KR100485199B1 - 전기전도성 재료로 된 코팅두께를 결정하기 위한 방법 - Google Patents

전기전도성 재료로 된 코팅두께를 결정하기 위한 방법 Download PDF

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Abstract

전기 전도성의 재료로 된 코팅두께를 결정하기 위한 방법에 있어서, 측정에러는 규격화 방법을 사용해 무차원 규격값으로 변환된다. 이 변환에서, 예를 들어, 온도 변화(temperature drift) 및 지지체의 기본원소의 전기적, 자기적 특성의 상이에 의한 측정에러가 광범위하게 제거될 수 있다. 검정곡선을 사용해 이 규격값은 코팅두께 값으로 변환된다.

Description

전기 전도성 재료로 된 코팅두께를 결정하기 위한 방법
본 발명은 전기 전도성의 재료로 된 코팅, 특히, 크롬코팅의 두께를 결정하기 위한 방법에 관한 것이다.
지금까지는 실제로 크롬 도금된 부품들은, 예를 들어, 뢴트겐 형광방법으로 측정되었다. 하지만, 이 측정 방법은 비용이 비싸고 시간이 든다. 또한 소위 유도성 측정방법이 사용되었다. 그러나 이 경우에는 표면 위에서 단지 포인트(point-like) 측정만이 가능하고, 상기 측정 방법을 실제로 사용하기 위해서는 고도의 위치 정확도가 필요하다. 그러나 양 방법에 있어서, 발생하는 측정에러는 제거되기가 상당히 어렵다.
도 1은 측정 장치의 도식적 구조를 도시한 도면.
도 2는 간격이 상이하고 결정되는 코팅 아래에 있는 재료의 물성(α 또는 β )이 상이한 경우에, 결정되는 코팅두께(a)에 대한 측정코일의 유도성 인덕턴스 L의 곡선을 나타낸 그래프.
도 3은 측정코일과 측정대상 사이의 도 2에서 사용된 상이한 간격 사이의 비율을 도시한 도면.
도 4는 코팅두께(a)에 대한 규격값(Me)의 곡선을 나타낸 그래프.
도 5는 방법에 대한 블록 도식도.
도 6은 코팅두께(a)에 대한 규격값(Me)의 곡선을 나타낸 그래프.
도 7은 변경된 방법에 대한 추가의 블록 도식도.
도 8은 측정 방법에서 사용된 검정물체의 변화를 도시한 도면.
도 9는 측정 방법에서 사용된 측정체의 변화를 도시한 도면.
독립항의 특징을 가진, 전기 전도성 물질로 된 코팅(층)의 두께를 결정하기 위한 본 발명에 의한 방법은, 상기 선행기술에 비하여, 발생하는 측정에러가 철저히 제거될 수 있다는 이점을 갖는다.
특히 대량생산으로 제조되는 피복부분(코팅부분)은 연속적으로 수행되는 측정공정에서 검사될 수 있다. 경우에 따라 있는 기본 물질(base material)의 성질의 변동, 및 예컨대 오염이나 마모에 의해 생기는, 측정코일과 결정되는 측정물체 사이의 간격의 차이도 제거될 수 있다. 그럼으로써 결정되는 코팅의 두께에 관해 대단히 신뢰성있고 명백한 진술이 가능하다.
독립항에 기재된 조치에 의해 독립항에 제시된 방법의 유리한 개선예 및 개선양태가 얻어질 수 있다.
