ES2202258T3 - Procedimiento y aparato para revestir ambas caras de un sustrato de vidrio. - Google Patents

Abstract

Un procedimiento para revestir ambas caras de un único panel de vidrio (10) de una sola pasada a través de un aparato de revestimiento que comprende: proporcionar una lámina de vidrio (10) que tiene una superficie interior limpia (14) y una superficie exterior limpia (12); proporcionar una línea de pulverización que comprende al menos una cámara de pulverización (200; 300a- c) teniendo la línea de pulverización un soporte (210, 310) para contener una lámina de vidrio (10), teniendo la línea de pulverización un blanco superior (220a, 220b; 320a, 320b) colocado por encima del soporte (210; 310) y un blanco inferior (260; 320c, 320d, 320e, 320f) colocado por debajo del soporte (210; 310); colocar la lámina de vidrio (10) sobre el soporte (210;310), de tal forma que la superficie interior (14) se oriente hacia el blanco superior (220a, 220b; 320a, 320b) y pulverizar el blanco superior (220a, 220b; 320a, 320b) para depositar un revestimiento directamente sobre la superficie interior (14) del vidrio (10) o una capa de películas apiladas previamente depositada sobre la superficie interior del vidrio (14); colocar la lámina de vidrio (10) sobre el soporte (210; 310), de tal forma que la superficie exterior (12) se oriente hacia el blanco inferior (260; 320c, 320d, 320e, 320f) y pulverizar el blanco superior (260; 320c, 320d, 320e, 320f) para depositar un revestimiento sobre la superficie exterior (12) del vidrio (10) o una capa de película previamente depositada sobre la superficie exterior del vidrio (10), estando el vidrio (10) revestido tanto sobre la superficie interior (14) como sobre la superficie exterior (12) mientras se mantiene una orientación constante en la que la superficie interior (14) se coloca por encima de la superficie exterior (12).

Description

Procedimiento y aparato para revestir ambas caras de un sustrato de vidrio.

La presente invención proporciona un procedimiento para revestir ambas caras de un sustrato de vidrio.

Mantener limpias ventanas y otras superficies de vidrio es un proceso relativamente costoso y que requiere mucho tiempo. Mientras limpiar una ventana individual no es terriblemente problemático, mantener limpias una gran cantidad de ventanas puede suponer una carga importante. Por ejemplo, en las modernas torres de oficinas acristaladas, lleva un tiempo y unos costes importantes hacer que personal limpia ventanas limpie regularmente la superficie exterior de las ventanas.

Las ventanas y otras superficies de vidrio pueden ponerse "sucias" o "manchadas" de varias formas. Dos de las formas principales en las que las ventanas pueden recoger suciedad incluyen la acción del agua sobre la superficie del vidrio. En primer lugar, el agua puede depositar o recoger por sí misma suciedad, minerales o sustancias parecidas sobre la superficie del vidrio. Obviamente, el agua sucia que caiga sobre el vidrio dejará la suciedad transportada o disuelta sobre el vidrio después de secarse. Incluso si un agua relativamente limpia cae sobre la superficie exterior de una ventana, cada gotita de agua sobre la ventana tenderá a recoger polvo y otras partículas en suspensión según se seca. Estas partículas y cualquier otra sustancia química que se disuelva en el agua se concentrarán más a lo largo del tiempo, dejando una mancha o una marca circular característica de secado sobre la superficie del vidrio.

La segunda forma en la que el agua tiende a conferir a una ventana o a otra superficie de vidrio un aspecto manchado o menos atractivo está relacionada con el ataque sobre la propia superficie del vidrio. Cuando una gotita de agua, incluso relativamente limpia, se asienta sobre una superficie de vidrio, comenzará a percolar componentes alcalinos del vidrio. Para un vidrio típico de sosa cálcica, la sosa y la cal se percolarán desde el vidrio, incrementando el pH de la gotita. Según se incrementa el pH, el ataque sobre la superficie del vidrio se hará más agresivo. Como resultado, el vidrio subyacente a la gotita de agua que se seca se hará un poco más áspero en el momento en que la gotita de agua se seque completamente. Además, los componentes alcalinos que se percolaron desde el vidrio se volverán a depositar en la superficie del vidrio como una marca circular de secado. Este material alcalino seco no sólo desmejora el aspecto del vidrio, sino que también tenderá a volverse a disolver cuando la superficie del vidrio se humedezca de nuevo, incrementándose rápidamente el pH de la siguiente gotita de agua que se una a la superficie del vidrio.

Durante el almacenamiento y el transporte de vidrio plano, la presencia de agua sobre las superficies entre láminas de vidrio adyacentes es un problema crónico. Se pueden tomar medidas para proteger el vidrio del contacto directo con el agua. Sin embargo, si el vidrio se almacena en un ambiente húmedo, el agua puede condensarse sobre la superficie del vidrio desde la atmósfera circundante.

Esto se hace más problemático cuando se recogen grandes apilamientos de vidrio. Los grandes apilamientos de vidrio tienen una masa térmica bastante grande y les lleva mucho tiempo caldearse. Como consecuencia, estarán a menudo más fríos que el aire del ambiente circundante cuando la temperatura ambiente se incrementa (por ejemplo, por las mañanas), causando que la humedad del aire se condense sobre la superficie del vidrio. Debido a la circulación limitada del aire, cualquier humedad que se condense entre las láminas de vidrio tomará bastante tiempo para secarse. Esto da a la humedad condensada la oportunidad de percolar los componentes alcalinos del vidrio y afectar adversamente a la superficie del vidrio. El grado del ataque se puede suavizar un tanto mediante la aplicación de un ácido sobre la superficie del vidrio. Esto se realiza comúnmente mediante la inclusión de un ácido suave, por ejemplo, ácido adípico, en el agente de separación empleado para impedir que las láminas de vidrio se peguen y se arañen unas contra otras.

Se han realizado algunos intentos para permitir que una lámina de vidrio mantenga por más tiempo un aspecto limpio. Una vía de investigación actual consiste en una superficie "autolimpiable" para el vidrio y otros materiales cerámicos. La investigación en esta área se fundamenta en la capacidad de ciertos óxidos metálicos de absorber luz ultravioleta y descomponer fotocatalíticamente materiales biológicos tales como aceite, materia vegetal, grasas y sebos, etc. El más efectivo de estos óxidos metálicos fotocatalíticos parece ser el dióxido de titanio, aunque otros óxidos metálicos que parecen tener este efecto fotocatalítico incluyen los óxidos de hierro, plata, cobre, wolframio, aluminio, zinc, estroncio, paladio, oro, platino, níquel y cobalto.

