EP4425528A1 - Feldeffekt-elektronenemitter mit gruppierten teilemissionsflächen - Google Patents

Feldeffekt-elektronenemitter mit gruppierten teilemissionsflächen Download PDF

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EP4425528A1
EP4425528A1 EP23159049.8A EP23159049A EP4425528A1 EP 4425528 A1 EP4425528 A1 EP 4425528A1 EP 23159049 A EP23159049 A EP 23159049A EP 4425528 A1 EP4425528 A1 EP 4425528A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
emission surface
field effect
electron emitter
emission
grouped
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP23159049.8A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Jörg FREUDENBERGER
Anja Fritzler
Peter Geithner
Christoph Jud
Michael Wimmer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Healthineers AG
Original Assignee
Siemens Healthineers AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Healthineers AG filed Critical Siemens Healthineers AG
Priority to EP23159049.8A priority Critical patent/EP4425528A1/de
Priority to DE102024201255.6A priority patent/DE102024201255A1/de
Priority to US18/585,720 priority patent/US20240290567A1/en
Priority to CN202410213216.XA priority patent/CN118571729A/zh
Publication of EP4425528A1 publication Critical patent/EP4425528A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/06Cathodes
    • H01J35/065Field emission, photo emission or secondary emission cathodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/14Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
    • H01J35/147Spot size control
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08Electrical details
    • H05G1/26Measuring, controlling or protecting
    • H05G1/30Controlling
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08Electrical details
    • H05G1/58Switching arrangements for changing-over from one mode of operation to another, e.g. from radioscopy to radiography, from radioscopy to irradiation or from one tube voltage to another

Definitions

  • the invention relates to a field-effect electron emitter and an X-ray tube.
  • a conventional X-ray tube can typically produce several focal spots with different dimensions and/or different positions.
  • the focal spot is created in particular by an interaction of accelerated electrons arriving at the anode, with approximately 99% of the kinetic energy of the electrons being converted into waste heat. The remaining portion typically produces the X-rays. If the anode is rotatably mounted, the focal spot is typically part of an annular focal path.
  • the size of the focal spot on an anode correlates particularly with the resolution of the X-rays.
  • the focal spot cannot be designed as a point because either the generated X-ray dose is too low or, with a sufficient X-ray dose, the thermal load in the focal spot is too high. Accordingly, the size of the focal spot is regularly varied depending on the application of the X-rays.
  • the focal spot dimensions are typically specified in a so-called focal spot class according to IEC standard 60336.
  • the conventional X-ray tube has two to three different focal spots in staggered dimensions, e.g. IEC 0.6 and 1.2 or IEC 0.4, 0.6, 1.0.
  • the focal spot class correlates particularly to the focal spot dimensions.
  • the intensity achieved on the anode may not exceed Focal spot dimensions of a specific focal spot class must be within a tolerance range.
  • the position of the focal spot can be changed in certain X-ray applications.
  • the application involves a so-called jumping focus when the focal spot jumps back and forth between several positions, for example between 2 by 2 positions in a plane.
  • the positions are typically 50% of the length and/or width of the focal spot dimension apart.
  • a jumping focus application is typically only used for the smaller focal spots of the conventional X-ray tube, since the jumping focus can increase the resolution of the X-rays in particular.
  • Typical advantages of using field-effect electron emitters are, in particular, cold emission in contrast to a thermionic emitter or a dispenser cathode.
  • the electron emission of a field-effect electron emitter can be switched quickly, which in particular enables grid blocking or grid pulsing.
  • Another advantage relates to inertia-free control of the emitted electron current, which is also called tube current.
  • a field-effect electron emitter can regularly be used to modulate the X-ray dose using pulse width modulation.
  • Such particularly powerful field-effect electron emitters advantageously have a pixelated emission surface, whereby preferably a Emission surface dimensions, an emission surface shape and/or an emission surface area and thus the focal spot dimensions, a focal spot shape and/or the focal spot position can be freely selected.
  • the pixelated emission surface is, for example, from the EP 3 748 667 A1 or the WO 2013/136 299 A1 and an asymmetrical focal spot shape to reduce the anode load is from the WO 2008/044 196 A2 known.
  • EP 3 748 667 A1 relates to an X-ray tube, comprising an anode, a first switching device, a second switching device, a control unit and an emitter with a plurality of field effect emitter needles, wherein at least one field effect emitter needle of the plurality of field effect emitter needles has a diameter of less than 1 ⁇ m and silicon, wherein a first group of the plurality of field effect emitter needles can be switched on or off by means of the first switching device, wherein a second group of the plurality of field effect emitter needles can be switched on or off by means of the second switching device, wherein the first group differs from the second group and wherein the control unit is designed to control the first switching device and the second switching device.
  • the invention is based on the object of specifying a field-effect electron emitter and an X-ray tube in which the focal spot dimension, the focal spot shape and/or the focal spot position on the anode can be determined as simply as possible.
  • the number of segments is nine.
  • control unit is configured to activate five different grouped partial emission surfaces such that four grouped partial emission surfaces have an identical emission surface dimension smaller than the maximum emission surface dimension and one grouped partial emission surface has the maximum emission surface dimension.
  • the number of segments is ten or eleven.
  • control unit is configured to activate six different grouped partial emission surfaces such that four grouped partial emission surfaces have an identical emission surface dimension smaller than the maximum emission surface dimension, one grouped partial emission surface has the maximum emission surface dimension, and a further grouped partial emission surface has an emission surface dimension smaller than the maximum emission surface dimension and larger than the emission surface dimension of the four grouped partial emission surfaces.
  • control unit is configured to vary an emitted electron current per segment per grouped partial emission area for simultaneous asymmetric electron emission.
  • the grouped partial emission surfaces overlap by at least 50%.
  • one segment of the plurality of segments has an L-shape, wherein the L-segment adjoins with its legs two sides of another segment of the plurality of segments.
  • the L-segment is designed such that the L-segment with its legs adjoins sides of at least three different segments of the plurality of segments.
  • the emission surface is pixelated in two spatial directions.
  • each segment is assigned exactly one switching device.
  • a field applied exclusively to accelerate the emitted electrons prevails between the anode and the field effect electron emitter.
  • control unit of the field effect electron emitter is designed to alternately Activating at least two grouped partial emission surfaces with identical emission surface dimensions to cause a focal spot to jump on the anode.
  • control unit of the field-effect electron emitter is designed to change the size of a focal spot on the anode by alternately activating at least two grouped partial emission surfaces with different emission surface dimensions.
  • Advantages of the field effect electron emitter and the X-ray tube according to the invention are in particular that comparatively few connected and grouped partial emission surfaces are sufficient to make the focal spot on the anode jump and/or to change the size of the focal spot on the anode. According to the invention, this is achieved in that the consecutively activatable, connected and grouped partial emission surfaces overlap in pairs by at least 25%. If, for example, the focal spot jumps along a spatial direction by 50% of the focal spot dimension, two IEC focal spot classes with a difference of approximately 1.5 can be achieved.
  • the 25% overlap enables the jumping focus and/or different focal spot dimensions, for which significantly fewer switchable surfaces and thus fewer switching devices are required. This particularly simplifies the structure of the control unit of the field effect electron emitter. A further advantage could be a more compact design of the field effect electron emitter, since the control unit can have a simpler structure.
  • Fig.1 shows a plan view of a field effect electron emitter 10 according to the invention.
  • the field effect electron emitter 10 has a segmented emission surface 11 and a non- Fig.1
  • the emission surface 11 has a plurality of field-effect emitter needles and several segments, each with an activatable partial emission surface.
  • the plurality of field-effect emitter needles is distributed over the partial emission surfaces.
  • the multiple segments and thus the partial emission surfaces are rectangular in this embodiment. It is conceivable that the segments have a round shape or a shape with more or fewer corners than in Fig.1 shown.
  • the segmented emission surface 11 is divided into several segments. Typically, all field effect emitter needles within a segment can be activated or deactivated together. In other words, the field effect emitter needles are each segment is particularly interconnected.
  • the activatable partial emission surface of a segment usually has all field-effect emitter needles of this segment.
