の
量に依存するエラー（誤差）関数の値と解釈される。対
象物の量の未知の値は、次いで、エラー関数がゼロを通
過するときの対象物の量の値として推定することができ
る。
【００１０】エラー関数のゼロ通過を決定するには、今
や、種々の可能性がある。そのための方法には、補間
法、又は、近似化の方法がある。これらの方法は、異な
った結果を与えるものであり、必要な出費も異なってい
る。補間法で特に影響の大きいさらなる評価基準は、支
持点(points of supports)の間での関数の波打ち(wavi-
ness)の程度である。直接的方法として、線形補間法が
よいが、この方法では、個々の支持点は、線のセグメン
トで連結される。部分的に定義された線形の関数のゼロ
通過だけが問題なのであるから、その間で変化が生じて
いる２つの支持点だけを考慮すれば充分である。この場
合、ゼロ値の計算には、全く何の問題もない。
や、種々の可能性がある。そのための方法には、補間
法、又は、近似化の方法がある。これらの方法は、異な
った結果を与えるものであり、必要な出費も異なってい
る。補間法で特に影響の大きいさらなる評価基準は、支
持点(points of supports)の間での関数の波打ち(wavi-
ness)の程度である。直接的方法として、線形補間法が
よいが、この方法では、個々の支持点は、線のセグメン
トで連結される。部分的に定義された線形の関数のゼロ
通過だけが問題なのであるから、その間で変化が生じて
いる２つの支持点だけを考慮すれば充分である。この場
合、ゼロ値の計算には、全く何の問題もない。
【００１１】コストはより高いけれども、もう１つの可
能性としては、エラー関数のいわゆるスプライン補間法
がある。この場合も同様に、エラー関数は、セグメント
で定義される。各２つの支持点の間で、例えば、３次の
多項式が配置され、かくして隣り合う多項式が関数値と
その派生値において、共通の支持点で一致する。所望の
解法の関数として、ゼロ通過が存在するインターバルだ
けを観察したのでは、、この場合、充分ではない。ゼロ
通過の前後で、各３つの追加的インターバルで、すなわ
ち、８つの支持点でおこなった場合にも、ゼロ点の決定
は、３次の多項式による直接の計算によって、或いは、
例えば、ニュートン法という数値計算によっておこなう
ことができる。開始値としては、既に述べた線形法の結
果を利用することができよう。スプラインの特定の構成
の結果によると、測定区間のインターバル限界に各１つ
の支持点を追加するとよいことがわかった。このこと
は、全測定範囲において、滑らかな曲線を保証する。要
するに、常に補間法が望ましいのであり、ここでは、得
られた測定データはノイズフリーであるとみなすことが
できる。その他の場合には、近似法が好適である。線形
補間法の良い点は、曲線パラメータとゼロ通過の計算が
簡単で、迅速であることである。出費は、スプライン補
間法の方がかなり高い。その代わり、対象物の未知の量
を推定する際の最大のエラー（エラー）は、線形補間法
の場合より５のファクターで小さい。
能性としては、エラー関数のいわゆるスプライン補間法
がある。この場合も同様に、エラー関数は、セグメント
で定義される。各２つの支持点の間で、例えば、３次の
多項式が配置され、かくして隣り合う多項式が関数値と
その派生値において、共通の支持点で一致する。所望の
解法の関数として、ゼロ通過が存在するインターバルだ
けを観察したのでは、、この場合、充分ではない。ゼロ
通過の前後で、各３つの追加的インターバルで、すなわ
ち、８つの支持点でおこなった場合にも、ゼロ点の決定
は、３次の多項式による直接の計算によって、或いは、
例えば、ニュートン法という数値計算によっておこなう
ことができる。開始値としては、既に述べた線形法の結
果を利用することができよう。スプラインの特定の構成
の結果によると、測定区間のインターバル限界に各１つ
の支持点を追加するとよいことがわかった。このこと
は、全測定範囲において、滑らかな曲線を保証する。要
するに、常に補間法が望ましいのであり、ここでは、得
られた測定データはノイズフリーであるとみなすことが
できる。その他の場合には、近似法が好適である。線形
補間法の良い点は、曲線パラメータとゼロ通過の計算が
簡単で、迅速であることである。出費は、スプライン補
間法の方がかなり高い。その代わり、対象物の未知の量
を推定する際の最大のエラー（エラー）は、線形補間法
の場合より５のファクターで小さい。
【００１２】以上に説明した一般的較正方法及びそれに
関連する測定値の処理を、以下、少なくとも１つのコイ
ルを有する渦電流センサを例として、再度説明すること
になるであろう。この例において、測定可能な値として
使用されるのは、異なる周波数におけるコイルインピー
ダンスの、実数と虚数の部分である。これらの測定可能
な値は、多くの影響変数に依存する。センサのあらゆる
幾何学的寸法と、基礎的電気データは、固定の量であ
り、従って、較正方法において、影響変数に含まれるこ
とはない。さらに、使用される対象物の表面は平らで、
センサに対して平行であり、且つ、センサの寸法に対し
て充分な大きさのものであることを前提とする。また、
対象物は、渦電流の浸透深さより大なる厚さを有するも
のとする。さらに、対象物は、表面の欠陥がないものと
する。較正の対象となる３つの重要な影響変数は、測定
の対象である対象物とセンサ間の距離、そして、抑制す
べき妨害変数であるところの、導電性及び有効透磁率で
ある。故に、これらの妨害変数に特別の考慮を払うこと
が必要である。何故なら、材料の欠陥や温度の変化は多
くの場合、導電性及び有効透磁率の変動につながるもの
であるからである。
関連する測定値の処理を、以下、少なくとも１つのコイ
ルを有する渦電流センサを例として、再度説明すること
になるであろう。この例において、測定可能な値として
使用されるのは、異なる周波数におけるコイルインピー
ダンスの、実数と虚数の部分である。これらの測定可能
な値は、多くの影響変数に依存する。センサのあらゆる
幾何学的寸法と、基礎的電気データは、固定の量であ
