EP2930232B1 - Verfahren zur reinigung von technischen anlagenteilen von metallhalogeniden - Google Patents

Verfahren zur reinigung von technischen anlagenteilen von metallhalogeniden Download PDF

Info

Publication number
EP2930232B1
EP2930232B1 EP15162053.1A EP15162053A EP2930232B1 EP 2930232 B1 EP2930232 B1 EP 2930232B1 EP 15162053 A EP15162053 A EP 15162053A EP 2930232 B1 EP2930232 B1 EP 2930232B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
method comprises
plant components
nitriles
metal halides
halides
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
EP15162053.1A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP2930232A1 (de
Inventor
Javad MOHSSENI
Konrad Mautner
Peter Nürnberg
Christian Kaltenmarkner
Klaus Kaeppler
Andreas Bockholt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wacker Chemie AG
Original Assignee
Wacker Chemie AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wacker Chemie AG filed Critical Wacker Chemie AG
Publication of EP2930232A1 publication Critical patent/EP2930232A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP2930232B1 publication Critical patent/EP2930232B1/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/50Solvents
    • C11D7/5004Organic solvents
    • C11D7/5013Organic solvents containing nitrogen
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto 
    • B08B9/02Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
    • B08B9/027Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/22Organic compounds
    • C11D7/32Organic compounds containing nitrogen
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/22Organic compounds
    • C11D7/32Organic compounds containing nitrogen
    • C11D7/3209Amines or imines with one to four nitrogen atoms; Quaternized amines
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/50Solvents
    • C11D7/5004Organic solvents
    • C11D7/5009Organic solvents containing phosphorus, sulfur or silicon, e.g. dimethylsulfoxide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D2111/00Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
    • C11D2111/10Objects to be cleaned
    • C11D2111/14Hard surfaces
    • C11D2111/20Industrial or commercial equipment, e.g. reactors, tubes or engines

