JPH03501891A - 酸素感知方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 、感知方法および４ ［技術分野］ 本発明は、酸素感知方法および装置に関し、特定すると磁気的手段によりガス混 合物内の酸素濃度を測定するための装置および方法に関する。

［発明の背景］ ガス混合物中の酸素濃度の正確な測定は、広範囲の工業的、臨床的および研究的 プロセスにおいて重要である。それゆえ、酸素濃度を測定するため、広範囲のデ バイスが提案され、開発されてきた。酸素は、その分子が磁界の最強の部分を探 索するという点において常磁性であるということが久しく認められてきた。これ に対比して、たいていの他のガスは、それらの分子が磁界の最弱の部分を探索す るという点において反磁性である。酸素の広く確認されたこの常磁性の性質は、 磁気的感知装置によるガス混合物中の酸素濃度を測定するための方法および装置 に関する多数の研究を促した。

酸素の磁気感受性に依存する従来形式の常磁性測定セルが、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏ ｆ　ｔｈｅ　Ａｍｅｒｉｃａｎ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　５ｏｃｉｅｔｙＶｏ１．６ ８７９５．　（１９４６）のＰａｕｌｉｎｇ等のｒ　Ａｎ　Ｉｎ５ｔｒｕｒｎｅ ｎｔｆｏｒ　Ｄｅｔｅｒｍｉｎｇ　ｔｈｅ　Ｐａｒｔｉａｌ　Ｐｒｅｓｓｕｒｅ 　ｏｆ　Ｏｘｇｅｎ　ｉｎ　ａＧａｓ　Ｊと題する論文に記述されている。Ｐａ ｕｌｉｎｇ等の測定セルは、望素のような弱反磁性ガスを含む密封ガラス管を利 用する。管は、不均一磁界を提供する永久磁石の楔状磁極片間に吊され、そして 垂直軸線の回りに回転自在とされる５この構造体は、ついで、選択されたガ冬を 含むチャンバ内に配置される。

酸素が管を取り囲むチャンバ中に導入される時、管内の窒素は取り囲む常磁性酸 素ガスに関して実質的に反磁性であり、管は、磁界が最弱である領域にそれを回 転しようとする力を受ける。この動き、すなわちこの動きを阻止するに必要とす る力は、チャンバ内の酸素の濃度の指示として測定され得る。しかしながら、Ｐ ａｕｌｉｎｇセルは脆く、かつ管の回転軸線は、使用の都度−貫的に配向されね ばならず、このためセルは、工業的酸素測定の応用に不適当となる。

酸素の濃度を測定するための他の形式の装置は、温度と酸素の磁気感受性との間 の逆比例関係に依存する。この逆比例関係の結果として、不均一磁界において含 酸素混合物を一部を加熱すると磁気圧効果を生じ、これを電気抵抗素子に及ぼす その熱的作用を通じて測定し得る。

種々の形態の磁気風測定デバイスが、Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ　ｏｆｔｈｅ　 Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ　ａｎｄ　Ｍｅｔｈｏｄｓ　Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ、　 Ｓｔｏｃｋｈｏｌｍ。

１９４９’、　ｐｐ、１−８のＭｅｄｌｏｃｋ等の「酸素分析」なる論文、Ｂｒ １ｔｉｓｈ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ａｎａｅｓｔｈｅｓｉａ　Ｖｏｌ、４０５ ６９（１９６８）のＥｌｌｉｓ等のｒ　Ｔｈｅ　Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ　ｏｆ 　Ｇａ５ｅｏｕｓ　、Ｄｘｇｅｎ　Ｔｅｎ−５ｉｏｎ　Ｌｌｔｉｌｉｚｊｎｇ　 ＰａｒａｍａｇｎｅｔｉｓＪと題する論文に論述されている。

しかしながら、従来の磁気風酸素測定デバイスは、周囲ガス、すなわち背景（バ ックグラウンド）ガスの熱的性質の変化に起因して比較的大きな誤差を受ける。

特に、異なる背景ガスの存在は、その熱的特性の大きな差に起因して、従来形式 の磁気ｆｆｌ酸素センサに酸素レベルの誤読取り値を生ぜしさせる。さらに、従 来形式の磁気風酸素感知デバイスは、特に磁気感受性の直接的測定に基く方法に 比較して、位置感知性および背景ガス依存性を被る。