り、従って、較正方法において、影響変数に含まれるこ
とはない。さらに、使用される対象物の表面は平らで、
センサに対して平行であり、且つ、センサの寸法に対し
て充分な大きさのものであることを前提とする。また、
対象物は、渦電流の浸透深さより大なる厚さを有するも
のとする。さらに、対象物は、表面の欠陥がないものと
する。較正の対象となる３つの重要な影響変数は、測定
の対象である対象物とセンサ間の距離、そして、抑制す
べき妨害変数であるところの、導電性及び有効透磁率で
ある。故に、これらの妨害変数に特別の考慮を払うこと
が必要である。何故なら、材料の欠陥や温度の変化は多
くの場合、導電性及び有効透磁率の変動につながるもの
であるからである。
【００１３】本発明によれば、いくつかの距離値ｄ
［ｉ］、及び導電率と有効透磁率で特徴づけられるいく
つかの状態、又は状態の組合せＺＫ［ｊ］が定義付けら
れ、これらの値は、物理的に有用な区間からそれぞれ選
択される。距離ｄに対しては、それは、選択された測定
範囲である。状態の組合せＺＫに対しては、これらは、
予想される導電率と有効透磁率の範囲である。そして、
対応する測定可能な量Ｍ［ｌ］が、距離値ｄ［ｉ］と組
合せ状態ＺＫ［ｊ］のすべてに対して得られる。それか
ら、１つの距離値ｄ［ｉ］と対応する測定可能な量Ｍ
［ｌ］から、すべての状態の組合せＺＫ［ｊ］に対する
係数ｋ［ｌ］のセットが定められる。このようにして定
められた係数ｋ［ｌ］のセットは、対応する距離値ｄ
［ｉ］に関連付けられ、その後、測定値を処理するため
に格納（記憶）される。
［ｉ］、及び導電率と有効透磁率で特徴づけられるいく
つかの状態、又は状態の組合せＺＫ［ｊ］が定義付けら
れ、これらの値は、物理的に有用な区間からそれぞれ選
択される。距離ｄに対しては、それは、選択された測定
範囲である。状態の組合せＺＫに対しては、これらは、
予想される導電率と有効透磁率の範囲である。そして、
対応する測定可能な量Ｍ［ｌ］が、距離値ｄ［ｉ］と組
合せ状態ＺＫ［ｊ］のすべてに対して得られる。それか
ら、１つの距離値ｄ［ｉ］と対応する測定可能な量Ｍ
［ｌ］から、すべての状態の組合せＺＫ［ｊ］に対する
係数ｋ［ｌ］のセットが定められる。このようにして定
められた係数ｋ［ｌ］のセットは、対応する距離値ｄ
［ｉ］に関連付けられ、その後、測定値を処理するため
に格納（記憶）される。
【００１４】或る距離ｄに対して全部でｍ個の測定値を
与えたとすると、すなわち、或る定まった状態の組合せ
ＺＫについて、ｍ個の半周波数におけるコイルインピー
ダンスの実数と虚数の部分が与えられたとすると、距離
ｄは、以下の和として計算される。
与えたとすると、すなわち、或る定まった状態の組合せ
ＺＫについて、ｍ個の半周波数におけるコイルインピー
ダンスの実数と虚数の部分が与えられたとすると、距離
ｄは、以下の和として計算される。
【数１】 或る定まった距離ｄについて、状態の組合せＺＫのｋ個
についてこの測定をしたとすると、ｍ個の未知数を決定
するのに、ｋ個の等式が得られる。このようにして、一
連の係数ｋ［ｉ］を定めることができ、ここでｋは、状
態又は状態の組合せＺＫとして選択され、ｍは、測定可
能な量の数である。
についてこの測定をしたとすると、ｍ個の未知数を決定
するのに、ｋ個の等式が得られる。このようにして、一
連の係数ｋ［ｉ］を定めることができ、ここでｋは、状
態又は状態の組合せＺＫとして選択され、ｍは、測定可
能な量の数である。
【００１５】このような方法で較正されたセンサで距離
が測定されると、距離の推定はいくつかのステップに分
割される。第１に、測定すべき未知の距離に対して得ら
れた測定データ、すなわち、
が測定されると、距離の推定はいくつかのステップに分
割される。第１に、測定すべき未知の距離に対して得ら
れた測定データ、すなわち、
【数２】 の助けを得て、以下の等式によるエラー値Ф（ｄ
［ｉ］）が各較正距離、すなわち、定義された各距離値
ｄ［ｉ］に関連付けられる。
［ｉ］）が各較正距離、すなわち、定義された各距離値
ｄ［ｉ］に関連付けられる。
【数３】
【００１６】第２のステップでは、関数Ф（ｄ）が、こ
れらの点から、補間法又は近似化によってつくり出され
る。この関数がゼロ通過する点ｄ［ｘ］は、求めようと
している距離ｄの精度の良い推定を表わす。距離推定の
精度は、計算された係数ｋ［ｉ］のセットの質による。
れらの点から、補間法又は近似化によってつくり出され
る。この関数がゼロ通過する点ｄ［ｘ］は、求めようと
している距離ｄの精度の良い推定を表わす。距離推定の
精度は、計算された係数ｋ［ｉ］のセットの質による。
【００１７】上述の較正方法は、導電率と透磁率の変動
に拘らず、ミクロン（μｍ）の範囲までの距離測定を可
能にする。その前提となるのは、上述のように、係数の
良好なセットを決定することと得られた測定データの正
しい評価である。以下、本発明の方法の有利な実施例が
説明され、特に、異なるパラメータ選択の効果が説明さ
れる。
に拘らず、ミクロン（μｍ）の範囲までの距離測定を可
能にする。その前提となるのは、上述のように、係数の
良好なセットを決定することと得られた測定データの正
しい評価である。以下、本発明の方法の有利な実施例が
説明され、特に、異なるパラメータ選択の効果が説明さ
れる。
【００１８】少なくとも、３つの異なる較正周波数で、
少なくとも、６つの測定可能量Ｍ［ｌ］、すなわち、測
定コイルの実数と虚数の部分を使用するのが特に有利で
あることが判明した。何故なら、テストによれば、これ
により、１０ミクロン未満の最小識別距離が得られるこ
とが判明したからである。
少なくとも、６つの測定可能量Ｍ［ｌ］、すなわち、測
定コイルの実数と虚数の部分を使用するのが特に有利で
あることが判明した。何故なら、テストによれば、これ
により、１０ミクロン未満の最小識別距離が得られるこ
とが判明したからである。
【００１９】状態の組合せＺＫの選択は、決定すべき対
象物の量、例えば、距離ｄの推定におけるエラーに関し
て２つの面で影響を及ぼす。一方で重要なことは、妨害