Definitions

  • the invention relates to a method for the purification of technical system parts of metal halides, organometallic halides and silanes with a nitrile.
  • Acetonitrile is described as a solvent for aluminum chloride [ Journal of inorganic and general chemistry. Weinheim: Wiley-VCH, ISSN 0372-7874 Vol. 511 (4, 1984), p. 148 ].
  • US3519458A teaches that fluxes containing inorganic chlorides can be removed from iron surfaces by blends of alkylamine and organic solvents such as butyl diglycol ether.
  • the invention relates to a process for the purification of technical plant parts of impurities selected from metal halides, organometallic halides and silanes and mixtures thereof, in which the plant parts are treated with a liquid nitrile or with a solution of a nitrile in an aprotic solvent.
  • the impurities in particular the metal halides form deposits in the system parts.
  • the impurities can easily be dissolved out of the technical components with nitriles.
  • the linings in the pipes are opened or dissolved and washed out. After cleaning the system parts, they are dried again and put into operation. The residues of the cleaning can be simply rinsed off and professionally e.g. be disposed of by incineration.
  • the impurities are in particular metal halides which are hydrolyzed with water to form acids and organometallic halides, in particular organometallic chlorides.
  • organometallic chlorides and chlorides of iron such as FeCl 2 , FeCl 3 , cobalt, nickel, chromium, titanium, copper, tin, zinc and preferably AlR x Cl 3-x , where R is an organo or organosilane function, in particular methyl and x Values 0, 1 or 2, in particular AlCl 3 .
  • the nitriles used are preferably the nitriles of monocarboxylic or polycarboxylic acids, which preferably contain 2 to 20 carbon atoms, in particular 5 to 12 carbon atoms.
  • nitriles of the aliphatic, saturated monocarboxylic acids such as acetic, propionic, butyric, valeric and caproic acids and the fatty acids having up to 18 carbon atoms.
  • dinitriles of aliphatic, saturated dicarboxylic acids such as malonic, succinic, glutaric, adipic, pimelinic and suberic.
  • Adipodinitrile is an important intermediate for the production of polyamides and therefore easily and inexpensively available.
  • solvents or solvent mixtures having a boiling point or boiling range of up to 120 ° C. at 1013 hPa.
  • solvents such as dioxane, tetrahydrofuran, diethyl ether, di-isopropyl ether, diethylene glycol dimethyl ether; chlorinated hydrocarbons, such as dichloromethane, trichloromethane, carbon tetrachloride, 1,2-dichloroethane, trichlorethylene; Hydrocarbons, such as pentane, n-hexane, hexane isomer mixtures, heptane, octane, benzine, petroleum ether, benzene, toluene, xylenes; Siloxanes, in particular linear dimethylpolysiloxanes having trimethylsilyl end groups with preferably 0 to 6 dimethyl
  • the concentration of the nitriles in the aprotic solvents is preferably at least 1 g / l, particularly preferably at least 5 g / l, in particular at least 10 g / l.
  • the process is preferably carried out at a temperature of 0 ° C to 100 ° C, especially from 15 ° C to 30 ° C.
  • the process is preferably carried out at a pressure of 500 hPa to 2000 hPa, in particular from 900 hPa to 1200 hPa.
  • plant parts are cleaned in which silanes, selected from methylchlorosilanes and chlorosilanes are processed. From these parts of the plant AlR x Cl 3-x , in particular AlCl 3 is removed with high-boiling organochlorosilanes.
  • Acetonitrile is less suitable for these plant components because acetonitrile has a boiling point of 82 ° C at 1013 hPa, and thus a noticeable vapor pressure at room temperature. High vapor pressure makes it difficult to use acetonitrile in pipeline cleaning since acetonitrile is flammable.
  • acetonitrile must not be introduced into silane mixtures of the distillation since the boiling point is very close to chlorosilanes or methylchlorosilanes and then itself would become contaminated.
  • Plant components are nitriles used alone or together with aprotic solvents having a boiling point of at least 120 ° C at 1013 hPa. Particularly preferred is adiponitrile.
  • plant components are pipelines, stirred tanks, tubular reactors, distillation columns and their internals and packings, thin-film evaporators, falling-film evaporators, short-path distillations including their internals such as, for example, Wipers in thin-film evaporators, but also heat exchangers and containers, such as tanks and pistons.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Detergent Compositions (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reinigung von technischen Anlagenteilen von Metallhalogeniden, Organometallhalogeniden und Silanen mit einem Nitril.
  • Viele industrielle Rohprodukte und Mischungen, wie die Methylchlorsilane und Chlorsilane enthaltenden Mischungen aus der Direktsynthese (Müller-Rochow-Synthese) oder die Chlorsilanmischungen aus der Hydrochlorierung von metallurgischem Silizium können Metallhalogenide, Organometallhalogenide und Silane, insbesondere AlCl3 enthalten. Die Silane in den Rohsilanen werden mittels Destillation in mehreren Stufen in Reinsilane getrennt. Diese Verunreinigungen der Rohsilane setzen sich in den Rohrleitungen ab und führen zu Problemen bis hin zu Verstopfung der Leitungen. Daher müssen die Leitungen in regelmäßigen Zeitabständen demontiert und z.B. mit Wasser gereinigt werden. Die genannte Reinigungsmethode hat zwei Nachteile: Erster Nachteil ist der Aufwand. Demontage-Reinigung-Montage von Leitungen nimmt viel Zeit in Anspruch und ist kostenintensiv. Zweiter Nachteil der Reinigung mit Wasser, ist die Bildung von Salzsäure durch Hydrolyse von Chlorsilanresten und Metallchloriden und/oder Organometallhalogeniden und/oder Mischungen aus Metallhalogeniden/Organometallhalogeniden, welche die Rohrleitungen angreift.
