DE1621205A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Zufuehren partikelfoermigen Materials in ein Verdampfungsgefaess einer Vakuumaufdampfanlage - Google Patents

Description

Patentanwälte Dipl.-Ing. E Weickmann, Dr, Ing. A. Weickmann

D1PL.-ING. H. Weickmann, D1PL.-PHYS. Dr.K.Fincke Dipl.-Ing. F. A.Weickmann

8 MÜNCHEN 27, DEN

MOHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 483921/22

SABM

lir Reduction Company Ino., 150 East 42nd Street, Mew York, Η.Γ., V.St;v.A.

Verfahren und Vorrichtung zum Zuführen partikel-Materials in ein Verdampfungsgefäß einer Vakuumaufdampfanlage

Me Erfindung "betrifft;-"die Besohiclcung von "Verdampfungs- ·

gefäJBen in Auf dampf anlagen mit einem^ Material« Des Mneren ist die Erfindung auf ein verbessertes Terfaliren und eine Vorrichtung zur Einleitung einer partikelförmigen Substanz in ein Verdampfungsgefäß einer so lciien Anlage gerichtet, um die aus dem ööfäj3 verdampfte Menge nachzufüllen. ; :; ;V-^: : - ^: - y _r\\ / . .; .,

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Aufdampf anlagen arbeiten ganz allgemein mit der Kondensation von Dampf eines Materials auf einem Substrat aus einem zweiten Material und dieser Prozeß wird" dann- in einem relativ hohen Vakuum durchgeführt. Die beiden Materialien können von unterschiedlicher Art sein, z.B. Metalle und keramische Stoffe. Das Substrat kann verschiedene Dicke haben. Das Verfahren kann an-einem Substrat in Form eines kontinuierlich durchlauf enden]?! Ims angewandt werden oder auch an einem Substrat einer mehr begrenzten lorm.

In einer Vakuumverdämpfungsanlage wird zur Erzeugung des · Dampfes häufig eine Materialmenge in einem Verdampfungsgefäß dadurch geschmolzen und verdampft, daß energiereiche Elektronenstrahlen auf sie gerichtet werden.-Diese Art der Dampferzeugung ermöglicht eine gute Kontrolle der Dicke, Dichte und Gleichmäßigkeit des niedergeschlagenen Dampfes und auch eine wirksame Ausnutzung der Materialien. *

Bei längerem Betrieb ist es notwendig, das in dem Gefäß verdampfte Material nachzufüllen. Die spezielle Form oder der Zustand des nachgefüllten: Materials während der Einleitung in das Gefäß hängt von Überlegungen ab, die eine bequeme Zuführung, die Schmelzeigenschaften die Reinheit und die Kosten in Betracht ziehen. Bei der Verdampfung

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von kieselsäure sum Beispiel- wird das Ergänzungsmaterial manchmal' informeiner festen Quarzglasstaiige zugeführt» In dieser 'form laßt sich, die Meselsäure· yerhEltnismäßig einfach, einfuhren, ist äfrer wesöntli eh. kost spieliger als in Form kleiner Partikel (d.i. als Sand}« Sine: partikel-' fÖrmigeSubstanz macnt jedoch, mehr Schwierigkeiten heim .

"3infuhren in das^^ ¥erdampfungsgefäß als die Stangenform, .·""■.

■vor allem dann, wenn das; JSrgänzungsmaterial kontinuierlieh nachgefüllt werden ⁵SbIl. y -^{: :}-. -".'-.■._; λ.-.■■■^; - "■- ³^j

3s sind oereiijs "versehiedene Terfahren zuailiach.fullen entwickelt worden, um die.. geringeren Kosten zalilreiohev Materialien, darunter auch der· Kieselsäurei in der körnigen ; oder partikulierten Eorm auszunützen* Sin solches tTer- . ;: fahren zum lachfüllen eines; partikulierten ;Materials ■besteht darin, daß das Ifechfüllmaterial durch das Maul oder offene^^ Snde obs-Yerdampfungs gefäß es eingeleitet wird. Dies kann durch^ satzweises Beschicken in üTiständen je Xa nach der Terdampfungsgeschwindigke.it und der jevjeiligen Hachfiillmenge gescliehen öder auch: durch eine ziemlich icontinuierlich.e 33inspeisung mit EiTfe eines geeigneten Förderers. Die erstgenannte Art ist Häuf ig nictit zweckdienlich., weil sie dier IJnterlsrechuiig des Aufdampfproz es— ses "beim Hachfüllen^: ^s-^^^äx^iuxtgsgef^äB wer^^g%. Auch eine kontinuierliplie Zufuhr durch äas Maul des Gefäßes hat sicli als seliwi^rig eriiieserij da die

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vorriäitung mit dem aus dem GefäBmaul austretenden Dampf— strahl in Kontakt kommt und stark mit Kondensat überzogen wird. Zudem kann die hohe Hitze und der Dampf in dem Verdampfungsgefäßdazu führen, daß das partikelförmige Material schmilzt, solange es sich noch in der Fördervorrichtung befindet, sich zusammenklumpt und festhängt und so das Verdampfungsgefäß nicht erreicht.

In manchen Fällen erhöht' die Bauart des Verdampfungsgefäßes, noch die Schwierigkeiten beim Machfülfen. Dies trifft besonders für gewisse Vakuumaufdampfanlagen zu, bei denen die Verdampfungsgefäße zylindrisch sind und um Horizöntalachsen rotieren. Ein solches Verdampfungsgefäß ist besonders beim Beschichten von vertikal stehenden Substraten vorteilhaft, weil der aus dem Gefäß aus-tretende Dampfstrahl sich auf einer etwa horizontalen Bahn bewegt* Zwei oder mehr solche Verdampfungsgefäße können in Reihen angeordnet sein_a um besonders große Substrate zu überziehen. Das Rotieren des Gefäßes hat einen zweifachen Grunds Einmal verteilt sich das geschmolzene Füllmaterial infolge der Zentrifugalkraft über die Itfand des Verdampfungsgefäßes. Dies führt dazu, daß ein symmetrischer, gleichförmiger Dampfstrahl mit gleichmäßiger Dichte aus dem Maul des Gefäßes austritt. .Zweitens werden, auch wenn die Elektronenstrahlen in jedem Moment hur auf einen klelEen iDeil der geschmolzenen Füllmasse auf der

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ü-efäßwand auftreffen, alle Seile der Füllmasse bei jeder Umdrehung gleich lang, von dem Elektronenstrahl beaufschlagt. Dadurch kommt eine gleichmäßige Ehergieübertraguttg von dem Elektronenstrahl auf die ganze Füllmasse zustände. Zusätzlich zu den oben bereits erwähnten Problemen allgemeiner Art bei der Hachfüllung: des Verdampf ling^gefäßes bietet die Bewegung eines rotierenden Gefäßes und di& horizontale Anordnung seiner Achse große Schwierigkeiten für eine gleichmäßige Zuführung partikelförmigen Materials. Eine gleichmäßige Zufuhr ist aber erstrebenswerty um Änderungen in denBetriebsbedingungen des Verdampfungsgefäy ßes zu Termeiden, die eine zu starke Schwankung der Dichte des aus dem Gefäß austretenden Dampfstrahles zur Folge haben würden» ' \ .