첨부하는 도면을 참조로 하여 본 발명의 실시예를 다음에서 보다 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 측정 방법은 소위 유도성-와전류 측정원리에 기초한다. 도1에서는 그것을 위해 사용된 센서(10)가 구조적으로 나타나 있다. 센서(10)는 본체(12)의 오목부(11)에 배치되어 있고, 보빈(13)으로 구성되어 있으며, 그 보빈에는 예를 들어 4MHz의 고주파 교류가 흐르는 코일(14)이 제공되어 있다. 코일(14)은, 예를 들어, 플랫 코일(flat coil) 또는 링코일로써 형성될 수 있다. 보빈(13)은, 바람직하게는, 비전도성, 비강자성 재료 예를 들어, 플라스틱으로 구성되며, 오목부(11)에 거의 마찰없이 삽입된다. 주시해야 하는 부품(17)은 이 부품(17)과 코일(14) 사이에 위치하는 가이드 본체(18)내에 제공된다. 스프링(19)을 사용해 보빈(13)과 코일(14)은 부품(17)의 표면(20)에 대해 가압된다. 표면(20)은 결정되는 코팅을 포함한다. 부품(17)은, 예를 들어, 분사밸브의 접합관일 수 있으며, 이때 코팅(20)은 크롬코팅을 나타낸다. 교류(alternating current)는 코일(14)을 통해 흐르기 때문에, 크롬코팅(20) 뿐만 아니라 그 아래에 놓여있는, 부품(17)의 강자성체 재료로 된 재료코팅을 관통하는, 교번 자계(교번 자장)가 생긴다. 유도성-그리고 와전류 효과가 본체(17)의 강자성체 재료에서 작용하는 반면에, 크롬코팅(20)에서는 와전류 효과만이 작용한다. 어떤 다른 부품이 없을 경우 발생될 각 측정 효과들은, 다음에서 개별적으로 설명될 것이다. 코일(14)이 교류에 의해 관류되고, 코일의 교번자계가 전기만 충분히 전도하고 강자성체는 아닌 재료를 검출하면 즉, 크롬코팅(20)만이 코일의 교번자계에 의해 검출되면, 소위 와전류 효과만이 작용하게 된다. 전기는 충분히 전도되나 강자성체는 아닌 재료에서 형성되는 와전류 때문에, 코일(14)의 유도성 인덕턴스가 감소하는 결과가 나타난다.
다음에서는, 코일에 마주하고 있는 강자성체의 재료 즉, 본체(17)의 재료에 대한, 교류에 의해 관류된 코일(14)의 자계의 작용을 설명한다. 교류에 의해 관류된 코일의 교번 자계는 본체(17)의 재료를 검출(detect)한다. 전기 전도성의 그리고 강자성체의 재료에 있어서 강자성체의 효과 뿐만 아니라 와전류 효과도 작용하는 것이 나타난다. 와전류 효과가 측정 코일의 유도성 인덕턴스의 감소를 유발하는 반면에, 강자성체 효과는 측정 코일의 유도성 인덕턴스의 증가를 야기한다. 두 가지 효과중 어느 것이 우세하냐는 1차적으로 코일(14)을 관류하는 교류의 주파수에 따라 그리고 본체(17)의 재료 특성에 의해 좌우된다. 이 두가지 측정 효과를 크롬 코팅(20)을 포함한 본체(17)에 적용해보면, 크롬코팅(20)이 두꺼워질수록 자계는 더욱 약하게 형성되며 이로써 코일(14)의 유도성 인덕턴스가 더 약화되는 것을 확인할 수 있다. 도 2에서는, 크롬코팅(20)의 증가하는 두께에 대한 측정코일(14)의 유도성 인덕턴스의 감소곡선을 묘사하고 있는, 관련 측정곡선이 α 1로 묘사되어 있다.
하지만, 코팅두께(a)에 대한 유도성 인덕턴스(L)의 측정커브의 곡선은 본체(17)의 재료상 특성 즉, 예를 들어, 전기 저항, 재료의 투과성 그리고 코일(14)과 측정되어야 하는 표면(20) 사이의 거리에 달려있다. 예를 들어, 오염 또는 보빈의 마모로 인하여, 측정코일(14)과 크롬코팅(20) 사이의 거리가 변하게 되면, 코팅두께(a)에 대한 유도성 인덕턴스(L) 곡선의 상이한 특성곡선이 나타나게 된다. 도 2에서는 다양한 실례가 묘사되어 있다. 특성곡선(α 2, α 3 그리고 α 4)들은 여기에서 측정코일과 주시해야 하는 크롬코팅 사이의 거리가 상이한 경우, 하지만, 본체(17)의 재료의 특성이 동일한 경우, 코팅두께(a)에 대한 유도성 인덕턴스(L)의 곡선을 묘사한다. 도 3에서는 코일(14)과 주시해야 하는 크롬코팅(20) 사이의 간격(α ) 크기가 묘사되어 있다. α 1 에서 α 4 까지 간격은 점점 더 커지는 것이 명백하다. 이에 반해 본체(17)의 재료의 소재상 특성이 변하게 되면, β 1 에서 β 4 까지의 특성곡선이 생기게 된다. β 1 에서 β 4 까지의 특성곡선은 다시금 본체의 두번째 재료의 특성에 있어서 주시해야 하는 크롬코팅과 측정코일 사이의 간격에 대한 변동을 의미한다. 도 2의 다이어그램으로부터 한 측정된 유도성 인덕턴스값(L)에 다수의 가능한 코팅두께가 할당될 수 있는 것을 알 수 있다. 유도성 인덕턴스 대신에 코일의 교류 저항값 또한 평가될 수 있다.