Mientras tales revestimientos fotocatalíticos pueden dar algunos beneficios al eliminar materiales de origen biológico, su impacto directo sobre otros materiales es incierto y parece variar según la exposición a la luz ultravioleta. Como consecuencia, los problemas mencionados anteriormente asociados con la presencia de agua sobre la superficie de tales vidrios revestidos no serían directamente abordados mediante tales revestimientos fotocatalíticos.

Se han realizado algunos intentos para minimizar el efecto del agua sobre las superficies de vidrio haciendo que el agua se agrupe en pequeñas gotitas. Por ejemplo, la patente de EE.UU. 5.424.130 (Nakanishi, et al.) sugiere que se revista una superficie de vidrio con un revestimiento basado en sílice que incorpora grupos fluoroalquilo. La referencia muestra cómo aplicar una pintura de alcóxido de silicona sobre la superficie del vidrio, cómo secar la pintura y cómo quemar entonces la pintura seca al aire. Nakanishi, et al. hacen hincapié sobre la importancia de sustituir parte de los átomos no metálicos, por ejemplo, oxígeno en una capa de SiO_{2}, por un grupo de fluoroalquilo. Hasta el 1,5% de los átomos de oxígeno deben sustituirse. Nakanishi, et al. afirman que, si menos de un 0,1% de los átomos de oxígeno se sustituyen por un grupo de fluoroalquilo, el vidrio no repelerá el agua apropiadamente porque el ángulo de contacto del agua con la superficie del vidrio será menor de 80º.

Tales revestimientos "repelentes de agua" tienden a provocar que el agua sobre la superficie se agrupe en gotitas. Si el revestimiento se aplica sobre el parabrisas de un automóvil o en una situación parecida donde un flujo constante de aire a alta velocidad sopla sobre la superficie, este efecto de agregación en gotas del agua puede ayudar a eliminar el agua de la superficie del vidrio al permitir que las gotitas sean arrastradas sobre la superficie. Sin embargo, en aplicaciones de menor movimiento, estas gotitas tenderán a asentarse sobre la superficie del vidrio y a evaporarse lentamente. Como consecuencia, este revestimiento supuestamente "repelente de agua" no resolverá los problemas relacionados con las manchas de agua mencionados anteriormente. Muy al contrario, al hacer que el agua se agrupe en gotitas más eficazmente, puede exacerbar realmente el problema.

Otros revestimientos de sílice se han aplicado a las superficies de vidrio de diversas maneras. Por ejemplo, la patente de EE.UU. 5.394.269 (Takamatsu, et al.) propone una capa de sílice "minuciosamente áspera" sobre la superficie del vidrio para reducir la reflexión. Esta superficie rugosa se consigue mediante el tratamiento de la superficie con una solución supersaturada de sílice en ácido hidrosílico fluórico a fin de aplicar una capa porosa de sílice sobre la lámina de vidrio. Mediante el uso de una solución sol gel multicomponente, reivindican el logro de una superficie que tiene pequeñas cavidades diseminadas entre pequeñas "regiones de islas" que se considera se ordenan en tamaños de alrededor 50-200 nm. Mientras esta superficie rugosa puede ayudar a reducir la reflexión en la interfaz aire/vidrio, parece improbable que reduzca los problemas de las manchas de agua abordados anteriormente. Si acaso, la naturaleza porosa de este revestimiento parece más adecuada para retener agua sobre la superficie del vidrio. De esta forma, parece probable que se incrementen los problemas asociados con el asentamiento de agua a largo plazo sobre la superficie del vidrio.

La presente invención se refiere a procedimientos para depositar un revestimiento sobre ambas caras de un sustrato de vidrio.

Se conoce cómo depositar una capa sobre una cara de un sustrato mediante la pulverización de un blanco situado sobre una cara del sustrato. Si la otra cara del sustrato ha de ser revestida mediante pulverización, es usualmente necesario invertir la orientación del sustrato, y hacer por segunda vez una pasada a través del aparato de revestimiento.

Los documentos WO 92/17621 y DE 4313284 muestran procedimientos en los que sustratos de disco se sostienen en una disposición vertical sobre portadores de sustrato que se mueven a través de la cámara junto con los sustratos, mientras blancos proporcionados lateralmente sobre los sustratos dispuestos verticalmente se pulverizan lateralmente.

De acuerdo con un primer aspecto de la presente invención, un procedimiento para revestir dos caras de un único panel de vidrio de una sola pasada a través de un aparato de revestimiento comprende:

proporcionar una lámina de vidrio que tiene una superficie interior limpia y una superficie exterior limpia;

proporcionar una línea de pulverización que comprende al menos una cámara de pulverización para contener una lámina de vidrio, la línea de pulverización tiene un blanco superior colocado por encima del soporte y un blanco inferior colocado por debajo del soporte;

colocar la lámina de vidrio sobre el soporte, de tal forma que la superficie interior se oriente hacia el blanco superior pulverizándolo para depositar un revestimiento directamente sobre una de las superficies interiores del vidrio o sobre una capa de películas apiladas previamente depositada sobre la superficie interior del vidrio;

colocar la lámina de vidrio sobre el soporte, de tal forma que la superficie exterior se oriente hacia el blanco inferior para depositar un revestimiento sobre la superficie exterior del vidrio o sobre una capa de película previamente depositada sobre la superficie exterior del vidrio,

el vidrio se reviste tanto sobre la superficie interior como sobre la superficie exterior mientras se mantiene una orientación constante en la que la superficie interior se coloca por encima de la superficie exterior.

En una realización, la línea de pulverización comprende proporcionar una serie de cámaras de pulverización incluyendo una primera cámara de pulverización hacia abajo que incluye el blanco superior, y una segunda cámara de pulverización hacia arriba que incluye el blanco inferior. La pulverización del blanco superior se realiza mientras la lámina de vidrio se encuentra en la cámara de pulverización hacia abajo y la pulverización del blanco inferior se realiza mientras la lámina de vidrio se encuentra en la cámara de pulverización hacia arriba. En una realización alternativa, la línea de pulverización incluye una cámara de pulverización de doble dirección que comprende tanto el blanco superior como el inferior. La lámina de vidrio permanece en la cámara de pulverización de doble dirección mientras tanto el blanco superior como el blanco inferior se pulverizan.

De acuerdo con un segundo aspecto de la presente invención, un aparato de revestimiento para revestir ambas caras de un único panel de vidrio de una sola pasada a través del aparato de revestimiento, el aparato de revestimiento comprende un soporte para sostener un panel de vidrio para revestir dentro del aparato de revestimiento, un blanco superior situado por encima del soporte dentro de una cámara de pulverización para pulverizar un revestimiento sobre la superficie superior del panel de vidrio y un blanco inferior situado por debajo del soporte dentro de una cámara de pulverización para pulverizar un revestimiento sobre la superficie inferior del panel de vidrio.