変数の予想される範囲におけるその分布であり、他方で
は、その数ｋである。妨害変数と測定可能量との関係は
線形ではないから、予想される範囲において、状態の組
合せを均等でないように分布させるのがよい。特に有利
なのは、導電率と有効透磁率が高いところよりも低いと
ころに、定義付けられた状態が存在する場合である。満
足できる測定結果が得られるのは、定義付けられ組合わ
された状態ＺＫの数ｋが、使用される較正周波数の数の
２倍を越えて選択される場合である。数ｋの最適の選択
は、実質的に較正周波数の数に依存する。高めの周波数
では、低めの周波数の場合より、状態の組合せは少なく
てすむ。基本的に、状態の組合せＺＫの数ｋは、できる
だけ少なくすべきである。何故なら、この方法を技術的
に実施する際には、数ｋの増加に伴い、較正作業の出費
がかなり増大するからである。
象物の量、例えば、距離ｄの推定におけるエラーに関し
て２つの面で影響を及ぼす。一方で重要なことは、妨害
変数の予想される範囲におけるその分布であり、他方で
は、その数ｋである。妨害変数と測定可能量との関係は
線形ではないから、予想される範囲において、状態の組
合せを均等でないように分布させるのがよい。特に有利
なのは、導電率と有効透磁率が高いところよりも低いと
ころに、定義付けられた状態が存在する場合である。満
足できる測定結果が得られるのは、定義付けられ組合わ
された状態ＺＫの数ｋが、使用される較正周波数の数の
２倍を越えて選択される場合である。数ｋの最適の選択
は、実質的に較正周波数の数に依存する。高めの周波数
では、低めの周波数の場合より、状態の組合せは少なく
てすむ。基本的に、状態の組合せＺＫの数ｋは、できる
だけ少なくすべきである。何故なら、この方法を技術的
に実施する際には、数ｋの増加に伴い、較正作業の出費
がかなり増大するからである。
【００２０】較正における推定エラーを減少させるに
は、定義付けられた状態の組合せＺＫを追加することの
ほかに、較正のインターバルを狭くする、すなわち、定
義付けられた距離値ｄ［１］の数を増やすとよい。定義
付けられた状態の組合せＺＫとは異なり、定義付けられ
た距離値ｄ［１］は等間隔に選ぶことができる。
は、定義付けられた状態の組合せＺＫを追加することの
ほかに、較正のインターバルを狭くする、すなわち、定
義付けられた距離値ｄ［１］の数を増やすとよい。定義
付けられた状態の組合せＺＫとは異なり、定義付けられ
た距離値ｄ［１］は等間隔に選ぶことができる。
【００２１】測定データの獲得と評価に関しては、良い
測定結果を得るには、測定周波数の定常性がきわめて重
要であることを指摘すべきである。測定周波数は、固定
の較正周波数に厳格に一致すべきである。何故なら、小
さな偏りでも、大きなエラー値をもたらすからである。
かくして、例えば、所望の値がわずか０．５％ふらつい
ても、エラーは、５０のファクターで増大する。
測定結果を得るには、測定周波数の定常性がきわめて重
要であることを指摘すべきである。測定周波数は、固定
の較正周波数に厳格に一致すべきである。何故なら、小
さな偏りでも、大きなエラー値をもたらすからである。
かくして、例えば、所望の値がわずか０．５％ふらつい
ても、エラーは、５０のファクターで増大する。
【００２２】最後に、本発明による較正の結果として、
渦電流センサは、距離に依存しない特徴のある材料テス
トのために使用することができるものであり、この場
合、対象物材料の導電率と有効透磁率は、対象物量とみ
なされ、センサと対象物表面との距離が妨害変数とな
る。このような材料のテストの目的は、対象物材料の均
質性であったり、対象物の表面構造であったりする。
渦電流センサは、距離に依存しない特徴のある材料テス
トのために使用することができるものであり、この場
合、対象物材料の導電率と有効透磁率は、対象物量とみ
なされ、センサと対象物表面との距離が妨害変数とな
る。このような材料のテストの目的は、対象物材料の均
質性であったり、対象物の表面構造であったりする。
【００２３】本発明を実施しさらに有利に発展させる種
々の可能性がある。この目的のためには、一方で、従属
請求の範囲が参照されるべきであり、他方では、図面を
参照してなされる実施例の説明が参照されるべきであ
る。図面を参照してなされる実施例の説明とともに、一
般的に好適な実施例が説明される。
々の可能性がある。この目的のためには、一方で、従属
請求の範囲が参照されるべきであり、他方では、図面を
参照してなされる実施例の説明が参照されるべきであ
る。図面を参照してなされる実施例の説明とともに、一
般的に好適な実施例が説明される。
【００２４】
【実施例】全ての図は、テスト目的のために、例示とし
て、本発明によって較正された渦電流センサによる距離
測定に関するものである。図１は、近似法(approximati
on)、すなわち、補間法(interpolation)によって得られ
たエラー関数Φ（ｄ）の曲線を示している。このような
エラー関数は、測定されるべき未知の距離のための測定
データに基づき、明細書の冒頭において説明された方法
により得ることができる。測定されるべき距離は、エラ
ー関数Φ（ｄ）のゼロ通過時の値である。本実施例の場
合、ｄ［ｘ］＝０．９２１mmである。
て、本発明によって較正された渦電流センサによる距離
測定に関するものである。図１は、近似法(approximati
on)、すなわち、補間法(interpolation)によって得られ
たエラー関数Φ（ｄ）の曲線を示している。このような
エラー関数は、測定されるべき未知の距離のための測定
データに基づき、明細書の冒頭において説明された方法
により得ることができる。測定されるべき距離は、エラ
ー関数Φ（ｄ）のゼロ通過時の値である。本実施例の場
合、ｄ［ｘ］＝０．９２１mmである。
【００２５】図２には、エラー関数Φ（ｄ）における線
形補間とスプライン補間の間を比較することによって、
選択された方法がどのように影響を及ぼすかが示されて
いる。距離の較正及び測定とも、０．３ＭＨｚ、０．６
ＭＨｚ、１．２ＭＨｚ及び２．４ＭＨｚの周波数におい
