EP1028449B1 - Röntgenröhre - Google Patents

Röntgenröhre Download PDF

Info

Publication number
EP1028449B1
EP1028449B1 EP00200428A EP00200428A EP1028449B1 EP 1028449 B1 EP1028449 B1 EP 1028449B1 EP 00200428 A EP00200428 A EP 00200428A EP 00200428 A EP00200428 A EP 00200428A EP 1028449 B1 EP1028449 B1 EP 1028449B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
ray tube
electron beam
chamber
anode
cathode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP00200428A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1028449A1 (de
Inventor
Geoffrey Harding
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Koninklijke Philips Electronics NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Intellectual Property and Standards GmbH, Koninklijke Philips Electronics NV filed Critical Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Publication of EP1028449A1 publication Critical patent/EP1028449A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1028449B1 publication Critical patent/EP1028449B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/112—Non-rotating anodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
    • H01J35/153—Spot position control
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00—X-ray tubes
    • H01J2235/08—Targets (anodes) and X-ray converters
    • H01J2235/081—Target material
    • H01J2235/082—Fluids, e.g. liquids, gases

Definitions

  • the invention relates to an X-ray tube according to the preamble of claim 1.
  • a such X-ray tube is from an article by Bearden et al. in Rev. Sci. Instr., Vol.35. Only 12th, p 1681-1683 known.
  • the target consists of mercury, which by means of a Evaporator's heat source is vaporized and through a nozzle as a mercury vapor jet exiting from an electron beam emitted from a cathode so that X-ray brake radiation is generated before the mercury vapor beam is hit again liquefied in a cooler and the heat source is supplied.
  • the Vapor pressure of mercury is very low, so that only little X-radiation is created. Nevertheless, u.a.
  • a more powerful X-ray tube is known for example from DE 195 44 203.
  • the Electrons generated with an electron source (cathode) are directed toward one Anode accelerates and occur there in a conically narrowing passageway at whose output there is a target of heavy metal.
  • the electron beam is characterized by this arrangement with a very small focus and a relatively high Electron density directed at the target, so that X-rays with high Efficiency are generated.
  • the thermal conductivity of the anode decreases with increasing Temperature. This in turn causes the heat conduction from the electron focus in and through the anode material becomes lower and the temperature in the Focus continues to increase, so that the melting temperature of the anode material is still can be reached and exceeded faster. A destruction of the anode surface is then the immediate consequence. For these reasons, it must be ensured that the Focal point temperature in X-ray tubes of this kind does not exceed about 1500 ° C, so that, to a significant degree, the further possible increase in X-ray density must be waived.
  • the focal point temperature can be increased to about 2200 ° C. without damaging the anode.
  • thermal emission Energy is proportional to the fourth power of the anode surface temperature, For example, such rotating anode tubes operate essentially with radiant cooling.
  • the measures mentioned are either relatively expensive or only of limited effect.
  • the invention is therefore based on the object, an X-ray tube ge called to create kind, with which produces a much higher X-ray density can be. This object is achieved by the measures specified in claim 1 solved.
  • the target is separated from the anode and largely thermally isolated, can the electron density at the focal point of the electron beam are substantially increased, so that a much higher X-ray density can be achieved without the anode temperature assumes impermissibly high values.
  • the chamber Since the chamber is closed by the entrance window opposite the cathode compartment is, through which the electron beam passes, can work with an overpressure which is higher by several powers of ten than in the aforementioned X-ray tube with gaseous target. This can - even at higher tube voltages - A significantly higher X-ray intensity can be achieved without There is a risk that the life of the tube is shortened and the high-voltage strength is affected by the gaseous target.
  • a noble gas with a sufficiently high atomic number be present e.g. Xenon, both in the operating state and in the Operation breaks is gaseous.
  • Claim 2 in contrast, describes the use of a Heavy metal, the solid or in the operating pauses (i.e., at about room temperature) or may be liquid and in the operating condition (i.e., at comparatively high temperatures) is in a vaporous state.
  • An advantageous embodiment is specified in claim 3.
  • the entrance window according to claim 4 and in particular its dimensioning according to Claim 5 has the advantage that on the one hand, the passing electrons energy loss suffer from only about five percent, and that, on the other hand, the window pressure differences can withstand up to 100 bar.
  • a coating of the entrance window according to claim 6 or 7 has the advantage that it also in case of an unintentional increase of the operating pressure within the Chamber is not attacked by the high-temperature plasma and clouded.
  • An X-ray tube 1 according to FIG. 1 has a cathode 2 and an anode 3.
  • the Cathode essentially comprises Katodenkopf 20 with a filament 21 ( Figure 2), by a power supply device (not shown) with a corresponding Heating current is applied.
  • the cathode 3 opposite anode 3 is substantially semi-circular, so that between the cathode 2 and the anode 3 is a radial electric field is generated.
  • a channel 4 extends with an entrance opening 41 for the electrons, which is opposite to the cathode 2.
  • the channel 4 is with its outlet opening 42 on a Diamond window 7 directed a chamber 6 containing the target.
  • the inlet opening 41 of the channel 4 is larger than the outlet opening 42.
  • the channel narrows in the direction of the outlet opening (conical path) and is preferably arranged and formed such that the electrons entering the channel below an angle of no more than 1 ° to a surface of the channel. In this case the electrons are reflected elastically in the direction of the outlet opening 42, without that X-radiation is already generated by this impact and significant energy losses occur. This also contributes to the efficiency of the X-ray tube increase, as well as those electrons, one tangential to the filament of the cathode Have speed component, are scattered into the focal point 51.
  • the cathode 2 In the operating state, the cathode 2 emits in a known manner electrons, which in the radial electric field of the anode can be accelerated in the direction of this and through enter the inlet opening 41 in the channel 4.
  • Channel 4 acts as a collimator and concentrates the electrons in the form of an electron beam 5 into a focal point 51.
  • This focus is within the chamber 6, so that the target material located there (For example, mercury) evaporates and the pressure in the chamber at the Operating temperature of the X-ray tube substantially that in a high-pressure gas discharge lamp (about 50 bar) corresponds.
  • the path length of the electrons is in a mercury vapor at a pressure of 50 bar several millimeters.
  • a line-like arises directly behind the diamond window Focal point with a length of about 5 mm in the propagation direction of the electrons and a width of about 2 mm perpendicular thereto
  • the operating pressure within the chamber 6 should be optimized taking into account the following marginal values: if the pressure is too low, the electrons diffuse too far out of the focus area, so that the focal point becomes relatively large. On the other hand, if the pressure is too high, the inside of the diamond window is too close to the high-temperature plasma to possibly be attacked by it and undergo conversion to carbon. The operating pressure should therefore be between these two values.
  • the diamond window may also be coated with one or more thin metal layers of, for example, titanium and / or platinum to provide protection from the plasma in this manner.
  • Figure 2 shows a plan view of the cathode 2 according to arrow "A” in Figure 1 and leaves the actual filament 21 recognize.
  • Figure 3 is finally a plan view of the Anode 3 according to arrow "B" shown in the center of the inlet opening 41 of the channel 4th lies.
  • a substantially higher X-ray density can be achieved be achieved without the anode is heated to impermissibly high levels.
  • the chamber 6 resulting heat is removed only by radiation cooling.