  • An activatable partial emission surface can consist of the field-effect emitter needles of a segment. All field-effect emitter needles of a segment can form the activatable partial emission surface.
  • the field effect emitter needles of each segment are in particular connected.
  • the plurality of field effect emitter needles is preferably distributed evenly across the partial emission surfaces.
  • the partial emission surfaces typically have a substantially equal number of field effect emitter needles per unit area.
  • a field effect emitter needle density typically does not vary across the partial emission surface and/or the segmented emission surface 11, but is constant. This can mean in particular that the segmented emission surface 11 comprises evenly distributed field effect emitter needles.
  • each segment usually has a subset greater than zero and less than 100% of the number of field-effect emitter needles.
  • the plurality of field-effect emitter needles is usually arranged on a substrate.
  • the substrate and/or the field-effect emitter needles can in particular comprise silicon, carbon or molybdenum.
  • the field-effect emitter needles usually have a diameter in the micrometer or nanometer range.
  • the plurality of field effect emitter needles comprises in particular more than 100, preferably more than 10,000, particularly advantageously more than 1,000,000 field effect emitter needles.
  • a semiconductor structure and/or a transistor can be connected upstream of the field effect emitter needles in order to limit the current flowing through a field effect emitter needle.
  • the field effect electron emitter 10 can be designed in particular for a direct imaging of the emitted electrons onto the focal spot.
  • an emission surface dimension of a grouped partial emission surface corresponds in particular 1 to 1 to a focal spot dimension on an anode.
  • the control unit is designed to activate different groups with at least one of the several segments for simultaneous electron emission from the respective partial emission surfaces in such a way that the consecutively activatable, contiguous and grouped partial emission surfaces F1, F2 overlap in pairs by at least 25%.
  • the activatable partial emission surface of a segment can typically be activated or deactivated by means of the control unit.
  • the activation of the respective partial emission surface typically does not take place permanently, but over a limited period of time.
  • the partial emission surface can in particular be activated and/or deactivated several times in succession. In particular, it is conceivable that a period of time in which the partial emission surface is activated or deactivated is so short that the partial emission surface can emit the electrons in a pulsed operation.
  • Activating the partial emission surface generally comprises increasing the electron current generated by the field effect emitter needles arranged in this activated partial emission surface.
  • the electron current comprises in particular those free electrons which are generated at the field effect emitter needle tips by means of the field effect.
  • Increasing the electron current can be relative to an electron current of zero or greater than zero.
  • activating the partial emission surface can comprise turning on the electron current or increasing the electron current.
  • Deactivating the partial emission area generally comprises reducing the electron current generated by the field effect emitter needles arranged in this deactivated partial emission area.
  • the reduction of the electron current is carried out in particular to an electron current of zero or greater than zero.
  • deactivating the partial emission area can comprise switching off the electron current or reducing the electron current.
  • An activated partial emission surface typically emits electrons in every case and/or causes an electron emission.
  • a deactivated partial emission surface can in principle also emit electrons and thus cause an electron emission, but in this case at least with a lower electron current than before.
  • the activation or deactivation of the partial emission surface corresponds in particular to a regulation of an electron current generated in the respective partial emission surface and/or is carried out in particular by a regulation of the gate voltage, which can trigger the field effect at the field effect emitter needle tips to generate free electrons.
  • the gate voltage can, for example, be applied separately, in groups or only together for all field effect emitter needles per segment. In the latter case, each segment can be assigned exactly one switching device, which regulates the gate voltage for all field effect emitter needles of this segment together. The assignment includes in particular the setting up of the switching device as a switch for the respective segment.
  • the electron emission from the partial emission surfaces can occur simultaneously, in particular at the same time.
  • more than one partial emission surface and/or the entire emission surface can be activated at the same time.
  • Those activated partial emission surfaces are the grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4, F5, F6.
  • those partial emission surfaces that are activated form the grouped partial emission surfaces.
  • grouped means in particular connected together and activated at the same time.
  • the grouped partial emission surfaces can in particular be referred to as focal spot-generating partial emission surfaces.
  • the control unit can comprise a logic module.
  • the control unit can have a circuit arrangement comprising a low-resistance supply line and/or a resistor and/or a diode and/or a capacitor and/or a transistor.
  • the various groups and thus the respective segments of the groups are permanently connected to one another.
  • the control unit comprises at least one switching device for each segment. By switching the switching device, for example, the gate voltage at the respective partial emission surface can be regulated.
  • the control unit comprises exactly one switching device per segment and thus a maximum of one switching device per segment. This can simplify the structure of the control unit of the field-effect electron emitter.
  • Activating a group includes in particular activating the partial emission surfaces of this group for electron emission.
  • the groups can comprise a single segment of the multiple segments, more than one segment of the multiple segments, or all segments.
  • the groups usually differ in the number of segments and/or in the segments they comprise. It is conceivable that the groups in the control unit, for example by adapting program code means with regard to the number of segments and/or the respective segments included.
  • An activated group causes electron emission in the respective partial emission areas it encompasses. If the activated group encompasses more than one partial emission area, then the activated group causes electron emission in the respective partial emission areas it encompasses simultaneously, in particular at the same time.
  • the control unit is in particular designed to activate different groups over time. Each group in particular comprises at least one partial emission surface which can be activated one after the other.
  • the control unit can in particular activate the different groups according to a defined sequence.
  • the sequence can provide that a first group is activated at a first point in time and a second group is activated at a second point in time after the first point in time.
  • the sequence can be defined in a protocol, in particular in an emission protocol and/or an imaging protocol.
  • the control unit can in particular activate the respective group in such a way that the activated partial emission surfaces of this respective group are connected.
  • the fact that the activated partial emission surfaces are connected means in particular that, in the case of several segments in a group, these segments are adjacent to one another in a planar manner, in particular on one segment side, and/or that an envelope along the segment sides of the segments of this group does not include a segment of another group.
  • connected partial emission surfaces of a group are not interrupted by a segment that is not part of this group.
  • An external shape of the connected partial emission surfaces and/or the envelope of the connected partial emission surfaces can in particular be round or square.
  • the connected and grouped Partial emission surfaces correspond in particular to a focal spot dimension.
  • the control unit is in particular designed to activate the various groups in such a way that the partial emission surfaces F1, F2, F3, F4, F5, F6 that can be activated one after the other and/or are activated overlap in pairs by at least 25%.
  • an intersection of a grouped partial emission surface with another grouped partial emission surface is not equal to zero.
  • the intersection forms in particular a segment with a partial emission surface that is part of one grouped partial emission surface and part of the other grouped partial emission surface.
  • the partial emission surface of the intersection comprises in particular 25% of the partial emission surface of the one grouped partial emission surface and the other grouped partial emission surface.
  • Fig. 2 shows a plan view of a first embodiment of the field effect electron emitter 10.
  • the number of segments is nine.
  • the control unit is set up to activate five different grouped partial emission surfaces such that four grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4 have an identical emission surface dimension smaller than the maximum emission surface dimension and one grouped partial emission surface F5 has the maximum emission surface dimension.
  • the four grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4 and the grouped partial emission surface F5 differ in particular in a focal spot dimension due to the different emission surface dimensions.
  • the four grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4 have the same emission surface dimension and thus produce essentially the same focal spot dimension.
  • the four grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4 are offset from one another by 50% in at least one spatial direction and are particularly suitable for making the focal spot on the anode jump.
  • Fig.3 shows a plan view of a second embodiment of the field effect electron emitter 10.
  • the control unit is designed to activate six different grouped partial emission surfaces such that four grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4 have an identical emission surface dimension smaller than the maximum emission surface dimension, one grouped partial emission surface F6 has the maximum emission surface dimension and a further grouped partial emission surface F5 has an emission surface dimension smaller than the maximum emission surface dimension and larger than the emission surface dimension of the four grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4.
  • the four grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4, the grouped partial emission surface F6 and the further grouped partial emission surface F5 differ in particular in a focal spot dimension due to the different emission surface dimensions.
  • the four grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4 have the same emission surface dimension and thus produce essentially the same focal spot dimension.
  • the four grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4 have an offset of 50% from each other in at least one spatial direction and are particularly suitable for making the focal spot on the anode jump.