  • Acetonitril wird als Lösungsmittel für Aluminiumchlorid beschrieben [Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie. Weinheim : Wiley-VCH, ISSN 0372-7874 Vol. 511 (4. 1984), S. 148].
  • US4221674A beschreibt den Einsatz von organischen Nitrilen im Gemisch mit organischem Lösungsmittel bei der Reinigung metallischer Oberflächen zur Entfernung polymerer organischer Verbindungen
  • US3519458A lehrt, dass Flussmittel, die anorganische Chloride enthalten, von Eisenoberflächen entfernt werden können durch Gemische aus Alkylamin und organischem Lösungsmittel, wie Butyldiglykolether.
  • Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Reinigung von technischen Anlagenteilen von Verunreinigungen, die ausgewählt werden aus Metallhalogeniden, Organometallhalogeniden und Silanen und Mischungen davon, bei dem die Anlagenteile mit einem flüssigen Nitril oder mit einer Lösung eines Nitrils in einem aprotischen Lösungsmittel behandelt werden.
  • Die Verunreinigungen, insbesondere die Metallhalogenide bilden Beläge in den Anlagenteilen. Die Verunreinigungen lassen sich mit Nitrilen leicht aus den technischen Anlagenteilen herauslösen. Die Beläge in den Leitungen werden an- oder aufgelöst und ausgewaschen. Nach der Reinigung der Anlagenteile werden diese wieder getrocknet und in Betrieb genommen. Die Rückstände der Reinigung können einfach ausgespült und fachgerecht z.B. durch Verbrennung entsorgt werden.
  • Durch Reinigung von Anlagenteilen mit Nitrilen werden die zeit- und kostenintensive Demontage und Reinigung mit Wasser eingespart. Da die Leitungen nicht mehr mit saurem Wasser in Kontakt kommen, wird die Lebensdauer der Anlagenteile verlängert.
  • Die Verunreinigungen sind insbesondere mit Wasser zu Säuren hydrolysierende Metallhalogenide und Organometallhalogenide, insbesondere Organometallchloride. Beispiele sind Organometallchloride und Chloride von Eisen, wie FeCl2, FeCl3, Kobalt, Nickel, Chrom, Titan, Kupfer, Zinn, Zink und bevorzugt AlRxCl3-x, wobei R eine Organo- oder Organosilanfunktion, insbesondere Methyl und x die Werte 0, 1 oder 2 bedeuten, insbesondere AlCl3.
  • Als Nitrile werden vorzugsweise eingesetzt die Nitrile von Mono- oder Polycarbonsäuren, die vorzugsweise 2 bis 20 Kohlenstoffatome, insbesondere 5 bis 12 Kohlenstoffatome enthalten.
  • Bevorzugt sind die Nitrile der aliphatischen, gesättigten Monocarbonsäuren, wie Essig-, Propion-, Butter-, Valerian- und Capronsäure und der Fettsäuren mit bis zu 18 Kohlenstoffatomen.
  • Bevorzugt sind auch die Dinitrile der aliphatischen, gesättigten Dicarbonsäuren, wie Malon-, Bernstein-, Glutar-, Adipin-, Pimelin- und Suberinsäure.
  • Bevorzugt sind Nitrile mit einem Siedepunkt von mindestens 120°C bei 1013 hPa, insbesondere mindestens 150°C bei 1013 hPa.
  • Insbesondere bevorzugt ist Adipodinitril, welches bei 295°C bei 1013 hPa siedet und aufgrund seiner zwei Nitrilgruppen im Molekül eine starke komplexierende Wirkung auf Metallionen aufweist. Adipodinitril ist ein wichtiges Intermediate zur Herstellung von Polyamiden und daher leicht und kostengünstig verfügbar.
  • Falls Lösungen von Nitrilen in aprotischen Lösungsmitteln verwendet werden, sind Lösungsmittel oder Lösungsmittelgemische mit einem Siedepunkt bzw. Siedebereich von bis zu 120°C bei 1013 hPa bevorzugt. Beispiele für solche Lösungsmittel sind Ether, wie Dioxan, Tetrahydrofuran, Diethylether, Di-isopropylether, Diethylenglycoldimethylether; chlorierte Kohlenwasserstoffe, wie Dichlormethan, Trichlormethan, Tetrachlormethan, 1,2-Dichlorethan, Trichlorethylen; Kohlenwasserstoffe, wie Pentan, n-Hexan, Hexan-Isomerengemische, Heptan, Oktan, Waschbenzin, Petrolether, Benzol, Toluol, Xylole; Siloxane, insbesondere lineare Dimethylpolysiloxane mit Trimethylsilylendgruppen mit bevorzugt 0 bis 6 Dimethylsiloxaneinheiten, oder cyclische Dimethylpolysiloxane mit bevorzugt 4 bis 7 Dimethylsiloxaneinheiten, beispielsweise Hexamethyldisiloxan, Octamethyltrisiloxan, Octamethylcyclotetrasiloxan und Decamethylcyclopentasiloxan;
    Ketone, wie Aceton, Methylethylketon, Di-isopropylketon, Methyl-isobutylketon (MIBK); Ester, wie Ethylacetat, Butylacetat, Propylpropionat, Ethylbutyrat, Ethyl-isobutyrat; Schwefelkohlenstoff und Nitrobenzol, oder Gemische dieser Lösungsmittel.
  • Die Konzentration der Nitrile in den aprotischen Lösungsmitteln beträgt vorzugsweise mindestens 1 g/l, besonders bevorzugt mindestens 5 g/l, insbesondere mindestens 10 g/l.
  • Das Verfahren wird vorzugsweise bei einer Temperatur von 0°C bis 100°C, insbesondere von 15°C bis 30°C durchgeführt.
  • Das Verfahren wird vorzugsweise bei einem Druck von 500 hPa bis 2000 hPa, insbesondere von 900 hPa bis 1200 hPa durchgeführt.
  • In einer besonderen Ausführungsform werden Anlagenteile gereinigt, in welchen Silane, ausgewählt aus Methylchlorsilanen und Chlorsilanen verarbeitet werden. Aus diesen Anlagenteilen wird AlRxCl3-x, insbesondere AlCl3 mit hochsiedenden Organochlorosilanen entfernt. Für diese Anlagenteile ist Acetonitril weniger geeignet, denn Acetonitril hat einen Siedepunkt von 82°C bei 1013 hPa, und damit einen merklichen Dampfdruck bei Raumtemperatur. Hoher Dampfdruck erschwert die Verwendung von Acetonitril in der Reinigung von Rohrleitungen, da Acetonitril brennbar ist. Acetonitril darf auch nicht in Silangemische der Destillation eingeschleppt werden, da der Siedepunkt sehr nah bei Chlorsilanen oder Methylchlorsilanen liegt und dann selbst zur Verunreinigung würde. Für diese Anlagenteile werden Nitrile alleine oder zusammen mit aprotischen Lösungsmitteln mit einem Siedepunkt von mindestens 120°C bei 1013 hPa eingesetzt. Insbesondere bevorzugt ist Adipodinitril.
  • Beispiele für Anlagenteile sind Rohrleitungen, Rührkessel, Rohrreaktoren, Destillationskolonnen und deren Einbauten und Packungen, Dünnschichtverdampfer, Fallfilmverdampfer, Kurzwegdestillationen inklusive deren Einbauten wie z.B. Wischer in Dünnschichtverdampfern, aber auch Wärmetauscher und Behälter, wie Tanks und Kolben.