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde»ein verbessertes Verfahren und eine fortschrittliche Voiiiehtung zum Zuführen partikelförmigen Materials in ein Verdampfungsgefäß zu schaffen. ^

In einem speziellen Fall will/die Erfindung ein solches Verfahren und eine Vorrichtung für ein rotierendes Verdampfungsgefäß schaffen, dessen Drehachse praktisch horizontal angeordnet ist, _#

Die Zufuhr erfolgt gemäß der Erfindung nicht durch das ^: 1Ö90237t3&& BAPORlQiNAL

offene Ende des "Verdampf ungsgefäßes. Die Erfindung sieht vielmehr eine Zufuhr des Nachfüllmaterials in partikulierter Porm. durch eine hohle Antriebswelle des rotierenden Gefäßes vor.

Weitere Einzelheiten der Erfindung gehen aus der nachfolgenden Beschreibung anhand der beigefügten Zeichnungen hervor. Es zeigenι

Pig, 1 eine Seitenansicht einer Verdampfungsanlage, in"der -die Erfindung verkörpert ist;

Figo 2 eine vergrößerte Schnittansicht des Verdampfungsgefäßes und der zugehörigen Teile der Anlage von Fig. 1, in der der Inhalt des Gefäßes schematisch dargestellt ist;

flg. 3 eine Schnittansicht nach der Linie 3-3 der Pig. 2;

Pig» 4 eine vergrößerte Schnittansicht eines: weiteren Teiles der in Pig. 1 gezeigten."-Anlage";".

Pig. 5 einen Schnitt nach derLinie 5-5 der Pig. 4; und

Pig» 6 eine Eticlcansioht des in Pig. 4 gezeigten Teiles der Anlage, wobei einige Teile gestrichelt dargestellt sind.

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Die- Erfindung scJiafft ein Terfallren land eine Vorrichtung zum Einführen Ton partikelförmigem^^ MateriaX/ das eÄitat werden soll, in ein zylindrisches Terdampfungsgefäß11, das sich um seine Achse dreht und Seil einer Väkuumauidampfanlageist. Das Material wird, in <las. Verdampf ungs~ gefäß durch eine axiale Öffnung 12 in dein geschlossenen Ende, d.i. dem Boden 13 des" Gefäßes^ eingespeist..Ein.: Elektronenstrahl wird auf die At^rialoimrflache In dem

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Yerd.arapfungsgefäß gerichtet, umdasliateriäl an seiner ~ \ Oberfläche zu schmelzen und zu verdampf en _s tfbet'der Öffnung in dem sonst geschlossenen iiefäßTDOden ist eine Bar- \ . riere 14 und 17 ausgebildet, die verhindern solly daß der . ' Dampf aus dem: G-efäß in^ diese Öffnung eindringt .Die Bar- ~ riere veriiindert, daß der durch die. Öffnung eintretende Partikelstrom dadurch ins Stocken gerätj daß fcondeasier-. ter Dampf das^ partikelßrmige Ilaterial sclimilzt und/öder die Öffnung verstopft« Außerdem trägt die Barriere dazu : bei, eine allzu große Wärmestrahlung auf das durch, die Ij Öffnung einströmende Material zu unterbinden^ die sonst auch das l^terial schmelzen^könnte.; Die Barriere wird \ mindestens zum !Teil von dem in dem Terdampfüngsgefäß -

befindlichen Material gefqrmtj das bestrebt: istj eine ringförmige Vorwölbung ;lt von üer- ζjlindriseken Gefäß- ; wand zur Achse des Gefäßes hiß; zu iDiiden. Zum !Eeil kann ' -■■ die Barriere auch von sitieffl Schirm 14 geMldet sein, der in einem Abstand von der Öffnung in dem

faß befestigt ist, wobei die ringförmige Vorwölbung über .den Umfang des Schirmes hinaus nach, innen ragt.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine Röhre 41 auf, deren eines Ende durch, die axiale: Öffnung 12 in dem Ge- ■ fäßboden 13 nach innen reicht. Vorrichtungsteile 42, 43» 44, 4.6_T 47 und 77 dienen zum Einführen von partikelför- ^ migem Material in die Röhre. An die Röhre ist ferner eine Vibrationseinrichtung 59 angeschlossen,-. die Schwingungen erzeugt, welche einen gleichmäßigen l?luß der partikelförraigen Substanz durch die Röhre in das Verdampfungsgefäß bewirken. Bei einer Ausfuhrungsform der Erfindung ragt die Röhre durch das Innere einer hohlen Antriebswelle 24, welche,, das Verdampfungsgefäß 11 In Drehung versetzt. Die Röhre steht freitragend von einem Stützgerüst 42, 47j 4-8, 49: weg und berührt die Antriebswelle nicht, so daß sie sich mit letzterer nicht mitdreht, sondern ei-

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^r gene Sehvringbewegungen ■ ausführen kann. In dem geseigteii· Ausführungsbeispiel ist der Schirm 14 eine gekühlte Scheibe', die in dem Verdampfungsgefäß mittels einer rohrförmigen Halterung 78, 79 gehaltert ist. Die Rohre dieser Halterung laufen in der Röhre ^]L und leiten ein Kühlmittel zum Schirm und von diesem ab.

Im folgenden wird das erfindungsgemtiße Verfahren naher beschrieben. Das Verfahren wird an eine.:! rotierenden Ver-

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dampfungsgefäß, wie etwa dem Gefäß 11 der Zeichnungen, ausgeübt. Das Verdampfurigsgefäß 1st aylitidriseiij, rotiert um seine iichse und hat in aelnem Boden 13 eine axiale Öffnung 12. Das erfindungsgemäße Verfahren ist darauf gericht et, partilcelBrmiges Material durch".eine; solche Öffnung in das Verdampfungsgefäß einzüapeisen. Das Verfaliren wird für Silikasand beschrieben j- selbstTreMtändliöEt läßt es sich jedoch auch auf andere partikelförmige Material!- en anwenden. So können beispielsweise auch Quara, Aluminiumoxyd oder ^uhrom in partikulierter lOrm naqh der Lehre der Erfindung in ein rotierendes Verdampfungsgefäß eingeführt werden» . .■;".'