La presente invención se describirá, a modo de ejemplo, con respecto a los dibujos adjuntos, en los cuales:

la Figura 1 es una vista en sección esquemática de una lámina de vidrio que lleva un revestimiento;

la Figura 2 es una ilustración en sección esquemática de una unidad multipanel de vidrio aislado;

la Figura 3 es una vista en sección esquemática de una estructura de ventana laminada del tipo usado comúnmente en los parabrisas de los automóviles que lleva un revestimiento de cortina de agua;

la Figura 4 es una ilustración esquemática de una cámara de revestimiento de doble dirección para su uso en, y de acuerdo con, una primera realización de la invención;

la Figura 5 es una ilustración esquemática de una cámara de pulverización de doble dirección multizona para su uso en, y de acuerdo con, otra realización de la invención;

la Figura 6 es una micrografía de fuerza atómica de una superficie plana y sin revestimiento de una lámina de un vidrio flotado convencional;

la Figura 7 es un gráfico que muestra un perfil de altura a lo largo de una pequeña longitud de la superficie de la lámina de vidrio mostrado en la Figura 6;

la Figura 8 es una micrografía de fuerza atómica de una superficie de una lámina de vidrio flotado que lleva un revestimiento de cortina de agua;

la Figura 9 es una representación tridimensional de un área de la misma lámina de vidrio flotado ilustrada en la Figura 8; y

la Figura 10 es un gráfico similar al de la Figura 7, pero que muestra un perfil de altura a lo largo de una pequeña longitud de la superficie del revestimiento de cortina de agua mostrado en las Figuras 8 y 9.

La Figura 1 ilustra esquemáticamente una lámina de vidrio que lleva un par de revestimientos. La lámina de vidrio 10 incluye una cara exterior 12 y una cara interior 14. (La designación de cara "interior" y cara "exterior" en la argumentación siguiente es en cierta medida arbitraria. Se asume, sin embargo, que en la mayoría de las situaciones la cara exterior estará expuesta a un entorno ambiental en el que puede tomar contacto con suciedad, agua o sustancias parecidas. La cara interior también puede estar orientada hacia el mismo tipo de entorno ambiental. En las realizaciones ilustradas en las Figuras 2 y 3, sin embargo, esta cara "interior" está en realidad protegida y un segundo panel de vidrio queda entre esta cara interior y el entorno ambiental).

La cara interior 14 del vidrio 10 lleva un revestimiento reflectante 30. Como los expertos en la técnica enseguida reconocerán, este revestimiento reflectante puede tomar cualquier forma que se desee dependiendo de las propiedades deseadas. Se conocen una gran variedad de tales películas dentro de la técnica y la naturaleza precisa de tal revestimiento reflectante 30 queda fuera del ámbito de la presente invención.

Si, por ejemplo, el artículo de vidrio ha de ser usado como un espejo, el revestimiento 30 puede comprender simplemente una capa relativamente gruesa de un metal reflectante. Si así se desea, un revestimiento de protección de un material dieléctrico puede aplicarse sobre la superficie del metal en el lado opuesto al contacto superficial con el vidrio. Como se conoce en la técnica, esto ayudará a proteger la capa de metal de los ataques químicos y físicos. También se puede emplear cualquier revestimiento de entre una variedad de revestimientos de espejo conocidos en la técnica que comprenda una capa de dieléctrico sobre cada cara de una capa de metal reflectante; muchos espejos dicroicos conocidos en la técnica emplean dichos revestimientos.

En el ejemplo de la Figura 1, el revestimiento reflectante 30 se tipifica como un revestimiento reflectante de infrarrojos del tipo usado comúnmente en películas de control solares de baja emisividad. Típicamente, dichas películas comprenderán una capa de metal emparedada entre un par de capas dieléctricas. Esta estructura puede repetirse para mejorar adicionalmente las propiedades reflectantes de infrarrojos de las películas apiladas. Un ejemplo útil de un apilamiento de películas reflectante de infrarrojos se describe en la patente de EE.UU. 5.302.449 (Eby, et al.), las instrucciones del mismo se incorporan en este punto como referencia.

El ilustrativo apilamiento de películas 30 de la Figura 1 incluye un revestimiento de base 32 que puede comprender una o más capas de materiales dieléctricos. Por ejemplo, este revestimiento de base 32 puede comprender óxido de zinc aplicado en un espesor de aproximadamente 150-275 \ring{A}. Una primera capa de metal 34 puede aplicarse directamente sobre este revestimiento de base 32. Este metal puede ser, por ejemplo, plata aplicada en un espesor de entre aproximadamente 100 \ring{A} y aproximadamente 150 \ring{A}. Una segunda capa dieléctrica 38 puede aplicarse sobre la primera capa de metal 34. El espesor de esta capa dieléctrica 38 dependerá, al menos en parte, de si la segunda capa de metal 40 se incluirá en el apilamiento de películas. En un apilamiento de películas que tenga dos capas de metal, como se muestra, esta segunda capa dieléctrica 38 puede comprender típicamente una capa relativamente gruesa de un óxido de metal, tal como 700-750 \ring{A} de óxido de zinc. Si así se desea, una capa fina sacrificatoria 36 puede aplicarse entre la capa de metal 34 y la capa dieléctrica 38. Esto ayudará a proteger la capa de metal 34 durante la deposición pulverizada de la capa dieléctrica 38. La capa sacrificatoria 36 puede, por ejemplo, comprender una capa de metal titanio aplicada en un espesor de 25 \ring{A} o menos. Este metal titanio se oxidará sacrificatoriamente durante la aplicación del dieléctrico de óxido de metal 38, limitando cualquier daño sobre la capa de plata subyacente 34.

En el apilamiento de películas ilustrado, una segunda capa de metal 40 se aplica sobre la segunda capa dieléctrica 38. La segunda capa de metal 40 estará usualmente hecha del mismo material que la primera capa de metal 34. Por ejemplo, esta segunda capa de metal 40 puede comprender aproximadamente 125-175 \ring{A} de plata. De nuevo, una capa sacrificatoria 42 de titanio o un metal parecido se aplicará sobre la capa de metal 40 para proteger la capa de metal durante la subsiguiente deposición de los dieléctricos suprayacentes 44 y 46. Una tercera capa dieléctrica 44 se aplica sobre la capa sacrificatoria 42. Esta capa dieléctrica 44 puede también ser un óxido metálico, por ejemplo, óxido de zinc aplicado en un espesor de aproximadamente 250-300 \ring{A}. Si así se desea, una sobrecapa protectora 46 de otro material dieléctrico puede aplicarse sobre la capa dieléctrica 44. En una realización preferida, esta sobrecapa 46 puede comprender una capa de 50-60 \ring{A} de Si_{3}N_{4}.