  • one segment L of the multiple segments advantageously has an L-shape.
  • the L-segment L borders with its legs on two sides of another segment of the multiple segments.
  • the L-segment L is designed such that the L-segment L borders with its legs on sides of at least three different segments of the multiple segments.
  • exactly one switching device is assigned to the L-segment.
  • the partial emission surface of the L-segment L can preferably only be activated together and only requires exactly one switching device for this. This advantageously simplifies the structure of the control unit.
  • Fig.3 is the variant in which the number of segments is eleven.
  • the L-segment L could be divided into two segments, one of which is in particular still L-shaped and another is an outermost part of a leg of the L-segment L.
  • the L-segment L can be divided into more than two segments, whereby the number of segments can increase accordingly.
  • the control unit can preferably be designed to activate various grouped partial emission surfaces in such a way that the grouped partial emission surfaces have essentially the same emission surface area and differ in the emission surface shape.
  • the grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4 also have the same emission surface area.
  • the control unit can be set up to activate a row and/or a column of the segmented emission surface.
  • the row of segments forms a grouped emission surface which has essentially the same emission surface area and differs in its emission surface shape from the emission surface shape of the grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4.
  • the respective segments have a comparable, but for example not identical, number of field effect emitter needles and/or a comparable, but for example not identical emission surface shape.
  • Fig.4 shows a top view of a third embodiment of the field effect electron emitter 10, starting from the embodiment of the Fig.1 .
  • the grouped partial emission surfaces F1, F2 overlap by at least 50% in this embodiment.
  • Fig.5 shows a plan view of a fourth embodiment of the field effect electron emitter 10, starting from the embodiment of the Fig.1 .
  • the emission surface 11 is pixelated in two spatial directions.
  • the number of pixels is 2 by 2 and can correspond to the number of segments.
  • the number of pixels can be greater than four.
  • the pixelated emission surface 11 essentially corresponds to a division of the emission surface 11 in a Cartesian manner.
  • at least one segment of the multiple segments is rectangular, in particular it can be square.
  • An alternative is conceivable, wherein a segment of the multiple segments has more than four corners, for example five or six.
  • the shape of the segment can in particular be honeycomb-, L-, U-, C-shaped.
  • a circular segment shape or round shape is also conceivable.
  • the control unit is set up to vary an emitted electron current per segment per grouped partial emission surface F1, F2, F3, F4, F5, F6 for a simultaneous asymmetrical electron emission.
  • the asymmetry in this case does not relate to the emission surface shape.
  • the asymmetry results from a variation in the electron emission per unit area.
  • the variation in the electron emission occurs in particular in that the electron current generated by a field effect emitter needle is varied in comparison to the simultaneously emitted electron current of another field effect emitter needle.
  • the field effect emitter needles are typically evenly distributed, in particular within each segment.
  • the electron emission per unit area varies because all field-effect emitter needles in one segment generate a higher electron current than all field-effect emitter needles in another segment. This creates asymmetrical electron emission. It is conceivable that several segments have an increased electron current.
  • the amplitude of the electron current can be adjusted in particular by the amplitude of the gate voltage.
  • Fig.6 shows an X-ray tube 20 according to the invention in a cross section.
  • the X-ray tube 20 has a field-effect electron emitter 10, an anode 21 for generating X-rays depending on incoming electrons and an evacuated housing 22.
  • the field-effect electron emitter 10 and the anode 21 are arranged within the evacuated housing 22.
  • the field-effect electron emitter 10 generates in particular those electrons which arrive at the anode 21.
  • the anode 21 can in particular be a rotating anode or a standing anode.
  • the X-ray tube is designed as a rotary piston X-ray tube, with the anode rotating together with the housing of the X-ray tube.
  • the X-ray tube 20 does not have a deflection unit for deflecting or focusing the emitted electrons.
  • an emission surface dimension of the field-effect electron emitter 10 is typically imaged directly, i.e. 1:1, on the anode 21.
  • Conventional deflection units generate electrostatic and/or electromagnetic fields for deflecting and/or focusing the electrons, such conventional fields being used in the inventive X-ray tube advantageously cannot superimpose the field applied to accelerate the emitted electrons.
  • the field applied for acceleration can originate from the acceleration voltage between the anode 21 and the field effect electron emitter 10 or from high frequency waves generated by means of a high frequency source.
  • the X-rays generated by means of the anode 21 can be intended in particular for a medical or industrial application.
  • the medical application includes in particular diagnostic imaging, in particular computer tomography, angiography and/or mammography.
  • the medical application can alternatively or additionally include therapy.
  • the industrial application includes in particular material testing.
  • control unit of the field effect electron emitter 10 is designed to make a focal spot on the anode 21 jump by alternately activating at least two grouped partial emission surfaces F1, F2, F3, F4 with identical emission surface dimensions and/or to change the size of a focal spot on the anode 21 by alternately activating at least two grouped partial emission surfaces F1, F5, F6 with different emission surface dimensions.

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Feldeffekt-Elektronenemitter und eine Röntgenröhre.Der erfindungsgemäße Feldeffekt-Elektronenemitter weist- eine segmentierte Emissionsfläche, wobei die Emissionsfläche eine Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln und mehrere Segmente mit je einer aktivierbaren Teilemissionsfläche aufweist, wobei sich die Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln auf die Teilemissionsflächen verteilt, und- eine Steuereinheit auf, welche dazu eingerichtet ist, verschiedene Gruppen mit mindestens einem der mehreren Segmente derart für eine simultane Elektronenemission aus den jeweiligen Teilemissionsflächen zu aktivieren, dass sich die nacheinander aktivierbaren, zusammenhängenden und gruppierten Teilemissionsflächen paarweise zu mindestens 25% überlappen.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Feldeffekt-Elektronenemitter und eine Röntgenröhre.
  • Eine herkömmliche Röntgenröhre insbesondere für eine medizinische Anwendung kann typischerweise mehrere Brennflecke mit unterschiedlicher Abmessung und/oder unterschiedlicher Position erzeugen. Der Brennfleck entsteht insbesondere durch eine Wechselwirkung von auf der Anode eintreffenden beschleunigten Elektronen, wobei ca. 99% der kinetischen Energie der Elektronen in Verlustwärme umgewandelt wird. Der übrige Anteil erzeugt typischerweise die Röntgenstrahlen. Wenn die Anode drehbar gelagert ist, ist der Brennfleck typischerweise Teil einer ringförmigen Brennbahn.
  • Die Abmessung des Brennflecks auf einer Anode korreliert insbesondere mit der Auflösung der Röntgenstrahlung. Je höher die Auflösung ist, desto mehr Details können mit der Röntgenstrahlung vorteilhafterweise unterschieden werden. Da die innerhalb der Abmessung des Brennflecks deponierbare Energie begrenzt ist, kann der Brennfleck nicht punktförmig ausgestaltet werden, weil dabei entweder die generierte Röntgenstrahlendosis zu gering oder bei ausreichender Röntgenstrahlendosis die thermische Belastung im Brennfleck zu hoch ist. Entsprechend wird je nach Anwendung der Röntgenstrahlung die Abmessung des Brennflecks regelmäßig variiert.
  • Die Brennfleckabmessungen werden typischerweise in einer sogenannten Brennfleckklasse nach der IEC-Norm 60336 angegeben. Typischerweise weist die herkömmliche Röntgenröhre zwei bis drei unterschiedliche Brennflecke in gestaffelten Abmessungen auf, z.B. IEC 0.6 und 1.2 oder IEC 0.4, 0.6, 1.0. Dabei korreliert die Brennfleckklasse insbesondere zu der Brennfleckabmessung. Typischerweise darf die auf der Anode erzielte Brennfleckabmessung einer bestimmten Brennfleckklasse innerhalb eines Toleranzbereiches liegen.
  • Die Position des Brennflecks kann bei bestimmten Anwendungen der Röntgenstrahlung verändert werden. In so einem Fall umfasst die Anwendung einen sogenannten Springfokus, wenn der Brennfleck zwischen mehreren Positionen hin und her springt, beispielsweise zwischen 2 mal 2 Positionen in einer Ebene. Die Positionen liegen typischerweise um 50% einer Länge und/oder Breite der Brennfleckabmessung voneinander entfernt. Eine Springfokusanwendung wird typischerweise nur bei den kleineren Brennflecken der herkömmlichen Röntgenröhre genutzt, da durch den Springfokus insbesondere die Auflösung der Röntgenstrahlung erhöht werden kann.