Das Innere des Verdampfungsgefäßes, in das der Sand eintritt, ist heiß und mit Dampf relativ hohen Dampfdruckes gefüllt-»^:"¥eä& es diesem Dampf möglich istj. in die Zutrittsöffnung für den Sand zu gelangen, schlägt er sich an den ¥änden der öffnung und an dem in der Öffnung befindlichen Sand nieder, schmilzt diesen Sand und-kann dabei den freien JPluß des Sandes durch die Öffnung in das Gefäß behindern. Zudem können auch die "von dem heißen-Dampf und der Materialschmelse in dem Gefäß abgestrahlte Wärme: und Streuelektronen aus dem Elektronenstrahl das Hachfüllmaterial erhitzen und dadurch den durch die Öffnu-ng strömenden Sand schmelzen und die Öffnung blockieren. Gemäß der Erfindung wird eine Barriere ausgebildet, die die Aufgabe hat, den Sand in der Öffnung gegen Dampf,: Strahlungswärme

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und■" Streuelektronen, abzuschirmen. Die Barriere kann einen Schirm umfassen, der nahe der Öffnung in dem. 7erdampfuagsgefäß angeordnet ist. Der Schirm hat einen Abstand von dem Gefäßboden«, damit der Sand durch die Öffnung in das Gefäß gelangen kann. ■

Der Schirm kann? wie bei der dargestellten Vorrichtung, aus einer Scheibe 14 bestehen, die unabhängig von dem sich drehenden Verdampfungsgefäß gehaltert ist, so daß sie sich nicht mitdreht ρ Entsprechende Vorkerhungen können getroffen sein, um die Scheibe zu kühlen, wie später noch eingehend erläutert wird. Als alternative Lösung zu der nicht rotierenden Scheibe kann der Schirm auch aus einer Platte oder Scheibe eines temperaturfesten Materials, etwa Molybdän, bestehen, die an dem Gefäßboden befestigt ist und sich in einem Abstand über die Öffnung erstreckt, so daß der Sand einströmen kann„ Wie unten noch näher erklärt wird, bildet das Material in dem Verdampfungsgefäß einen Teil der Barriere und wirkt mit dem Schirm, zusammen» Wie ebenfalls noch ausgeführt wird, können gewisse Umstände einen Schirm überflüssig machen, v/eil das Material in dem Gefäß allein als Barriere für den Dampf ausreicht.

Die genaue Erklärung des erfindungsgemäßen Verfahren beginnt an dem Punkt, wo Sand erstmals in.ein rotierendes

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Yerdampfungsgefäß mit einem Schirm eintritt, ¥enn ö er '[".' Sand aus der Öffnung; in clem GefäBboden in das Gefäß hineinspritzt, fällt er zwischen dem Gefäßtoden und dem Seliirm infolge der'Schwerkraft nach, unten* ¥enn der Sand auf . die: sich drehenden Wände des Gefäßes auftrifftoaer gegen anderen Sand geschleudert wird, der sich mit dem Gefäß mifbeviegt, wird er rund um die Mitte des Gefäßliödens aus-• gebreitet·. Sobald der Sand diegenerelle Rotationsgeschwin^ diglceit des Gefäßes erreicht hat, wird^ er τοη der Zentrifugallcraft gegen die zylindrische Gefäßwand geschleudert* Portlauf end wird weiterer: Sand in das Yer-dampfungsgefäß eiiigdBpeist, bis der Sand die Ecfce 16 zwi sch eh der zfylindrischeii Wand uad dem Gefäßboden ringsum ausgefüllt hat. Die Gandzufuhr wird fortgesetzt, bis der öaiid; fast den ' Umfang des oehirmes berührt. Wenn getiug Sand iri. das 7erdanpfungsgefäS gelangt,ist, um die Εοΐεβ des Gefäßes, rings;'-UiTi auszufüllen, und der Sand sich dem Umfang des Schirmes nähert, werden die EleKtronenstrahlea eingeschaltet, und der Schmelzproseß beginnt* ; .^-;..__.\ ,;":

Jo hat sich herausgestellt, daß die^v Kieselsäure in^: dem ."""" \^rerdampfuH^si;efäß äie Barriere für die einspeisende Röhre; dadurch -vervollständigt, daß sie eine ringförmige Yorwölbun;, 17 aus .uarsglas bildet. Mese Torwölbung ragt von der auf der zylindrischen, Gefäßwand, befindlicheia J-Iiessigsäure nach innen und zwar zwischen-clor->- Schirm und dem offenen Ende des Yerdampf ungsge faß es. iJle Ifprvmlbung ^ hat

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die "FunktjLou^: _s- zu. verhindern, daß der in dem Gefaß entwiekelte heiße Dampf in. 41 e .Röhre gelangt, indem er zwischen dem Schirm und dem Gefäßboden durchströmt* Weiter unterbindet ' die Yorwöibung eine übermäßige Anhäufung von Kondensat auf der Rückseite des Schirms. Falls eine gekühlte Seheibe als Schirm verwendet wird, trägt die Kühlwirkung der Scheibe auf ihre Umgebung dazu bei, den Innenran. d der =7orwölbung in dem für die■Stabilität günstigen glasartigen Zustand zu. halten., · ....

. i)er genaue G-r^nd für die Ausbildung der ringförmigen Vorwölbuhg ist bis jetzt'noch nicht gana geklärt. Yerrautlidh entsteht die Torwölbung.-durch die Schubwirkung des körnigen Sandes vom Bereich unter'der Oberfläche."der Tor- -.■■ wölbung aus als Folge des von der Öffnung zur Ecke 16 zwischen dem (3-efäßb ο den und der Zylinderwand des Gefäßes Tordringenden Sandes. Die den Elektronenstrahlen ψ <■ ' zugekehrte Oberfläche der Vorwölbung wird von den Strahlen geschmolzen und diese geschmolzene Masse fließt den Abhang der Tprwölbung hinunter unter der Wirkung der Zentrifugalkraft und' weiter entlang der zylindrischen Gefäßwand , auf.der sie sich zwischen der Yowölbung und der ringförmigen Ausflußkante 18 des Gefäßes verteilt. Der Dampf wird aus der Oberfläche dieser geschmolzenen Kieselsäure entwickelt, ν ■

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Xn Fig.. .2 deuten die ausgesogenen und gestrichelten Li-. ^; . 10 98 23/ 1 3SS ^8AD

