EP3122463B1 - Procédé pour fragmenter un matériau en forme de barre, en particulier en silicium polycristallin - Google Patents

Procédé pour fragmenter un matériau en forme de barre, en particulier en silicium polycristallin Download PDF

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EP3122463B1
EP3122463B1 EP14717391.8A EP14717391A EP3122463B1 EP 3122463 B1 EP3122463 B1 EP 3122463B1 EP 14717391 A EP14717391 A EP 14717391A EP 3122463 B1 EP3122463 B1 EP 3122463B1
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EP
European Patent Office
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rod
electrode arrangement
high voltage
electrodes
generating
Prior art date
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EP14717391.8A
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EP3122463A1 (fr
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Johannes KÄPPELER
Alexander WEH
Jürgen KALKE
Reinhard MÜLLER-SIEBERT
Joël KOLLY
Marion Esther MORACH
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Selfrag AG
Original Assignee
Selfrag AG
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B02—CRUSHING, PULVERISING, OR DISINTEGRATING; PREPARATORY TREATMENT OF GRAIN FOR MILLING
    • B02C—CRUSHING, PULVERISING, OR DISINTEGRATING IN GENERAL; MILLING GRAIN
    • B02C19/00—Other disintegrating devices or methods
    • B02C19/18—Use of auxiliary physical effects, e.g. ultrasonics, irradiation, for disintegrating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B02—CRUSHING, PULVERISING, OR DISINTEGRATING; PREPARATORY TREATMENT OF GRAIN FOR MILLING
    • B02C—CRUSHING, PULVERISING, OR DISINTEGRATING IN GENERAL; MILLING GRAIN
    • B02C19/00—Other disintegrating devices or methods
    • B02C19/18—Use of auxiliary physical effects, e.g. ultrasonics, irradiation, for disintegrating
    • B02C2019/183—Crushing by discharge of high electrical energy

Definitions

  • the invention relates to a method for fragmenting a rod-like material, in particular of polycrystalline silicon, a system for carrying out the method and a use of the system according to the preambles of the independent claims.
  • the Siemens method is predominantly used. This process produces polycrystalline silicon rods with thicknesses in the range between 100 mm and 150 mm, which must be broken into small pieces for use in the crystal furnaces.
  • the pieces should preferably have a size between 10 mm and 30 mm, not less than 2 mm may be and also should not be needle-shaped, as this has a negative effect on the flow properties. Due to the special crystalline structure of silicon breaking of silicon rods into such a fraction with the largest possible uniform size and shape is very difficult.
  • the high-purity base material must not be contaminated when it is broken by contact with foreign material. Contamination of the material with foreign substances, especially metals, is critical and should be below 5 ppb, better still below 2 ppb.
  • a first aspect of the invention relates to a method of fragmenting a rod-like material, preferably a semiconductor material, e.g. polycrystalline silicon.
  • an electrode arrangement with two or more electrodes is arranged in the region of a portion of the rod-like material to be fragmented, immersed in a process fluid, preferably water, such that the electrodes are immersed in the process fluid and both at a distance from each other and to the rod-like material exhibit.
  • These distances are chosen such that can be generated by the rod-like material and / or along the surface of the rod-like material by applying high voltage pulses to the electrode assembly in the region of these electrodes Hochwoods screwoeuvre.
  • the size of these distances depends on the conductivity of the process fluid, the conductivity of the rod-like material and from the height of the high-voltage pulses. Suitable distances can be determined by the skilled person for the respective operating situation by simple trial and error.
  • the electrode assembly is subjected to high voltage pulses, so that there is high voltage breakdowns through the rod-like material and / or along the surface of the rod-like material in the region of the electrodes.
  • high voltage breakdowns a relative movement in the longitudinal direction of the rod-like material between the electrode assembly and the rod-like material is generated, whereby the location of the high voltage breakdowns by the rod-like material and / or along the surface of the rod-like material changes progressively in the longitudinal direction of the rod-like material.
  • the rod-like material is completely immersed in the process fluid during fragmentation. It advantageously has a substantially horizontal position.
  • rod-like material is taken during fragmentation in an upwardly open trough or dish-like container and the fragments resulting from its fragmentation are collected in this container and transported away after complete fragmentation with this container.
  • the method can be carried out in industrial batch mode with relatively simple systems without complex transport devices.
  • the rod-like material when fragmented, is immersed in the process fluid with one end and preferably has an oblique position in which the lower end of the rod-like material is immersed in the process fluid.