  • Typische Vorteile bei der Verwendung von Feldeffekt-Elektronenemitter sind insbesondere eine kalte Emission im Gegensatz zu einem thermionischen Emitter oder zu einer Dispenserkathode. Typischerweise ist die Elektronenemission bei einem Feldeffekt-Elektronenemitter schnell schaltbar, was insbesondere ein Gittersperren bzw. ein Gitterpulsen ermöglicht. Ein weiterer Vorteil betrifft eine trägheitslose Steuerung des emittierten Elektronenstroms, welcher auch Röhrenstrom genannt wird. Ein Feldeffekt-Elektronenemitter kann regelmäßig mittels einer Pulsweitenmodulation zur Modulation der Röntgenstrahlendosis verwendet werden.
  • Es ist weiterhin bekannt, mittels besonders leistungsfähiger Feldeffekt-Elektronenemitter emittierte Elektronen direkt, sprich ohne Ablenkung oder Fokussierung durch eine elektrostatische oder elektromagnetische Ablenkeinheit, auf eine Anode abzubilden. In diesem Fall herrscht zwischen der Anode und dem Feldeffekt-Elektronenemitter vorzugsweise ausschließlich ein zur Beschleunigung der emittierten Elektronen angelegtes Feld vor, beispielsweise die Beschleunigungsspannung oder eine Hochfrequenzwelle. Solche besonders leistungsfähigen Feldeffekt-Elektronenemitter weisen vorteilhafterweise eine pixelierte Emissionsfläche auf, wodurch vorzugsweise eine Emissionsflächenabmessung, eine Emissionsflächenform und/oder ein Emissionsflächeninhalt und somit die Brennfleckabmessung, eine Brennfleckform und/oder die Brennfleckposition frei wählbar wird. Die pixelierte Emissionsfläche ist beispielsweise aus der EP 3 748 667 A1 oder der WO 2013/136 299 A1 und eine asymmetrische Brennfleckform zur Senkung der Anodenbelastung ist aus der WO 2008/044 196 A2 bekannt.
  • EP 3 748 667 A1 betrifft eine Röntgenröhre, aufweisend eine Anode, eine erste Schaltvorrichtung, eine zweite Schaltvorrichtung, eine Steuereinheit und einen Emitter mit mehreren Feldeffekt-Emitternadeln, wobei zumindest eine Feldeffekt-Emitternadel der mehreren Feldeffekt-Emitternadeln einen Durchmesser von weniger als 1 µm und Silizium aufweist, wobei eine erste Gruppe der mehreren Feldeffekt-Emitternadeln mittels der ersten Schaltvorrichtung anschaltbar oder ausschaltbar ist, wobei eine zweite Gruppe der mehreren Feldeffekt-Emitternadeln mittels der zweiten Schaltvorrichtung anschaltbar oder ausschaltbar ist, wobei sich die erste Gruppe von der zweiten Gruppe unterscheidet und wobei die Steuereinheit zum Ansteuern der ersten Schaltvorrichtung und der zweiten Schaltvorrichtung ausgebildet ist.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, einen Feldeffekt-Elektronenemitter und eine Röntgenröhre anzugeben, bei welchen möglichst einfach die Brennfleckabmessung, die Brennfleckform und/oder die Brennfleckposition auf der Anode festgelegt werden kann.
  • Die Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen beschrieben.
  • Unabhängig vom grammatikalischen Geschlecht eines bestimmten Begriffes sind Personen mit männlicher, weiblicher oder anderer Geschlechteridentität mit umfasst.
  • Der erfindungsgemäße Feldeffekt-Elektronenemitter weist
    • eine segmentierte Emissionsfläche, wobei die Emissionsfläche eine Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln und mehrere Segmente mit je einer aktivierbaren Teilemissionsfläche aufweist, wobei sich die Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln auf die Teilemissionsflächen verteilt, und
    • eine Steuereinheit auf, welche dazu eingerichtet ist, verschiedene Gruppen mit mindestens einem der mehreren Segmente derart für eine simultane Elektronenemission aus den jeweiligen Teilemissionsflächen zu aktivieren, dass sich die nacheinander aktivierbaren, zusammenhängenden und gruppierten Teilemissionsflächen paarweise zu mindestens 25% überlappen.
  • Gemäß einer Ausführungsform beträgt die Anzahl der Segmente neun.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist die Steuereinheit dazu eingerichtet, fünf verschiedene gruppierte Teilemissionsflächen derart zu aktivieren, dass vier gruppierte Teilemissionsflächen eine identische Emissionsflächenabmessung kleiner als die maximale Emissionsflächenabmessung und eine gruppierte Teilemissionsfläche die maximale Emissionsflächenabmessung aufweisen.
  • Gemäß einer Ausführungsform beträgt die Anzahl der Segmente zehn oder elf.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist die Steuereinheit dazu eingerichtet, sechs verschiedene gruppierte Teilemissionsflächen derart zu aktivieren, dass vier gruppierte Teilemissionsflächen eine identische Emissionsflächenabmessung kleiner als die maximale Emissionsflächenabmessung, eine gruppierte Teilemissionsfläche die maximale Emissionsflächenabmessung und eine weitere gruppierte Teilemissionsfläche eine Emissionsflächenabmessung kleiner als die maximale Emissionsflächenabmessung und größer als die Emissionsflächenabmessung der vier gruppierten Teilemissionsflächen aufweisen.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist die Steuereinheit dazu eingerichtet, einen emittierten Elektronenstrom pro Segment je gruppierter Teilemissionsfläche für eine simultane asymmetrische Elektronenemission zu variieren.
  • Gemäß einer Ausführungsform überlappen sich die gruppierten Teilemissionsflächen zu mindestens 50%.
  • Gemäß einer Ausführungsform weist ein Segment der mehreren Segmente eine L-Form auf, wobei das L-Segment mit seinen Schenkeln an zwei Seiten eines anderen Segments der mehreren Segmente angrenzt.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist das L-Segment derart ausgestaltet, dass das L-Segment mit seinen Schenkeln an Seiten von mindestens drei verschiedenen Segmenten der mehreren Segmente angrenzt.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist die Emissionsfläche in zwei Raumrichtungen pixeliert.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist jedem Segment exakt eine Schaltvorrichtung zugeordnet.
  • Die erfindungsgemäße Röntgenröhre weist
    • einen Feldeffekt-Elektronenemitter,
    • eine Anode zur Generierung von Röntgenstrahlen in Abhängigkeit von eintreffenden Elektronen und
    • ein evakuiertes Gehäuse auf, wobei der Feldeffekt-Elektronenemitter und die Anode innerhalb des evakuierten Gehäuses angeordnet sind.
  • Gemäß einer Ausführungsform herrscht zwischen der Anode und dem Feldeffekt-Elektronenemitter ausschließlich ein zur Beschleunigung der emittierten Elektronen angelegtes Feld vor.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist die Steuereinheit des Feldeffekt-Elektronenemitters dazu eingerichtet, durch das abwechselnde Aktivieren zumindest zweier gruppierter Teilemissionsflächen mit identischer Emissionsflächenabmessung einen Brennfleck auf der Anode springen zu lassen.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist die Steuereinheit des Feldeffekt-Elektronenemitters dazu eingerichtet, durch das abwechselnde Aktivieren zumindest zweier gruppierter Teilemissionsflächen mit verschiedener Emissionsflächenabmessung einen Brennfleck auf der Anode in seiner Größe zu verändern.