したがって、背景ガスの組成に関係なく酸素濃度の正確かつ信頼性が高い測定を 可能にする酸素感知方法および装置の必要性が存する。

したがって、本発明の目的は、背景ガス組成および熱的特性に拘りなく酸素濃度 の正確な測定を可能にする酸素感知および方法を提供することである。

本発明の他の目的は、丈夫で、信頼性があり、かつ容易に携帯可能な酸素測定装 置を提供することである。

本発明のこれらおよびその他の目的および利点は、以下の説明から明らかとなろ う。

［発明の概要］ 本発明の目的は、ガス混合物中の常磁性ガスの濃度を測定する装置を提供するこ の発明により達成される。本発明の一側面においては、装置は、不均一磁界を発 生する磁界発生部材と、温度に比例する電気的パラメータを有し、不均一磁界内 に配置された少なくとも１つの電気的に加熱される磁気風発生サーミスタとを備 える。磁気風発生サーミスタは、ガス混合物内の常磁性ガスの濃度に比例する大 きさの磁気風を発生する。

本発明はまた、温度に比例した電気的パラメータを有し、不均一磁界の実質的に 外側に配置された少なくとも１つの電気的に加熱される磁気ｆｆｌ感知サーミス タを備える。磁気風感知サーミスタは、磁気風から生ずる熱伝達を感知すること によって、常磁性ガスの存在に際して磁気風発生サーミスタにより発生される磁 気風を感知する。

本発明はまた、磁気風発生サーミスタ素子および磁気風感知サー逅スタ素子と同 一の電気回路に、磁気風感知サーミスタの電気的パラメータを測定し、ガス混合 物内の常磁性ガスの濃度を表わしかつ常磁性ガスの存在に際して起こる磁気風の 大きさに比例する振幅を有する測定信号を発生するための信号発生手段を具備す る。

磁界発生部材は、第１および第２磁石部材間にギャップを配して互いに隣接して 配置した第１および第２の磁石部材を具備し得、磁気風発生サーミスタ素子は、 ギャップ内に相互に相対して配置された第１および第２の電気的に加熱される磁 気風発生サーミスタを具備し得、そして、磁気風感知サーミスタ素子は、それぞ れ第１および第２の磁気風感知サーミスタに隣接して配置された第１および第２ の電気的に加熱される磁気風感知サーミスタを具備し得る。

本発明の他の側面においては、信号発生手段は、信号第１および第２磁気風発生 サーミスタと第１および第２磁気風域知サーミスタを具備する４つの腕を有する ホイートストンブリッジを含む、信号発生手段はさらに、第１および第２磁気風 発生サーミスタと、第１および第２磁気風悉知サーミスタを実質的に一定温度に 自動的に維持するための温度制御手段を含む。

本発明の他の側面において、信号発生手段は、定温度用電気的ブリッジおよびそ れ自体ホイートストーンブリッジより成る測定用電気的ブリッジを含む、温度制 御手段は、定温度用電気的ブリッジおよび測定用ブリッジ間の電気的不平衡に応 答して、ホイートストンブリッジへのｔ流を制御し、もフて第１および第２Ｍ１ 気風発生サーミスタと第１および第２磁気風感知サーミスクとを実質的に一定の 温度に維持するための電流制御手段を備える。

信号発生手段はさらに、定温度用電気的ブリッジおよび測定用電気的ブリッジ間 の電気的不平衡に応答して、修正信号を発生する修正手段と、修正信号と測定信 号を結合して、ガス混合物内の背景ガスの変化に応答して測定信号の振幅を修正 するための結合用素子とを備えることができる。

本発明はまた、ガス混合物内の反磁性の濃度を測定するための方法であって、不 均一磁界を発生し、該不均一磁界の内側に少なくとも１つの磁気風発生サーミス タを位置づけ、不均一磁界の実質的に外側に少なくとも１つの磁気風感知サーミ スタを位置づけ、そして常磁性ガスの存在に際して、ガス混合物内における常磁 性ガスの濃度に比例する大きさを有する磁気風を発生するために、磁気風発生サ ーミスタを加熱することの諸段階を含む常磁性ガスの濃度を測定するための方法 を提供することである。