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Röntgenröhre nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Eine solche Röntgenröhre ist aus einem Aufsatz von Bearden et al. in Rev. Sci. Instr., Vol.35. Nur.12., p 1681-1683 bekannt. Das Target besteht dabei aus Quecksilber, das mittels eines Verdampfers Wärmequelle verdampft wird und durch eine Düse als Quecksilberdampfstrahl austritt, der von einem aus einer Kathode emittierter Elektronenstrahl getroffen wird, sodass Röntgenbremsstrahlung erzeugt wird, bevor der Quecksilberdampfstrahl wieder in einem Kühler verflüssigt und der Wärmequelle zugeführt wird. Der Dampfdruck des Quecksilber ist sehr gering, sodass nur wenig Röntgenstrahlung entseht. Gleichwohl ist u.a. eine Diffusionspumpe nötig, um zu verhindern, dass größere Mengen von Quecksilberdampf in den Kathodenraum gelangen, der über ein Loch von 3mm. Durchmesser mit dem Raum in Verbindung steht, durch den der Quecksilberdampfstrahl verläuft. Der Dampf würde nämlich die ohnehin geringe Lebensdauer noch weiter verkürzen und die Hochspannungsfestigkeit im Katodenraum beeinträchtigen. Wegen der nötigen Diffusionspumpen, des Verdampfers und des Kühlers für den Quecksilberdampf ist diese für Bremsstrahlungs-Studien benutzte Röntgenröhre teuer - trotz der geringen Ausbeute an Röntgenstrahlung und ihrer geringen Lebensdauer.
Eine leistungsfähigere Röntgenröhre ist zum Beispiel aus der DE 195 44 203 bekannt. Die mit einer Elektronenquelle (Kathode) erzeugten Elektronen werden in Richtung auf eine Anode beschleunigt und treten dort in einen sich konisch verengenden Durchtrittskanal ein, an dessen Ausgang sich ein Target aus Schwermetall befindet. Der Elektronenstrahl wird durch diese Anordnung mit einem sehr kleinen Fokus und einer relativ hohen Elektronendichte auf das Target gerichtet, so dass Röntgenstrahlen mit hohem Wirkungsgrad erzeugt werden.
Eine mit dieser Anordnung an sich mögliche, erhebliche Steigerung der Röntgenstrahldichte (das heißt der Anzahl der pro Flächeneinheit des Targets emittierten Photonen) im Vergleich zu bekannten Röntgenröhren wird jedoch durch die damit verbundene Erhöhung der Anodentemperatur begrenzt. Wenn diese Temperatur nämlich in den Bereich der Schmelztemperatur des Anodenmaterials gelangt, steigt der Dampfdruck an, so dass elektrische Entladungen zwischen Anode und Kathode auftreten können.
Weiterhin vermindert sich die thermische Leitfähigkeit der Anode mit steigender Temperatur. Dies führt wiederum dazu, dass die Wärmeleitung von dem Elektronen-Brennpunkt in und durch das Anodenmaterial geringer wird und die Temperatur im Brennpunkt weiter ansteigt, so dass die Schmelztemperatur des Anodenmaterials noch schneller erreicht und überschritten werden kann. Eine Zerstörung der Anodenoberfläche ist dann die unmittelbare Folge. Aus diesen Gründen muss sichergestellt sein, dass die Brennpunkts-Temperatur bei Röntgenröhren dieser Art etwa 1500°C nicht übersteigt, so dass in wesentlichem Maße auf die an sich mögliche weitere Steigerung der Röntgenstrahldichte verzichtet werden muss.
Da eine Verminderung der Anodentemperatur durch Strahlungskühlung infolge der elektromagnetischen Emission aus der Anode praktisch keine Rolle spielt, besteht nur die Möglichkeit, entweder die Anode zum Beispiel mit einem Kühlmittel (Wasser o.ä.) zu kühlen, oder diese ständig zu drehen, so dass der betreffende Bereich in dem Elektronen-Brennpunkt nur für eine relativ kurze Zeit erwärmt wird und sich dann wieder abkühlen kann.