  • Vorteile des erfindungsgemäßen Feldeffekt-Elektronenemitters und der Röntgenröhre sind insbesondere, dass vergleichsweise wenige zusammenhängende und gruppierte Teilemissionsflächen ausreichen, um den Brennfleck auf der Anode springen zu lassen und/oder den Brennfleck auf der Anode in seiner Größe zu verändern. Erfindungsgemäß wird das dadurch erreicht, dass sich die nacheinander aktivierbaren, zusammenhängenden und gruppierten Teilemissionsflächen paarweise zu mindestens 25% überlappen. Springt der Brennfleck beispielsweise entlang einer Raumrichtung um 50% der Brennfleckabmessung, so können zwei IEC-Brennfleckklassen mit einem Unterschied von näherungsweise 1,5 erzielt werden. Vorteilhafterweise ermöglicht das 25%-Überlappen also den Springfokus und/oder verschiedene Brennfleckabmessungen, wofür wesentlich weniger schaltbare Flächen und somit weniger Schaltvorrichtungen benötigt werden. Das vereinfacht insbesondere einen Aufbau der Steuereinheit des Feldeffekt-Elektronenemitters. Ein weiterer Vorteil könnte eine kompaktere Bauweise des Feldeffekt-Elektronenemitters sein, da die Steuereinheit einen einfacheren Aufbau aufweisen kann.
  • Im Folgenden wird die Erfindung anhand der in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele näher beschrieben und erläutert. Grundsätzlich werden in der folgenden Figurenbeschreibung im Wesentlichen gleich bleibende Strukturen und Einheiten mit demselben Bezugszeichen wie beim erstmaligen Auftreten der jeweiligen Struktur oder Einheit benannt.
  • Es zeigen:
    • Fig. 1 einen erfindungsgemäßen Feldeffekt-Elektronenemitter,
    • Fig. 2 ein erstes Ausführungsbeispiel des Feldeffekt-Elektronenemitters,
    • Fig. 3 ein zweites Ausführungsbeispiel des Feldeffekt-Elektronenemitters,
    • Fig. 4 ein drittes Ausführungsbeispiel des Feldeffekt-Elektronenemitters,
    • Fig. 5 ein viertes Ausführungsbeispiel des Feldeffekt-Elektronenemitters und
    • Fig. 6 eine erfindungsgemäße Röntgenröhre.
  • Fig. 1 zeigt eine Draufsicht auf einen erfindungsgemäßen Feldeffekt-Elektronenemitter 10.
  • Der Feldeffekt-Elektronenemitter 10 weist eine segmentierte Emissionsfläche 11 und eine nicht in Fig. 1 gezeigte Steuereinheit auf. Die Emissionsfläche 11 weist eine Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln und mehrere Segmente mit je einer aktivierbaren Teilemissionsfläche auf. Die Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln verteilt sich auf die Teilemissionsflächen.
  • Die mehreren Segmente und somit die Teilemissionsflächen sind in diesem Ausführungsbeispiel rechteckig. Es ist denkbar, dass die Segmente eine runde Form oder eine Form mit mehr oder weniger Ecken als in Fig. 1 gezeigt aufweisen.
  • Die segmentierte Emissionsfläche 11 ist in die mehrere Segmente unterteilt. Typischerweise können alle Feldeffekt-Emitternadeln innerhalb eines Segments gemeinsam aktiviert oder deaktiviert sein. In anderen Worten sind die Feldeffekt-Emitternadeln jedes Segments insbesondere zusammengeschaltet.
  • Die aktivierbare Teilemissionsfläche eines Segments weist üblicherweise alle Feldeffekt-Emitternadeln dieses Segments auf. Eine aktivierbare Teilemissionsfläche kann aus denjenigen Feldeffekt-Emitternadeln eines Segments bestehen. Alle Feldeffekt-Emitternadeln eines Segments können die aktivierbare Teilemissionsfläche bilden.
  • Die Feldeffekt-Emitternadeln eines jeden Segments hängen insbesondere zusammen. Eine Einhüllende der Feldeffekt-Emitternadeln eines jeden Segments, wobei die Einhüllende entlang der Segmentseite verläuft, umfasst insbesondere keine einzige Feldeffekt-Emitternadeln eines anderen Segments.
  • Die Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln verteilt sich auf die Teilemissionsflächen vorzugsweise gleichmäßig. Bei einer gleichmäßigen Verteilung weisen die Teilemissionsflächen typischerweise eine im Wesentlichen gleiche Anzahl an Feldeffekt-Emitternadeln pro Flächeneinheit auf. In anderen Worten variiert typischerweise eine Feldeffekt-Emitternadeln-Dichte nicht über die Teilemissionsfläche und/oder die segmentierte Emissionsfläche 11 hinweg, sondern ist konstant. Das kann insbesondere bedeuten, dass die segmentierte Emissionsfläche 11 gleichmäßig verteilte Feldeffekt-Emitternadeln umfasst.
  • Dass sich die Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln auf die Teilemissionsflächen verteilt, bedeutet insbesondere, dass die Feldeffekt-Emitternadeln aller Segmente gleich der Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln sein kann. In anderen Worten weist jedes Segment eine Teilmenge größer null und kleiner 100% der Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln üblicherweise auf.
  • Die Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln ist üblicherweise auf einem Substrat angeordnet. Das Substrat und/oder die Feldeffekt-Emitternadeln können insbesondere Silizium, Kohlenstoff oder Molybdän aufweisen. Die Feldeffekt-Emitternadeln haben üblicherweise einen Durchmesser im Mikro- oder Nanometerbereich. Die Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln umfasst insbesondere mehr als 100, vorzugsweise mehr als 10000, besonders vorteilhafterweise mehr als 1000000 Feldeffekt-Emitternadeln. Den Feldeffekt-Emitternadeln kann insbesondere eine Halbleiterstruktur und/oder ein Transistor vorgeschaltet sein, um den über eine Feldeffekt-Emitternadel abfließenden Strom zu begrenzen.
  • Der Feldeffekt-Elektronenemitter 10 kann insbesondere für eine direkte Abbildung der emittierten Elektronen auf den Brennfleck eingerichtet sein. In diesem Fall entspricht eine Emissionsflächenabmessung einer gruppierten Teilemissionsfläche insbesondere 1 zu 1 einer Brennfleckabmessung auf einer Anode.
  • Die Steuereinheit ist dazu eingerichtet, verschiedene Gruppen mit mindestens einem der mehreren Segmente derart für eine simultane Elektronenemission aus den jeweiligen Teilemissionsflächen zu aktivieren, dass sich die nacheinander aktivierbaren, zusammenhängenden und gruppierten Teilemissionsflächen F1, F2 paarweise zu mindestens 25% überlappen.
  • Die aktivierbare Teilemissionsfläche eines Segments kann typischerweise mittels der Steuereinheit aktiviert oder deaktiviert sein. Die Aktivierung der jeweiligen Teilemissionsfläche erfolgt typischerweise nicht dauerhaft, sondern über einen begrenzten Zeitraum. Die Teilemissionsfläche kann insbesondere mehrfach hintereinander aktiviert und/oder deaktiviert sein. Insbesondere ist es denkbar, dass ein Zeitraum, in welchem die Teilemissionsfläche aktiviert bzw. deaktiviert ist, derart kurz ist, dass die Teilemissionsfläche in einem Pulsbetrieb die Elektronen emittieren kann.
  • Ein Aktivieren der Teilemissionsfläche umfasst im Allgemeinen ein Erhöhen des mittels der in dieser aktivierten Teilemissionsfläche angeordneten Feldeffekt-Emitternadeln generierten Elektronenstroms. Der Elektronenstrom umfasst insbesondere diejenigen freien Elektronen, welche an den Feldeffekt-Emitternadel-Spitzen mittels des Feldeffekts generiert sind. Das Erhöhen des Elektronenstroms kann relativ zu einem Elektronenstrom von null oder von größer null erfolgen. In anderen Worten kann das Aktivieren der Teilemissionsfläche das Anschalten des Elektronenstroms oder das Erhöhen des Elektronenstroms umfassen.
  • Ein Deaktivieren der Teilemissionsfläche umfasst im Allgemeinen ein Verringern des mittels der in dieser deaktivierten Teilemissionsfläche angeordneten Feldeffekt-Emitternadeln generierten Elektronenstroms. Das Verringen des Elektronenstroms erfolgt insbesondere auf einen Elektronenstrom von null oder größer null. In anderen Worten kann das Deaktivieren der Teilemissionsfläche das Ausschalten des Elektronenstroms oder das Verringern des Elektronenstroms umfassen.