본 발명에 따른 측정 방법은 본체(17)의 재료의 특성 및/또는 측정코일(14)과 결정되는 크롬코팅의 표면 사이의 간격이 변할 경우에, 측정코일(14)의 측정된 유도성 인덕턴스값(L)과 크롬코팅(20)의 두께 사이의 명백한 할당(association)을 가능하게 한다. 본 발명에 따른 방법의 핵심은 발생된 측정에러를 제거하고 명백하게 할당 수 있는 측정값을 결정하는 규격화를 실행하는 것이다.
코팅두께를 결정하기 위한 본 발명에 따른 방법은 다수의 측정- 그리고 평가 단계로 실행된다. 본체(17)에 코팅하기 전에 소위 선측정에서 코일(14)의 유도성 인덕턴스값(L0)이 결정된다. 이때에는 코일(14)은 가능한 아직 코팅되지 않은 코일을 향한 본체(17)의 표면(측정표면) 위에 직접 놓여진다. 그래서 본체(17)의 재료에 대한 측정만이 이루어진다. 유도성 인덕턴스값(L0)의 크기는 본체의 특성에 달려있고, 특히, 본체의 자기적 그리고 전기적 특성에 달려 있다. 본체(17)의 이 특성은 대량생산에서 변동이 있을 수 있다. 그 때문에 유도성 인덕턴스값(L0)은 각각의 개별 본체(17)에 대한 측정을 시작할 때 결정되어야 하고 또한 데이터 저장기(메모리)에 지정가능하게 저장되어야 한다.
이어서 이제 본체(17)에는 관련된 코팅장치에서 크롬코팅(20)이 마련된다. 그런후 두 번째 측정 즉, 위에서 언급한 선측정과 같이 본체(17)의 동일한 지점에서 실행되는 소위 후측정이 이루어진다. 그때, 측정코일(14)의 유도성 인덕턴스값(Lx)이 생긴다. 유도성 인덕턴스값(Lx) 크기는 특히, 크롬코팅(20)의 두께에 의해 그리고 본체(17)의 재료상 특성에 의해 결정된다. 두 개의 결정된 유도성 인덕턴스 값(L0 또는 Lx)은 각각 확실하게 동일한 본체(17)에 할당되는 것이 보장된다. 이 두 개의 유도성 인덕턴스값(L0 또는 Lx)은 이제 알고리즘을 사용해 규격값으로 변형된다. 즉, 해당 코팅두께에 할당될 수 있는 무차원 특성수로 변한다. 이 규격값 형성을 실행할 수 있기 위해서, 유도성 인덕턴스값(L)이 결정되어야 한다. 검정물체에서 크롬코팅 만에 대한 측정이 실행될 경우에, 이 유도성 인덕턴스값(L)이 얻어진다. 이 경우 검정물체의 표면은 두꺼운 크롬코팅을 가져야 하기 때문에, 그 코팅이 코일의 전체 자계를 막음으로써, 검정물체의 강자성 기본물질에서는 유도 효과도 와전류 효과도 작용할 수 없다. 경우에 따라, 검정물체에 있어서 크롬 대신에 또한 다른 전기 전도성이지만 강자성체는 아닌 재료가 대체재로 사용될 수도 있다. 수학식(1)과 관련하여 규격값(Me)이 결정된다. 인수 1000은 '0'과 무한대 사이에서 임의로 변화될 수 있다.
[수학식 1]
Me = 측정값/규격값
L0 = 유도성 인덕턴스값(코팅되지 않은 본체)
Lx = 유도성 인덕턴스값(코팅 부분)
L = 유도성 인덕턴스값(크롬으로 된 검정물체)
도 4에서는 코팅두께(a)에 대해 수학식(1)에 해당하는 규격화된 측정값(Me)의 곡선 γ이 묘사되어 있다. 도 2에서 묘사된 상이한 곡선들은 결정된 규격값(Me)의 거의 감소하고 있는 곡선(γ )을 나타낸다. 도 2에 반해 도 4로부터는 코팅(20)의 두께에 대해 규격값(Me)이 명백히 할당될 수 있는 것이 분명하다.