てシミュレーション値(simulated values)が使用され
た。０．５mmから１．５mmの範囲で、推定エラーは、補
間法を利用して３３の異なる距離に対して測定された。
形補間とスプライン補間の間を比較することによって、
選択された方法がどのように影響を及ぼすかが示されて
いる。距離の較正及び測定とも、０．３ＭＨｚ、０．６
ＭＨｚ、１．２ＭＨｚ及び２．４ＭＨｚの周波数におい
てシミュレーション値(simulated values)が使用され
た。０．５mmから１．５mmの範囲で、推定エラーは、補
間法を利用して３３の異なる距離に対して測定された。
【００２６】図３では、図２と同じ較正データが使用さ
れた。さらに、スプライン補間法が採用された。２つの
曲線は、状態の定義組合せの数がファクター１２で増加
すると、ファクター２で推定エラーの平均減少を生じさ
せることを示している。
れた。さらに、スプライン補間法が採用された。２つの
曲線は、状態の定義組合せの数がファクター１２で増加
すると、ファクター２で推定エラーの平均減少を生じさ
せることを示している。
【００２７】図４は、狭い較正区間を選択することによ
り、定義された距離値ｄの数ｎの増加が、推定エラーを
減少させることを、等間隔の検査区間による２つの曲線
で示している。いずれのケースにおいても、状態の組合
わせの数ｋが９つ選択され、スプイオン補間法が採用さ
れている。半分に分割された距離区間は、定義された距
離値ｄ［ｉ］の数ｎの倍に対応しているが、１．７のフ
ァクターによる推定エラーの平均減少量をもたらすこと
が理解できる。
り、定義された距離値ｄの数ｎの増加が、推定エラーを
減少させることを、等間隔の検査区間による２つの曲線
で示している。いずれのケースにおいても、状態の組合
わせの数ｋが９つ選択され、スプイオン補間法が採用さ
れている。半分に分割された距離区間は、定義された距
離値ｄ［ｉ］の数ｎの倍に対応しているが、１．７のフ
ァクターによる推定エラーの平均減少量をもたらすこと
が理解できる。
【００２８】この点に関して、本発明に基づいて較正さ
れたセンサによって得られる測定結果は、或る範囲で、
測定コイル構造上の特定要因に左右されることに注目す
べきである。本発明の較正方法は、測定データの変動に
非常に敏感であるから、測定コイル及び測定技術は、コ
イルインピーダンスの高精度測定を保証するものである
必要がある。コイルインピーダンスが測定中に０．０３
％変化すると、０．１％のエラーが測定結果に生じる。
この方法の特性のため、温度及び寄生的影響を高精度で
補正するために、コイル及び測定技術に対する要求が高
度のものになる。
れたセンサによって得られる測定結果は、或る範囲で、
測定コイル構造上の特定要因に左右されることに注目す
べきである。本発明の較正方法は、測定データの変動に
非常に敏感であるから、測定コイル及び測定技術は、コ
イルインピーダンスの高精度測定を保証するものである
必要がある。コイルインピーダンスが測定中に０．０３
％変化すると、０．１％のエラーが測定結果に生じる。
この方法の特性のため、温度及び寄生的影響を高精度で
補正するために、コイル及び測定技術に対する要求が高
度のものになる。
【００２９】妨害変数の大きな振れを抑えるという本発
明による較正方法の有効性を記録するために、以下の実
験が行われた。較正及び測定用に使用されたものは、以
下の寸法を持つ実験用コイルであった。 外側半径 ： ３．８１ mm 内側半径 ： ３．００ mm コイル高さ ： ０．６３ mm 自己インダクタンス ： ３１．３７ μＨ ２００ｋＨｚでの抵抗： ５．３１ Ω ２００ｋＨｚ、４００ｋＨｚ、１ＭＨｚ及び２ＭＨｚに
おける検査のために、ＺＫ状態の１０の組合せが採用さ
れた。較正区間、すなわち、定義距離値として、０．３
mm、０．４mm・・・３．０mm、３．２mmの３０区間が選
択された。対象物として以下の１０種の材料が使用され
た。アルミニウムが測定だけのために使用された。 材料 材料番号 導電率 ｍ／Ω平方mm（２０℃） 鉄 ２Ｎ＋ １ １０．３ 銅 ２Ｎ ２ ６０ マグネシウム ３ ２２．４ 黄銅（真鍮） ４ １４．２ モリブデン ３Ｎ５ ５ １９．４ ニッケル ２Ｎ５ ６ １４．６ ニオブ ２Ｎ８ ７ ７．６ Ｖ２Ａ９ 鉄鋼 ８ ９．１ 亜鉛 ４Ｎ ９ １６．９ 錫 ２Ｎ８ １０ ８．７ アルミニウム １１ ３７．６
明による較正方法の有効性を記録するために、以下の実
験が行われた。較正及び測定用に使用されたものは、以
下の寸法を持つ実験用コイルであった。 外側半径 ： ３．８１ mm 内側半径 ： ３．００ mm コイル高さ ： ０．６３ mm 自己インダクタンス ： ３１．３７ μＨ ２００ｋＨｚでの抵抗： ５．３１ Ω ２００ｋＨｚ、４００ｋＨｚ、１ＭＨｚ及び２ＭＨｚに
おける検査のために、ＺＫ状態の１０の組合せが採用さ
れた。較正区間、すなわち、定義距離値として、０．３
mm、０．４mm・・・３．０mm、３．２mmの３０区間が選
択された。対象物として以下の１０種の材料が使用され
た。アルミニウムが測定だけのために使用された。 材料 材料番号 導電率 ｍ／Ω平方mm（２０℃） 鉄 ２Ｎ＋ １ １０．３ 銅 ２Ｎ ２ ６０ マグネシウム ３ ２２．４ 黄銅（真鍮） ４ １４．２ モリブデン ３Ｎ５ ５ １９．４ ニッケル ２Ｎ５ ６ １４．６ ニオブ ２Ｎ８ ７ ７．６ Ｖ２Ａ９ 鉄鋼 ８ ９．１ 亜鉛 ４Ｎ ９ １６．９ 錫 ２Ｎ８ １０ ８．７ アルミニウム １１ ３７．６
【００３０】３０の各較正区間において、一連の係数が
求められた。較正区間をｄ＝２mmとして、これらの係数
の作動モード(operating mode)が図５に示されている。
４つの周波数と１０の対象物に基づいて、４０の検査点
が”ｘ”で表わされている。この特定の較正区間に対応
する一連の係数はこれらの点に沿った最適曲線で表わさ
れ、最適曲線はこの距離におけるセンサの応答性を表わ
している。理論的には、これらの点は曲線上に位置しな
ければならない。そうでないということは、センサと対
象物の間の隙間がない０点が自動的にアプローチされて