Durch diese Maßnahme kann die Brennpunkts-Temperatur auf etwa 2200°C gesteigert werden, ohne dass die Anode beschädigt wird. Da die durch thermische Emission abgestrahlte Energie proportional zu der vierten Potenz der Anoden-Oberflächentemperatur ist, arbeiten solche Röhren mit sich drehender Anode im wesentlichen mit einer Strahlungskühlung. Die genannten Maßnahmen sind allerdings entweder relativ aufwendig oder nur von begrenzter Wirkung.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Röntgenröhre der eingangs ge nannten Art zu schaffen, mit der eine wesentlich höhere Röntgenstrahldichte erzeugt werden kann. Diese Aufgabe wird durch die in Anspruch 1 angegebenen Maßnahmen gelöst.
Indem nun das Target von der Anode getrennt und weitgehend thermisch isoliert ist, kann die Elektronendichte im Brennpunkt des Elektronenstrahls wesentlich erhöht werden, so dass auch eine wesentlich höhere Röntgenstrahldichte erzielbar ist, ohne dass die Anodentemperatur unzulässig hohe Werte annimmt.
Da die Kammer durch das Eintrittsfenster gegenüber dem Kathodenraum abgeschlossen ist, durch den der Elektronennstrahl verläuft, kann mit einem Überdruck gearbeitet werden, der um mehrere Zehnerpotenzen höher ist als bei der eingangs genannten Röntgenröhre mit gasförmigen Target. Dadurch kann - auch bei höheren Röhrenspannungen - eine wesentlich höhere Röntgenstrahlen-Intensität erzielt werden, ohne dass die Gefahr besteht, dass die Lebensdauer der Röhre verkürzt und die Hochspannungsfestigkeit durch das gasförmige Target beeinträchtigt wird.
Als Material könnte dabei in der Kammer ein Edelgas mit einer ausreichend hohen Ordnungszahl vorhanden sein, z.B. Xenon, das sowohl im Betriebszustand als auch in den Betriebspausen gasförmig ist. Anspruch 2 beschreibt demgegenüber die Verwendung eines Schwermetalls, das in den Betriebspausen (d.h. bei etwa Zimmertemperatur) fest oder flüssig sein kann, und das sich im Betriebszustand (d.h. bei vergleichsweise hohen Temperaturen) in einem dampfförmigen Aggregatzustand befindet. Eine vorteilhafte Ausgestaltung ist in Anspruch 3 angegeben.
Das Eintrittsfenster gemäß Anspruch 4 und insbesondere dessen Dimensionierung gemäß Anspruch 5 hat den Vorteil, dass einerseits die hindurchtretenden Elektronen einen Energieverlust von nur etwa fünf Prozent erleiden, und dass andererseits das Fenster Druckdifferenzen von bis zu 100 bar standhalten kann.
Eine Beschichtung des Eintrittsfensters gemäß Anspruch 6 oder 7 hat den Vorteil, dass es auch bei einer eventuellen unbeabsichtigten Erhöhung des Betriebsdruckes innerhalb der Kammer durch das Hochtemperatur-Plasma nicht angegriffen und eingetrübt wird.
Die Verwendung von Quecksilber mit der in Anspruch 3 genannten Menge hat einen besonders guten Wirkungsgrad zur Folge.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform anhand der Zeichnung. Es zeigt:
  • Fig. 1 einen schematischen Querschnitt durch eine solche Ausführungsform;
  • Fig. 2 eine Ansicht gemäß Pfeil A in Figur 1 und
  • Fig. 3 eine Ansicht gemäß Pfeil B in Figur 1.
    • Eine Röntgenröhre 1 weist gemäß Figur eine Kathode 2 und eine Anode 3 auf. Die Kathode umfaßt im wesentlichen Katodenkopf 20 mit einem Heizfaden 21 (Fig.2), der durch eine Stromversorgungseinrichtung (nicht dargestellt) mit einem entsprechenden Heizstrom beaufschlagt wird. Die der Kathode 2 gegenüberliegende Anode 3 ist im wesentlichen halbkreisförmig, so daß zwischen der Kathode 2 und der Anode 3 ein radiales elektrisches Feld erzeugt wird.
    Durch die Anode 3 verläuft ein Kanal 4 mit einer Eintrittsöffnung 41 für die Elektronen, die der Kathode 2 gegenüberliegt. Der Kanal 4 ist mit seiner Austrittsöffnung 42 auf ein Diamantfenster 7 einer Kammer 6 gerichtet, die das Target enthält.