수학식(1)에 의해, 측정코일과 결정되는 코팅 사이의 상이한 크기의 간격과, 본체(17)의 상이한 자기적 또는 전기적 특성들을 통해 생기는, 이제까지의 에러는 거의 제거된다. 하지만 특히, 온도 변화를 통해 생긴 소위 오프셋 드리프트(Offset drift)의 측정 결과에 대한 영향을 억제하는 것도 가능하다. 이를 위해서는, 측정코일이 오직 공기에 마주하여 측정될 때, 즉 크롬코팅도 다른 부품도 코일에 대해 마주하고 있지 않을 때에 생기는 측정코일의 유도성 인덕턴스값이 또한 검출되어야한다. 이 측정값은 하기에서 표준 공기값(L1)으로서 표시된다. 그것은 유도성 인덕턴스값(L)이 검정물체를 사용하여 결정된 후나 또는 바로 전에(가능한 같은 시간에) 결정된다. 이 값(L1)은 다음의 측정에서 각각 사용되는 기본값을 표시한다. 단독의 본체(17)를 개별적으로 측정하는 동안에, 위에서 언급된 소위 선측정 후나 또는 바로 전에, 즉 코일의 유도성 인덕턴스값(L0)의 결정과 가급적 동시에 유도성 인덕턴스값 L10이 결정되는데, 이 결정은 측정 코일이 다시 공기에 대해 측정될 때 이루어진다. 그런 후에, 예를 들어, 마이크로 컴퓨터에서 차형성이Δ L0 = L10 -L1발생한다. 이 값(Δ L0)을 사용해 이제 교정된 유도성 인덕턴스값 L0 * = L0 - Δ L0이 산출된다. 유도성 인덕턴스(Lx)를 측정할 때도 교정된 측정값(Lx *)을 결정하는 것이 바람직하다. 여기에서 시간적으로는 위에서 언급된 소위 후측정 바로 전이나 후에 즉, 값(Lx)을 결정한 바로 전이나 후에,(L1x)로 지칭될, 공기에 대한 코일의 유도성 인덕턴스값이 검출된다. 공기에 대한 코일의 값은, 소위 선측정과 소위 후측정 시에 있어 시간적 차이 및 공기에 대한 코일의 유도성 인덕턴스값의 검출들 사이의 온도 변동이 있을 수 있기 때문에, 여기에서 다시 한 번 결정되어야 한다. 일단 결정된 소위 공기값(L1)은 유도성 인덕턴스값(L0) 또는 유도성 인덕턴스값(Lx)의 교정시, 보다 길어진 시간대에서도 사용될 수 있다. 크롬코팅에 대해서만 측정의 유도성 인덕턴스값을 묘사하는, 유도성 인덕턴스값(L)은 단지 간격을 두고 수용되어 보다 길어진 시간 동안 데이터 베이스에 저장되어도 충분하다. 하지만, 예를 들어, 측정코일과 측정대상 사이에 간격의 느린 그리고 계속적인 변화(예를 들어 마모로 인한)를 고려하기 위해, 유도성 인덕턴스값(L)이 새로 수용될 경우에는, 또한 동시에 소위 표준 공기값(L1)이 수정되어야 한다. 이제 규격값 형성시 온도 변동으로 야기되는 측정 결과의 오프셋 드리프트도 고려하기 위해서, 수학식(2)이 사용될 수 있다.
[수학식 2]
센서 교환시 유도성 인덕턴스값(L과 L1)은 새로 수용되어야 한다. 선-그리고 후측정 사이의 교환이 이루어지면, 후측정시에도 예전의 관련값(L1)이 사용되어야 한다.
본체(17)용의 많은 재료에 있어서는, 보다 긴 시간경과에서 관찰되는 본체 재료의 전기적 그리고 자기적 값들이 변한다. 이 변화는, 다시말해, 드리프트가 결정되는 각각의 측정체에 있어서 상이한 크기로 나타날 수 있는데, 그 이유는 이 드리프트가 재료의 특성이외에 크롬도금 전에 실행되는 개별적 열처리에도 좌우되기 때문이다. 특성곡선을 수용하기 위해, 도 4 참조, 도 8에서 묘사되어 있는 것과 동일한 검정물체가 제조된다. 검정물체(30)는 두 개의 정면(31, 32)을 갖는다. 측정표면(31)은 여기에서 코팅되지 않은 기본재료로 구성되어 있으며 측정표면(32)에는 크롬코팅이 제공된다. 하지만, 두 개의 측정표면(31, 32)은 동일한 형태이다. 측정표면(32) 위에 제공되는, 크롬코팅의 두께는 알려져 있다. 비록 기본 재료의 전기적 그리고 자기적 특성이 노화과정에 따라 변한다 하더라도, 검정시 이 검정물체(30)를 사용해 결정된 규격값은 변화되지 않거나 또는 약간 변화될 뿐이다. 여기에서는 전체 검정물체에 대해 본체 물질의 자기적 그리고 전기적 특성이 균질적으로 변화한다고 가정한다.