おらず、人の手でおこなわれているということであり、
供給ケーブルの容量（キャパシタンス）が適切に補正さ
れていないことになる。このような測定エラーは較正に
大きく影響を与え、測定結果に含まれてしまうことにな
る。
求められた。較正区間をｄ＝２mmとして、これらの係数
の作動モード(operating mode)が図５に示されている。
４つの周波数と１０の対象物に基づいて、４０の検査点
が”ｘ”で表わされている。この特定の較正区間に対応
する一連の係数はこれらの点に沿った最適曲線で表わさ
れ、最適曲線はこの距離におけるセンサの応答性を表わ
している。理論的には、これらの点は曲線上に位置しな
ければならない。そうでないということは、センサと対
象物の間の隙間がない０点が自動的にアプローチされて
おらず、人の手でおこなわれているということであり、
供給ケーブルの容量（キャパシタンス）が適切に補正さ
れていないことになる。このような測定エラーは較正に
大きく影響を与え、測定結果に含まれてしまうことにな
る。
【００３１】較正されたセンサを使用して、上記の表の
全ての対象物が測定された。０．５mmから３．０mmまで
の区間が測定範囲に選ばれた。この区間内で、測定デー
タが４つの周波数で５０μｍ毎に採られた。図６はこれ
らの推定の結果を示している。全ての測定距離の推定偏
差、すなわち、推定エラーをカバーする範囲で、１１の
対象物が測定された。１．８５mmの測定距離でニッケル
を測定したとき、２４μｍの推定の最大エラーが生じ
た。これは、較正測定が最適状態になくても、距離の決
定は、全測定範囲にわたり５０μｍの精度で行うことが
でき、しかも、対象物材料に拘らないことを意味してい
る。
全ての対象物が測定された。０．５mmから３．０mmまで
の区間が測定範囲に選ばれた。この区間内で、測定デー
タが４つの周波数で５０μｍ毎に採られた。図６はこれ
らの推定の結果を示している。全ての測定距離の推定偏
差、すなわち、推定エラーをカバーする範囲で、１１の
対象物が測定された。１．８５mmの測定距離でニッケル
を測定したとき、２４μｍの推定の最大エラーが生じ
た。これは、較正測定が最適状態になくても、距離の決
定は、全測定範囲にわたり５０μｍの精度で行うことが
でき、しかも、対象物材料に拘らないことを意味してい
る。
【００３２】最後に、以上の実施例は渦電流センサを利
用した場合について説明されたが、本発明は渦電流セン
サという用途に限定されるものではなく、他のタイプの
センサにも適用することができることに注意すべきであ
る。なお、本明細書において、［ ］内の文字、数字
は、正しくは
用した場合について説明されたが、本発明は渦電流セン
サという用途に限定されるものではなく、他のタイプの
センサにも適用することができることに注意すべきであ
る。なお、本明細書において、［ ］内の文字、数字
は、正しくは
【数１】、
【数２】、
【数３】に現われているのと同じ意味の添字である。
【図１】 ｄ＝０．９２１ｍｍの場合の距離測定を例と
して、本発明によって定められるｄの関数としてのエラ
ー関数Φを示す曲線。
して、本発明によって定められるｄの関数としてのエラ
ー関数Φを示す曲線。
【図２】 補間法が推定エラーに及ぼす影響を示すグラ
フ。
フ。
【図３】 推定エラーにおける定義された数ｋの影響を
示すグラフ。
示すグラフ。
【図４】 推定エラーにおける定義された距離値ｄ
［１］の影響を示すグラフ。
［１］の影響を示すグラフ。
【図５】 一連の較正係数の決定方法を示すグラフ。
【図６】 或る測定範囲における１１の選択された対象
物に対するエラーの範囲を示すグラフ。
物に対するエラーの範囲を示すグラフ。
フロントページの続き (73)特許権者 592093648 マイクロ−エプシロン・メステヒニク・ ゲーエムベーハー・ウント・コンパニ ー・カー・ゲー ＭＩＣＲＯ−ＥＰＳＩＬＯＮ ＭＥＳＳ ＴＥＣＨＮＩＫ ＧＥＳＥＬＬＳＣＨＡ ＦＴ ＭＩＴ ＢＥＳＣＨＲＡＮＫＴＥ Ｒ ＨＡＦＴＵＮＧ ＆ ＣＯＭＰＡＧ ＮＩＥ ＫＯＭＭＡＮＤＩＴＧＥＳＥＬ ＬＳＣＨＡＦＴ ドイツ国 8359 オルテンブルグ、ケー ニッヒバッヒェル・シュトラーセ 15 (72)発明者 マーチン・セレン ドイツ国 66663 メルツィッヒ、ツー ム・マイスビュシュ 15 (56)参考文献 特開 平５−26731（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−203232（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−203213（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−63527（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−74529（ＪＰ，Ｕ)
Claims (19)
- 【請求項１】 測定可能な量をセンサによって検出する
際、測定結果に影響を与える影響変数が考慮され、前記
影響変数のセットが測定に影響を与える少なくとも１つ
の妨害変数と前記測定可能な量から決定される少なくと
も１つの対象物量からなるセンサの較正方法において、 前記対象物量のいくつかの値と前記妨害変数によって特
徴付けられるいくつかの状態が定義され、前記定義付け
られた対象物量の値（対象物量の定義値）と前記定義付
けられた状態とのすべての組合わせに対して前記測定可
能な量の対応値が検出され、前記検出された測定可能な
量の対応値から係数のセットが決定され、そして、前記
係数のセットが対応する前記対象物量の定義値にそれぞ
れ関連付けられ、記憶させられ、且つ、 前記対象物量の未知の値を決定するために、前記測定可
能な量の対応値が検出され、該検出された測定可能な量
の対応値が前記記憶させられた係数のセットと掛算さ
れ、該係数の各セットに対してサブトータルとして合算
され、ここに、該サブトータルは、該係数の各セットに
対応する対象物量の定義値に関連付けられ、前記対象物
