JP2524384B2 - 極低温用温度計 - Google Patents
極低温用温度計Info
- Publication number
- JP2524384B2 JP2524384B2 JP63176665A JP17666588A JP2524384B2 JP 2524384 B2 JP2524384 B2 JP 2524384B2 JP 63176665 A JP63176665 A JP 63176665A JP 17666588 A JP17666588 A JP 17666588A JP 2524384 B2 JP2524384 B2 JP 2524384B2
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- JP
- Japan
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- temperature
- cryogenic
- supply pipe
- refrigerant
- thermometer
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- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （技術分野） この発明は、極低温用温度計に関するものである。さ
らに詳しくは、この発明は、冷媒の真空内への漏れの危
険性のない、冷媒配管内で直接に、かつ正確に温度測定
することのできる極低温用温度計に関するものである。
らに詳しくは、この発明は、冷媒の真空内への漏れの危
険性のない、冷媒配管内で直接に、かつ正確に温度測定
することのできる極低温用温度計に関するものである。
（従来の技術とその課題） 従来より、極低温用の温度計としては、センサー部に
直接電流を流してその抵抗率を測定するものが使用され
てきている。
直接電流を流してその抵抗率を測定するものが使用され
てきている。
この従来の温度計は、電気抵抗が温度に応じて変化す
るセンサー部に電流供給用リード線と電圧測定用リード
線を接続したもので、種々の用途に広く用いられている
ものである。また、この温度計は、、センサー部を自由
に出し入れできる解放系の温度測定域に対しては、簡便
に温度を測定することができるものとして知られてい
る。
るセンサー部に電流供給用リード線と電圧測定用リード
線を接続したもので、種々の用途に広く用いられている
ものである。また、この温度計は、、センサー部を自由
に出し入れできる解放系の温度測定域に対しては、簡便
に温度を測定することができるものとして知られてい
る。
しかしながら、このような従来の温度計を用いて極低
温用の冷媒供給配管内部の温度を測定する場合にはいく
つかの重大な問題があった。すなわち、冷媒供給配管内
部の冷媒温度を正確に測定するためにはこの温度計のセ
ンサー部を冷媒供給管内に取り付けることが必要となる
が、そのためには、センサー部に接続しているリード線
を通すためのリード線用フィールドスルーを冷媒供給配
管に設けなくてはならない。しかし、冷媒供給配管にフ
ィールドスルーを設けると、そこを通して冷媒供給配管
から真空内に冷媒が漏出する危険が生じる。一方、この
ようなフィールドスルーによる冷媒の漏出を回避するた
めには、センサー部を冷媒供給管内に取り付けることな
くその外側に取り付けることが考えられるが、この場合
にはセンサー部が直接冷媒と接しなくなるので正確に温
度を測定することが困難となる。
温用の冷媒供給配管内部の温度を測定する場合にはいく
つかの重大な問題があった。すなわち、冷媒供給配管内
部の冷媒温度を正確に測定するためにはこの温度計のセ
ンサー部を冷媒供給管内に取り付けることが必要となる
が、そのためには、センサー部に接続しているリード線
を通すためのリード線用フィールドスルーを冷媒供給配
管に設けなくてはならない。しかし、冷媒供給配管にフ
ィールドスルーを設けると、そこを通して冷媒供給配管
から真空内に冷媒が漏出する危険が生じる。一方、この
ようなフィールドスルーによる冷媒の漏出を回避するた
めには、センサー部を冷媒供給管内に取り付けることな
くその外側に取り付けることが考えられるが、この場合
にはセンサー部が直接冷媒と接しなくなるので正確に温
度を測定することが困難となる。
このため、冷媒の真空内への漏れの危険性がなく、冷
媒供給配管の内部に取り付けることができて、直接に、
かつ正確に温度を測定することのできる新たな極低温用
温度計の開発が望まれていた。
媒供給配管の内部に取り付けることができて、直接に、
かつ正確に温度を測定することのできる新たな極低温用
温度計の開発が望まれていた。
この発明は、以上の通りの事情を踏まえてなされたも
のであり、従来の極低温用温度計の欠点を解消し、冷媒
の温度を直接に、かつ正確に測定できるようにした極低
温用温度計を提供することを目的としている。
のであり、従来の極低温用温度計の欠点を解消し、冷媒
の温度を直接に、かつ正確に測定できるようにした極低
温用温度計を提供することを目的としている。
（課題を解決するための手段） この発明は、上記の課題を解決するために、極低温用