    Die Eintrittsöffnung 41 des Kanals 4 ist größer, als die Austrittsöffnung 42. Der Kanal verengt sich in Richtung auf die Austrittsöffnung (konischer verlauf) und ist vorzugsweise derart angeordnet und ausgebildet, daß die in den Kanal eintretenden Elektronen unter einem Winkel von maximal 1° auf eine Oberfläche des Kanals treffen. In diesem Fall werden die Elektronen elastisch in Richtung auf die Austrittsöffnung 42 reflektiert, ohne daß durch diesen Aufprall bereits Röntgenstrahlung erzeugt wird und wesentliche Energieverluste auftreten. Auch dies trägt dazu bei, den Wirkungsgrad der Röntgenröhre zu erhöhen, da auch diejenigen Elektronen, die eine zu dem Heizfaden der Kathode tangentiale Geschwindigkeitskomponente aufweisen, in den Brennpunkt 51 gestreut werden.
    Das Diamanrfensrer 7 der Kammer 6 hat vorzugsweise einen freien Durchmesser von 1 mm und eine Dicke von etwa 10 µm. Es ist bekannt (siehe Tabellen des Energieverlustes und der Reichweiten von Elektronen und Positronen in M.J. Berger und S.M. Seltzer, NBS/NSS Report 39, 1964), daß Elektronen mit einer Energie von etwa 200 keV beim Hindurchtreten durch ein solches Fenster einen Energieverlust von nur etwa 5% erleiden. Da ferner das Diamantmaterial eine niedrige Ordnungszahl (Z = 6) hat, werden die Elektronen beim Hindurchtreten durch das Fenster nur mit sehr kleinen Winkeln gestreut, so daß der Elektronenstrahl 5 im wesentlichen unbeeinflußt in die Kammer 6 eintritt.
    Im Bereich der Austrittsöffnung 42 des Kanals 4 befindet sich schließlich eine Kühleinrichtung 8.
    Im Betriebszustand emittiert die Kathode 2 in bekannter Weise Elektronen, die in dem radialen elektrischen Feld der Anode in Richtung auf diese beschleunigt werden und durch die Eintrittsöffnung 41 in den Kanal 4 eintreten. Der Kanal 4 wirkt als Kollimator und konzentriert die Elektronen in Form eines Elektronenstrahl 5 in einen Brennpunkt 51. Dieser Brennpunkt liegt innerhalb der Kammer 6, so daß das dort befindliche Targetmaterial (zum Beispiel Quecksilber) verdampft und der Druck in der Kammer bei der Betriebstemperatur der Röntgenröhre im wesentlichen dem in einer Hochdruck-Gasentlastungslampe (etwa 50 bar) entspricht.
    Die Weglänge der Elektronen beträgt in einem Quecksilberdampf mit einem Druck von 50 bar mehrere Millimeter. Somit entsteht direkt hinter dem Diamantfenster ein linienartiger Brennpunkt mit einer Länge von etwa 5 mm in Ausbreitungsrichtung der Elektronen und einer Breite von etwa 2 mm senkrecht dazu
    Der Betriebsdruck innerhalb der Kammer 6 sollte unter Berücksichtigung folgender Randwerte optimiert werden: wenn der Druck zu niedrig ist, diffundieren die Elektronen zu weit aus dem Brennpunktsbereich heraus, so daß der Brennpunkt relativ groß wird. Wenn der Druck andererseits zu hoch ist, liegt die Innenseite des Diamantfensters zu nahe an dem Hochtemperatur-Plasma, so daß sie möglicherweise davon angegriffen wird und eine Umwandlung in Kohlenstoff auftritt. Der Betriebsdruck sollte also zwischen diesen beiden Werten liegen.
    Als zusätzliche Maßnahme kann das Diamantfenster auch mit einer oder mehreren dünnen Metallschichten zum Beispiel aus Titan und/oder Platin beschichtet werden, um auf diese Weise einen Schutz vor dem Plasma zu schaffen.
    Figur 2 zeigt eine Draufsicht auf die Kathode 2 gemäß Pfeil "A" in Figur 1 und läßt den eigentlichen Heizfaden 21 erkennen. In Figur 3 ist schließlich eine Draufsicht auf die Anode 3 gemäß Pfeil "B" gezeigt, in deren Zentrum die Eintrittsöffnung 41 des Kanals 4 liegt.
    Mit der erfindungsgemäßen Röntgenröhre kann eine wesentlich höhere Röntgenstrahldichte erzielt werden, ohne daß die Anode auf unzulässig hohe Werte erhitzt wird. Die in der Kammer 6 entstehende Wärme wird ausschließlich durch Strahlungskühlung abgeführt.