Claims (7)

  1. Verfahren zur Reinigung von technischen Anlagenteilen von Verunreinigungen, die ausgewählt werden aus Metallhalogeniden, Organometallhalogeniden und Silanen und Mischungen davon, bei dem die Anlagenteile mit einem flüssigen Nitril oder mit einer Lösung eines Nitrils in einem aprotischen Lösungsmittel behandelt werden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Metallhalogenide und Organometallhalogenide ausgewählt werden aus Organometallchloriden und Chloriden von Eisen, Kobalt, Nickel, Chrom, Titan, Kupfer, Zinn, Zink und Al.
  3. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, bei dem die Nitrile von Mono- oder Polycarbonsäuren mit 2 bis 20 Kohlenstoffatomen eingesetzt werden.
  4. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, bei dem eine Lösung von Nitrilen in einem aprotischen Lösungsmittel eingesetzt wird, das ausgewählt wird aus Ethern, chlorierten Kohlenwasserstoffen, Kohlenwasserstoffen, Siloxanen, Ketonen, Estern, Schwefelkohlenstoff und Nitrobenzol und Gemischen dieser Lösungsmittel.
  5. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, bei dem Anlagenteile gereinigt werden, in welchen Silane, ausgewählt aus Methylchlorsilanen und Chlorsilanen verarbeitet werden, wobei AlCl3 entfernt wird und Nitrile und gegebenenfalls aprotische Lösungsmittel mit einem Siedepunkt von mindestens 120°C bei 1013 hPa eingesetzt werden.
  6. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, bei dem Adipodinitril eingesetzt wird.
  7. Verfahren nach einem der oder mehreren vorangehenden Ansprüche, bei dem die Anlagenteile ausgewählt werden aus Rohrleitungen, Rührkesseln, Rohrreaktoren, Destillationskolonnen und deren Einbauten und Packungen, Dünnschichtverdampfern, Fallfilmverdampfern, Kurzwegdestillationen inklusive deren Einbauten, Wärmetauschern und Behältern.
EP15162053.1A 2014-04-09 2015-03-31 Verfahren zur reinigung von technischen anlagenteilen von metallhalogeniden Active EP2930232B1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014206875.4A DE102014206875A1 (de) 2014-04-09 2014-04-09 Verfahren zur Reinigung von technischen Anlagenteilen von Metallhalogeniden

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP2930232A1 EP2930232A1 (de) 2015-10-14
EP2930232B1 true EP2930232B1 (de) 2017-12-06