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nien- die Grenze der im Gefäß befindlieheiEt gesehen im Schnitt, an» Im Ber&ieh ii liegt die- Kieselsäure in partikulierter¹Oder.gekörnter !prm vor) im Bereich B ist sie im glasartigen Zustandf im-Bereich,Q befindet sie sich im geschmolzenen Zustand und; im Bereich D existiert sie als Dampf oder Gasform^ Natürlich sind die .Bereiche A-DIn Wirklichkeit, nicht^v so-sohspf abgegrenzt, Die Darstellung der Pig. 2 ist schematigch und dient lediglieh zur Erläuterung..Termutlieh findet: der Bachs chub von iiateriäl in dem Verdampfungsgefäß "von unten her" statt. Das heißt, die Kieselsäure betrifft das Gefäß durch die Öffnung 12 und bewegt sich dann; allmählich von der Ecke 16 aus durch die-Bereiche JL, B und O zur Dampfregion D nach oben. Während dieser Bewegung bildet die Kieselsäure die yorwb'lbung 1? und wandelt sich von der körnigen Form über den gläsartigen"".uad geschmolzenen Zustand'zu Dampf um»

Die Bildung des "Bären", das ist der Übergangsbereich zwischen dem festen "unäjiriüssigen Zustand des in dem Yerdampfungsgefäß enthaltenen Iiaterials, zu dem die: ringförmige Vorwölbung gehört, trägt dazu bei, die Dampfregion D yon den gekühlten Wänden des Gefäßes thermisch zu isolieren. Dadurch erhält man einen relativ hohen thermischen Wirkungsgrad in der Anlage» ""ie Vorwölbung 17 isoliert außerdem, wie schon erwähnt, den in dag Gefäß frisch eingespeisten Sand (im Bereich A) von den heißen Dämpfen

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und der geschmolzenen. Kieselsäure (in den Bereichen G ' und D).

geeigneten Betriebsbedingungen ist es möglich, mit der Vorwölbung allein eine vollständige Barriere zu erzielen und auf den Schirm (z.B# eine stationäre gekühlte Scheibe oder eine rotierende Molybdänplatte) zu verzichten. Dies ist der .!"all, wenn man die VorwöTbung 17 sich so weit ausbilden läßt _% daß ihr Innendurchmesser klein genug ist, um den Dampf an einer Rückströmung zur Öffnung im Gefäßboden zu hindern. Die größte Schwierigkeit/beim Erzielen einer solchen Barriere tritt während des Anlaufens auf, doch die Verwendung eines geeigneten vorher geschmolzenen "Bären" aus Quarzglas, der während des Starts in das Gefäß eingeschoben wird, hindert dem Dampf daran, zur Öffnung zu gelagen.

Die ringförmige Vorwölbung muß sich an einer Stelle ausbilden, die nicht so nahe am offenen Ende des Verdampfungsgefäßes liegt, daß der "Poküs" des-DampfStrahles verlorengeht. Dies tritt ein, wenn die Dampfregion D zu seicht wird und zu viele Dampf teilchen mit zur Gefäßachse senkrechten Riehtungskomponenten aus dem Gefäß entweichen. Man muß'.aber auch verhindern, daß die ringförmige Vorwölbung in dem Verdampfungsgefäß zu weit nach hinten rückt, und damit zu nahe an den Schirm herankommt. M&cixx dies

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eintritt j hat sich, die Picke des «Bar en." Vg wodurch derthea^ische öeBaffitwirkungsgraadei· Anlage: herabgesetzt wird. Wenn als "Schirm dabei ^eine nlchtrötlerende Scheibe 14- verwendet wird, bestellt außerdem die Gefahr, daßdie Torwölbung 17 mit der .Saheitoe in Berührung kommt, an ihr haftet und die.nichtrotierende Scheibe duicGii Verwinden heschädigt.

¥m die Jorm und Dicke des "Bären" einschließlich der Lage der ringförinlgen 7orwöll3iing genau regulIerBn zu können, ■ " wird die iDemperatur in der Öffnung 12 gemess eil» Eine relativ holie Meß temperatur zeigt an, daß die Torwölbung 17 .. zieüiilch weit nactf hinten gerückt ist und aufgrund/der . verminderten Dicke des Baren eine größere ¥ärmemenge nach, hinten zur öffnung gelangt. Om die Dicke des Bären- zu erhöhea und damit die Meßtemperatur herabzusetzen, wird die Fachfüllrate 4es Sandes erhöht.

Gewöhnlich \iird der Sand-.nicht fortwährend %zugeführt, vreildabei zu viel Material nachgefüllt würde,Vielmehr viird die Materialmenge in dem Verdampfungsgefäß und damit die Dicke des Baren durch Beobachtungen der ^üemperaturwerte festgestellt und nur dann Sand dazugegeben^, wemj^i© Materialmenge in dem Gefäß erhöht vierden soll* Wenn die Materialmenge dann wieder, ass gewünschte Maß erreicht hat, wird die Sandzufuhr ausgesetzt. Durchlrichtlge Regulierung der 2üfulirperiodon kann ein überwiieher deiiBären praktisch

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auf konstanter Dicke halten und damit einen ziemlich konstanten Dampfstrom erzielen. Die Tatsache, daß der Sand nicht in der Weise eingeführt wird, daß er auf die Oberfläche der geschmolzenen Kieselsäure, aus welcher der : Dampf "erzeugt wird, herabfällt, trägt auch dazu bei, den Dampfstrom praktisch konstant zu halten, um nicht bei jeder Jfaterialnaehfüliung extreme Schwankungen in Kauf nehmen zu müssen.¹ Es sei noch darauf verwiesen, daß die So- ^: tationsachse des Verdampfungsgefäßes praktisch horizontal "ist, jedoch nicht exakt horizontal gestellt sein muß. ... Das geschilderte Verfahren läßt sich auch bei einer gewissen. Abweichung von der Horizontalen, durchführen.

In den Zeichnungen, auf welche nun genauer eingegangen wird, ist ein Ausführungsbeispiel einer erfindun^sgemäßen Vorrichtung dargestellt.. Das gezeigte !Beispiel ist speziell für die Verwendung von Kieselsäure (Siliziumdioxid - oiöp)- f Sand konstruiert, doch können mit geringen oder keinen Abänderungen auch andere Materialien in PartikeIform verwendet werden. Die- Verdampfungseinrichtung ist in einem eine Vakuumkammer umschließenden Gehäuse 19 untergebracht von dem nur.-ein Teil dargestellt ist. Das Substrat (nicht .", gezeigt), auf welchem der Dampf abgelagert werden soll, . ist ebenfalls: in dem Gehäuse angeordnet. Die Verdampfungseinriehtung.weist ein gekühltes Verdampfungsgefaß 11 auf, in dessen zylindrischer Wandung eine Kühlkammer 21 vorgesehen ist. In der Kühlkammer 21 können nicht dargestell-

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te Leitbleche angeordnet sein, die das Kühlmittel in die gewünschte Strömung lenken. Das Verdampfungsgefäß kann aus Zupfer-konstruiert sein. Das Kühlmittel kann Wasser sein. Das Verdampfungsgefäß hat im wesentlichen Zylinderform mit"einem offenen Ende, durch welches der in dem Gefäßerzeugte; Dampf in der Form eines DampfStrahles austritt. Der Rand des offenen Gefäßendes ist von einer Ausflußkante 18 umgeben. Das entgegengesetzte Ende des zylindrischen Verdampfungsgefäßes ist mit einem Boden 13 verschlossen. In dem Boden ist ein Einlaßkanal 22 und ein Auslaßkanal 23 für die Kühlinittel gebildet, die zur Kühlkammer 21 führen.