    Claims (8)

    1. Röntgenröhre mit einer Einrichtung zur Erzeugung und Fokussierung eines Elektronenstrahls auf ein Target, das ein zumindest im Betriebszustand der Röntgenröhre gas- oder dampfförmiges Material enthält
      dadurch gekennzeichnet, dass das gas- oder dampfförmiges Material des Targets unter Überdruck in einer für Röntgenstrahlung zumindest teilweise durchlässigen Kammer (6) eingeschlossen ist, die ein Eintrittsfenster (7) für den Eintritt des Elektronenstrahls (5) in die Kammer (6) aufweist.
    2. Röntgenröhre nach Anspruch 1,
      dadurch gekennzeichnet, daß das Target ein Schwermetall enthält.
    3. Röntgenröhre nach Anspruch 2,
      dadurch gekennzeichnet, daß das Schwermetall Quecksilber ist, dessen Menge so gewählt ist, daß es unter Einwirkung des Elektronenstrahls (5) verdampft und ein Gas mit einem Druck von etwa 50 bar bildet.
    4. Röntgenröhre nach Anspruch 1,
      dadurch gekennzeichnet, dass die Kammer (6) aus Quarzglas ist und das Eintrittsfenster (7) für den Elektronenstrahl (5) aus Diamant besteht.
    5. Röntgenröhre nach Anspruch 4,
      dadurch gekennzeichnet, daß das Eintrittsfenster (7) eine Dicke von etwa 10 µm und einen Durchmesser von etwa 10 mm aufweist.
    6. Röntgenröhre nach Anspruch 4,
      dadurch gekennzeichnet, daß das Eintrittsfenster (7) mit mindestens einer Metallschicht beschichtet ist.
    7. Röntgenröhre nach Anspruch 6,
      dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht Titan oder Platin enthält.
    8. Röntgenröhre nach Anspruch 1,
      dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Erzeugung und Fokussierung eines Elektronenstrahls eine Kathode (2) und eine Anode (3) mit einem konischen Durchtrittskanal (4) aufweist, dessen der Kathode zugewandte Eintrittsöffnung (41) größer ist als seine Austrirrsöffnung (42), und der so angeordner und ausgebildet ist, daß die Elektronen unter einem Winkel von maximal etwa 1 Grad auf eine Oberfläche des Durchtrittskanals (4) treffen.
    EP00200428A 1999-02-12 2000-02-03 Röntgenröhre Expired - Lifetime EP1028449B1 (de)