  • the relative movement between the electrode assembly and the rod-like material is generated at least in part by displacing the rod-like material in its longitudinal direction.
  • the electrode arrangement in order to produce the relative movement between the electrode arrangement and the rod-like material, the electrode arrangement is displaced in the longitudinal direction of the rod-like material.
  • one or the other variant or a combination of the two variants may be particularly preferred.
  • the electrode arrangement is displaced in the longitudinal direction of the rod-like material together with a high-voltage generator generating the high-voltage pulses. This can be dispensed with a complex movable coupling of the electrode assembly to the high voltage generator.
  • rod-like material when fragmenting an oblique or preferably horizontal position and the electrodes of the electrode assembly are arranged above the rod-like material, with advantage substantially centered with respect to the Longitudinal axis of the rod-like material, so a particularly uniform fragmentation result can be achieved.
  • the electrodes of the electrode assembly are preferably arranged such that the distance of the respective electrode to the surface of the rod-like material is in each case in the range of 2 mm to 40 mm and the distance between the electrodes in the range between 40 mm and 100 mm. Distances in these areas have proven to be particularly suitable.
  • the electrode arrangement is preferably subjected to high-voltage pulses in the range between 100 KV and 300 KV, in particular in the range between 150 KV and 200 KV.
  • the high voltage pulses preferably have a power per pulse between 300 joules and 1000 joules, in particular between 500 joules and 750 joules.
  • the application of the high-voltage pulses to the electrode arrangement for generating the high-voltage breakdowns through the rod-like material and / or along the surface of the rod-like material preferably takes place at pulse frequencies in the range between 0.5 Hz and 40 Hz, in particular in the range between 1 Hz and 5 Hz.
  • the relative movement between the electrode arrangement and the rod-like material and / or the application of high-voltage pulses to the electrode arrangement preferably takes place in such a way that 0.5 to 1.0 pulses, in particular 0.1 to 2.0 pulses, are applied to the electrode arrangement per millimeter of relative movement.
  • the area between the electrodes of the electrode assembly and the rod-like material which is flooded with process fluid is preferably purged with process liquid. In this way, fine material can be removed from the process zone and a consistent quality of the process fluid present in the process zone can be ensured, which is conducive to stable process control.
  • the at least two electrodes of the electrode arrangement for generating the high-voltage breakdowns by the rod-like material and / or along the surface of the rod-like material are simultaneously exposed to pulses with different potentials not equal to the ground potential.
  • one or the other variant may be more preferable.
  • a second aspect of the invention relates to a plant for carrying out the process according to the first aspect of the invention.
  • the plant comprises a process space, which can be filled with a process fluid, preferably water, and in which the rod-like material or a portion thereof can be arranged such that the rod-like material or the portion of the rod-like material with Process fluid filled process space is surrounded by process fluid.
  • a process fluid preferably water
  • the system comprises an electrode arrangement with at least two electrodes, which can be arranged in the region of the rod-like material or this portion of the rod-like material in process space filled with process fluid and intended to receive the rod-like material or the portion of the rod-like material for the intended operation. that the electrodes are immersed in the process fluid and at a distance from each other and each have a distance to the rod-like material, which distances allow it during normal operation by applying high voltage pulses to the electrode assembly in the region of these electrodes high voltage breakdowns through the rod-like material and / or along to produce the surface of the rod-like material.
  • these distances depend on the conductivity of the process fluid, the conductivity of the rod-like material and the height of the high voltage pulses. Suitable distances can be determined for the respective operating situation by a person skilled in the art by simple trial and error.
  • the system further comprises means for applying high voltage pulses to the electrode assembly to generate the high voltage breakdowns through the rod-like material and / or along the surface of the rod-like material, and means for producing relative longitudinal movement of the rod-like material between the electrode assembly and the rod-like material during production the high voltage breakdowns in the normal operation, such that the location of the high voltage breakdowns by the rod-like material and / or along the surface of the rod-like material in the longitudinal direction of this material is progressively changed, wherein the rod-like Material is in each case surrounded by process fluid and the electrodes are immersed in this location in each case in the process fluid.
  • the method according to the first aspect of the invention can be carried out in a simple manner.
  • the system comprises a device for receiving the rod-like material, preferably an upwardly open trough or dish-like container for receiving the rod-like material.