In dem Boden 13 des Verdampfurgjgefäßes ist eine Öffnung 12 vorgesehen, deren Achse mit der Achse des zylindrischen Verdampfungsgefäßes gefluchtet ist.. Die öffnung 12 hat zwei Abschnitte unterschiedlichen Durchmessers» von denen der engere mit dem Inneren des Verdampfungsgefäßes in Verbindung steht. Das Verdampfungsgefäß ist an einer Antriebswelle 24 befestigt, die in den weiteren Abschnitt der Öffnung 12 im Gefäßboden eingepaßt und dort festgelegt ist. Die Antriebswelle ragt von dem Verdampf ungsgeffIß in dessen Achsrichtung weg und ist in einem Gehäuse 25 drehbar gelagert, das die Antriebswelle umgibt. Dieses Gehäuse für die Verdampfungseinrichtung ist in einer ■\Ianaⁱofta.uxiß 20 des Gehäuses 19 mittels eines Bofestigungs-

flanaches 26 dichtend eingefügt.. _ ^

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Das Geliäuse 25 der Verdampfungseinrichtung ist mit^: eitlem Soften .27 versehen, durch welchen sich senkrecht zur Antriebswelle 24 eine motorgetriebene ¥elle^; 28 erstreckt,. Ein Kegelrad 29 auf dieser ¥elle ist mit einem Kegelrad 31.-auf der-Antriebswelle im Eingriff. In dem: Stutzen." 27 ' sind Kugellager 32 zur ."Lagerung der motorgetriebenen WeI-Ie -VOrgesehen. . \. '

x. . Die Antriebswelle 24 hat in ihrem Inneren svrei Kühliait-

telkanJ&e 33 und 34» die durch die Welle zwischen deren ■ Umfang; und Achse laufen. Der Querschnittjedes Kanals Ist ■ ertwas-kleiner: a Is dem Halbring entspricht. Der eine Kanal fuhrt; Kühlmittel zum Terdampfungsgefäß_t/der andere leitet das Kühlmittel wieder ab. Die Kanäle in der Antriebswelle stehen mit den Ktihlmlttelkan^len 22 und 23 ■ ; .Im·Verdampfungsgefäß Über Öffnungen 36 bzw. 37 am Ende

der Antriebswelle beim Verdampfungsgefäß in Verbindung, Zu • den Kanälen 33 ^nd 34 in der Antriebswelle gelangt das

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: Kühlmittel durch.eine Zulaufleitung 38 in dem Gehäuse 25 der Verdampfungseinrichtung. -Die Zulaufleitung steht mit · einer nicht^ gezeigten ringförmigen Einlaßkammer in Verbindung und der Kanal 33 mündet In diese Kammer, um dort das Kühüjuittel -aufzunehmen. Eine entsprechende ringförmige Aualaßkammer (nicht dargestellt) in dem öehäuse 25 steht mit dem Kanal 34 in Verbindung und zur Ableitung aus der Auslaßkammer ist eine Auslaßleitung 39 vorgesehen· Die Strömung des Kühlmittels bleibt bestehen,: während sie ι

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die jUitriebswelle.-und das Verdampfüngsgefäß drehen.-

Das !Füllmaterial in dem VerdampäLLngsgefäß wird mit Hilfe einer oder mehrerer Elektronensehleudern 40. geschmolzen, die in dem Gehäuse 19 gehaltert sind. Die Elektronenschleudern sind mit"passenden .Richtmagneten (nicht dargestellt) versehen» Bnergiereiche Elektronenstrahlen werden von den Schleudern 40 in das Verdampfungsgefäß geschickt, wo sie auf das iMllmaterial treffen, dasvon der Zentrifugalkraft ejegen die Innenseite der Zylinderv/andung des Gefäßes gepreBt v/ird, ind "bewirkenj daß das.Material schmilzt und verdampft. Beispielsweise können drei Elektronenschleudern verv/endet werden»- die drei voneinander unabhängige Elektronenstralilen auf gleichgroße i'lachen schicken * v/elche um "120° auf der Zylinderwand gegeneinander versetzt <;· sind. Die ji'lächen sollten vorzugsweise vom Boden des Verdampf ungsgefäßes den gleichen Abstand haben.

Der öilikasand gelangt durch eine lange Röhre.. 41 in das Verdampfungsgefäß. Die Röhre durchzieht die hohle Antriebswelle 24 und tritt durch die Öffnung 12 im Gefäßboclen 13, Sie endet etwa in einer Sbene mit der Innenseite des Gefäßbadens15*' ¥ie noch näher erklärt wird, ist die liöhre in der hohlen Antriebswelle aufgehängt und hat.mit dieser keinen Kontakt. Die rotierende Antriebswelle wirkt also nicht auf die nichtrotierende. Röhre zurück. Die ".-'■

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Röhre reiclit vom Verdampf uiigsgefäß 11 durch die gatiae An-• triebswelle und ragt aus dem Hinterende des Gehäuses 25 heraus; sie endet in einer Öffnung in der Vorderhand 42 einesReservoirs für den Sand. In der Öffnung ist die Röhre an der Vorderwand befestigt, etwa angeschweißt. Die Vorderwänd ist Seil eines Reservoirs für den Sand, das außerdem aus zwei Seitenwänden 45. und 44 und einer Rückwand 46 besteht¹, die alle von: einen Boden 47 nach oben stehen.; Der Boden ragt über die Vorderhand des Reservoirs heraus und trägt eine Stütze 48:, die; sich gegen die Unterseite der Röhre anlegt und diese in der hohlen Antriebswelle freischVrebeniabstützt. -

.' Der\ Boden 47. des Reservoirs ist an einem Bügel 49 befestigt, dessen beide Arme_ 451 und 52 von der Unterseite des Bodens nach .unten ragen. Über mehrere Blattfedern 33 sind die Arme des Bügels mit einem' entsprechenden Bügel-

;\paar 54 und 55 verbunden^ das an einer stützenden Platte 57 befestigt ist. Die, Blattfedern sind aus einem elastischenMaterial, beispielsweise' Fiberglas. Der hintere Arm 51 des Bügels 49 Isti mit dem Anker 58 eines Vibrators 59 v°n d^er Äe^>'-©l-nes- Solenoids verbunden. Der Vibrator-bewirkt zusammen, mit den Blattfedern eine Vibration, in dem Reservoir und demzufolge auch in der Röhre 41. Die Vibration setzt sich aus einer Vorwärts- und Anhebbewegüng und einer praktisch direkten Rückbewegung zusammen, so daß. der Sand in dem Reservoir und in den Röhre In "Hopsern" zum Verdampfungsgefäß vorwärtsbewegt

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wird. Die Platte 57» die den Vibrator und die Bügel für die Blattfedern trägt, ist am Boden 61 eines Gehäuses'62 für den Vibrator, das Reservoir und die zugehörigen Vorrichtungsteile angeschraubt.

