JPH0225721A - 極低温用温度計 - Google Patents
極低温用温度計Info
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- JPH0225721A JPH0225721A JP17666588A JP17666588A JPH0225721A JP H0225721 A JPH0225721 A JP H0225721A JP 17666588 A JP17666588 A JP 17666588A JP 17666588 A JP17666588 A JP 17666588A JP H0225721 A JPH0225721 A JP H0225721A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor part
- temperature
- refrigerant
- magnetic field
- refrigerant supply
- Prior art date
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- Granted
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- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 5
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 12
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
この発明は、極低温用温度計に関するものである。さら
に詳しくは、この発明は、冷媒の真空内への漏れの危険
性のない、冷媒配管内で直接に、かつ正確に温度測定す
ることのできる極低温用温度計に間するものである。
に詳しくは、この発明は、冷媒の真空内への漏れの危険
性のない、冷媒配管内で直接に、かつ正確に温度測定す
ることのできる極低温用温度計に間するものである。
（従来の技術とその課題）
従来より、極低温用の温度計としては、センサー部に直
接電流を流してその抵抗率を測定するものが使用されて
きている。
接電流を流してその抵抗率を測定するものが使用されて
きている。
この従来の温度計は、電気抵抗が温度に応じて変化する
センサー部に電流供給用リード線と電圧測定用リード線
を接続したもので、種々の用途に広く用いられているも
のである。また、この温度計は５、センサー部を自由に
出し入れできる解放系の温度測定域に対しては、簡便に
温度を測定することができるものとして知られてもいる
。
センサー部に電流供給用リード線と電圧測定用リード線
を接続したもので、種々の用途に広く用いられているも
のである。また、この温度計は５、センサー部を自由に
出し入れできる解放系の温度測定域に対しては、簡便に
温度を測定することができるものとして知られてもいる
。
しかしながら、このような従来の温度計を用いて極低温
用の冷媒供給配管内部の温度を測定する場合にはいくつ
かの重大な問題があった。すなわち、冷媒供給配管内部
の冷媒温度を正確に測定するためにはこの温度計のセン
サー部を冷媒供給管内に取り付けることが必要となるが
、そのためには、センサー部に接続しているリード線を
通すためのリード線用フィールドスルーを冷媒供給配管
に設けなくてはならない、しかし、冷媒供給配管にフィ
ールドスルーを設けると、そこを通して冷媒供給配管か
ら真空内に冷媒が漏出する危険が生じる。一方、このよ
うなフィールドスルーによる冷媒の漏出を回避するため
には、センサー部を冷媒供給管内に収り付けることなく
その外側に取り付けることが考えられるが、この場合に
はセンサー部が直接冷媒と接しなくなるので正確に温度
を測定することが困難となる。
用の冷媒供給配管内部の温度を測定する場合にはいくつ
かの重大な問題があった。すなわち、冷媒供給配管内部
の冷媒温度を正確に測定するためにはこの温度計のセン
サー部を冷媒供給管内に取り付けることが必要となるが
、そのためには、センサー部に接続しているリード線を
通すためのリード線用フィールドスルーを冷媒供給配管
に設けなくてはならない、しかし、冷媒供給配管にフィ
ールドスルーを設けると、そこを通して冷媒供給配管か
ら真空内に冷媒が漏出する危険が生じる。一方、このよ
うなフィールドスルーによる冷媒の漏出を回避するため
には、センサー部を冷媒供給管内に収り付けることなく
その外側に取り付けることが考えられるが、この場合に
はセンサー部が直接冷媒と接しなくなるので正確に温度
を測定することが困難となる。
このため、冷媒の真空内への漏れの危険性がなく、冷媒
供給配管の内部に取り付けることができて、直接に、か
つ正確に温度を測定することのできる新たな極低温用温
度計の開発が望まれていた。
供給配管の内部に取り付けることができて、直接に、か
つ正確に温度を測定することのできる新たな極低温用温
度計の開発が望まれていた。
この発明は、以上の通りの事情を踏まえてなされたもの
であり、従来の極低温用温度計の欠点を解消し、冷媒の
温度を直接に、かつ正確に測定できるようにした極低温
用温度計を提供することを目的としている。
であり、従来の極低温用温度計の欠点を解消し、冷媒の
温度を直接に、かつ正確に測定できるようにした極低温
用温度計を提供することを目的としている。
（課題を解決するための手段）
この発明は、上記の課題を解決するために、極低温用冷
媒供給管内に取り付けた、抵抗率が温度に応じて変化す
る金属または半導体からなるセンサー部と、冷媒供給管