  • a device for receiving the rod-like material preferably an upwardly open trough or dish-like container for receiving the rod-like material.
  • the rod-like material can be kept completely surrounded by process liquid in the intended operation in the process chamber, preferably in a horizontal position.
  • the system is also preferably designed such that this tub-like or shell-like container can be removed from the system after the intended fragmentation operation together with the fragmentation of the rod-like material contained therein.
  • the system comprises a device for receiving the rod-like material, with which the rod-like can be held such that it is immersed in the process space with one end in the process fluid, in particular such that it has an inclined position and its lower end is immersed in the process fluid in the process space.
  • the means for generating a relative movement between the electrode assembly and the rod-like material are formed in a preferred embodiment of the system for displacement of the rod-like material along its longitudinal axis.
  • these means are designed for displacement of the electrode arrangement along the longitudinal axis of the rod.
  • one or the other variant or a combination of the two variants may be particularly preferred.
  • the means for applying high-voltage pulses to the electrode arrangement comprise a high-voltage pulse generator and the means for producing a relative movement between the electrode arrangement and the rod-like material are designed to displace the electrode arrangement together with the high-voltage pulse generator along the longitudinal axis of the rod-like material. This can be dispensed with a complex movable coupling of the electrode assembly to the high voltage generator.
  • the system is designed such that the at least two electrodes of the electrode assembly can be arranged as intended above the rod-like material, advantageously substantially centered with respect to the longitudinal axis of the rod-like material.
  • the at least two electrodes of the electrode assembly can be arranged as intended above the rod-like material, advantageously substantially centered with respect to the longitudinal axis of the rod-like material.
  • the electrodes of the electrode arrangement can advantageously be arranged in such a way that the distance between the electrodes and the surface of the rod-like material is in the range from 2 mm to 40 mm and the distance between the electrodes is in the range between 40 mm and 100 mm. Such distances have proven to be particularly suitable.
  • the system has means for particular automated adjustment of the respective distance of the electrodes to the rod-like material, preferably for setting the respective distance during the intended operation of the system.
  • the means for applying high-voltage pulses to the electrode arrangement are advantageously designed to subject the electrode arrangement with high-voltage pulses in the range between 100 KV and 300 KV, in particular in the range between 150 KV and 200 KV, with a power per pulse in the range between 300 Joules and 1000 Joules , in particular between 500 Joule and 750 Joule and with a pulse frequency in the range between 0.5 Hz and 40 Hz, in particular between 1 Hz and 5 Hz.
  • the means for generating a relative movement in the longitudinal direction of the rod-like material between the electrode assembly and the rod-like material or the means for acting on the electrode assembly with high-voltage pulses are designed such that in Fragment michs congress the electrode assembly per millimeter relative movement with 0.5 to 1.0 Pulses, in particular with 0.1 to 2.0 pulses can be applied. Such pulse rates per mm relative movement have proven to be particularly suitable.
  • the system comprises means for purging the region between the electrodes of the electrode assembly and the rod-like material with process liquid during the fragmentation operation.
  • Such means comprise, for example, one or more feed nozzles, via which fresh or treated process liquid can be injected into the region between the electrodes and the rod-like material. This will make it possible To remove fine particles from this area and to keep the electrical conductivity of the process fluid constant in this area, which promotes stable process control.
  • the at least two electrodes of the electrode arrangement for generating the high-voltage breakdowns by the rod-like material and / or along the surface of the rod-like material can be acted upon simultaneously with pulses with different potentials than the ground potential.
  • one or the other embodiment may be more preferable.
  • the system according to the invention has a system control, by means of which, preferably during the fragmentation operation, the energy of the high-voltage pulses, the frequency of the high-voltage pulses, the relative speed between the electrode arrangement and the rod-like material, the distance between the electrodes and the rod-like Material and / or certain system parameters, preferably automated, adjusted and / or can be controlled, with advantage depending on determined in normal operation plant and / or process parameters.
  • a third aspect of the invention relates to the use of the plant according to the second aspect of the invention for fragmenting rods of semiconductor material, preferably of polycrystalline silicon. With such use of the system, the advantages of the invention are particularly evident.
  • FIG. 1 This shows a section through a part of an inventive system.
  • Fig. 1 shows a part of an inventive plant for the fragmentation of polycrystalline silicon rods 1 according to the method according to the first aspect of the invention in a section transverse to the longitudinal direction of a therein arranged to be fragmented silicon rod.