  • Eine aktivierte Teilemissionsfläche emittiert typischerweise in jedem Fall Elektronen und/oder verursacht eine Elektronenemission. Eine deaktivierte Teilemissionsfläche kann grundsätzlich auch Elektronen emittieren und somit eine Elektronenemission verursachen, in diesem Fall allerdings mindestens mit einem geringeren Elektronenstrom als vorher.
  • Das Aktivieren bzw. das Deaktivieren der Teilemissionsfläche entspricht insbesondere einer Regelung eines in der jeweiligen Teilemissionsfläche generierten Elektronenstroms und/oder erfolgt insbesondere durch eine Regelung der Gatespannung, welche den Feldeffekt an den Feldeffekt-Emitternadel-Spitzen zur Generierung von freien Elektronen auslösen kann. Die Gatespannung kann beispielsweise für alle Feldeffekt-Emitternadeln je Segment separat, gruppenweise oder nur gemeinsam angelegt werden. Im letzteren Fall kann jedem Segment exakt eine Schaltvorrichtung zugeordnet sein, welche die Gatespannung für alle Feldeffekt-Emitternadeln dieses Segments gemeinsam regelt. Die Zuordnung umfasst insbesondere die Einrichtung der Schaltvorrichtung als Schalter für das jeweilige Segment.
  • Die Elektronenemission aus den Teilemissionsflächen kann simultan, insbesondere gleichzeitig, erfolgen. In anderen Worten kann mehr als eine Teilemissionsfläche und/oder die gesamte Emissionsfläche gleichzeitig aktiviert sein. Diejenigen aktivierten Teilemissionsflächen sind die gruppierten Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4, F5, F6. In anderen Worten bilden diejenigen Teilemissionsflächen, welche aktiviert sind, die gruppierten Teilemissionsflächen. Gruppiert bedeutet in diesem Zusammenhang insbesondere zusammengeschaltet und gleichzeitig aktiviert. Die gruppierten Teilemissionsflächen können insbesondere als Brennfleck-generierende Teilemissionsflächen bezeichnet sein.
  • Die Steuereinheit kann einen Logikbaustein umfassen. Alternativ oder zusätzlich kann die Steuereinheit eine Schaltungsanordnung umfassend eine niederohmige Zuleitung und/oder einen Widerstand und/oder eine Diode und/oder einen Kondensator und/oder einen Transistor aufweisen. In der Schaltungsanordnung sind beispielsweise die verschiedenen Gruppen und somit die jeweiligen Segmente der Gruppen fest miteinander verschaltet. Typischerweise umfasst die Steuereinheit mindestens eine Schaltvorrichtung für jedes Segment. Durch das Schalten der Schaltvorrichtung kann beispielsweise die Gatespannung an der jeweiligen Teilemissionsfläche reguliert werden. In einer vorteilhaften Ausführungsform umfasst die Steuereinheit exakt eine Schaltvorrichtung je Segment und somit maximal eine Schaltvorrichtung je Segment. Dadurch kann der Aufbau der Steuereinheit des Feldeffekt-Elektronenemitters vereinfacht sein.
  • Das Aktivieren einer Gruppe umfasst insbesondere das Aktivieren der Teilemissionsflächen dieser Gruppe für die Elektronenemission. Die Gruppen können ein einzelnes Segment der mehreren Segmente, mehr als ein Segment der mehreren Segmente oder alle Segmente umfassen. Üblicherweise unterscheidet sich die Gruppen in einer Anzahl der Segmente und/oder in den jeweils umfassten Segmenten. Es ist denkbar, dass die Gruppen in der Steuereinheit beispielsweise durch eine Anpassung von Programmcodemitteln hinsichtlich der Anzahl der Segmente und/oder der jeweils umfassten Segmente zumindest teilweise verändert werden können.
  • Eine aktivierte Gruppe verursacht in den jeweils umfassten Teilemissionsflächen eine Elektronenemission. Wenn die aktivierte Gruppe mehr als eine Teilemissionsfläche umfasst, dann verursacht die aktivierte Gruppe in den jeweils umfassten Teilemissionsflächen simultan, insbesondere gleichzeitig, die Elektronenemission.
  • Die Steuereinheit ist insbesondere dazu eingerichtet, über die Zeit verschiedene Gruppen zu aktivieren. Jede Gruppe umfasst insbesondere zumindest eine Teilemissionsfläche, welche nacheinander aktivierbar ist. Die Steuereinheit kann insbesondere gemäß einer festgelegten Abfolge die verschiedenen Gruppen aktivieren. Die Abfolge kann vorsehen, dass zu einem ersten Zeitpunkt eine erste Gruppe und zu einem zweiten Zeitpunkt nach dem ersten Zeitpunkt eine zweite Gruppe aktiviert ist. Die Abfolge kann in einem Protokoll, insbesondere in einem Emissionsprotokoll und/oder einem Bildgebungsprotokoll festgelegt sein.
  • Die Steuereinheit kann insbesondere die jeweilige Gruppe derart aktivieren, dass die aktivierten Teilemissionsflächen dieser jeweiligen Gruppe zusammenhängen. Dass die aktivierten Teilemissionsflächen zusammenhängen, bedeutet insbesondere, dass bei mehreren Segmenten in einer Gruppe diese Segmente insbesondere an einer Segmentseite flächig aneinander angrenzen und/oder dass eine Einhüllende entlang der Segmentseiten der Segmente dieser Gruppe kein Segment einer anderen Gruppe umfasst. In anderen Worten sind zusammenhängende Teilemissionsflächen einer Gruppe nicht unterbrochen von einem Segment, welches nicht Teil dieser Gruppe ist. Eine äußere Form der zusammenhängenden Teilemissionsflächen und/oder der Einhüllenden der zusammenhängenden Teilemissionsflächen kann insbesondere rund oder eckig sein. Die zusammenhängenden und gruppierten Teilemissionsflächen korrespondieren insbesondere zu einer Brennfleckabmessung.
  • Die Steuereinheit ist insbesondere dazu eingerichtet, die verschiedenen Gruppen so zu aktivieren, dass die nacheinander aktivierbaren und/oder aktivierten Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4, F5, F6 sich paarweise zu mindestens 25% überlappen. In diesem Fall ist eine Schnittmenge aus einer gruppierten Teilemissionsfläche mit einer anderen gruppierten Teilemissionsfläche ungleich null. Die Schnittmenge bildet insbesondere ein Segment mit einer Teilemissionsfläche, welche Teil der einen gruppierten Teilemissionsfläche und Teil der anderen gruppierten Teilemissionsfläche ist. Die Teilemissionsfläche der Schnittmenge umfasst insbesondere 25% der Teilemissionsfläche der einen gruppierten Teilemissionsfläche und der anderen gruppierten Teilemissionsfläche.
  • Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf ein erstes Ausführungsbeispiel des Feldeffekt-Elektronenemitters 10.
  • Die Anzahl der Segmente beträgt neun. Die Steuereinheit ist dazu eingerichtet, fünf verschiedene gruppierte Teilemissionsflächen derart zu aktivieren, dass vier gruppierte Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4 eine identische Emissionsflächenabmessung kleiner als die maximale Emissionsflächenabmessung und eine gruppierte Teilemissionsfläche F5 die maximale Emissionsflächenabmessung aufweisen. Die vier gruppierten Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4 und die gruppierte Teilemissionsfläche F5 unterscheiden sich insbesondere in einer Brennfleckabmessung aufgrund der verschiedenen Emissionsflächenabmessungen. Die vier gruppierten Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4 weisen die gleiche Emissionsflächenabmessung auf und erzeugen somit im Wesentlichen die gleiche Brennfleckabmessung. Die vier gruppierten Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4 weisen zueinander einen Versatz von 50% in mindestens einer Raumrichtung auf und sind insbesondere dafür geeignet, den Brennfleck auf der Anode springen zu lassen.
  • Fig. 3 zeigt eine Draufsicht auf ein zweites Ausführungsbeispiel des Feldeffekt-Elektronenemitters 10.