量の２つの続いた定義値の間の値が前記対象物量の未知
の値の範囲として決定され、対応するサブトータルから
の偏りが前記対象物量のこれらの２つの定義値の少なく
とも１つに対して正であり、他方、対応するサブトータ
ルからの偏りが前記対象物量のこれらの２つの定義値の
他方に対して負であることを特徴とする、 センサの較正方法。 - 【請求項２】 前記センサが交流電圧で作動し、追加的
な測定可能な量が前記センサを異なる較正周波数でいわ
ゆるマルチ周波周波数、すなわち、パルス方法によって
実現される、請求項１の方法。 - 【請求項３】 前記対象物量の定義値と前記定義値に対
応するサブトータルの間の差が前記対象物量に依存する
エラー関数の値と解釈され、前記対象物量の未知の値が
前記エラー関数のゼロ通過点における値として推定され
ることを特徴とする請求項１又は２の方法。 - 【請求項４】 エラー関数の補間法がそのゼロ通過点に
おける値を決定するために実行される請求項３の方法。 - 【請求項５】 エラー関数の線形補間法が実行される請
求項４の方法。 - 【請求項６】 エラー関数のスプライン補間法が実行さ
れる請求項４の方法。 - 【請求項７】 エラー関数の近似化がそのゼロ通過点に
おける値を決定するために実行される請求項３の方法。 - 【請求項８】 最小二乗誤差の意味において、近似化が
実行される請求項７の方法。 - 【請求項９】 少なくとも１つの測定コイルを具えた渦
電流センサを較正するための請求項１乃至８のいずれか
の方法であって、該渦電流センサと対象物との距離ｄが
対象物量を構成し、該対象物の導電率と有効透磁率が妨
害変数とみなされ、且つ、前記測定コイルのインピーダ
ンスの実数部分と虚数部分が異なる周波数において測定
可能な量Ｍ［ｌ］（ｌ＝１，．．．ｍ）である方法にお
いて、いくつかの距離値ｄ［ｉ］（ｉ＝１，．．．ｎ）
と前記対象物の導電率と有効透磁率で特徴付けられるい
くつかの状態又は状態の組合せＺＫ［ｊ］（ｊ＝
１，．．．ｋ）が定義付けられ、前記距離値ｄ［ｉ］と
前記状態の組合せＺＫ［ｊ］のすべての組合せに対して
対応する測定可能な量Ｍ［ｌ］が検出され、前記検出さ
れた測定可能な量Ｍ［ｌ］から係数ｋ［ｉ］（ｋ［ｉ］
＝（ｋ［ｉ１］，．．．ｋ［ｉｍ］）（ｉ＝１，．．．
ｎ）が決定され、前記係数ｋ［ｉ］のセットが対応する
距離値ｄ［ｉ］に関連付けられ、記憶させられる、方
法。 - 【請求項１０】 少なくとも６つの測定可能な量Ｍ
［ｌ］が使用され（ｍ≧６）、すなわち、測定コイルの
インピーダンスの実数部分と虚数部分が少なくとも３つ
の異なる較正周波数において検出される請求項９の方
法。 - 【請求項１１】 前記状態の組合せＺＫ［ｊ］が物理的
に有用な状態の組合せの予想される範囲から選択され、
前記状態の組合せＺＫ［ｊ］のより多くが、導電率と有
効透磁率の高い範囲よりも低い範囲から選択される請求
項９又は１０の方法。 - 【請求項１２】 前記状態の組合せＺＫ［ｊ］の数ｋ
が、使用される較正周波数の数の２倍より大きく選択さ
れる請求項９乃至１１のいずれかの方法。 - 【請求項１３】 前記状態の組合せＺＫ［ｊ］の数ｋが
較正周波数が高い程小さく選択される請求項９乃至１２
のいずれかの方法。 - 【請求項１４】 前記距離値ｄ［ｉ］が等間隔で選択さ
れる請求項９乃至１３のいずれかの方法。 - 【請求項１５】 測定結果を改善するために、前記距離
値ｄ［ｉ］の数ｎが増やされる請求項９乃至１４のいず
れかの方法。 - 【請求項１６】 請求項９乃至１５のいずれかの方法で
較正されたセンサによる測定データを検出し評価する方
法であって、前記係数ｋ［ｉ］のセットを決定するため
に前記測定可能な量の検出が、未知の又は既知の距離を
決定するための測定可能な量の検出と同じ較正周波数で
実行される方法。 - 【請求項１７】 少なくとも１つの測定コイルを具えた
渦電流センサを較正するための請求項１乃至８のいずれ
かの方法であって、該渦電流センサと対象物との間の距
離ｄが妨害変数とみなされ、該対象物の導電率と有効透
磁率が対象物量を構成し、且つ、前記測定コイルのイン
ピーダンスの実数部分と虚数部分が異なる較正周波数に
おいて測定可能な量Ｍ［ｌ］（ｌ＝１，．．．ｍ）とし
て検出される方法。 - 【請求項１８】 対象物の材料のテストのために使用さ
れる請求項１７の方法。 - 【請求項１９】 対象物の材料の均質性又は対象物の表
面構造の損傷を検出するために使用される請求項１７又
は１８の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4334380.5 | 1993-10-08 | ||
| DE4334380A DE4334380C2 (de) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | Verfahren zur Kalibrierung eines Sensors und zur Meßwertverarbeitung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07253339A JPH07253339A (ja) | 1995-10-03 |
| JP3028275B2 true JP3028275B2 (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=6499740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6270204A Expired - Fee Related JP3028275B2 (ja) | 1993-10-08 | 1994-10-11 | センサの較正方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5559431A (ja) |
| JP (1) | JP3028275B2 (ja) |