El revestimiento de cortina de agua 20 se aplicó a la superficie interior 12 del vidrio. Se prefiere que este revestimiento se aplique directamente sobre la superficie de la lámina de vidrio 12. Como el vidrio, que será típicamente un vidrio de sosa de calcio, está formado mayormente por sílice y el revestimiento de cortina de agua también está formado en la manera deseada por sílice, se cree que esto proporciona una fuerte unión entre estas dos capas y que puede mejorar el resultado de cortina de agua del revestimiento 20.

El revestimiento de cortina de agua 20 comprende de manera deseada sílice depositada directamente sobre la superficie exterior 12 del vidrio 10. Según se tratará a continuación en relación con las Figuras 8-10, la cara exterior 22 de este revestimiento 20 tiene una superficie irregular. (Esto se muestra esquemáticamente como una serie de picos irregularmente espaciados y de irregular tamaño sobre la cara exterior 22 del revestimiento 31). De acuerdo con esto, atribuir un espesor específico a este revestimiento 20 será de forma inherente un tanto inexacto. Sin embargo, de forma deseable, el revestimiento 20 tiene un espesor medio de entre aproximadamente 15 \ring{A} y aproximadamente 350 \ring{A}, con un intervalo preferentemente de entre aproximadamente 15 \ring{A} y aproximadamente 150 \ring{A}. El principal beneficio de este revestimiento de mínimo coste se cree que se evidencia entre aproximadamente 20 \ring{A} y aproximadamente 120 \ring{A}. Una manera preferida en el que este revestimiento 20 puede aplicarse a la superficie exterior 12 del vidrio 10 se tratará con más detalle a continuación.

La Figura 2 es una ilustración esquemática de una unidad multipanel de vidrio aislado. Las unidades de vidrio aislado se conocen bien dentro de la técnica y no serán tratadas aquí en sus detalles significativos. De forma concisa, sin embargo, tal unidad de vidrio aislado comprende generalmente dos paneles de vidrio 10, 100 mantenidos en una relación de separación espacial mediante un espaciador 110. En este ejemplo, el revestimiento de cortina de agua 20 que lleva la superficie exterior del vidrio 10 se orienta hacia el lado contrario del segundo panel de vidrio 100, mientras el revestimiento reflectante 30 que lleva la cara interior del vidrio 10 se orienta hacia el segundo panel de vidrio 100. El espaciador 110 está unido por un lado a la superficie interior 102 del segundo panel de vidrio 100 y, por el otro lado, al primer panel de vidrio 10. Como se conoce dentro de la técnica, el espaciador puede estar unido directamente a la superficie interior 14 del vidrio 10 o el revestimiento reflectante 30 puede extenderse fuera de los márgenes del vidrio 10 y el espaciador puede estar directamente fijado sobre este revestimiento 30.

Típicamente, el espaciador estará formado por metal o un material parecido y tendrá un desecante 112 mantenido dentro de él. Se permitirá que este desecante se comunique con el gas situado en el espacio entre los paneles 115 para eliminar cualquier humedad que pueda rezumar entre los paneles de vidrio. Un sello exterior 114 puede ponerse alrededor de la periferia externa del espaciador 110 para formar una barrera fiable frente a los gases y la humedad.

La Figura 3 ilustra otra aplicación para un artículo de vidrio revestido. En este ejemplo, la lámina de vidrio 10 está unida a una segunda lámina de vidrio 100 mediante una película intermedia de plástico resistente al rasgado 130 para formar una estructura laminada. Dichas estructuras de ventana laminada se conocen bien en el campo de las ventanas de automóviles. Típicamente, esta capa de plástico 130 tomará la forma de una capa relativamente gruesa de polivinilbutiral o un material parecido que se fusiona por calor a las otras dos láminas de vidrio. La película reflectante 30 comprende preferentemente una película reflectante de infrarrojos templable por calor. Se conocen una variedad de tales películas dentro de la técnica y la naturaleza precisa de esta película queda fuera del ámbito de la presente invención, pero se puede usar cualquier revestimiento templable por calor 30 adecuado.

Como se ha mencionado anteriormente, el revestimiento de cortina de agua se aplica mediante pulverización, igual que el revestimiento reflectante 30.

La Figura 4 ilustra esquemáticamente una cámara de pulverización de doble dirección de acuerdo con una realización de la presente invención. Las cámaras de pulverización de magnetrón se conocen bien dentro de la técnica y están comercialmente disponibles desde una variedad de fuentes. Aunque una argumentación completa de tales cámaras de pulverización de magnetrón queda fuera del ámbito de la presente exposición, una estructura relativamente útil para tal dispositivo se expone en la patente de EE.UU. 5.645.699 (Sleck).

Hablando de forma general, sin embargo, la pulverización por magnetrón conlleva proporcionar un blanco formado por un metal o dieléctrico que ha de depositarse sobre el sustrato. Este blanco se proporciona con una carga negativa y un ánodo cargado positivamente de forma relativa se coloca adyacente al blanco. Mediante la introducción de una cantidad relativamente pequeña de un gas deseado dentro de la cámara adyacente al blanco, se puede establecer un plasma de dicho gas. Los átomos de este plasma colisionarán con el blanco, sacando material del blanco fuera del mismo y pulverizándolo sobre el sustrato que se reviste. Dentro de la técnica también se conoce incluir un imán detrás del blanco para ayudar a conformar el plasma y enfocar el plasma en un área adyacente a la superficie del blanco.

En la Figura 4, la lámina de vidrio 10 que se reviste se coloca sobre una pluralidad de rodillos de soporte 210 que están espaciados a lo largo de la longitud de la cámara de pulverización 200. Mientras la separación precisa de estos rodillos 210 puede variar, debido a razones que se explicarán más de lleno en lo que sigue, es deseable que estos rodillos estén espaciados con un poco más de distancia que la longitud provisional de la cámara 200 para incrementar el área de revestimiento efectivo del blanco inferior 260.

En la realización ilustrada, la lámina de vidrio 10 se orienta para moverse horizontalmente a través de estos rodillos, por ejemplo, de izquierda a derecha. La superficie interior 14 del vidrio se orienta hacia arriba mientras la superficie exterior 12 del vidrio se orienta hacia abajo para reposar sobre los rodillos 210 (Mientras ésta es probablemente la configuración más típica, debe entenderse que la orientación relativa del vidrio dentro de la cámara de pulverización 200 puede invertirse siempre que las posiciones relativas de los blancos superiores 200 y el blanco inferior 260 se inviertan también. Como consecuencia, debe tenerse en cuenta que la designación de estos blancos como blancos "superiores" e "inferiores" se hace simplemente a efectos de conveniencia, y la orientación relativa de estos elementos dentro de la cámara de pulverización puede invertirse fácilmente si así se desea.)