  • Die Anzahl der Segmente beträgt zehn. Die Steuereinheit ist dazu eingerichtet, sechs verschiedene gruppierte Teilemissionsflächen derart zu aktivieren, dass vier gruppierte Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4 eine identische Emissionsflächenabmessung kleiner als die maximale Emissionsflächenabmessung, eine gruppierte Teilemissionsfläche F6 die maximale Emissionsflächenabmessung und eine weitere gruppierte Teilemissionsfläche F5 eine Emissionsflächenabmessung kleiner als die maximale Emissionsflächenabmessung und größer als die Emissionsflächenabmessung der vier gruppierten Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4 aufweisen. Die vier gruppierten Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4, die gruppierte Teilemissionsfläche F6 und die weitere gruppierte Teilemissionsfläche F5 unterscheiden sich insbesondere in einer Brennfleckabmessung aufgrund der verschiedenen Emissionsflächenabmessungen. Die vier gruppierten Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4 weisen die gleiche Emissionsflächenabmessung auf und erzeugen somit im Wesentlichen die gleiche Brennfleckabmessung. Die vier gruppierten Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4 weisen zueinander einen Versatz von 50% in mindestens einer Raumrichtung auf und sind insbesondere dafür geeignet, den Brennfleck auf der Anode springen zu lassen.
  • In dieser Ausführungsform weist vorteilhafterweise ein Segment L der mehreren Segmente eine L-Form auf. Das L-Segment L grenzt mit seinen Schenkeln an zwei Seiten eines anderen Segments der mehreren Segmente an. Das L-Segment L ist derart ausgestaltet, dass das L-Segment L mit seinen Schenkeln an Seiten von mindestens drei verschiedenen Segmenten der mehreren Segmente angrenzt. In einer vorteilhaften Weiterbildung ist dem L-Segment exakt eine Schaltvorrichtung zugeordnet. In diesem Fall kann die Teilemissionsfläche des L-Segments L vorzugsweise nur gemeinsam aktiviert sein und benötigt dafür nur die exakt eine Schaltvorrichtung. Dadurch ist vorteilhafterweise der Aufbau der Steuereinheit vereinfacht.
  • Nicht gezeigt in Fig. 3 ist die Variante, bei welcher die Anzahl der Segmente elf beträgt. In diesem Fall könnte insbesondere das L-Segment L in zwei Segmente unterteilt werden, wobei eines insbesondere weiterhin L-förmig ist und ein anderes ein äußerster Teil eines Schenkels des L-Segments L ist. Diesbezüglich ist auch denkbar, dass das L-Segment L in mehr als die zwei Segmente unterteilt werden kann, wobei sich die Anzahl der Segmente entsprechend erhöhen kann.
  • Wenn die Anzahl der Segmente elf beträgt, weil insbesondere der äußerte Teil des Schenkels des L-Segments L separiert ist, kann die Steuereinheit vorzugsweise dazu eingerichtet sein, verschiedene gruppierte Teilemissionsflächen derart zu aktivieren, dass die gruppierten Teilemissionsflächen den im Wesentlichen gleichen Emissionsflächeninhalt aufweisen und sich in der Emissionsflächenform unterscheiden. Mit Verweis auf die in Fig. 3 gezeigte Variante sei diese nicht gezeigte Ausführungsform im Folgenden kurz erläutert. Hier weisen die gruppierten Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4 ebenfalls den gleichen Emissionsflächeninhalt auf. Bei entsprechender Ausgestaltung des elften Segments könnte der gleiche Emissionsflächeninhalt aktiviert sein, wenn das elfte Segment in Reihe zu den anderen Segmenten separiert ist. In anderen Worten kann die Steuereinheit dazu eingerichtet sein, eine Zeile und/oder eine Spalte der segmentierten Emissionsfläche zu aktivieren. Die Reihe der Segmente bildet in diesem Fall eine gruppierte Emissionsfläche, welche den im Wesentlichen gleichen Emissionsflächeninhalt aufweist und sich in der Emissionsflächenform gegenüber der Emissionsflächenform der gruppierten Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4 unterscheidet. Im Wesentlichen gleich kann implizieren, dass die jeweiligen Segmente eine vergleichbare, aber beispielsweise nicht identische Anzahl an Feldeffekt-Emitternadeln und/oder eine vergleichbare, aber beispielsweise nicht identische Emissionsflächenform aufweisen.
  • Fig. 4 zeigt eine Draufsicht auf ein drittes Ausführungsbeispiel des Feldeffekt-Elektronenemitters 10, ausgehend von dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1. Die gruppierten Teilemissionsflächen F1, F2 überlappen sich in diesem Ausführungsbeispiel zu mindestens 50%.
  • Fig. 5 zeigt eine Draufsicht auf ein viertes Ausführungsbeispiel des Feldeffekt-Elektronenemitters 10, ausgehend von dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1. Die Emissionsfläche 11 ist in zwei Raumrichtungen pixeliert. Die Anzahl der Pixel beträgt 2 mal 2 und kann der Anzahl der Segmente entsprechen. Die Anzahl der Pixel kann größer als vier sein.
  • Die pixelierte Emissionsfläche 11 entspricht im Wesentlichen einer Aufteilung der Emissionsfläche 11 in einer kartesischen Art. In diesem Fall ist zumindest ein Segment der mehreren Segmente rechteckig, kann insbesondere quadratisch sein. Eine Alternative ist denkbar, wobei ein Segment der mehreren Segmente mehr als vier Ecken, beispielsweise fünf oder sechs, aufweist. Die Form des Segments kann insbesondere Waben-, L-, U-, C-förmig sein. Auch eine Kreissegmentform oder runde Form ist denkbar.
  • Unabhängig von der in Fig. 5 gezeigten Anzahl an Segmenten ist die folgende Weiterbildung auch für eine andere Anzahl möglich. Eine Ausführungsform sieht vor, dass die Steuereinheit dazu eingerichtet ist, einen emittierten Elektronenstrom pro Segment je gruppierter Teilemissionsfläche F1, F2, F3, F4, F5, F6 für eine simultane asymmetrische Elektronenemission zu variieren. Die Asymmetrie bezieht sich in diesem Fall nicht auf die Emissionsflächenform. Die Asymmetrie resultiert von einer Variation der Elektronenemission pro Flächeneinheit. Die Variation der Elektronenemission erfolgt insbesondere dadurch, dass der von einer Feldeffekt-Emitternadel generierte Elektronenstrom im Vergleich zum simultan emittierten Elektronenstrom einer anderen Feldeffekt-Emitternadel variiert ist. Wie zuvor ausgeführt sind die Feldeffekt-Emitternadeln typischerweise gleichmäßig, insbesondere innerhalb jedes Segments, verteilt. In dieser vorteilhaften Ausführungsform variiert die Elektronenemission pro Flächeneinheit beispielsweise also dadurch, dass alle Feldeffekt-Emitternadeln eines Segments einen höheren Elektronenstrom generieren als alle Feldeffekt-Emitternadeln eines anderen Segments. Somit entsteht die asymmetrische Elektronenemission. Es ist denkbar, dass mehrere Segmente einen erhöhten Elektronenstrom aufweisen. Die Amplitude des Elektronenstroms kann insbesondere durch die Amplitude der Gatespannung eingestellt sein.
  • Fig. 6 zeigt eine erfindungsgemäße Röntgenröhre 20 in einem Querschnitt.
  • Die Röntgenröhre 20 weist einen Feldeffekt-Elektronenemitter 10, eine Anode 21 zur Generierung von Röntgenstrahlen in Abhängigkeit von eintreffenden Elektronen und ein evakuiertes Gehäuse 22 auf. Der Feldeffekt-Elektronenemitter 10 und die Anode 21 sind innerhalb des evakuierten Gehäuses 22 angeordnet. Der Feldeffekt-Elektronenemitter 10 generiert bei der simultanen Elektronenemission aus den jeweiligen aktivierten Teilemissionsflächen insbesondere jene Elektronen, welche auf der Anode 21 eintreffen. Die Anode 21 kann insbesondere eine Drehanode oder Stehanode sein. Grundsätzlich ist es denkbar, dass die Röntgenröhre als Drehkolbenröntgenröhre ausgebildet ist, wobei sich die Anode gemeinsam mit dem Gehäuse der Röntgenröhre dreht.