  • the system has a basin 9 extending in the longitudinal direction of the silicon rod 1, which forms a process space 8 according to the claims, which is filled with a process fluid 2, in the present case water 2.
  • the silicon rod to be fragmented is 1. It has a horizontal position and is completely made of process fluid 2 surrounded.
  • the trough-like container 7 is formed in such a way and stored in the process space 8 that it can be removed from the process space 8 after complete fragmentation of the silicon rod 1 together with the resulting fragments of the silicon rod 1, which are then arranged as a loose bed of material therein.
  • the system comprises an electrode arrangement 4 with two electrodes 5, 6, which are arranged substantially centered with respect to the longitudinal axis of the silicon rod 1 above the same.
  • the two electrodes 5, 6 are immersed in the process fluid 2 and the left-hand electrode 5 is subjected to high-voltage pulses in the fragmentation mode by a high-voltage pulse generator (not shown) which likewise belongs to the system. while the right electrode 6 is grounded.
  • the two electrodes 5, 6 have a significantly greater distance from each other than in each case with respect to the silicon rod 1. These distances are selected such that upon application of the high voltage pulse generator with high voltage pulses in the region of these electrodes 5, 6 high voltage breakdowns through the silicon rod.
  • the diameter of the silicon rod 1 is about 120 mm, its length is about 2 m.
  • the distances between the electrodes 5, 6 to the surface of the silicon rod 1 are about 8 mm.
  • the distance between the electrodes 5, 6 to each other is about 60 mm.
  • the high-voltage pulses that can be generated by the high-voltage pulse generator have a voltage of approximately 200 KV and are generated at a pulse frequency of 5 Hz.
  • the power per pulse is about 700 joules.
  • the electrode arrangement 4 when generating the high-voltage breakdowns together with the high-voltage pulse generator, the electrode arrangement 4 is movable along a sliding carriage (not shown) in the longitudinal direction of the silicon rod 1, so that the location of the high-voltage breakdowns through the silicon rod 1 or along the surface of the silicon rod 1 in the longitudinal direction the same progressively changed, without causing the distances of the electrodes 5, 6 are substantially changed to the silicon rod 1.
  • the electrode assembly 4 is at a speed in the range between 6 mm and 10 mm per second along the silicon rod 1.
  • the system also includes a system control, by means of which the distance between the electrodes 5, 6 and the silicon rod 1 and the travel speed of the electrode assembly 4 can be adjusted during the fragmentation operation.

Landscapes

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Claims (35)

  1. Procédé de fragmentation d'un matériau en forme de barre (1), particulièrement constitué d'un matériau semi-conducteur, particulièrement constitué d'un silicium polycristallin, comprenant les étapes:
    a) de fournir une section (3) du matériau en forme de barre (1) entourée par un fluide de processus (2), particulièrement de l'eau (2);
    b) d'arranger un agencement d'électrodes (4) comprenant au moins deux électrodes (5, 6) dans la région de cette section (3) de sorte que les au moins deux électrodes (5, 6) sont immergés dans le fluide de processus (2) et que chacun est à une distance du matériau en forme de barre (1); et
    c) de générer des décharges de haute tension à travers le matériau en forme de barre (1) et/ou le long de la surface du matériau en forme de barre (1) dans la région des deux électrodes (5, 6) en appliquant des pulses de haute tension à l'agencement d'électrodes (4),
    pendant la génération des décharges de haute tension un mouvement relatif dans la direction longitudinale du matériau en forme de barre (1) étant généré entre l'agencement d'électrodes et le matériau en forme de barre (1) de sorte que la position des décharges de haute tension à travers le matériau en forme de barre (1) et/ou le long de la surface du matériau en forme de barre (1) change progressivement dans la direction longitudinale du matériau en forme de barre (1).
  2. Procédé selon la revendication 1, le matériau en forme de barre (1) étant fourni de manière complètement immergée dans le fluide de processus (2), et particulièrement le matériau en forme de barre (1) ayant par cela une position horizontale.
  3. Procédé selon la revendication 2, le matériau en forme de barre (1), particulièrement dans la position horizontale, étant prévu dans un récipient (7) qui est ouvert vers le haut et qui a une forme de tube ou d'enveloppe, et les fragments du matériau en forme de barre (1) qui sortent de la fragmentation après la fragmentation du matériau en forme de barre (1) étant transportés avec ce récipient en forme de tube ou d'enveloppe (7) à partir de la position de la fragmentation jusqu'à une autre position.