    Applications Claiming Priority (2)

    Application Number Priority Date Filing Date Title
    DE19905802A DE19905802A1 (de) 1999-02-12 1999-02-12 Röntgenröhre
    DE19905802 1999-02-12

    Publications (2)

    Publication Number Publication Date
    EP1028449A1 EP1028449A1 (de) 2000-08-16
    EP1028449B1 true EP1028449B1 (de) 2005-01-26

    Family

    ID=7897245

    Family Applications (1)

    Application Number Title Priority Date Filing Date
    EP00200428A Expired - Lifetime EP1028449B1 (de) 1999-02-12 2000-02-03 Röntgenröhre

    Country Status (4)

    Country Link
    US (1) US6359968B1 (de)
    EP (1) EP1028449B1 (de)
    JP (1) JP2000243332A (de)
    DE (2) DE19905802A1 (de)

    Families Citing this family (5)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    DE19934987B4 (de) * 1999-07-26 2004-11-11 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Röntgenanode und ihre Verwendung
    DE10129463A1 (de) * 2001-06-19 2003-01-02 Philips Corp Intellectual Pty Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target
    SE530094C2 (sv) * 2006-05-11 2008-02-26 Jettec Ab Metod för alstring av röntgenstrålning genom elektronbestrålning av en flytande substans
    RU2015100936A (ru) * 2012-06-15 2016-08-10 Сименс Акциенгезелльшафт Источник рентгеновского излучения и его применение и способ генерации рентгеновского излучения
    DE102013209447A1 (de) * 2013-05-22 2014-11-27 Siemens Aktiengesellschaft Röntgenquelle und Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung

    Family Cites Families (21)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    US1946336A (en) * 1929-03-25 1934-02-06 Raytheon Mfg Co Gaseous discharge device
    FR741148A (de) * 1931-11-05 1933-02-04
    DE890246C (de) * 1940-03-03 1953-09-17 Heinrich Dr Med Chantraine Roentgenroehre mit einer aus einer umlaufenden metallischen Fluessigkeit, z. B. Quecksilber, bestehenden Anode
    NL171866B (nl) * 1951-08-18 Unilever Nv Werkwijze ter bereiding van een gedeeltelijk gesulfideerde metallische, op een drager aangebrachte katalysator.
    US2923852A (en) * 1957-10-21 1960-02-02 Scott Franklin Robert Apparatus for producing high velocity shock waves and gases
    US3525228A (en) * 1969-02-04 1970-08-25 Atomic Energy Commission Nonboiling liquid target for a high-energy particle beam
    US4538291A (en) * 1981-11-09 1985-08-27 Kabushiki Kaisha Suwa Seikosha X-ray source
    JPS5929331A (ja) * 1982-08-12 1984-02-16 Fujitsu Ltd エツクス線発生装置
    EP0186491B1 (de) * 1984-12-26 1992-06-17 Kabushiki Kaisha Toshiba Vorrichtung zur Erzeugung von Weich-Röntgenstrahlen durch ein Hochenergiebündel
    SU1368924A1 (ru) * 1985-06-24 1988-01-23 Воронежский государственный университет им.Ленинского комсомола Способ получени ренгеновского излучени
    US4737647A (en) * 1986-03-31 1988-04-12 Siemens Medical Laboratories, Inc. Target assembly for an electron linear accelerator
    US4953191A (en) * 1989-07-24 1990-08-28 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy High intensity x-ray source using liquid gallium target
    US5052034A (en) * 1989-10-30 1991-09-24 Siemens Aktiengesellschaft X-ray generator
    DE4017002A1 (de) * 1990-05-26 1991-11-28 Philips Patentverwaltung Strahlenquelle fuer quasimonochromatische roentgenstrahlung
    US5243638A (en) * 1992-03-10 1993-09-07 Hui Wang Apparatus and method for generating a plasma x-ray source
    US5459771A (en) * 1994-04-01 1995-10-17 University Of Central Florida Water laser plasma x-ray point source and apparatus
    US5577091A (en) * 1994-04-01 1996-11-19 University Of Central Florida Water laser plasma x-ray point sources
    US5577092A (en) * 1995-01-25 1996-11-19 Kublak; Glenn D. Cluster beam targets for laser plasma extreme ultraviolet and soft x-ray sources
    DE19544203A1 (de) * 1995-11-28 1997-06-05 Philips Patentverwaltung Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokusröntgenröhre
    JPH10221499A (ja) * 1997-02-07 1998-08-21 Hitachi Ltd レーザプラズマｘ線源およびそれを用いた半導体露光装置並びに半導体露光方法
    DE19821939A1 (de) * 1998-05-15 1999-11-18 Philips Patentverwaltung Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target

    Also Published As

    Publication number Publication date
    US6359968B1 (en) 2002-03-19
    DE19905802A1 (de) 2000-08-17
    EP1028449A1 (de) 2000-08-16
    DE50009314D1 (de) 2005-03-03
    JP2000243332A (ja) 2000-09-08