  • Vorteilhafterweise herrscht zwischen der Anode 21 und dem Feldeffekt-Elektronenemitter 10 ausschließlich ein zur Beschleunigung der emittierten Elektronen angelegtes Feld. In anderen Worten weist die Röntgenröhre 20 keine Ablenkungseinheit zum Ablenken oder Fokussieren der emittierten Elektronen auf. In diesem Fall wird typischerweise eine Emissionsflächenabmessung des Feldeffekt-Elektronenemitters 10 direkt, sprich 1 zu 1 auf der Anode 21 abgebildet. Herkömmliche Ablenkungseinheiten erzeugen elektrostatische und/oder elektromagnetische Felder zur Ablenkung und/oder Fokussierung der Elektronen, wobei solche herkömmlichen Felder bei der erfindungsgemäßen Röntgenröhre vorteilhafterweise das zur Beschleunigung der emittierten Elektronen angelegte Feld nicht überlagern (können). Das zur Beschleunigung angelegte Feld kann von der Beschleunigungsspannung zwischen der Anode 21 und dem Feldeffekt-Elektronenemitter 10 ausgehen oder von mittels einer Hochfrequenzquelle erzeugten Hochfrequenzwellen.
  • Die mittels der Anode 21 generierten Röntgenstrahlen können insbesondere für eine medizinische oder industrielle Anwendung vorgesehen sein. Die medizinische Anwendung umfasst insbesondere eine diagnostische Bildgebung, insbesondere eine Computertomographie, eine Angiographie und/oder eine Mammographie. Die medizinische Anwendung kann alternativ oder zusätzlich eine Therapie umfassen. Die industrielle Anwendung umfasst insbesondere eine Werkstoffprüfung.
  • Vorteilhafterweise ist die die Steuereinheit des Feldeffekt-Elektronenemitters 10 dazu eingerichtet ist, durch das abwechselnde Aktivieren zumindest zweier gruppierter Teilemissionsflächen F1, F2, F3, F4 mit identischer Emissionsflächenabmessung einen Brennfleck auf der Anode 21 springen zu lassen und/oder durch das abwechselnde Aktivieren zumindest zweier gruppierter Teilemissionsflächen F1, F5, F6 mit verschiedener Emissionsflächenabmessung einen Brennfleck auf der Anode 21 in seiner Größe zu verändern.
  • Obwohl die Erfindung im Detail durch die bevorzugten Ausführungsbeispiele näher illustriert und beschrieben wurde, so ist die Erfindung dennoch nicht durch die offenbarten Beispiele eingeschränkt und andere Variationen können vom Fachmann hieraus abgeleitet werden, ohne den Schutzumfang der Erfindung zu verlassen.

Claims (15)

  1. Feldeffekt-Elektronenemitter (10), aufweisend
    - eine segmentierte Emissionsfläche (11), wobei die Emissionsfläche (11) eine Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln und mehrere Segmente mit je einer aktivierbaren Teilemissionsfläche aufweist, wobei sich die Vielzahl an Feldeffekt-Emitternadeln auf die Teilemissionsflächen verteilt, und
    - eine Steuereinheit, welche dazu eingerichtet ist, verschiedene Gruppen mit mindestens einem der mehreren Segmente derart für eine simultane Elektronenemission aus den jeweiligen Teilemissionsflächen zu aktivieren, dass sich die nacheinander aktivierbaren, zusammenhängenden und gruppierten Teilemissionsflächen (F1, F2, F3, F4, F5, F6) paarweise zu mindestens 25% überlappen.
  2. Feldeffekt-Elektronenemitter (10) nach Anspruch 1,
    wobei die Anzahl der Segmente neun beträgt.
  3. Feldeffekt-Elektronenemitter (10) nach Anspruch 2,
    wobei die Steuereinheit dazu eingerichtet ist, fünf verschiedene gruppierte Teilemissionsflächen derart zu aktivieren, dass vier gruppierte Teilemissionsflächen (F1, F2, F3, F4) eine identische Emissionsflächenabmessung kleiner als die maximale Emissionsflächenabmessung und eine gruppierte Teilemissionsfläche (F5) die maximale Emissionsflächenabmessung aufweisen.
  4. Feldeffekt-Elektronenemitter (10) nach Anspruch 1,
    wobei die Anzahl der Segmente zehn oder elf beträgt.
  5. Feldeffekt-Elektronenemitter (10) nach Anspruch 4,
    wobei die Steuereinheit dazu eingerichtet ist, sechs verschiedene gruppierte Teilemissionsflächen derart zu aktivieren, dass vier gruppierte Teilemissionsflächen (F1, F2, F3, F4) eine identische Emissionsflächenabmessung kleiner als die maximale Emissionsflächenabmessung, eine gruppierte Teilemissionsfläche (F6) die maximale Emissionsflächenabmessung und eine weitere gruppierte Teilemissionsfläche (F5) eine Emissionsflächenabmessung kleiner als die maximale Emissionsflächenabmessung und größer als die Emissionsflächenabmessung der vier gruppierten Teilemissionsflächen (F1, F2, F3, F4) aufweisen.
  6. Feldeffekt-Elektronenemitter (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
    wobei die Steuereinheit dazu eingerichtet ist, verschiedene gruppierte Teilemissionsflächen derart zu aktivieren, dass die gruppierten Teilemissionsflächen (F1, F2, F3, F4, F5, F6) den im Wesentlichen gleichen Emissionsflächeninhalt aufweisen und sich in der Emissionsflächenform unterscheiden.
  7. Feldeffekt-Elektronenemitter (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
    wobei die Steuereinheit dazu eingerichtet ist, einen emittierten Elektronenstrom pro Segment je gruppierter Teilemissionsfläche (F1, F2, F3, F4, F5, F6) für eine simultane asymmetrische Elektronenemission zu variieren.
  8. Feldeffekt-Elektronenemitter (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
    wobei die gruppierten Teilemissionsflächen (F1, F2, F3, F4, F5) sich zu mindestens 50% überlappen.
  9. Feldeffekt-Elektronenemitter (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
    wobei ein Segment (L) der mehreren Segmente eine L-Form aufweist und wobei das L-Segment (L) mit seinen Schenkeln an zwei Seiten eines anderen Segments der mehreren Segmente angrenzt.
  10. Feldeffekt-Elektronenemitter (10) nach Anspruch 9,
    wobei das L-Segment (L) derart ausgestaltet ist, dass das L-Segment (L) mit seinen Schenkeln an Seiten von mindestens drei verschiedenen Segmenten der mehreren Segmente angrenzt.
  11. Feldeffekt-Elektronenemitter (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
    wobei jedem Segment exakt eine Schaltvorrichtung zugeordnet ist.
  12. Röntgenröhre (20), aufweisend
    - einen Feldeffekt-Elektronenemitter (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
    - eine Anode (21) zur Generierung von Röntgenstrahlen in Abhängigkeit von eintreffenden Elektronen und
    - ein evakuiertes Gehäuse (22),
    wobei der Feldeffekt-Elektronenemitter (10) und die Anode (21) innerhalb des evakuierten Gehäuses (22) angeordnet sind.
  13. Röntgenröhre (20) nach Anspruch 12,
    wobei zwischen der Anode (21) und dem Feldeffekt-Elektronenemitter (10) ausschließlich ein zur Beschleunigung der emittierten Elektronen angelegtes Feld vorherrscht.
  14. Röntgenröhre (20) nach Anspruch 12 oder 13,
    wobei die Steuereinheit des Feldeffekt-Elektronenemitters (10) dazu eingerichtet ist, durch das abwechselnde Aktivieren zumindest zweier gruppierter Teilemissionsflächen (F1, F2, F3, F4) mit identischer Emissionsflächenabmessung einen Brennfleck auf der Anode (21) springen zu lassen.
  15. Röntgenröhre (20) nach einem der Ansprüche 12 bis 14,
    wobei die Steuereinheit des Feldeffekt-Elektronenemitters (10) dazu eingerichtet ist, durch das abwechselnde Aktivieren zumindest zweier gruppierter Teilemissionsflächen (F1, F2, F3, F4, F5, F6) mit verschiedener Emissionsflächenabmessung einen Brennfleck auf der Anode (21) in seiner Größe zu verändern.
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