本発明の方法はさらに、常磁性ガスの存在の際に磁気ｉ発生サーミスタにより発 生される磁気風を感知するため、磁気風感知サーミスタの、温度に比例する電気 的パラメータを測定し、前記の少なくとも１つの磁気風感知サーミスタの電気的 パラメータに応答して、ガス混合物内の常磁性ガスの濃度を表わしかつ常磁性ガ スの存在の際に起こる磁気風の大きさに比例する振幅を有する測定信号を発生す ることを含む。

本発明の他の側面として、磁界発生段階は、第１および第２磁石部材間にギャッ プを配して第１および第２の磁石部材を相互に隣接して配置することを含み、少 なくとも１つの磁気風発生サーミスタを配置する段階が、ギャップ内に相互に相 対して第１および第２磁気風発生サーミスタを配置することを含み、そして少な くとも１つの磁気風感知サーミスタを配置する段階が、第１および第２磁気風感 知サーミスタを、それぞれ第１および第２磁気風発生サーミスタに隣接して配置 することを含むや前記の少なくとも１つの磁気風感知サーミスタの電気的パラメ ータに応答する段階は、第１および第２磁気風発生サーミスタと第１および第２ 磁気風域知サーミスタとを４つの腕を有するホイートストンブリッジに構成し、 そして第１および第２１ｉｎ気風発生サーミスタと第１および第２磁気風感知サ ーミスタを実質的に一定の温度に自動的に維持することを含む。本発明の他の側 面として、少なくとも１つの磁気風感知サーミスタの電気的パラメータに応答す る段階は、定温度用電気的ブリッジと、ホイートストンブリッジである測定用電 気的ブリッジを構成することを含み、前記のサーミスタを実質的に一定温度に自 動的に維持する段階が、定温度用電気的ブリッジおよび測定用ブリッジ間の電気 的不平衡に応答して、ホイートストンブリッジへの電流を制御することを含む。

測定信号は、定温度用電気的ブリッジおよび測定用電気的ブリッジ間の電気的不 平衡を表わす修正信号を発生することにより、ガス混合物内の背景ガスの変化に 応答して修正され得る。これらの修正信号は、測定信号と結合され、ガス混合物 内における背景ガスの熱的性質の変化を補償する。

図面の簡単な説明 本発明のこれらおよびその他の目的および利点を一層理解するため、以下の詳細 な説明および図面を参照されたい。

第１図は、本発明に従って構成された酸素感知セルを示す概略線図である。

第２図は、本発明に従う酸素感知回路を示す概略線図である。

［実施例］ 第１図は、本発明に従う酸素感知セルの構成を示す概略線図である。酸素センサ は、「磁気風」現象を利用するもので、２対の電気的に加熱される従来形式のサ ーミスタＲ１、ＷｌおよびＲ２およびＷ２を有する酸素感知セル１００を具備す る。

各１対の電気的加熱サーミスタの一方のサーミスタ、すなわちＷｌおよびＷ２は 、高磁界強度および磁界勾配の磁気帯域内に配置される。第１図に例示されるよ うに、この高強度、不均一磁界は、例えば、それぞれ磁石１０２Ａおよび１０２ Ｂ間にサーミスタＷｌおよヒｗ２を位置づけることによって発生し得る。各１対 の電気的加熱サーミスタの他方、すなわちサーミスタＲ１およびＲ２は、それぞ れＷｌおよびＷ２に隣接して、ただし高磁界強度領域の実質的に外側に配置され る。

酸素が酸素感知セル１００に存在し、サーミスタｗ１およびＷ２が電気的に加熱 されると、「風発生サーミスタ」と称されるサーミスタＷ１およびＷ２は、磁界 の外側に配置された各１対のサーミスタの隣接するサーミスタ、すなわちＲ１お よびＲ２の方向においてガス流を発生する。かくして、磁気風発生サーミスタＷ １およびＷ２は、６対の隣接するサーミスタＲ１およびＲ２に熱を失う。したが って、酸素感知セル１００における酸素の存在は、風発生サーミスタＷ１および Ｗ２の温度を比例的に減する領内があり、また風感知サーミスタと称される隣接 のサーミスタＲ１およびＲ２の温度を増す傾向がある。