| DE (1) | DE4334380C2 (ja) |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5708368A (en) * | 1996-03-07 | 1998-01-13 | Ade Corporation | Method and apparatus for emulation of a linear variable differential transducer by a capacitive gaging system |
| DE19832387A1 (de) | 1998-07-18 | 2000-01-20 | Asea Brown Boveri | Verfahren zum Feststellen von Einbau- und/oder Kalibrierungsfehlern einer Mehrzahl von Signalauskopplungseinheiten eines oder mehrerer Teilentladungsmeßsysteme |
| US6326908B1 (en) | 1998-09-04 | 2001-12-04 | Trilogy Systems Corp | Precision position encoder using coarse position indicator |
| US20070188168A1 (en) * | 1999-08-26 | 2007-08-16 | Stanley James G | Magnetic sensor |
| US7209844B2 (en) * | 2003-09-19 | 2007-04-24 | Automotive Systems Laboratory, Inc. | Magnetic crash sensor |
| US7514917B2 (en) * | 2003-09-19 | 2009-04-07 | Automotive Systems Laboratory, Inc. | Magnetic crash sensor |
| US6304827B1 (en) * | 1999-09-16 | 2001-10-16 | Sensonor Asa | Sensor calibration |
| US6741076B2 (en) | 2000-04-07 | 2004-05-25 | Cuong Duy Le | Eddy current measuring system for monitoring and controlling a CMP process |
| US6762604B2 (en) | 2000-04-07 | 2004-07-13 | Cuong Duy Le | Standalone eddy current measuring system for thickness estimation of conductive films |
| US6549006B2 (en) * | 2000-04-07 | 2003-04-15 | Cuong Duy Le | Eddy current measurements of thin-film metal coatings using a selectable calibration standard |
| US20030210041A1 (en) * | 2000-04-07 | 2003-11-13 | Le Cuong Duy | Eddy current measuring system for monitoring and controlling a chemical vapor deposition (CVD) process |
| US6553326B1 (en) * | 2000-04-07 | 2003-04-22 | Northern Digital Inc. | Errors in systems using magnetic fields to locate objects |
| US6563309B2 (en) * | 2001-09-28 | 2003-05-13 | The Boeing Company | Use of eddy current to non-destructively measure crack depth |
| US6661223B2 (en) | 2002-01-07 | 2003-12-09 | International Business Machines Corporation | Method of testing for response abnormalities in a magnetic sensor |
| US7463987B2 (en) * | 2003-09-19 | 2008-12-09 | Takata Holdings, Inc. | Magnetic sensing system and method |
| US7113874B2 (en) * | 2003-09-19 | 2006-09-26 | Automotive Systems Laboratory, Inc. | Magnetic crash sensing method |
| DE10352043A1 (de) * | 2003-11-07 | 2005-06-09 | Continental Aktiengesellschaft | Verfahren zur Kalibrierung einer Schichtdicken-Messmaschine |
| CN101035699A (zh) * | 2003-12-21 | 2007-09-12 | 汽车系统实验室公司 | 磁传感器 |
| US7312607B2 (en) * | 2004-07-20 | 2007-12-25 | General Inspection Llc | Eddy current part inspection system |
| WO2007016300A2 (en) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Automotive Systems Laboratory, Inc. | Magnetic crash sensor |