の外部よりセンサー部に変動磁界を印加して渦電流を誘
起する変動磁界用コイルと、センサー部に誘起した渦電
流を検出して抵抗率を測定するピックアップコイルとを
有することを特徴とする極低温用温度計を提供する。
媒供給管内に取り付けた、抵抗率が温度に応じて変化す
る金属または半導体からなるセンサー部と、冷媒供給管
の外部よりセンサー部に変動磁界を印加して渦電流を誘
起する変動磁界用コイルと、センサー部に誘起した渦電
流を検出して抵抗率を測定するピックアップコイルとを
有することを特徴とする極低温用温度計を提供する。
この発明の極低温用温度計のセンサー部には、抵抗率が
温度に応じて敏感に変化する金属または半導体からなる
ものであれば任意の材料を使用することができ、また、
その形状についても、変動磁界により効率よく渦電流を
生じさせるものであれば、たとえば、リング状、コイル
状、筒状等に形成したものを適宜に用いることができる
。このようなセンサー部は、温度測定域内で変動磁界用
コイルやピックアップコイルと所定の位置関係を安定に
維持できるように、支持部材によって冷媒供給管内に取
り付けることができる。
温度に応じて敏感に変化する金属または半導体からなる
ものであれば任意の材料を使用することができ、また、
その形状についても、変動磁界により効率よく渦電流を
生じさせるものであれば、たとえば、リング状、コイル
状、筒状等に形成したものを適宜に用いることができる
。このようなセンサー部は、温度測定域内で変動磁界用
コイルやピックアップコイルと所定の位置関係を安定に
維持できるように、支持部材によって冷媒供給管内に取
り付けることができる。
変動磁界用コイルとしては、センサー部に変動磁界を印
加して渦電流を誘起できるものであるかぎり特に制限は
ない。
加して渦電流を誘起できるものであるかぎり特に制限は
ない。
また、ピックアップコイルとしては、温度に応じて変化
するセンサー部の渦電流を鋭敏に検出することができる
高感度のコイルを使用するのが好ましい、検出感度を良
好とするためにこのピックアップコイルと、センサー部
との位置関係は最適なものとすることが好ましい センサー部の渦電流をピックアップコイルにより検出し
た後は、これを基礎として抵抗率を測定し、温度を算出
することができる。
するセンサー部の渦電流を鋭敏に検出することができる
高感度のコイルを使用するのが好ましい、検出感度を良
好とするためにこのピックアップコイルと、センサー部
との位置関係は最適なものとすることが好ましい センサー部の渦電流をピックアップコイルにより検出し
た後は、これを基礎として抵抗率を測定し、温度を算出
することができる。
（作 用）
この発明の温度計においてはセンサー部にリード線を収
り付けていないため、このセンサー部を冷媒供給用配管
内に設置してもリード線のためのフィールドスルーが不
要である。このため、このフィールドスルーより冷媒が
真空内に漏れる危険性はない、また、直接に冷媒の温度
を測定するので、その測定値は正確なものとなる。
り付けていないため、このセンサー部を冷媒供給用配管
内に設置してもリード線のためのフィールドスルーが不
要である。このため、このフィールドスルーより冷媒が
真空内に漏れる危険性はない、また、直接に冷媒の温度
を測定するので、その測定値は正確なものとなる。
（実施例）
以下、この発明を実施例に基づいて具体的に説明する。
第１図はこの発明の極低温用温度計の一実施例を示した
部分断面図である。
部分断面図である。
この実施例においては、センサー部（１）は抵抗率が温
度に応じて敏感に変化する金属または半導体を円筒状に
形成したものからなっており、極低温用冷媒供給配管（
２）の内部に電気的、かつ熱的な絶縁物からなる支持部
材（３）により安定に取り付けている。［ｌ低温用冷媒
供給配管（２）の外側にはピックアップコイル（４）と
変動磁界用コイル（５）とを順次設けている。変動磁界
用コイル（５）には変動磁界発生用の電源装置を接続し
ている。
度に応じて敏感に変化する金属または半導体を円筒状に
形成したものからなっており、極低温用冷媒供給配管（
２）の内部に電気的、かつ熱的な絶縁物からなる支持部
材（３）により安定に取り付けている。［ｌ低温用冷媒
供給配管（２）の外側にはピックアップコイル（４）と
変動磁界用コイル（５）とを順次設けている。変動磁界
用コイル（５）には変動磁界発生用の電源装置を接続し
ている。
また、このピックアップコイル（４）には、温度を算出
する処理装置を接続してもいる（図示せず）。
する処理装置を接続してもいる（図示せず）。
極低温用冷媒は図中の矢印の方向へ供給している。
この極低温用温度計の使用に際しては、まず変動磁界用
コイル（５）を作動させてセンサー部（１）に変動磁界
を印加する。センサー部（１）にはＡ電流が誘起される
が、その大きさは極低温用冷媒供給配管（２）を流れる
極低温の冷媒の温度と抵抗率との相関によって定まる。
コイル（５）を作動させてセンサー部（１）に変動磁界
を印加する。センサー部（１）にはＡ電流が誘起される
が、その大きさは極低温用冷媒供給配管（２）を流れる
極低温の冷媒の温度と抵抗率との相関によって定まる。
この渦電流をピックアップコイル（４）によって検出し
てセンサー部（１）の抵抗率を測定し、処理装置により
温度に算出する。
てセンサー部（１）の抵抗率を測定し、処理装置により
温度に算出する。
この例から明らかなように、センサー部（１）は温度測
定の対象である冷媒に直接接触させているので、その温
度を正確に知ることができる。また、センサー部（１）
にはリード線を接続していないので極低温用冷媒供給配