当技術い精通したもに認められるように、磁石１０２Ａおよび１０２Ｂのそれぞ れの磁極片１０４Ａおよび１０４Ｂにより発生される高強度磁界の内側に配置さ れたサーミスタＷ１およびＷ２、および高強度磁界領域の外側にそれぞれの風発 生サーミスタＷ１およびＷ２に隣接して配置された風感知サーミスタＲ１および Ｒ２を利用する例示の形態は、センサの位置感性を最小にする。例示されるセン サセル１００のこの位置不感性の結果として、本発明は好都合なことに携帯用酸 素センサで実施できる。センサセルの例示の配置はまた、熱伝導率、熱容量およ び粘度の変動から生ずるような背景ガス依存性を最小とする。さらに、サーミス タ対は、信号出力を最大にするように精確に位置づけできる。

本発明の好ましい実施例においては、サーミスタ対Ｒ１，Ｗ１およびＦＩ２．Ｗ ２は、第２図に例示される測定用ブリッジ回路に付加的に接続される。測定用ブ リッジ回路２００は、サーミスタ温度不平衡からもたらされる抵抗変化に起因し て不平衡となる。このサーミスタの温度不平衡の方は、酸素の濃度に比例する。

本発明に従うと、第２図に例示される回路は、酸素感知素子の温度を制御するこ とによって、周囲温度の変動の望ましくない影響を排除する。酸素感知素子の温 度は、例示される直列トランジスタＳＴおよびブリッジ温度調節素子ＲＴを含む 高精度温度制御ループにより実質的に一定レベルに維持される。詳述すると、例 示の回路２００は、抵抗ＲＣ，ＲＤ、ＲＳ、およびサーミスタ〜へ７１、Ｗ２、 Ｒ１、Ｒ２、ＲＡおよび抵抗ＲＢおよびＲＺより成る酸素測定ブリッジにより形 成される定温度用ブリッジを具備する。

抵抗ＲＣ，ＲＤ、ＲＳ、およびサーミスタＷ１、Ｗ２、Ｒ１、Ｒ２、ＲＡおよび 抵抗ＲＢおよびＲＺは、ホイートストンブリッジの４本の腕を形成している。可 変抵抗ＲＴは、ブリッジ温度調節素子として利用される。増幅器Ａ１は、従来設 計および構造とし得るものであるが、この増幅器は、節点ｒＸＪおよびｒＹＪ間 に電気的不平衡があればこれを検出し、ブリッジ電流を変化してブリッジの不平 衡を復旧させるため、直列トランジスタＳＴを駆動する。

この検出および制御ループは、背景ガス組成に変動があっても、酸素測定用ブリ ッジの素子を一定温度に維持する。さもないと、この背景ガス組成の変動は、熱 伝導率の変化を通じて、サーミスタ熱損失および温度に影響を及ぼす、酸素の不 存在の場合、サーミスタの最適の温度は、約２００℃であることが分かった。第 ２図に例示される回路の重要な利点は、サーミスタが一定温度に維持されるとい うことである。この一定温度は、第１図に例示される感知セル１００のサーミス タ対Ｒ１、ＷｌおよびＲ２およびＷ２間に一定の熱的関係を維持し、それにより 背景ガスの熱的性質の変動により引き起こされる酸素の読みの誤差を最小化する 。

例示の形態の他の利点は、測定ブリッジから得られる酸素読取り値を精確に修正 するための修正信号すなわち乗数として使用される信号を、増幅器Ａ２の出力に 得ることができることである。この信号は、ブリッジの不平衡を復旧するに必要 な電流変化なＲＳを介して感知することによって得られる。

これらの利点は、従来形式の磁気風酸素センサを利用しての酸素の測定の例によ りもつともよく説明できる。

例えば、酸素、窒素、二酸化炭素および水素より成るガス流において、０％〜５ ％の範囲に亙る酸素測定値が必要とされると仮定する。従来形式の磁気風酸素分 析器においては、測定ブリッジは、１００％窒素において○酸素読取り値を生じ 、フルスケール酸素読取り値に対して、５％酸素および９５％窒素となるように 調節される。従来形式の磁気風酸素センサは、そのとき、０−５％の測定範囲内 における任意の酸素濃度の正しい酸素測定値を、全分析器精度の限界内で提供し 得る。