La cámara de pulverización 200 mostrada en la Figura 4 incluye dos blancos de pulverización hacia arriba espaciados y separados 220a y 220b. Aunque estos blancos pueden ser blancos planos, están ilustrados como blancos denominados giratorios o cilíndricos. Estos blancos se disponen generalmente paralelos uno a otro, y con una pluralidad de ánodos 230 que se extienden horizontalmente y generalmente paralelos a esos blancos. Como se sugiere en la patente U.S. 5,645,699, un ánodo intermedio 230 puede también colocarse entre estos dos blancos.

Un sistema de distribución de gas se usa para proporcionar el gas de pulverización a la cámara adyacente a los blancos 220a y 220b. Aunque una variedad de sistemas de distribución de gas se conocen dentro de la técnica, este sistema de distribución puede comprender simplemente un par de tubos 235 con una pluralidad de aberturas o toberas espaciadas y separadas orientadas generalmente hacia el blanco.

El uso de blancos múltiples colocados por encima de un sustrato de vidrio en una cámara de pulverización de magnetrón es bastante convencional en este campo. El aspecto exclusivo de la cámara de pulverización 200 de la Figura 4, sin embargo, es la presencia del blanco "inferior" 260. Este blanco es el blanco usado para pulverizar el revestimiento de cortina de agua 20 de la invención directamente sobre la superficie exterior 12 del vidrio. De igual forma que con los blancos superiores 220a y 220b, el blanco inferior 260 se proporciona con al menos un ánodo, y preferentemente con dos ánodos 270, que tengan una proximidad suficiente como para establecer un plasma estable. Los tubos de distribución de gas 235 mostrados adyacentes a los blancos superiores 220a y 220b están indeseablemente alejados del blanco inferior 260, y la presencia intermitente del vidrio 10 dividirá efectivamente la cámara de pulverización 200 en dos áreas funcionales separadas. De acuerdo con esto, se prefiere tener tubos de distribución de gas 275 separados colocados debajo del gas, adyacentes al blanco inferior 260, a fin de asegurar un suministro constante de gas para el plasma adyacente al blanco. Si así se desea, los tubos inferiores 275 y los tubos superiores 235 pueden ser parte del mismo sistema de distribución de gas, por ejemplo, ambos juegos de tubos pueden estar conectados a un único suministro de gas.

La naturaleza del gas suministrado por los tubos inferiores 275 dependerá al menos en parte de la naturaleza del blanco de pulverización 260. En pulverización convencional por magnetrón, el blanco deber funcionar como cátodo. Debido a la naturaleza dieléctrica del SiO_{2}, puede ser enormemente difícil pulverizar fiablemente usando un blanco de sílice. Como consecuencia, se prefiere que el blanco comprenda metal silicio en vez de sílice. El material depositado en realidad sobre la superficie exterior 12 del vidrio puede convertirse en sílice mediante la inclusión de oxígeno en el gas suministrado a través de los tubos inferiores de distribución de gas 275.

Aunque las sucesivas láminas de gas 10 dividirán efectivamente la cámara de pulverización, esto no imposibilita el que el gas introducido en un área de la cámara viaje a cualquier punto de la cámara. Como se prefiere que el blanco inferior 260 comprenda metal silicio pulverizado en una atmósfera oxidante, es importante que la pulverización de los blancos superiores 220a y 220b no se vea afectada adversamente por la presencia de un exceso de oxígeno que pueda introducirse a través de los tubos inferiores 275. Esto puede imposibilitar efectivamente el uso de esta cámara de pulverización de doble dirección 200 para depositar un revestimiento de cortina de agua 20 sobre una cara de la lámina de vidrio y un metal sensible al oxígeno sobre la otra superficie.

Más ventajosamente, la cámara de pulverización de doble dirección de la Figura 4 puede usarse para depositar una capa dieléctrica sobre la superficie interior 14 del vidrio y un revestimiento de sílice de cortina de agua 20 sobre la superficie exterior 12 del vidrio en una única cámara. El dieléctrico pulverizado puede ser un nitrito o una sustancia parecida siempre que la introducción de algún óxido de metal dentro del nitrito que se está depositando no afecte adversamente el revestimiento que se esté aplicando. Idealmente, sin embargo, el dieléctrico que se aplica a la superficie interior 14 es un óxido (o, al menos, un óxido parcial) de forma que cualquier mezcla de los gases introducidos a través de los dos juegos de tubos 235 y 275 no afectará adversamente ni a la capa dieléctrica ni al revestimiento de cortina de agua. Por ejemplo, uno o ambos blancos 220a y 220b pueden estar hechos de metal titanio o TiO_{x} (donde 1<X<2), y el gas introducido a través de ambos juegos de tubos de distribución de gas 235 y 275 puede comprender una mezcla apropiadamente equilibrada de argón y oxígeno.

En cámaras de pulverización de magnetrón convencionales, la separación de los rodillos 210 usados para sostener el vidrio se mantiene bastante pequeña para permitir el procesado de sustratos de vidrio pequeños en la línea sin que haya riesgo significativo de que el vidrio caiga entre los rodillos. Sin embargo, a fin de minimizar la interferencia de los rodillos al aplicar el revestimiento de cortina de agua sobre la superficie exterior 12 del vidrio, esta separación puede incrementarse. La separación máxima segura será preciso determinarla en cada caso para un intervalo de tamaños previstos de vidrio. Sin embargo, cuanto más grande sea el espacio entre los rodillos dispuestos en el trayecto desde el blanco inferior 260 hasta la superficie exterior 12 del vidrio, más grande será el porcentaje de sílice pulverizada que se depositará sobre el vidrio. Por supuesto, los rodillos en otras áreas del aparato de pulverización pueden mantenerse en su separación normal. Sería deseable hacer que unos pocos de los rodillos en la cámara de pulverización de doble dirección 200 fueran fácilmente desmontables de forma que la cámara pueda convertirse, a partir de la configuración ilustrada, en una cámara de operación más convencional que revista sólo una cara del vidrio y que tenga rodillos menos espaciados.

En lugar de cambiar la separación entre los rodillos, los rodillos podrían ser más reducidos en diámetro. Los rodillos convencionales son tubos huecos de metal. Se así se desea, los rodillos de menor diámetro pueden reforzarse, por ejemplo, llenándolos de una espuma rígida. A fin de mantener la misma velocidad de transporte del vidrio a lo largo del soporte, estos rodillos de menor diámetro deberían girarse más rápidamente, por ejemplo, mediante un par de engranajes con la relación de engranaje adecuada.

Los rodillos 210 pueden ser de cualquier estructura convencional. Se ha encontrado que se pueden obtener buenos resultados empleando rodillos cilíndricos de aluminio alrededor de los cuales se enrolla espiralmente una cuerda de Kevlar®, con el Kevlar® proporcionando la superficie con la que el vidrio está en contacto directo.