  4. Procédé selon la revendication 1, le matériau en forme de barre étant fourni de manière immergée avec une extrémité dans le fluide de processus, et particulièrement le matériau en forme de barre ayant par cela une position inclinée et l'extrémité inférieure du matériau en forme de barre étant immergée dans le fluide de processus.
  5. Procédé selon l'une des revendications précédentes, le matériau en forme de barre étant déplacé dans sa direction longitudinale afin de générer le mouvement relatif entre l'agencement d'électrodes et le matériau en forme de barre.
  6. Procédé selon l'une des revendications précédentes, l'agencement d'électrodes (4) étant déplacé dans la direction longitudinale du matériau en forme de barre (1) afin de générer le mouvement relatif entre l'agencement d'électrodes (4) et le matériau en forme de barre (1).
  7. Procédé selon la revendication 6, l'agencement d'électrodes (4) ensemble avec un générateur de haute tension qui génère les pulses de haute tension étant déplacé dans la direction longitudinale du matériau en forme de barre (1).
  8. Procédé selon l'une des revendications précédentes, le matériau en forme de barre (1) étant fourni dans une position inclinée ou horizontale et les au moins deux électrodes (5, 6) de l'agencement d'électrodes (4) étant arrangés au-dessus du matériau en forme de barre (1), particulièrement essentiellement de manière centrée par rapport à l'axe longitudinal du matériau en forme de barre (1).
  9. Procédé selon l'une des revendications précédentes, les au moins deux électrodes (5, 6) de l'agencement d'électrodes (4) étant arrangés de sorte que la distance entre les électrodes (5, 6) et la surface du matériau en forme de barre (1) est comprise chacune dans la gamme entre 2 mm et 40 mm et la distance entre les électrodes (5, 6) est comprise dans la gamme entre 40 mm et 100 mm.
  10. Procédé selon l'une des revendications précédentes, des pulses de haute tension étant appliqués à l'agencement d'électrodes (4) dans la gamme entre 100 KV et 300 KV, particulièrement dans la gamme entre 150 KV et 200 KV, afin de générer les décharges de haute tension à travers le matériau en forme de barre (1) et/ou le long de la surface du matériau en forme de barre (1).
  11. Procédé selon l'une des revendications précédentes, les pulses des haute tension étant appliqués à l'agencement d'électrodes (4) avec une puissance par pulse comprise entre 300 Joules et 1000 Joules, particulièrement entre 500 Joules et 750 Joules, afin de générer les décharges de haute tension à travers le matériau en forme de barre (1) et/ou le long de la surface du matériau en forme de barre (1).
  12. Procédé selon l'une des revendications précédentes, les fréquences des pulses de haute tension dans la gamme entre 0.5 Hz et 40 Hz, particulièrement dans la gamme entre 1 Hz et 5 Hz, étant appliquées à l'agencement d'électrodes (4) afin de générer les décharges de haute tension à travers le matériau en forme de barre (1) et/ou le long de la surface du matériau en forme de barre (1).
  13. Procédé selon l'une des revendications précédentes, le mouvement relatif entre l'agencement d'électrodes (4) et le matériau en forme de barre (1) et/ou l'application des pulses de haute tension à l'agencement d'électrodes (4) se déroulant de sorte que 0.5 à 1.0 puises, particulièrement 0.1 à 2.0 puises, par millimètre de mouvement relatif sont appliqués à l'agencement d'électrodes (4).
  14. Procédé selon l'une des revendications précédentes, la région entre les électrodes (5, 6) de l'agencement d'électrodes (4) et le matériau en forme de barre (1) étant rincée avec du liquide de processus (2).
  15. Procédé selon l'une des revendications précédentes, les pulses de haute tension étant appliqués au premier (5) des au moins deux électrodes (5, 6) de l'agencement d'électrodes (4), afin de générer les décharges de haute tension à travers le matériau en forme de barre (1) et/ou le long de la surface du matériau en forme de barre (1), pendant qu'une deuxième (6) de ces électrodes (5, 6) étant à un potentiel fixé, particulièrement à terre.
  16. Procédé selon l'une des revendications 1 à 14, des pulses avec des potentiels différents qui ne sont pas égaux au potentiel de la terre étant simultanément appliqués aux au moins deux électrodes de l'agencement d'électrodes afin de générer les décharges de haute tension à travers le matériau en forme de barre et/ou le long de la surface du matériau en forme de barre.