Family

ID=53039688

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP15162053.1A Active EP2930232B1 (de) 2014-04-09 2015-03-31 Verfahren zur reinigung von technischen anlagenteilen von metallhalogeniden

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9994802B2 (de)
EP (1) EP2930232B1 (de)
JP (1) JP6121472B2 (de)
KR (1) KR101882054B1 (de)
CN (1) CN104971918B (de)
DE (1) DE102014206875A1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016206090A1 (de) * 2016-04-12 2017-10-12 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Abtrennung von Aluminiumchlorid aus Silanen
JP7389977B2 (ja) 2018-03-29 2023-12-01 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 電力制御システム

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE523301A (de) 1952-10-29 1953-10-31
BE527039A (de) 1953-03-25
US3007956A (en) 1960-07-01 1961-11-07 Gen Electric Process for separating organosilanes
US3519458A (en) * 1966-03-01 1970-07-07 Hooker Chemical Corp Method for reducing the corrosion susceptibility of ferrous metal having fluxing agent residue
US3766241A (en) * 1971-05-26 1973-10-16 Du Pont Removal of metal cations from solution in nitriles
US4221674A (en) * 1979-03-09 1980-09-09 Allied Chemical Corporation Organic sulfonic acid stripping composition and method with nitrile and fluoride metal corrosion inhibitor system
FR2552434B1 (fr) 1983-09-28 1985-10-25 Rhone Poulenc Spec Chim Procede de fabrication de silane a partir de methyldichlorosilane et de chlorosilanes
JPH0631271B2 (ja) 1986-03-31 1994-04-27 徳山曹達株式会社 アリ−ルジハロシランの製造方法
US4757154A (en) 1986-11-04 1988-07-12 Ethyl Corporation Preparation of silane and amine alanes
JPH0635466B2 (ja) 1988-09-28 1994-05-11 信越化学工業株式会社 ジオルガノハロゲノシランの製造方法
US4927616A (en) 1989-10-02 1990-05-22 Ethyl Corporation Preparation of silane and amine alanes
JP3131868B2 (ja) 1995-04-20 2001-02-05 信越化学工業株式会社 オルガノシラン類の製造方法
US5493042A (en) * 1995-06-15 1996-02-20 Dow Corning Corporation Process for removing silanes from by-product stream
US5545743A (en) 1995-11-02 1996-08-13 Dow Corning Corporation Process for heat-fractionation of organosilanes
JPH1087670A (ja) 1996-09-18 1998-04-07 Chisso Corp スチリルシランの製造方法
AT409629B (de) * 2000-09-14 2002-09-25 Dsm Fine Chem Austria Gmbh Waschverfahren zur reinigung von n-bzw. amino- oder ammoniumgruppen haltigen polymeren
TW486392B (en) 2000-09-29 2002-05-11 Air Prod & Chem Solvent blend for use in high purity precursor removal
US7018937B2 (en) * 2002-08-29 2006-03-28 Micron Technology, Inc. Compositions for removal of processing byproducts and method for using same
US20040261823A1 (en) 2003-06-27 2004-12-30 Lam Research Corporation Method and apparatus for removing a target layer from a substrate using reactive gases
JP4442376B2 (ja) * 2004-09-22 2010-03-31 東ソー株式会社 レジスト除去用組成物
JP2006258890A (ja) * 2005-03-15 2006-09-28 Tosoh Corp 基板工程用レジスト剥離液
KR101409726B1 (ko) 2005-12-06 2014-06-19 다우 코닝 코포레이션 클로로실란의 분리방법
SG154438A1 (en) 2005-12-30 2009-08-28 Lam Res Corp Cleaning compound and method and system for using the cleaning compound
DE102008001576A1 (de) * 2008-05-06 2009-11-12 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Hydrolyse von Metallsalzen mit Emulsionen
DE102008001577A1 (de) * 2008-05-06 2009-11-12 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Hydrolyse von festen Metallsalzen mit wässrigen Salzlösungen
NZ591184A (en) 2008-07-17 2012-09-28 Delaval Holding Ab Method of cleaning food and beverage manufacturing and handling equipmemt
DE102009027729A1 (de) * 2009-07-15 2011-01-27 Evonik Degussa Gmbh Entfernung von Fremdmetallen aus anorganischen Silanen
US8128755B2 (en) 2010-03-03 2012-03-06 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Cleaning solvent and cleaning method for metallic compound
FR2965567B1 (fr) 2010-10-05 2013-12-27 Arkema France Composition de nettoyage de polymeres
CN103046055B (zh) 2013-01-15 2015-11-04 四川理工学院 咪唑基赖氨酸盐离子液体作为钢铁缓蚀剂的应用
US20150159122A1 (en) 2013-12-09 2015-06-11 General Electric Company Cleaning solution and methods of cleaning a turbine engine