En otras aplicaciones específicas, la cámara de pulverización de doble dirección 200 de la Figura 4 puede ser suficiente para aplicar el revestimiento deseado por completo sobre ambas superficies interior y exterior del vidrio. Más a menudo, sin embargo, la cámara de pulverización 200 sería parte de una línea de pulverización que comprenda una serie de cámaras de pulverización. Cada cámara de pulverización dentro de la línea podría incluir tanto un blanco superior como un blanco inferior, pero en la mayoría de las aplicaciones convencionales el apilamiento de películas aplicado a la superficie superior del vidrio será más complejo (por ejemplo, comprenderá una serie de capas distintas de composición variada) y más grueso que el revestimiento de cortina de agua de la invención. Como consecuencia, la mayoría de las cámaras de pulverización pueden comprender cámaras de pulverización hacia abajo convencionales que tengan sólo un blanco superior, sin ningún blanco situado por debajo de los soportes.

Si la línea de pulverización comprende una combinación de cámaras de pulverización hacia abajo y cámaras de pulverización de doble dirección 200, la posición de las cámaras de pulverización de doble dirección a lo largo de la línea de pulverización puede variarse. Si el revestimiento de cortina de agua de la invención se aplica mediante pulverización de un blanco que contenga silicio (por ejemplo, uno formado principalmente por silicio, o formado por silicio dopado con aluminio) en una atmósfera oxidante, no se debe intentar depositar una capa de metal oxidable (por ejemplo, una capa de plata reflectora de infrarrojos del tipo usado convencionalmente en apilamientos de películas de baja emisividad) sobre la superficie superior del vidrio dentro de la misma cámara. De acuerdo con esto, al menos aquellas cámaras que se usen para pulverizar una capa de metal deben operarse como cámaras de pulverización hacia abajo omitiendo el blando inferior. Sería posible, sin embargo, depositar un óxido metálico (por ejemplo, SiO_{2}, ZnO o SnO_{2}) sobre la superficie superior del vidrio dentro de la misma cámara.

El sentido común sugeriría a un experto en la técnica que el revestimiento de cortina de agua de la invención se aplique en la primera cámara de pulverización o, si es necesario, en las primeras cámaras de pulverización para asegurarse de que el revestimiento de cortina de agua se aplica antes de que la superficie del vidrio se dañe o manche por contacto con los rodillos que sostienen el vidrio dentro de las cámaras. Sorprendentemente, se ha hallado que lo contrario es cierto - el revestimiento de cortina de agua de la invención se aplica de forma óptima dentro de la última cámara de pulverización. Si se necesita más de una cámara de pulverización de doble dirección 200 para depositar un revestimiento de cortina de agua suficientemente grueso sin reducir excesivamente la velocidad del vidrio a través de la línea de pulverización, el revestimiento de cortina de agua se aplica de forma óptima en las últimas cámaras de pulverización.

Si el revestimiento de cortina de agua se aplica al principio de la línea de pulverización, la mayor parte de la superficie exterior del vidrio exhibirá las propiedades de cortina de agua deseadas. Sin embargo, los márgenes del vidrio pueden no exhibir estas propiedades mejoradas de forma constante. Se cree que esto es debido a un ligero rociado del revestimiento aplicado a la superficie superior del vidrio después de la deposición del revestimiento de cortina de agua, en el que una pequeña cantidad del material aplicado a la superficie superior deriva hacia abajo hasta la superficie inferior y cubre el revestimiento de cortina de agua adyacente a los bordes de la lámina de vidrio. Mientras este revestimiento rociado es suficientemente fino como para no tener un efecto discernible sobre las propiedades ópticas del vidrio, este revestimiento virtualmente invisible comprometía los beneficios del revestimiento de cortina de agua alrededor de los bordes del vidrio. Mediante la aplicación de sílice a la superficie exterior del vidrio hacia el final de la línea de pulverización, la cantidad de rociado depositado sobre el revestimiento de sílice puede minimizarse y los efectos beneficiosos de cortina de agua de este revestimiento pueden preservarse.

Una cámara de pulverización de doble dirección 200 como la mostrada en la Figura 4 se cree que minimiza el coste y maximiza la eficiencia de producción en la aplicación de revestimientos sobre ambas caras de la lámina de vidrio.

Según el sustrato de vidrio se mueve a través de la cámara, habrá ocasiones en que el vidrio no protegerá de forma efectiva los blancos superiores 200a y 200b del blanco inferior 260 y viceversa. Como consecuencia, se depositará material de los blancos superiores sobre el blanco inferior y material del blanco inferior puede depositarse sobre uno o ambos de los blancos superiores. La cámara de pulverización 200 de la Figura 4 es ideal si los blancos superiores 220a, 200b y el blanco inferior 260 tienen sustancialmente la misma composición. Si los blancos superiores tienen una composición diferente de la del blanco inferior, sin embargo, la contaminación cruzada de los diferentes blancos puede llevar a problemas en la pulverización o en el mantenimiento de una calidad de producto constante.

Al menos en teoría, este problema puede superarse mediante el control independiente de la fuente de alimentación de cada uno de los blancos de pulverización para asegurarse de que cada blanco se pulveriza sólo cuando el vidrio está colocado de forma que proteja los blancos superior e inferior uno frente al otro. Los controladores de las fuentes de alimentación disponibles comercialmente en la actualidad no están configuradas, sin embargo, de esta forma. Además, la lógica de control para tal disposición puede ser excesivamente complicada si la línea de pulverización se usa para revestir sustratos de vidrio de tamaños variables en vez de sustratos de un tamaño constante.

La Figura 5 ilustra otra realización de la invención, una posible cámara de pulverización 300 que puede usarse para revestir tanto la superficie interior 14 como la superficie exterior 12 del sustrato de una sola pasada sin contaminación cruzada significativa de los blancos de pulverización. Los elementos que sirven para una función análoga a los elementos mostrados en la Figura 4 llevan números de referencia parecidos, pero indexados por 100, por ejemplo, los tubos superiores de distribución de gas 335 de la Figura 5 son funcionalmente análogos a los tubos superiores de distribución de gas 235 de la Figura 4.

La cámara de pulverización 300 de la Figura 5 se divide de forma efectiva en tres zonas de revestimiento 300a, 300b y 300c mediante un par de barreras 340. Alguna fracción del gas de una zona de revestimiento puede fluir hasta otra zona de revestimiento, por lo que es mejor usar una atmósfera similar en las tres zonas. Sin embargo, las barreras 340 sirven para limitar de forma efectiva la cantidad de material pulverizado en una zona de revestimiento que aterriza sobre un blanco de otra zona de revestimiento.