Das Gehäuse 62 befindet'sich außerhalb des Gehäuses 19 für die T/akuumkammer und nimmt das Sandreservoir und die zugehörigen Teile in einem Vakuum auf, das dem Vakuum im Gehäuse 10 entspricht. Dies ist notwendig wegen der direkten Verbindung über die Röhre und die hohle Antriebswelle 24 von dem Verdampfungsgefäß zum Sandreservoir. Es wäre auch möglich, das Gehäuse für die Vakuumkammer groß genug zu machen, um alle Vorrichtungsteile für die Zufuhr . aufnehmen zu können. Das Gehäuse 62 besteht aus einem Kasten, der längs diagonaler flansche 63 in zwei Hälften auseinandernehmbar ist. Die Flansche reichen von der oberen Ecke am Verdspfungsgefäß zur entgegengesetzten unteren Lücke. Die beiden G_häusehälften sind miteinander längs der Flansche 63 verschraubt und ringsherum mit einer Dichtung 64 abgedichtet.

Ein Fenster zum Beobachten des Betriebe und des Sandspiegcls in dem Reservoir ist in der Oberseite des Reservoirgehäuses vorgesehen. Das Fenster v/eist in dem dargeotell-' ten Beispiel einen unteren rechteckigen Rahmen 66 auf, der in einem Ausschnitt in der Deckplatte des Gehäuses 62 eingeschweißt ist, sov/ie einen oberen rechteckigen

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Rahmen 67, der mit dem unteren Rahmen .verschweißt ist. - -ZwI s chen. den beiden Rahmen 66 und 67 icrb eine durchs ich- tige Platte 68 gehaltBTb, die aus .eineizpiitzebastäiidigen Glas* etwa 3?yrex, sein kann. Zwischen der Platte 68 und demount er en Rahmen ist eine Dichtung 69 eingefügt,.

,:' Das Gehäuse 62ruht auf zwei Querträgern 71 und ist an "einem Stützgerüst 72 festgeschraubt, das von einer nicht gezeigten lundamentplatte nach oben ragt. -.Sine An- : ordnungVnacli Art einer Barometerdose, die aus swei■-Ring-...;.-platten 73: und 74.besteht, und einer dazwischen liegenden ausziehbaren Rohrwand 76, verbindet die Rückseite des

.Gehäuses 25. mit dem Gehäuse 62 vakuumdich.t. Die ITerstellbarkeit dieser AnordKitng erlaubt eine größere Toleranz in der Aufstellung der verschiedenen Elemente und erleieh.-tert die EinsteHung beim Zusammenbau» Der-. Sand in dem

, Resefvoir wird durch eine Sandzuleitung 77 aus einem nicht

■-■■ gezeigten vakuümdichten Behälter durch Fällspeisung ergänzt. Der Behälter ist über dem Reservoir außerhalb des. ' Gehäuses/62 angeordnet» Ein nich.t gezeigter' Sciilauch

-''-- kanft JißU Behälter mit dem Reservoirgehäuse verbinden, um in beiden den gleichen Druck aufrecntzuerhialten^ so <iß die^;gewünschte Höhe des Sandes in dem Re servo if ' durch geeignete Yerstellung der Hohe des Endes der Zuleitung 77 beibehalten werden kann« ' · ,

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Der Schirm besteht i
beispiel aus einer gekühlten Scheibe 14-. Die Kühlung und -, Abstützung der Scheibe "besorgt eine; rohrförmige Halterung, die die Röhre 41 durchzieht-, Biese "besteht aus zwei kon-^; 3 en tr i sehen zylindrischen Hülsen 78 und 79., Die. Scheibe 14 ist hohl und die äußere Hülse 78 der Halterung endigt in einer ,Öffnung in der Außenwand der Scheibe. Die innere Hülse endigt in einer Platte 81, die in der hohlen Scheibe montiert ist. Das Suhlmittel strömt durch den Zwi-; scaenraurn. zvfisehen den Hülsen 78 und 79 in die hohle Scheibe 14, rund um die Plätte 81 und zurück durch die engere innere Hülse 79. ' - Y-

Um zu verhindern, daß der Sand mit der stationären · ' Scheibe 14 in Kontakt kommt und sich zu viel Sand hinter der Scheibe anhäuft, kann die Scheibe mit ein oder meh~ rerenFlügeln 82 versehen sein, die auf ihrer Rückseite am umfang angefügt sind. Diese Flügel kommen in Kon-/ takt mit dem wirbelnden Sand und halten diesen von der Scheibe ab; sie unterstützen zudem eine Strömung des Sarides nach außen" zur zylindrischen Gefäßwand hin. :

Die Hülsen 78 und 79 der Halterung sind in einem Block 83 gehalten, indem sie durch Löcher dieses Blockes gesteckt sind. Der abstützende Block 83 ist an einem größeren Block 84 f estgemaöhtj der mittels eines Aüfhän- ""■_-

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gers 86 an eiaer am Gehäuses 62 angefügten, -nach ' innen stehenden. Platte 87 aufgehängt ist. Sin Alb standst Lots 88 ist nächst dem an der Scheibe 14 "befindlichen- Ende der Halterung angeordnet; er hat den-Zweck, die äußere Hülse 78 der Halterung von der Röhre- 4-1 zu beabstanden. Da,s dem^iIbstandsklotz 88 entgegengesetzte Ende der Halterung mündet in einem·Anschlußblock 89, der eine Verbindung zwischen Schlaucüeitungen 91 und 9?- zur Zu- und Abführung des Kühlmittels und den entsprechenden Kanälen in der Halterung herstellt. Die Schlauchleitungen für das Kühlmittelsind an dem Block 89 befestigt und stehen mit entsprechenden Durchlässen 93 und 94- in dem Block in Verbindung·. Die Schlauchleitungen 91 und 92 laufen durch passende Dichtungen (nicht gezeigt) in einer ΐ/and des Gehäuses 62. -