しかしながら、従来形式の酸素分析器は、窒素背景ガスが水素に置き代えられる と真価より低い値を生ずるであろう、詳述すると、従来形式の酸素センサは、正 しい値の２０％はど低い読取り値を生ずることがあり得る。逆の問題は、窒素背 景ガスが二酸化炭素により置き代えられるときに起こる。この場合、従来形式の 磁気風酸素センサは、正しい値の２倍はど高い酸素読取り値を生ずるであろう。

従来形式の磁気風酸素センサを代表する上述の誤差は、窒素に比して水素および 二酸化酸素の熱的性質に大は、磁気風発生サーミスタから隣接する磁気風感知サ ーミスタへの熱伝達に大きく影響する。

しかしながら、本発明に従えば、上述の変動を補償しｒＸＪおよびｒＹＪ間の平 衡を復旧するに必要とされるブリッジ電流の変化は、抵抗ＲＳにより感知され、 増幅器Ａ２により増幅され、割付け（スケール）される、しかして、この増幅器 は、酸素測定ブリッジにより供給される信号に対して乗数として使用され得る修 正信号を供給する。この修正信号は、背景ガス組成の変化に拘りなく、パーセン ト酸素の単位で酸素測定ブリッジ信号を修正するのに使用される。

かくして、本発明は、先の記載から明らかになされたもののうち上述の目的を有 効に達成することが分かろう、特に、本発明は、背景ガス組成の変化に拘りなく 、酸素濃度の精確な測定を可能にする０本発明はまた、低ドリフトできわめて良 好なゼロおよびスパンの安定性をもたらし、かつ電気的または空気的接続を断つ ことなく、研究室における構成チェックのために取り外すことができるコンパク トなセンサを可能にするものである。

以上本発明を好ましい具体例について説明したカイ、斯界に精通したものであれ ば本発明の範囲から逸脱することなく、上述の変化および上述の動作順序に変更 をなし得ることは明らかである。したがって、上述の記載および添付図面に示さ れるすべての内容は、制限的意味において解釈されるべきでなく、例示として解 釈されるべきである。