다음에서는 개별적 측정-그리고 산출 단계가 도 5의 도식에 따라 다시 한번 정리될 것이다. 측정 방법은, 대략 설명하자면, 소위 검정값 검출, 소위 선측정 그리고 소위 후측정의 세 단계로 진행한다. 검정값 검출시에는 유도성 인덕턴스값(L)이 검출되고, 이 값은 전적으로 그 두께가 결정되는 재료(또는 그것의 대체소재)에 대해서만 결정되는데, 이때 검정물체의 두께는 바람직하게 측정 코일의 교번 자계의 침투 깊이보다 더 크다. 그런후, 가능한 값(L)의 검출 시점에서 공기에 대한 측정 코일의 유도성 인덕턴스값을 나타내는, 유도성 인덕턴스값(L)이 결정된다.
이제 소위 선측정 단계를 시작한다 :
3. 공기 L10에 대한 코일의 실제 유도성 인덕턴스값의 검출.
4. 차 형성 Δ L0 = L10 - L1
5. 유도성 인덕턴스값(L0) 즉, 코팅되지 않은 본체에 대한 유도성 인덕턴스 값의 결정.
6. 차 형성 L0 * = L0 - Δ L0에 해당되는 교정값(L0 *)의 결정.
이제 소위 후정의 산출 단계가 실행된다:
7. 공기 L1x에 대한 코일의 유도성 인덕턴스값의 결정.
8. 차이 Δ Lx = L1x - L1 형성.
9. 유도성 인덕턴스값 Lx의 결정.
10. 차 형성을 통한 교정값 Lx *의 결정 : Lx * = Lx - Δ Lx
11. 값 L, 그리고 Lx * 또는 L0 *을 사용한 수학식에 해당하는 규격값 산출 실행.
12. 11에서 결정된 규격값이 검정곡선에 의해 코팅두께로 변화됨.
변형된 방법의 경우, 유도성 인덕턴스값(L0)은, 각 개별 부품에 대해 더 이상 개별적으로 결정되는 것이 아니라, 검정요소를 사용하여 측정되고 저장된다. 하지만 이 검정부품은 그것의 전기적 그리고 자기적 특성들은 장치의 작동기간 동안에 변해서는 안된다. 유도성 인덕턴스값(L)은 위에서 설명한대로 결정된다. 다음에서는 도 7에 해당하는 측정단계가 설명될 것인데, 이때 단순화를 위해 그리고 이해하기 쉽도록 온도 변화의 교정은 고려되지 않는다. 이 변형방법을 위해서는, 각각의 재료에 대해 도 6에 상응하도록 고유의 변화검정 곡선을 수용할 필요가 있는데, 상기 변화 과정 특성곡선을 단계 1에서 사용된 것과 같은 검정요소들을 사용하여 수용된다.
단계 1 :
1. 유도성 인덕턴스값(L)의 수용 그리고 데이터 베이스에 저장.
2. 검정요소에 대한 유도성 인덕턴스값(L0)의 수용 그리고 데이터 베이스에 저장.
단계 2 :
3. 코팅되지 않은 부품에서 유도성 인덕턴스값(L0)의 결정.
4. 코팅두께 '0'에서 수학식(1)을 사용한 규격값(Me)의 산출.
5. 도 6에 따른 재료에 관련된 변화검정 곡선의 선택.
단계 3 :
6. 코팅된 부품에서 유도성 인덕턴스값(Lx)의 결정.
7. 수학식(1)을 사용한 규격값의 산출.
8. 선택된 검정곡선을 사용하여 규격값을 코팅두께 값으로 전환.
주의해야 할 것은 종래 기술에서 사용된 와전류 방법 또는 유도 방법에 비해 상기 방법에 있어서, 측정 코일은, 예를 들어, 4MHz의 고주파 교류에 의해 관류되는 것이다. 이 경우보다 작은 코일 유도성 인덕턴스가 발생한다. 어떠한 코일 코어(coil core)도 필요하지 않기 때문에, 다양하고 가격이 저렴한 설치방식이 가능하다.