• Da die Halterung mit der llöhre 4-1 über den AbstandslcXöts 88 in Kontakt ist j beeinflußt sie die Vibrationsbevegung der Röhre. TJm diese Einvärkung regulieren zu können,, sind Vorkehrunge.n getroffen, um die Vorrichtung auf die angestrebte Vibrationscharakteristik einstimmen zu können. Die Abstimmung geschieht durch Verändern des Druckes, den die Halterung über den Abstandsklotz auf die Röhre ausübt. An dem Abschlußblock 89 ist ein abgev/inkelter Arm 96 befestigt,, der sich nach oben über das. Sandreservoir erstreckt. Eine Einstellschraube 97 tritt durch ein ent-

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sprechend gedichtetes Pass-Stück 98 in der Deckwand des Gehäuses 62 und stößt gegen das dem Anschlußbio eic entgegengesetzte Ende des Armes. Der abstützende Block 83 und die zugehörigqnTeile zwischen den Enden der Halterung ■wirken als Drehpunkt, so daß durch Verstellen der Einstellschraube 97 die van der Halterung ,-auf den Abstandsklotz ausgeübte Kraft verändert wird.

Hin Rohr 98, in welchem ein Thermoelement 100" zur Messung der temperatur in der Öffnung und "dessen nicht gezeigte ■ Anschlüsse untergebracht-"sind, erstreckt süh entlang der Halterung im Inneren der Röhre und mündet in einem v/eiteren eingepaßten Rohr 99 _% das durch die abstützenden Blocke 83 und 84 gesteckt ist. Das letztgenannte Rohr 99 endet in einer Kammer 101 ,im Inneren des größeren Blockes 341 die Anschlußleitungen für das Thermoelement können an einem Ende dieser Kammer durch einen abdichten Stößel 102 herausgeführt sein. In dem Oberende des größeren Blocks 84 ist ein (Haszuflußrohr 10^r5 angebracht, daß über eine Leitung 104 an eine Sauerstoffquelle, nicht gezeigt, außerhalb des Gehäuses 62 angeschlossen ist. iJauerstοI'f einer vorgegebenen Henj;e strömt in die iCammer 101 ein und gelangt von dort durch das Rohr 98 in das Yerdampfungs^efäß. Die in die Anlage eingeleitete IJauorstol'fmengc wirrt empi.rJach bestimmt und so gewählt, daß dc;r Partialö.ruclc da α Uriuorütoffa in dem Verdampf unga-

bad:

16112 as

gefäß IaMQp. ggtnt|g. ist, um. die Spaltung- von Silizi zu_: Si-li2i^mraiqtip3£±d plua Sauersitqff (2 BiQ₉ 2 SiQ + Cu)

Be.i der Durchführung des erfindun£sgeraäße.ri für SiOp-Sand und auch für granuliertes Ghrqm in der vorl)6schriebenen Vorrichtung haben sich die itp.te.nstfhenden Parametqrwerte als günstig zur Erzeugung eines Dampfstromes von e,tv/a 1,36 kg/h (3 engl. Pfund pro Eäunde) erwiesen:

\ des Yerdamjifungs

;e; .d;e.s_: ^erd^wpfuriüsgefä&es der
Scheibendurchmesser Abstand der "Scheibe vom Gefußboden Materialzufuhr

■Mittlerer Korndurchmesser der Materialteilchen

Illektrqnenstrahlenergie (G-esamtenergie drei gleicher Strahlen)

Auftreffläche des Strahles (120° versetat für jeden Strahl)

27,3 cm

(IQ 3/4 Zoll)

12 cm (4 3/4 Zoll)

10,1 cm

(4 zoll)

1,59 om C5/3

engl.Pfund/h)

0,8 mm Cl/32 Zoll)

38,8

(6 Quadra ta ο11)

Auehj bei der ^rseugiing eiries Dampfflu_:ßes von 5 teg/ (ll engl.i Pfd/h) wurden m;i t £olgänden Parametcrv/erten

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gute 'jürgebni&3'B erzielt:

Innendurchmesser des Verdampfungsgefäßes ■

Länge des Verdampfüiigsgefäßes (vom Boden bis zur Innenseite der TorwöTbung) · \ .

ocheihendurehmösser

Abstand der Scheibe vom' Gefäßboden

Materialzufuhr

Mittlerer Korndurehmess er der Materialteilchen

jülelctronenstrahlenergie (G-esamtenergie drei gleicher Strahlen)

Auftrefflache des Strahles (120 versetzt für 3ed. Strahl)

27,3 cm (10 /

12 cm ■ .:. (4 3/4 ZlU)

10,1 cm (4. Zoll) ■■-

1,59 cm (5/8 Zoll)

5,4 kg/h (12

0,8 mm
(1/32 Zoll)

50 kW V-

38,8 cm

(6 Quadratzoll)

Mr den Jachinann ist a-us. Vorstehendem ersichtlich, daß die Jrfindung ein 'verbessertes Verfahren und eine verbesserte Vorrichtung zur Zufuhr eines, partikelförmigen Materials in ein Verdampfungsgefäß einer Vakuumdampfanlage schafft. Die Erfindung wird auf ein Verdampfungsgefäß angewandt, das sich um eine etwa horizontale. Achse dreht, und erleichtert den kontinuierlichen Betrieb der Auf dampf anlage. Es läßt si ch eine" genaue VR.eguli er ung der in das Verdampfungsgefäß eingespeisten Materia, lmenge und der Fachfullrate erzielen. In dem durch die Ansprüche abgesteckten Rahmen der Erfindung sind zahlreiche'Abwandrlungen gegenüber dem beschriebenen. Ausführüngsbeispiel möglich.

1 09823/13E.9_{PatöltatlsprUahe}.

QHIQ1N«.

Claims (1)

1. P; a t e η t a η s ρ r ti c h e j

   . . 1. Verfahren zum \3Uführen partikelförmigen Materials in.

   einzylindrisches Verdampf ungsgefäß einer Vakuuinäuf dampfanlge, das um eine etwa horizontale Achse rotiert, da-. - .durch gekennzeichnet,. daß; das part ikeHörmige Mater ial ■ - '■ in das rotierende Verdampf ungsgefäß durch eine axiale. Öff-

   w- ■":■'■■-" * - ■ ' - -. ■■■■-■

   nung in dein sonst geschlossenen G-efäßboden eingeführt wird, daß ein Jülektronenstrahl- gegen die Oberfläche des längs; der z^rliridrischen G-efäßv/aud befindlichen. 1-io.torials gerichtet wird, um das Material an dieser Oberfläche zu schmelzen" und zu verdampfen, und daß die Zufuhr τοπ par- - tikelf örmigem._ Material zu dem Verdampf ungsgefäß derart ^: gesteuert wird, daß in dem Verdampfungsgefäß nahe der

   Öffnung im G-efäßboden eine Barriere in iO-rnr einer ringförmigen Vorwölbung des -Materials erzeugt wird, die das f Eindringen.des in"-dem Verdampfungsgefäß erzeugten Dampfes in die Öffnung des GefäßbodensverhiOeert, v/o durch der Zufluß partilcelfornigen Materials in .das Verdaripfungs-. -- gefäß aufrechterhalten werden kann.