管（２）にはリード線用フィールドスルーを設ける必要
がない、このため、冷媒がフィールドスルーを通して漏
れることもない。
定の対象である冷媒に直接接触させているので、その温
度を正確に知ることができる。また、センサー部（１）
にはリード線を接続していないので極低温用冷媒供給配
管（２）にはリード線用フィールドスルーを設ける必要
がない、このため、冷媒がフィールドスルーを通して漏
れることもない。
（発明の効果）
この発明により、以上詳しく説明した通り、センサー部
にリード線を接続することが不要となるため、従来の温
度計のようにリード線のためのフィールドスルーの設置
は必要でなく、冷媒の真空内への漏れの危険性はない。
にリード線を接続することが不要となるため、従来の温
度計のようにリード線のためのフィールドスルーの設置
は必要でなく、冷媒の真空内への漏れの危険性はない。
しかも冷媒の温度を直接に、正確に測定することができ
る。
る。
第１図はこの発明の一実施例を示した部分断面図である
。 ■・・・センサー部 ２・・・極低温用冷媒供給配管 ３・・・支持部材 ４・・・ピックアップコイル ５・・・変動磁界用コイル
。 ■・・・センサー部 ２・・・極低温用冷媒供給配管 ３・・・支持部材 ４・・・ピックアップコイル ５・・・変動磁界用コイル
Claims (1)
- （１）極低温用冷媒供給管内に取り付けた、抵抗率が温
度に応じて変化する金属または半導体からなるセンサー
部と、冷媒供給管の外部よりセンサー部に変動磁界を印
加して渦電流を誘起する変動磁界用コイルと、センサー
部に誘起した渦電流を検出して抵抗率を測定するピック
アップコイルとを有することを特徴とする極低温用温度
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176665A JP2524384B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 極低温用温度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176665A JP2524384B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 極低温用温度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0225721A true JPH0225721A (ja) | 1990-01-29 |
| JP2524384B2 JP2524384B2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=16017565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63176665A Expired - Lifetime JP2524384B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 極低温用温度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2524384B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6986602B2 (en) * | 2003-03-27 | 2006-01-17 | Dresser, Inc. | Temperature measurement device |
| US7140257B2 (en) | 2002-12-10 | 2006-11-28 | Ashcroft Inc. | Wireless transmitting pressure measurement device |
| US7322744B2 (en) | 2003-03-27 | 2008-01-29 | Ashcroft, Inc. | Temperature measurement device |
| JP2013167519A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Tdk Corp | 非接触温度センサ |
-
1988
- 1988-07-15 JP JP63176665A patent/JP2524384B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7140257B2 (en) | 2002-12-10 | 2006-11-28 | Ashcroft Inc. | Wireless transmitting pressure measurement device |
| US6986602B2 (en) * | 2003-03-27 | 2006-01-17 | Dresser, Inc. | Temperature measurement device |
| US7322744B2 (en) | 2003-03-27 | 2008-01-29 | Ashcroft, Inc. | Temperature measurement device |
| JP2013167519A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Tdk Corp | 非接触温度センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2524384B2 (ja) | 1996-08-14 |
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