  17. Equipement pour exécuter le procédé selon l'une des revendications précédentes, comprenant:
    a) une chambre de processus (8) qui peut être remplie d'un fluide de processus (2), particulièrement de l'eau (2), pour recevoir le matériau en forme de barre (1) ou une section du matériau en forme de barre (1) de sorte que le matériau en forme de barre (1) ou la section (3) du matériau en forme de barre (1) est entourée par un fluide de processus (2) quand la chambre de processus (8) est remplie de fluide (2);
    b) un agencement d'électrodes (4) comprenant au moins deux électrodes (5, 6) qui peuvent être arrangés comme prévu dans la région du matériau en forme de barre (1) ou de la section (3) du matériau en forme de barre (1), quand la chambre de processus (8) est remplie du fluide de processus (2) et comme prévu reçoit le matériau en forme de barre (1) ou la section (3) du matériau en forme de barre, de sorte que les au moins deux électrodes (5, 6) sont immergés dans le fluide de processus (2) et sont par conséquent à une distance du matériau en forme de barre (1), la distance permettant de générer, pendant l'opération comme prévu, des décharges de haute tension à travers le matériau en forme de barre (1) et/ou le long de la surface du matériau en forme de barre (1) dans la région de ces électrodes (5, 6) en appliquant les pulses de haute tension à l'agencement d'électrodes (4);
    c) des moyens pour appliquer des pulses de haute tension à l'agencement d'électrodes (4) afin de générer des décharges de haute tension à travers le matériau en forme de barre (1) et/ou le long de la surface du matériau en forme de barre (1); et
    d) des moyens pour générer un mouvement relatif dans la direction longitudinale du matériau en forme de barre (1) entre l'agencement d'électrodes et le matériau en forme de barre (1), pendant la génération des décharges de haute tension en opération comme prévu, de sorte que la position des décharges de haute tension à travers le matériau en forme de barre (1) et/ou le long de la surface du matériau en forme de barre (1) change progressivement en direction longitudinale du matériau en forme de barre (1), le matériau en forme de barre (1) étant en tout cas entouré dans cette position par du fluide de processus (2) et les électrodes (5, 6) étant en tout cas immergés dans le fluide de processus (2) dans cette position.
  18. Equipement selon la revendication 17, l'équipement ayant un arrangement (7) pour recevoir le matériau en forme de barre (1), particulièrement un récipient (7) pour recevoir le matériau en forme de barre (1) qui est ouvert vers le haut et qui a une forme de tube ou d'enveloppe, à l'aide duquel le matériau en forme de barre (1) est complètement entouré par du liquide de processus (2) dans la chambre de processus (8) pendant l'opération comme prévu, particulièrement de sorte que le matériau en forme de barre (1) a par cela une position horizontale.
  19. Equipement selon la revendication 18, le récipient (7) pour recevoir le matériau en forme de tube ou d'enveloppe pouvant être enlevé de l'équipement ensemble avec les fragments du matériau en forme de barre (1) sorties de la fragmentation.
  20. Equipement selon la revendication 17, l'équipement ayant un agencement pour recevoir le matériau en forme de barre (1), à l'aide duquel le matériau en forme de barre (1) peut être fourni de manière immergée avec une extrémité dans le fluide de processus dans la chambre de processus, particulièrement de sorte qu'il a par cela une position inclinée et son extrémité inférieure est immergée dans le fluide de processus dans la chambre de processus.
  21. Equipement selon l'une des revendications 17 à 20, les moyens pour générer un mouvement relatif entre l'agencement d'électrodes le matériau en forme de barre étant conçus pour déplacer le matériau en forme de barre dans sa direction longitudinale.
  22. Equipement selon l'une des revendications 17 à 21, les moyens pour générer un mouvement relatif entre l'agencement d'électrodes (4) et le matériau en forme de barre étant conçus pour déplacer l'agencement d'électrodes (4) dans la direction longitudinale du matériau en forme de barre (1).
  23. Equipement selon la revendication 22, les moyens pour appliquer des pulses de haute tension à l'agencement d'électrodes (4) comprenant un générateur de haute tension et les moyens pour générer un mouvement relatif entre l'agencement d'électrodes le matériau en forme de barre (1) étant conçus pour déplacer l'agencement d'électrodes (4) ensemble avec le générateur de haute tension le long de l'axe longitudinal du matériau en forme de barre (1).