   .Verfahren nach Anspruch' 1, .dadurch gekennzeichnet., daß die Barriere; zum-Teil von dem in dem Verdampfungsgefriß befindlichen. Material und zum Teil von einem Schirm gebildet wird, der 'in einem Abstand von der öffnung in dem

   109 823/1359 . -~ - "-²^---,

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   Verdarapfüngsgefäß angeordnet ist* wobei die ringförmige Vorwö'lbung auf der der öff uiing entgegengesetzten Seite des Schirmes ausgebildet ist, sich radial nach, innen erstreckt und den Umfang des Schirmes überlappt .-

   3* Verfahren nach Anspruch 2$ dadurch gekennzeichnet, daß ■ die Zufuhr partikelförmigen Materials zum Verdampfungsgefäß in Abhängigkeit von der nächst der Öffnung im Gefäßboden gemessenen leräperatur gesteuert wird»

   ki Verfahren nachAnspruch 3, dadurch, gekennzeichnet, daß man das in das rotierende Verdampfiingsgefäß eintretende' Material die ringförmige Ecke zwischen, der zylindrischen Wand und dem Boden des Verdampfungsgefäßes praktisch ausfüllen läßtj bevor der Elektronenstrahl in das Verdampfungsgefäß geschickt wirdj und daß man durch Zufuhr weiteren partikelförrriigen Materials durch die Öffnung diese Ecke praktisch gefüllt hält.

   5· Vorrichtung zum Zuführen des zu verdampfeiden partikelförmigcn Materials in ein· iotlerendes Verdampfungsgefäß einer Yakuiimaufdampfanlage in Aueübung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bio 4» gekennzeichnet durch eine hohle Antriebswelle (24)» die das Verdampfüngsgefdß tri.\^r;t n\sO mil, rliira GoIüP, hnnoton Ln Verbindung steht $ Und · in weiche «ine köhro (41) ''.ngeorrtnot LaLj deren eines

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   30 - . V-

   Ende in das Innere des Verdämpf ungsgefälies mündet, durch. Mittel (42y45i44,46,47*77) zum Einspeisen des partikelförmigen Materials in die Rohre (41) ttnct durch eine mit dör Rohre: 1fert)Undene Yiferatiönseinriciitung (59)_f die in der EÖhre Vibrationen hervorruft., welche das partikel-* -föröiige Material durch die Eöhre in_;das Verdampftfngsge- ^; faß befördere, r . '

   6* Vorrichtung naöh Änspfüöh 5r dadurch gekennzeichnet, daß die EÖhre (41) freitragend von eineia Stiitageritgt (42,47*: 49^4©) weg3?ägtj welches an dem dem Verdampfungsgefäß entgegengesetzten Ende der Röhre -aatg es ordnet ist* - ;-

   7. Vorrichtung: naeh itns-ornih ß_y dadurch gekennaeiqhnet, . daß in _:dem Verdampfangsgefäß (11) in einem axialen Ihstand von dem Ende der Röhre (41.) eine Larriere (14^17) angeordnet ist, die ein: Sindringen des in dem Verdaaapfungs·** .gefäß erzeugten Dampfes in die Eöhre verhindert.

   8* Vorrichtung nach Änsprüeh 7* daduröh gekennzeichnet, ' daß z;ti der Karriere ein Schirm (14) gehört, de^ von eiiier rohrförmigen Halterung (78s79) getragen ist, welche _; sieh im inneren der HÖhre und bis in das Verdampfungsgefaß nächst dem Ende der Höhre erstreckt_s ;

   9» Iforiichtung naöh Mspruch 8, datiureh gekennseichnet, daß die Halterung (?G_f79) auf ihrer iiim^e uiinphrtti^itj von

   10 9 8 2 3/13 &

   der Röhre abgestützt ist, wobei ein Abstandsklotz. (88) in der Röhre angeordnet ist, der sowohl mit der Röhre (41) als auch mit der Halterung in Kontakt steht und die beidenleile in einem Abstand voneinander-hält, und daß ilittel (96,97) vorgesehen sind, um die von der Halterung . auf den Abstandsklotz ausgeübte Kraft verändern und damit die Torriehtung auf eine Frequenz abstimmen zu können, die in einem gewünschten Terhältnis zur Frequenz der Tibratoreinrichtung (.59.) steht.

   10.Torriehtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Terandern der Kraft in einem Torrichtungsteil (97) zum Anlegen einer verstellbaren Kraft auf dan linde der Halterung besteht, welches auf der zum Schirm (14) entgegengesetzten Seite der Abstützungsstelle für die-Halterung liegt, wobei die Abstütsungsstelle als ein Drehpunkt wirkt.- -_;

   11. Torriehtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß am Umfang des Schirmes "(1.4)" mindestens ein Flügel (82) montiert ist, der einen Zwischenraum zwischen dem Schirm und dem partikelförmigen Material in dem Terdampfungsgefäß erhält. · .

   12. Torriehtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß

   eine Eemperaturmeßeinrichtung (100) in der Höhre (41)

   ■--.■■ am ■" " . .-" . . · ... nahe deren/Terdampfungsgefäß liegenden vinde angeordnet' ist.

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   13« Torr I cht uiig nach Anspruch 8 firtr die Verv/en/un,^ toe J3ilisiuiiidlo3cid als partlkelf omiges. Material' - . dadurch gekennzeichnet, daß in. der Rölirc . (41) ein.e Iloarleltuiig (9β~)-angeordnet-ist, die tiäclist dom ilnde der Rolire am .Verdampf LUigsgefäß endigt, und daß Mittel vor ge seilen sind, um Sauerstroff .durch die-Rohrleitung .in. .dao Terdanipfun^G-gefäß in einer solchen Menge einzuleiten, daß ein ausreichend¹ hoher Bartialdruclc des Sauerstoffs in dem-Ter-- :d8.mpfungsgefäß entsteht, -welcher einen Jibioau des Cilisiuua- -dioxids in Silisiuromonoxid. verhindert.