En la realización de la Figura 5, cada una de las tres zonas de revestimiento 300a-300c está adaptada para soportar hasta cuatro blancos, con dos blancos colocados por encima del sustrato y dos colocados por debajo del sustrato. Por lo tanto, hay seis monturas de blancos superiores 321-326 colocadas por encima del camino del vidrio y seis monturas de blancos inferiores 361-366 colocadas por debajo del camino del vidrio. Esto permite una máxima flexibilidad en el uso de esta única cámara de pulverización multizona 300 para manufacturar productos que tengan distintas propiedades. La Figura 5 ilustra esquemáticamente cada una de las monturas de blancos superiores 321-326 alineadas verticalmente con cada una de las monturas de blancos inferiores 361-366 respectivamente. Debe entenderse, sin embargo, que los blancos no tienen por qué estar alineados verticalmente de esta forma y que puede ser más ventajoso colocarlos en una disposición horizontal escalonada.

En la configuración mostrada en la Figura 5, la primera zona de revestimiento 300a tiene dos blancos superiores (320a y 320b), pero no tiene blancos inferiores en las monturas de blancos inferiores 361 ó 362. Aunque un gas de pulverización debe suministrarse a los tubos de distribución de gas superiores 335 y debe suministrarse electricidad a los ánodos superiores 330 de la primera zona de revestimiento, no hay necesidad de entregar gas a los tubos inferiores de distribución de gas 375 o electricidad a los ánodos inferiores 370. La segunda zona de revestimiento 300b tiene dos blancos inferiores 360c y 360d, pero ninguna de las monturas de blancos superiores 323 y 324 porta blancos de pulverización. De forma similar, la tercera zona de revestimiento 300c tiene dos blancos inferiores 360a y 360f, pero ninguna de las monturas de blancos superiores 325 y 326 portan blancos de pulverización. De forma óptima (como se trató anteriormente), la primera zona de revestimiento 300a se usa para aplicar la capa más exterior del apilamiento de películas reflectante portado por la superficie interior 14 de los sustratos, mientras las dos últimas zonas de revestimiento 300b y 300c se usan para pulverizar el revestimiento de cortina de agua 20 sobre la superficie exterior 12 de los sustratos.

La disposición de los blancos en la cámara de pulverización multizona 300 de la Figura 5 es meramente ilustrativa y debe entenderse que la disposición de blancos puede variarse para maximizar la eficiencia de producción para productos diferentes. Por ejemplo, si se desea un revestimiento de cortina de agua más grueso a la misma velocidad de vidrio, un blanco que contenga silicio puede montarse sobre cada una de las monturas de blancos inferiores 361-366, mientras ninguna de las monturas de blancos superiores 321-326 portan un blanco. Si basta un revestimiento más delgado (o si la velocidad del vidrio a través de la cámara se reduce adecuadamente), pueden dotarse de blancos solamente las dos últimas monturas de blancos inferiores 325 y 326, mientras cada una de las cuatro primeras monturas de blancos superiores 321-324 portan blancos de pulverización. Por supuesto, una cualquiera o más de una de las zonas de revestimiento 300a-300c pueden operarse de forma parecida a la cámara de pulverización de doble dirección 200 de la Figura 4 mediante el montaje de blancos en las monturas de blancos superiores e inferiores de la misma zona.

Los aparatos de las Figuras 4 y 5, y el procedimiento para depositar revestimientos usando tales sistemas de revestimiento se trata en la presente aplicación principalmente en el contexto de la aplicación de un apilamiento de películas reflectante sobre una cara del vidrio y un revestimiento de cortina de agua sobre la otra cara del vidrio. Debe entenderse, sin embargo, que este aparato y procedimiento pueden usarse para aplicar revestimientos sobre ambas caras de un panel de vidrio independientemente de la naturaleza de los revestimientos aplicadas sobre las mismas. Por ejemplo, el aparato puede usarse para aplicar un revestimiento anti-reflectante sobre ambas caras de un panel de vidrio, para aplicar revestimientos reflectantes de infrarrojos sobre ambas caras de un sustrato orgánico transparente o translúcido, o para aplicar un revestimiento de cortina de agua sobre cada cara del mismo sustrato.

Las ventajas de los sistemas ilustrados en las Figuras 4 y 5 está en que un sustrato puede dotarse de un revestimiento pulverizado (independientemente de su composición) sobre ambas caras de una sola pasada a través del aparato de revestimiento mientras el vidrio se mantiene en una orientación constante, por ejemplo, cuando no necesita darse la vuelta, girarse o manipularse de otra forma. Esto permite el uso de un juego sencillo de rodillos estándar de transporte para mover el vidrio a lo largo de la línea de producción. En ausencia de la presente invención, típicamente se tendría que dar la vuelta manualmente al vidrio y mandarlo de vuelta a través del aparato de revestimiento en una tirada aparte, o usar un complicado sistema de manejo de vidrio que debe sostener el sustrato y darle la vuelta en algún punto durante el proceso de producción. Esto permite producir vidrio que tenga revestimientos sobre ambas caras de forma particularmente económica sin ninguna pérdida en la calidad del revestimiento.

En el pasado, se asumía que incluso si se revestía la cara del fondo del vidrio, el contacto con los rodillos echaría a perder ese revestimiento o dañaría la superficie del fondo del vidrio antes de la aplicación del revestimiento. Sorprendentemente, sin embargo, la presente invención demuestra que ambas caras del vidrio pueden revestirse de una sola pasada con excelentes resultados.

Las condiciones precisas de operación (por ejemplo, la composición del blanco, la composición del plasma, etc.) bajo las cuales se aplica el revestimiento de cortina de agua pueden variarse según sea necesario para optimizar la deposición de un revestimiento del grosor deseado. Tomadas las presentes instrucciones como una guía, alguien con ordinaria experiencia en la técnica debería ser capaz de seleccionar las condiciones de operación adecuadas para aplicar este revestimiento sin excesiva experimentación.

Una capa de SiO_{2} puede depositarse mediante pulverización usando un blanco de dióxido de silicio en una atmósfera inerte, pero la sílice es un mal conductor y puede ser difícil pulverizar tales materiales dieléctricos en un aparato de pulverización de corriente continua. Se debería usar en vez de ello un blanco de silicio puro es una atmósfera oxidante, pero tales blancos son difíciles de pulverizar de una forma constante y controlada porque el silicio es un semiconductor. Para mejorar la pulverización y reducir la formación de arcos, se prefiere pulverizar un blanco que comprenda silicio con aproximadamente un 5% de aluminio en una atmósfera oxidante.

Incluso si se emplea un blanco de silicio dopado con aluminio, la atmósfera en la cámara de pulverización puede variarse para conseguir la tasa de pulverización óptima. Aunque la atmósfera de pulverización debe ser oxidante, no se precisa que se trate de oxígeno puro. Por el contrario, una mezcla de oxígeno y un gas inerte mejorará la tasa de pulverización. Se cree que bastará con un gas de pulverización que comprenda oxígeno y hasta aproximadamente un 40% de argón (preferentemente 0-20% de argón), mantenido a aproximadamente 3x10^{-3} mbar. La potencia aplicada al blanco de pulverización debe optimizarse para recudir la formación de arcos, mientras se maximiza la tasa de pulverización. Una potencia de hasta aproximadamente 80 kW debería proporcionar resultados aceptables.