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *

Also Published As

Publication number Publication date
CN104971918B (zh) 2018-03-13
DE102014206875A1 (de) 2015-10-15
KR101882054B1 (ko) 2018-07-25
KR20150117207A (ko) 2015-10-19
US20150291920A1 (en) 2015-10-15
EP2930232A1 (de) 2015-10-14
US9994802B2 (en) 2018-06-12
JP2015213900A (ja) 2015-12-03
CN104971918A (zh) 2015-10-14
JP6121472B2 (ja) 2017-04-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0342521B1 (de) Verfahren zur Reinigung von rohem, gasförmigem Chlorwasserstoff
EP2930232B1 (de) Verfahren zur reinigung von technischen anlagenteilen von metallhalogeniden
EP0999214B1 (de) Verfahren zur Herstellung von chloridarmen oder chloridfreien Alkoxysilanen
EP2481708B1 (de) Verfahren zur destillativen Reinigung von Chlorsilanen
RU2007122758A (ru) Способ и установка для очистки трихлорсилана и тетрахлорида кремния
DE2148669C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Organosiloxanen
EP3158049B1 (de) Reinigungsmittel zur schonenden entfernung von tinten und marker
DE2800017A1 (de) Verfahren zur herstellung von organoalkoxysilanen
CN104370742A (zh) 一种从pgmea废液中提纯pgmea的方法
DE2409731A1 (de) Veresterungsverfahren fuer trichlorsilan
DE1148078B (de) Verfahren zur Kondensation von Organosiliciumverbindungen
DE102014013250A1 (de) Verfahren zur Aufreinigung halogenierter Oligosilane
MX2021001698A (es) Colesterol de aceite de pescado.
KR101934496B1 (ko) 오염된 기체 염화수소의 정제 방법
CH415623A (de) Verfahren zur Herstellung von Stickstoff-Silicium-Verbindungen
CN102617625A (zh) 高品质六甲基二硅氧烷的制备方法
CN102355931A (zh) 从废水中分离有机硅化合物
EP0831061A1 (de) Rückgewinnung von Alkoholen aus Prozessabwässern der Siliconharzherstellung
EP2773794B1 (de) Behandlung von stahloberflächen
EP3728277B1 (de) Oxamidoester-gruppen aufweisende silane
CN109971566A (zh) 一种环保型清洗剂
FI96964B (fi) Metallituotteiden muokkauksen yhteydessä käytettävien öljyjen regenerointi
TWI261052B (en) Production process of high-purity ethanolamines
JP6743326B1 (ja) 精製クロロシラン類の製造方法
DE69020273T2 (de) Verfahren zum Entfernen von Zinnverbindungen aus Abgasen.

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20150331

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: BA ME

17Q First examination report despatched

Effective date: 20151120

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

RIC1 Information provided on ipc code assigned before grant

Ipc: C11D 7/32 20060101AFI20170628BHEP

Ipc: C11D 11/00 20060101ALI20170628BHEP

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20170724

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: REF

Ref document number: 952379

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20171215

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: GERMAN

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 502015002473

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 4

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: MP

Effective date: 20171206

REG Reference to a national code

Ref country code: LT

Ref legal event code: MG4D

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: NO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180306

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: RS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180307

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180306

Ref country code: HR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: LV

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: SM

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R097

Ref document number: 502015002473

Country of ref document: DE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

26N No opposition filed

Effective date: 20180907

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

REG Reference to a national code

Ref country code: BE

Ref legal event code: MM

Effective date: 20180331

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: MM4A

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20180331

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20180331

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20180331

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20180331

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20180331

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: TR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT; INVALID AB INITIO

Effective date: 20150331

Ref country code: MK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20171206

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171206

Ref country code: IS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180406

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MM01

Ref document number: 952379

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20200331

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200331

P01 Opt-out of the competence of the unified patent court (upc) registered

Effective date: 20230502

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20240320

Year of fee payment: 10

Ref country code: GB

Payment date: 20240320

Year of fee payment: 10

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20240328

Year of fee payment: 10