冷媒供給管内に取り付けた、抵抗率が温度に応じて変化
する金属または半導体からなるセンサー部と、冷媒供給
管の外部よりセンサー部に変動磁界を印加して渦電流を
誘起する変動磁界用コイルと、センサー部に誘起した渦
電流を検出して抵抗率を測定するピックアップコイルと
を有することを特徴とする極低温用温度計を提供する。
冷媒供給管内に取り付けた、抵抗率が温度に応じて変化
する金属または半導体からなるセンサー部と、冷媒供給
管の外部よりセンサー部に変動磁界を印加して渦電流を
誘起する変動磁界用コイルと、センサー部に誘起した渦
電流を検出して抵抗率を測定するピックアップコイルと
を有することを特徴とする極低温用温度計を提供する。
この発明の極低温用温度計のセンサー部には、抵抗率
が温度に応じて敏感に変化する金属または半導体からな
るものであれば任意の材料を使用することができ、ま
た、その形状についても、変動磁界により効率よく渦電
流を生じさせるものであれば、たとえば、リング状、コ
イル状、筒状等に形成したものを適宜に用いることがで
きる。このようなセンサー部は、温度測定域内で変動磁
界用コイルやピックアップコイルと所定の位置関係を安
定に維持できるように、支持部材によって冷媒供給管内
に取り付けることができる。
が温度に応じて敏感に変化する金属または半導体からな
るものであれば任意の材料を使用することができ、ま
た、その形状についても、変動磁界により効率よく渦電
流を生じさせるものであれば、たとえば、リング状、コ
イル状、筒状等に形成したものを適宜に用いることがで
きる。このようなセンサー部は、温度測定域内で変動磁
界用コイルやピックアップコイルと所定の位置関係を安
定に維持できるように、支持部材によって冷媒供給管内
に取り付けることができる。
変動磁界用コイルとしては、センサー部に変動磁界を
印加して渦電流を誘起できるものであるかぎり特に制限
はない。
印加して渦電流を誘起できるものであるかぎり特に制限
はない。
また、ピックアップコイルとしては、温度に応じて変
化するセンサー部の渦電流を鋭敏に検出することができ
る高感度のコイルを使用するのが好ましい。検出感度を
良好とするためにこのピックアップコイルと、センサー
部との位置関係は最適なものとすることが好ましい。
化するセンサー部の渦電流を鋭敏に検出することができ
る高感度のコイルを使用するのが好ましい。検出感度を
良好とするためにこのピックアップコイルと、センサー
部との位置関係は最適なものとすることが好ましい。
センサー部の渦電流をピックアップコイルにより検出
した後は、これを基礎として抵抗率を測定し、温度を算
出することができる。
した後は、これを基礎として抵抗率を測定し、温度を算
出することができる。
（作用） この発明の温度計においてはセンサー部にリード線を
取り付けていないため、このセンサー部を冷媒供給用配
管内に設置してもリード線のためのフィールドスルーが
不要である。このため、このフィールドスルーより冷媒
が真空内に漏れる危険性はない。また、直接に冷媒の温
度を測定するので、その測定値は正確なものとなる。
取り付けていないため、このセンサー部を冷媒供給用配
管内に設置してもリード線のためのフィールドスルーが
不要である。このため、このフィールドスルーより冷媒
が真空内に漏れる危険性はない。また、直接に冷媒の温
度を測定するので、その測定値は正確なものとなる。
（実施例） 以下、この発明を実施例に基づいて具体的に説明す
る。
る。
第１図はこの発明の極低温用温度計の一実施例を示し
た部分断面図である。
た部分断面図である。
この実施例においては、センサー部（１）は抵抗率が
温度に応じて敏感に変化する金属または半導体を円筒状
に形成したものからなっており、極低温用冷媒供給配管
（２）の内部に電気的、かつ熱的な絶縁物からなる支持
部材（３）により安定に取り付けている。極低温用冷媒
供給配管（２）の外側にはピックアップコイル（４）と
変動磁界用コイル（５）とを順次設けている。変動磁界
用コイル（５）には変動磁界発生用の電源装置を接続し
ている。
温度に応じて敏感に変化する金属または半導体を円筒状
に形成したものからなっており、極低温用冷媒供給配管
（２）の内部に電気的、かつ熱的な絶縁物からなる支持
部材（３）により安定に取り付けている。極低温用冷媒
供給配管（２）の外側にはピックアップコイル（４）と
変動磁界用コイル（５）とを順次設けている。変動磁界
用コイル（５）には変動磁界発生用の電源装置を接続し
ている。
また、このピックアップコイル（４）には、温度を算
出する処理装置を接続してもいる（図示せず）。
出する処理装置を接続してもいる（図示せず）。
極低温用冷媒は図中の矢印の方向へ供給している。
この極低温用温度計の使用に際しては、まず変動磁界
用コイル（５）を作動させてセンサー部（１）に変動磁
界を印加する。センサー部（１）には渦電流が誘起され
るが、その大きさは極低温用冷媒供給配管（２）を流れ
る極低温の冷媒の温度と抵抗率との相関によって定ま
る。この渦電流をピックアップコイル（４）によって検
出してセンサー部（１）の抵抗率を測定し、処理装置に
より温度に算出する。
用コイル（５）を作動させてセンサー部（１）に変動磁