Una disposición de fabricación que se ha hallado que funciona bien utiliza tres blancos giratorios de pulverización de silicio dopado con aproximadamente 5% de aluminio, con una potencia de aproximadamente 42 kW aplicada a cada blanco. La atmósfera en la cámara de pulverización comprende 100% de O_{2} a una presión de aproximadamente 2,5-4,5 mTorr (aproximadamente 3,3 a 6,0 Pa). El sustrato de vidrio se mueve pasados estos blancos de pulverización a aproximadamente 225-500 pulgadas por minuto (aproximadamente 0,1 a 0,2 m\cdots^{-1}).

Aunque se ha descrito una realización preferida de la presente invención, debe entenderse que varios cambios, adaptaciones y modificaciones pueden realizarse en la misma sin salirse del ámbito de las reivindicaciones adjuntas.

Claims (11)

1. Un procedimiento para revestir ambas caras de un único panel de vidrio (10) de una sola pasada a través de un aparato de revestimiento que comprende:

proporcionar una lámina de vidrio (10) que tiene una superficie interior limpia (14) y una superficie exterior limpia (12);

proporcionar una línea de pulverización que comprende al menos una cámara de pulverización (200; 300a-c) teniendo la línea de pulverización un soporte (210, 310) para contener una lámina de vidrio (10), teniendo la línea de pulverización un blanco superior (220a, 220b; 320a, 320b) colocado por encima del soporte (210; 310) y un blanco inferior (260; 320c, 320d, 320e, 320f) colocado por debajo del soporte (210; 310);

colocar la lámina de vidrio (10) sobre el soporte (210;310), de tal forma que la superficie interior (14) se oriente hacia el blanco superior (220a, 220b; 320a, 320b) y pulverizar el blanco superior (220a, 220b; 320a, 320b) para depositar un revestimiento directamente sobre la superficie interior (14) del vidrio (10) o una capa de películas apiladas previamente depositada sobre la superficie interior del vidrio (14);

colocar la lámina de vidrio (10) sobre el soporte (210; 310), de tal forma que la superficie exterior (12) se oriente hacia el blanco inferior (260; 320c, 320d, 320e, 320f) y pulverizar el blanco superior (260; 320c, 320d, 320e, 320f) para depositar un revestimiento sobre la superficie exterior (12) del vidrio (10) o una capa de película previamente depositada sobre la superficie exterior del vidrio (10),

estando el vidrio (10) revestido tanto sobre la superficie interior (14) como sobre la superficie exterior (12) mientras se mantiene una orientación constante en la que la superficie interior (14) se coloca por encima de la superficie exterior (12).

2. Un procedimiento de acuerdo con la reivindicación 1, en el que la línea de pulverización comprende una serie de cámaras de pulverización (300a, 300b, 300c), incluyendo la serie de cámaras de pulverización (300a, 300b, 300c) una primera cámara de pulverización hacia abajo (300a) que incluye el blanco superior (320a, 320b), y una segunda cámara de pulverización hacia arriba (300b, 300c) que incluye el blanco inferior (320c, 320d, 320e, 320f), y en las que la pulverización del blanco superior (320a, 320b) se realiza mientras la lámina de vidrio (10) se encuentra en la cámara de pulverización hacia abajo (300a), y la pulverización del blanco inferior (320c, 320d, 320e, 320f) se realiza mientras la lámina de vidrio (10) se encuentra en la cámara de pulverización hacia arriba (300b, 300c).

3. Un procedimiento de acuerdo con la reivindicación 1, en el que la línea de pulverización incluye una cámara de pulverización de doble dirección (200) que comprende tanto el blanco superior como el inferior (220a, 220b, 260), y en el que, mientras la lámina de vidrio (10) permanece en la cámara de pulverización de doble dirección (200), se realiza la pulverización tanto del blanco superior (220a, 220b) como del blanco inferior (260).

4. Un procedimiento de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones precedentes, en el que el soporte del sustrato (210; 310) comprende rodillos individuales espaciados, en el que el blanco inferior (260; 320c, 320d, 320e, 320f) se pulveriza hacia arriba por entre los rodillos.

5. Un procedimiento de acuerdo con la reivindicación 4, en el que la lámina de vidrio (10) se transporta sobre los rodillos (210; 310), de tal forma que el revestimiento de la superficie exterior (12) de la lámina de vidrio (10) toma contacto directo con los rodillos (210; 310).

6. Un procedimiento de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones precedentes, en el que el blanco inferior (260; 320c, 320d, 320e, 320f) comprende silicio, pulverizando dicho blanco inferior (260; 320c, 320d, 320e, 320f) en una atmósfera oxidante para depositar un revestimiento de cortina de agua directamente sobre la superficie exterior (12) del vidrio (10).

7. Un aparato de revestimiento para revestir las dos caras de un único panel de vidrio (10) de una sola pasada a través del aparato de revestimiento, comprendiendo el aparato de revestimiento un soporte (210; 310) para sostener un panel de vidrio (10) para revestir en el aparato de revestimiento, un blanco superior (220; 320a, 320b) colocado por encima del soporte (210; 310) dentro de una cámara de pulverización (200; 300a) para pulverizar un revestimiento sobre la superficie superior (14) del panel de vidrio (10) y un blanco inferior (260; 360c, 360d, 360e, 360f) colocado por debajo del soporte (210; 310) dentro de una cámara de pulverización (200; 300b, 300c) para pulverizar un revestimiento sobre la superficie inferior (12) del panel de vidrio (10).

8. Un aparato de revestimiento de acuerdo con la reivindicación 7, en el que el blanco superior (220) y el blanco inferior (260) se proporcionan dentro de una única cámara de pulverización (200).

9. Un aparato de revestimiento de acuerdo con la reivindicación 7, en el que el blanco superior (320a, 320b) se proporciona en una primera cámara de pulverización (300a) y el blanco inferior (320c, 320d, 320e, 320f) se proporciona dentro de una segunda cámara de pulverización (300b, 300c).

10. Un aparato de revestimiento de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones precedentes, que comprende además cámaras de pulverización adicionales (300b, 300c), incluyendo cada una un blanco superior o inferior (320c, 320d, 320e, 320f) proporcionado por encima o por debajo del soporte (210; 310) respectivamente.

11. Un aparato de revestimiento de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 7 a 10, en el que el soporte (210) incluye una pluralidad de rodillos individuales espaciados (210).