ＷＯ９０１０４１７０ＰＣＴ／Ｌ！５８９１０４２７３国際調査報告

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. （１）ガス混合物内の常磁性ガスの濃度を測定する装置において、不均一磁界を 発生するための磁界発生手段と、温度に比例する電気的パラメータを有し、前記 不均一磁界内に配置される少なくとも１つの電気的に加熱される磁気風発生サー ミスタを含み、常磁性ガスの存在に際してガス混合物内の常磁性ガスの濃度に比 例する大きさを有する磁気風を発生するための磁気風発生サーミスタ手段と、温 度に比例する電気的パラメータを有し、前記不均一磁界の実質的に外側に配置さ れた少なくとも１つの電気的に加熱される磁気風感知サーミスタを含み、常磁性 ガスの存在に際して前記少なくとも１つの磁気風発生サーミスタにより発生され る磁気風を感知するための磁気風感知サーミスタ手段と、前記磁気風発生サーミ スタ手段および前記磁気風感知サーミスタと同一の電気回路に接続され、前記磁 気風感知サーミスタの電気的パラメータを測定し、ガス混合物内における常磁性 ガスの濃度を表わしかつ常磁性ガスの存在に際して起こる磁気風の大きさに比例 する振幅を有する測定信号を発生するための信号発生手段とを備える常磁性ガス 濃度測定装置。
2. （２）前記磁界発生手段が、第１および第２磁石部材間にギャップを配して相互 に隣接して配置された第１および第２の磁石部材を含み、前記磁気風発生サーミ スタ手段が、前記ギャップ内に互に相対して配置された第１および第２の電気的 に加熱される磁気風発生サーミスタより成り、前記磁気風感知サーミスタ手段が 、前記第１および第２磁気風発生サーミスタにそれぞれ隣接して配置された第１ および第２の電気的に加熱される磁気風感知サーミスタより成る特許請求の範囲 第１項記載の常磁性ガス濃度測定装置。
3. （３）前記信号発生手段が、前記第１および第２の磁気風発生サーミスタと前記 第１および第２磁気風感知サーミスタを含む４つの腕を有するホイートストンブ リッジを具備し、かつ、前記第１および第２磁気風発生サーミスタと前記第１お よび第２磁気風感知サーミスタとを実質的に一定温度に自動的に維持するための 温度制御手段を具備する特許請求の範囲第１項記載の常磁性ガス濃度測定装置。
4. （４）前記信号発生手段が、定温度用電気的ブリッジと、ホイートストンブリッ ジより成る測定用電気ブリッジとを具備し、前記温度制御手段が、前記定温度用 電気的ブリッジおよび前記測定用電気的ブリッジ間の電気的不平衡に応答して、 前記ホイートストンブリッジヘの電流を制御して、前記第１および第２磁気風発 生サーミスタと前記第１および第２磁気風感知サーミスタとを実質的に一定温度 に維持するための電流制御手段を具備する特許請求の範囲第３項記載の常磁性ガ ス濃度測定装置。
5. （５）前記信号発生手段が、前記定温度用電気的ブリッジおよび前記測定用電気 的ブリッジ間の電気的不平衡に応答して、修正信号を発生する修正手段と、ガス 混合物内の背景ガスの変化に応答して前記測定信号の前記振幅を修正するため、 前記修正信号と前記測定信号とを結合するための結合手段を具備する特許請求の 範囲第４項記載の常磁性ガス濃度測定装置。
6. （６）ガス混合物内における常磁性ガスの濃度を測定する方法において、不均一 な磁界を発生し、該不均一磁界の内側に少なくとも１つの磁気風発生サーミスタ を位置づけ、前記不均一磁界の実質的に外側に少なくとも１つの磁気風感知サー ミスタを位置づけ、前記の少なくとも１つの磁気風発生サーミスタを電気的に加 熱して、常磁性ガスの存在に際して、ガス混合物内における常磁性ガスの濃度に 比例する大きさを有する磁気風を発生し、前記の少なくとも１つの磁気風感知サ ーミスタの温度に比例する電気的パラメータを測定し、常磁性ガスの存在に際し て前記の少なくとも１つの磁気風発生サーミスタによって発生される磁気風を感 知し、前記の少なくとも１つの磁気風感知サーミスタの電気的パラメータに応答 して、ガス混合物内の常磁性ガスの濃度を表わしかつ常磁性ガスの存在の際に起 こる磁気風の大きさに比例する振幅を有する測定信号を発生することを含む常磁 性ガス濃度測定方法。
7. （７）前記磁界発生段階が、前記第１および第２磁石部材間にギャップを配して 第１および第２の磁石部材を相互に隣接して位置づけることを含み、前記の少な くとも１つの磁気風発生サーミスタを位置づける段階が、前記ギャップ内に第１ および第２の磁気風発生サーミスタを相互に相対して位置づけることを含み、前 記の少なくとも１つの磁気風感知サーミスタを位置づける段階が、前記第１およ び第２磁気風発生サーミスタにそれぞれ隣接して第１および第２の磁気風感知サ ーミスタを位置づけることを含む特許請求の範囲第６項記載の常磁性ガス濃度測 定方法。
8. （８）前記第１および第２磁気風発生サーミスタと前記第１および第２磁気風感 知サーミスタとを４つの腕を有するホイートストンブリッジに構成し、前記第１ および第２磁気風発生サーミスタと前記第１および第２の磁気風感知サーミスタ とを実質的に一定温度に自動的に維持することを含む特許請求の範囲第７項記載 の常磁性ガス濃度測定方法。
9. （９）前記の少なくとも１つの磁気風感知サーミスタの電気的パラメータに応答 する段階が、定温度用電気的ブリッジと、前記ホイートストンブリッジを含む測 定用電気的ブリッジとを構成することを含み、前記のサーミスタを実質的に一定 温度に維持する段階が、前記定温度用電気的ブリッジおよび前記測定ブリッジ間 の電気的不平衡に応答してホイートストンブリッジヘの電流を制御し、前記第１ および第２磁気風感知サーミスタと前記第１および第２磁気風感知サーミスタと を実質的に一定の温度に維持することを含む特許請求の範囲第８項記載の常磁性 ガス濃度測定方法。
10. （１０）前記の少なくとも１つの磁気風感知サーミスタの電気的パラメータに応 答する段階が、前記定温度用電気的ブリッジおよび前記測定用電気的ブリッジ間 の前記電気的不平衡に応答して、修正信号を発生し、前記ガス混合物内における 背景ガスの変化に応答して前記測定信号の前記振幅を修正するため、前記修正信 号と前記測定信号とを結合することを含む特許請求の範囲第９項記載の常磁性ガ ス濃度測定方法。