  24. Equipement selon l'une des revendications 17 à 23, les au moins deux électrodes (5, 6) de l'agencement d'électrodes (4) pouvant être arrangés comme prévu au-dessus du matériau en forme de barre (1), particulièrement essentiellement de manière centrée par rapport à l'axe longitudinal du matériau en forme de barre (1).
  25. Equipement selon l'une des revendications 17 à 24, les au moins deux électrodes (5, 6) de l'agencement d'électrodes (4) pouvant être arrangés comme prévu de sorte que la distance des électrodes (5, 6) à la surface du matériau en forme de barre (1) est comprise chacune dans la gamme entre 2 mm et 40 mm et la distance entre les électrodes (5, 6) est comprise dans la gamme entre 40 mm et 100 mm.
  26. Equipement selon l'une des revendications 17 à 25, l'équipement comprenant des moyens pour ajuster, particulièrement automatiquement, la distance entre les électrodes (5, 6) et le matériau en forme de barre (1), particulièrement pour l'ajuster pendant l'opération comme prévu de l'équipement.
  27. Equipement selon l'une des revendications 17 à 26, les moyens pour appliquer des pulses de haute tension à l'agencement d'électrodes (4) étant conçus pour appliquer des décharges de haute tension à l'agencement d'électrodes (4) dans la gamme entre 100 KV et 300 KV, particulièrement dans la gamme entre 150 KV et 200 KV.
  28. Equipement selon l'une des revendications 17 à 27, les moyens pour appliquer des pulses de haute tension à l'agencement d'électrodes (4) étant conçus pour appliquer des pulses de haute tension à l'agencement d'électrodes (4) avec une puissance par pulse comprise entre 300 Joules et 1000 Joules, particulièrement entre 500 Joules et 750 Joules.
  29. Equipement selon l'une des revendications 17 à 28, les moyens pour appliquer des pulses de haute tension à l'agencement d'électrodes (4) étant conçus pour appliquer des pulses de haute tension à l'agencement d'électrodes (4) avec une fréquence comprise entre 0.5 Hz et 40 Hz, particulièrement dans la gamme entre 1 Hz et 5 Hz.
  30. Equipement selon l'une des revendications 15 à 27, les moyens pour générer un mouvement relatif dans la direction longitudinale du matériau en forme de barre (1) entre l'agencement d'électrodes le matériau en forme de barre (1) et/ou les moyens pour appliquer des pulses de haute tension à l'agencement d'électrodes (4) étant conçus de sorte que 0.5 à 1.0 puises, particulièrement 0.1 à 2.0 puises, peuvent être appliqués par millimètre de mouvement relatif à l'agencement d'électrodes (4) en opération comme prévu.
  31. Equipement selon l'une des revendications 17 à 30, des moyens étant prévus pour rincer la région entre les électrodes (5, 6) de l'agencement d'électrodes (4) et le matériau en forme de barre (1) avec du liquide de processus (2) en opération comme prévu.
  32. Equipement selon l'une des revendications 17 à 31, les pulses de haute tension pouvant être appliqués à une premier des au moins deux électrodes (5, 6) de l'agencement d'électrodes (4), pendant qu'une deuxième (6) de ces électrodes (5, 6) peut être à un potentiel fixé, particulièrement à terre.
  33. Equipement selon l'une des revendications 17 à 31, des pulses avec des potentiels différents qui ne sont pas égaux au potentiel de la terre étant simultanément appliqués aux au moins deux électrodes de l'agencement d'électrodes afin de générer les décharges de haute tension à travers le matériau en forme de barre et/ou le long de la surface du matériau en forme de barre.
  34. Equipement selon l'une des revendications 17 à 33, comprenant en outre une commande d'équipement à l'aide de laquelle, particulièrement en opération comme prévu, l'énergie des pulses de haute tension, la fréquence des pulses de haute tension, la vitesse relative entre l'agencement d'électrodes (4) et le matériau en forme de barre (1), la distance entre les électrodes (5, 6) et le matériau en forme de barre (1) et/ou des certain paramètres de l'équipement pouvant être ajustés de manière automatique, particulièrement dépendant de paramètres de l'équipement et/ou de processus déterminés pendant l'opération.
  35. Utilisation de l'équipement selon l'une des revendications 17 à 34 pour fragmenter des barres (1) constituées d'un matériau semi-conducteur, particulièrement constituées de silicium polycristallin.
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