소위 멀티플렉서를 사용하여 단시간에 많은 측정 부품들을 측정할 수 있는 것이 가능하다. 이 경우 많은 측정 코일들은 결정되는 측정 표면들에 동시에 할당된다. 이 측정 표면들은 멀티플렉서를 사용해 측정 브리지(measuring bridge)에 의해 단시간적으로 차례로 스캐닝된다. 위에서 언급된, 예를 들어, 4MHz의 높은 측정 주파수를 사용해 유도성 인덕턴스값이 결정된다고 하더라도, 이것은 가능하다.
도 9에서는 도 1에서의 구조적 장치에 대한 추가 형태를 묘사한다. 방법에서 설명된 유도성 인덕턴스값(L0)의 검출도(코팅되지 않은 부품에 대한 코일 측정) 분리된 두 번째 측정코일(40)을 이용해서도 실행할 수 있다. 이를 위해서는 크롬도금 후에, 즉 그 두께가 측정되어야 하는 코팅을 제공한 후에, 주시해야 하는 부품의 표면위에는 아직 코팅되지 않은 부분이 있어야 한다. 도 9에 묘사된 부품(41)에는 보빈(42)의 돌출부(44)가 부품(41)의 구멍(43)안으로 돌출되어 있다. 구멍(43)의 벽은 여기에서는 결정해야 하는 크롬 코팅으로 덮혀있지 않다. 측정코일(14)을 이용해 동시에 결정되는 크롬코팅에 대한 측정이 이루어질 수 있는 반면에, 코일(40)을 이용해 본체의 전기적 그리고 자기적 특성이 결정될 수 있다. 이 센서에 의하여, 부품은 단 한 번만 센서 위에 위치되어야 함으로써 실행시간은 더욱 짧아질 수 있다.

Claims (7)

  1. 전기 전도성의 재료로 구성되고, 강자성체 재료로 된 본체(body; 17) 위에 제공되고, 교류가 흐르는 적어도 하나의 측정코일(14)을 이용하여 그 측정코일의 유도성 인덕턴스 변화가 평가되는 코팅(20)의 두께를 결정하는 방법에 있어서,
    - 오직 전기 전도성 재료로 구성된 코팅에 대한 측정시 코일(14)의 유도성 인덕턴스값(L)을 결정하는 단계,
    - 오직 강자성체 재료로 구성된 본체에 대한 측정시 코일(14)의 유도성 인덕턴스값(L0)을 결정하는 단계,
    - 결정되는 코팅(20)에 대한 측정시 코일(14)의 유도성 인덕턴스값(Lx)을 결정하는 단계,
    - 무차원 값(Me)으로 변환하는 단계,
    - 검정곡선을 이용하여 값(Me)을 코팅두께값으로 변환시키는 측정 단계들로 진행하는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 다음의 수학식을 이용하여 무차원 값(Me)이 결정되는 것을 특징으로 하는 방법 :
    L0 = 코팅되지 않은 본체의 유도성 인덕턴스값
    Lx = 코팅된 부품의 유도성 인덕턴스값
    L = 오직 코팅만에 대한 유도성 인덕턴스값
    A = 인수(factor)
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 검정부품에 대한 유도성 인덕턴스값(L0)이 결정되고, 코팅두께 '0'에서 규격값(Me)이 형성되고, 상기 규격값(Me)에 의해 관련변화곡선이 선택되는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 다음 수학식(2)을 이용하여 무차원 값(Me)이 결정되는 것을 특징으로 하는 방법 :
    L1x : Lx 검출(detection)후 또는 전에 공기에 대한 유도성 인덕턴스값
    L10 : L0 검출후 또는 전에 공기에 대한 유도성 인덕턴스값
    L1 : L 검출후 또는 전에 공기에 대한 유도성 인덕턴스값
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 코일(14)에 고주파 교류가 흐르는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 유도성 인덕턴스값(L0)과 유도성 인덕턴스 값(Lx)의 결정은 균질의 재료 조성물(화합물)을 가진 검정물체(30)에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 유도성 인덕턴스값(L0)과 유도성 인덕턴스값(Lx)이 각각 고유의 측정코일(14, 40)에 의해 거의 동시에 결정되는 것을 특징으로 하는 방법.
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