| US7633635B2 (en) * | 2006-08-07 | 2009-12-15 | GII Acquisitions, LLC | Method and system for automatically identifying non-labeled, manufactured parts |
| US20120206143A1 (en) * | 2011-02-14 | 2012-08-16 | Mcgushion Kevin D | Resonant electromagnetic sensor |
| DE102011110666A1 (de) * | 2011-05-11 | 2012-11-15 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Sensor, System mit einem Sensor und einem Messobjekt sowie Verfahren zur Temperaturmessung mittels Sensor |
| US20130251502A1 (en) * | 2012-03-20 | 2013-09-26 | World Heart Corporation | Method and Apparatus for Sensing of Levitated Rotor Position |
| US9581674B2 (en) * | 2015-07-30 | 2017-02-28 | Hamilton Sundstrand Corporation | Dynamic calibrating current sensor |
| CN106442712B (zh) * | 2016-08-29 | 2019-04-19 | 爱德森（厦门）电子有限公司 | 一种自动校准涡流检测灵敏度的装置及方法 |
| CN106441407A (zh) * | 2016-11-23 | 2017-02-22 | 国网浙江省电力公司电力科学研究院 | 一种非接触式电涡流传感器校准装置及其自动校准方法 |
| CN116720622A (zh) * | 2023-06-14 | 2023-09-08 | 国网湖北省电力有限公司营销服务中心(计量中心) | 一种电流互感器计量误差值预测方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3116690C2 (de) * | 1981-04-28 | 1983-09-15 | Rohde & Schwarz GmbH & Co KG, 8000 München | Einrichtung zum Messen von physikalischen Grössen |
| US4390949A (en) * | 1981-05-26 | 1983-06-28 | Rockwell International Corporation | Electronic system and method for self-calibration of instrument landing systems |
| US4673870A (en) * | 1985-08-07 | 1987-06-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Automated calibration technique for non-field perturbing (electrically small) electromagnetic field sensors |
| US4771237A (en) * | 1986-02-19 | 1988-09-13 | Panametrics | Method and apparatus for calibrating a displacement probe using a polynomial equation to generate a displacement look-up table |
| JPH0526731A (ja) * | 1991-07-23 | 1993-02-02 | Minolta Camera Co Ltd | 光電色彩計 |
| US5394084A (en) * | 1991-12-23 | 1995-02-28 | The Boeing Company | Method and apparatus for reducing errors in eddy-current conductivity measurements due to lift-off by interpolating between a plurality of reference conductivity measurements |
| US5311125A (en) * | 1992-03-18 | 1994-05-10 | Lake Shore Cryotronics, Inc. | Magnetic property characterization system employing a single sensing coil arrangement to measure AC susceptibility and DC moment of a sample |
-
1993
- 1993-10-08 DE DE4334380A patent/DE4334380C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-10-07 US US08/319,882 patent/US5559431A/en not_active Expired - Lifetime
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| DE4334380A1 (de) | 1995-04-20 |
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