界を印加する。センサー部（１）には渦電流が誘起され
るが、その大きさは極低温用冷媒供給配管（２）を流れ
る極低温の冷媒の温度と抵抗率との相関によって定ま
る。この渦電流をピックアップコイル（４）によって検
出してセンサー部（１）の抵抗率を測定し、処理装置に
より温度に算出する。
この例から明らかなように、センサー部（１）は温度
測定の対象である冷媒に直接接触させているので、その
温度を正確に知ることができる。また、センサー部
（１）にはリード線を接続していないので極低温用冷媒
供給配管（２）にはリード線用フィールドスルーを設け
る必要がない。このため、冷媒がフィールドスルーを通
して漏れることもない。
測定の対象である冷媒に直接接触させているので、その
温度を正確に知ることができる。また、センサー部
（１）にはリード線を接続していないので極低温用冷媒
供給配管（２）にはリード線用フィールドスルーを設け
る必要がない。このため、冷媒がフィールドスルーを通
して漏れることもない。
（発明の効果） この発明により、以上詳しく説明した通り、センサー
部にリード線を接続することが不要となるため、従来の
温度計のようにリード線のためのフィールドスルーの設
置は必要でなく、冷媒の真空内への漏れの危険性はな
い。
部にリード線を接続することが不要となるため、従来の
温度計のようにリード線のためのフィールドスルーの設
置は必要でなく、冷媒の真空内への漏れの危険性はな
い。
しかも冷媒の温度を直接に、正確に測定することがで
きる。
きる。
第１図はこの発明の一実施例を示した部分断面図であ
る。 １……センサー部 ２……極低温用冷媒供給配管 ３……支持部材 ４……ピックアップコイル ５……変動磁界用コイル
る。 １……センサー部 ２……極低温用冷媒供給配管 ３……支持部材 ４……ピックアップコイル ５……変動磁界用コイル
Claims (1)
- 【請求項１】極低温用冷媒供給管内に取り付けた、抵抗
率が温度に応じて変化する金属または半導体からなるセ
ンサー部と、冷媒供給管の外部よりセンサー部に変動磁
界を印加して渦電流を誘起する変動磁界用コイルと、セ
ンサー部に誘起した渦電流を検出して抵抗率を測定する
ピックアップコイルとを有することを特徴とする極低温
用温度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176665A JP2524384B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 極低温用温度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176665A JP2524384B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 極低温用温度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0225721A JPH0225721A (ja) | 1990-01-29 |
| JP2524384B2 true JP2524384B2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=16017565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63176665A Expired - Lifetime JP2524384B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 極低温用温度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2524384B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7140257B2 (en) | 2002-12-10 | 2006-11-28 | Ashcroft Inc. | Wireless transmitting pressure measurement device |
| US7165461B2 (en) * | 2003-03-27 | 2007-01-23 | Ashcroft, Inc. | Pressure gauge having dual function movement plate |
| WO2004094971A1 (en) | 2003-03-27 | 2004-11-04 | Dresser, Inc. | Temperature measurement device |
| JP5895578B2 (ja) * | 2012-02-15 | 2016-03-30 | Tdk株式会社 | 非接触温度センサ |
-
1988
- 1988-07-15 JP JP63176665A patent/JP2524384B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0225721A (ja) | 1990-01-29 |
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