    Similar Documents

    Publication Publication Date Title
    DE10120336C2 (de) Ionenmobilitätsspektrometer mit nicht-radioaktiver Ionenquelle
    DE102013004297B4 (de) Target für Röntgenstrahlgenerator, Verfahren zum Herstellen desselben und Röntgenstrahlgenerator
    DE69814574T2 (de) Einrichtung zur Vermeidung einer Überhitzung des Fensters einer Röntgenröhre
    DE112009001604B4 (de) Thermionenemitter zur Steuerung des Elektronenstrahlprofils in zwei Dimensionen
    DE60007852T2 (de) Verfahren und vorrichtung zum verlängern der lebenszeit einer röntgenanode
    EP0584871B1 (de) Röntgenröhre mit einer Transmissionsanode
    DE19934987B4 (de) Röntgenanode und ihre Verwendung
    DE19957559A1 (de) Wärmeenergiespeicher- und Übertragungsvorrichtung
    WO2009098027A1 (de) Röntgentarget
    DE19513291C2 (de) Röntgenröhre
    DE10337667B4 (de) Plasma-Strahlungsquelle und Anordnung zur Erzeugung eines Gasvorhangs für Plasma-Strahlungsquellen
    DE102006060135A1 (de) Struktur zum Einfangen von gestreuten Elektronen
    DE4017002A1 (de) Strahlenquelle fuer quasimonochromatische roentgenstrahlung
    DE102013103668B4 (de) Anordnung zum Handhaben eines flüssigen Metalls zur Kühlung von umlaufenden Komponenten einer Strahlungsquelle auf Basis eines strahlungsemittierenden Plasmas
    EP1028449B1 (de) Röntgenröhre
    WO2005096341A1 (de) Anodenmodul für eine flüssigmetallanoden-röntgenquelle sowie röntgenstrahler mit einem anodenmodul
    EP2283508B1 (de) Strahlungsquelle und verfahren zum erzeugen von röntgenstrahlung
    DE3514700A1 (de) Roentgenroehre
    DE102009007871A1 (de) Röntgentarget und Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung
    EP2979293A1 (de) Röntgenquelle und bildgebendes system
    EP1769520B1 (de) Abschirmung einer röntgenquelle
    EP0425718B1 (de) Röntgenstrahlerzeuger
    DE102008051519B4 (de) Elektronenstrahler mit Austrittsfenster sowie Röntgenstrahler
    DE896533C (de) Einrichtung zur Erzeugung eines Strahles von positiven Ionen oder von Elektronen
    DE19513289C2 (de) Röntgenröhre mit einer Verstelleinheit

    Legal Events

    Date Code Title Description
    PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

    AK Designated contracting states

    Kind code of ref document: A1

    Designated state(s): DE FR GB NL

    AX Request for extension of the european patent

    Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

    17P Request for examination filed

    Effective date: 20010216

    AKX Designation fees paid

    Free format text: DE FR GB NL

    RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

    Owner name: PHILIPS CORPORATE INTELLECTUAL PROPERTY GMBH

    Owner name: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.

    RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

    Owner name: PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH

    Owner name: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.

    17Q First examination report despatched

    Effective date: 20031020

    GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

    Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

    RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

    Owner name: PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH

    Owner name: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.

    GRAS Grant fee paid

    Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

    GRAA (expected) grant

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

    AK Designated contracting states

    Kind code of ref document: B1

    Designated state(s): DE FR GB NL

    PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: NL

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

    Effective date: 20050126

    REG Reference to a national code

    Ref country code: GB

    Ref legal event code: FG4D

    Free format text: NOT ENGLISH

    REF Corresponds to:

    Ref document number: 50009314

    Country of ref document: DE

    Date of ref document: 20050303

    Kind code of ref document: P

    GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

    Effective date: 20050412

    REG Reference to a national code

    Ref country code: GB

    Ref legal event code: 746

    Effective date: 20050427

    NLV1 Nl: lapsed or annulled due to failure to fulfill the requirements of art. 29p and 29m of the patents act
    PLBE No opposition filed within time limit

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

    STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

    Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

    26N No opposition filed

    Effective date: 20051027

    ET Fr: translation filed
    REG Reference to a national code

    Ref country code: GB

    Ref legal event code: 732E

    REG Reference to a national code

    Ref country code: FR

    Ref legal event code: TP

    PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: DE

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20080902

    PGRI Patent reinstated in contracting state [announced from national office to epo]

    Ref country code: DE

    Effective date: 20090202

    PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: DE

    Payment date: 20110211

    Year of fee payment: 12

    Ref country code: FR

    Payment date: 20110302

    Year of fee payment: 12

    PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: GB

    Payment date: 20110209

    Year of fee payment: 12

    GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

    Effective date: 20120203

    REG Reference to a national code

    Ref country code: FR

    Ref legal event code: ST

    Effective date: 20121031

    REG Reference to a national code

    Ref country code: DE

    Ref legal event code: R119

    Ref document number: 50009314

    Country of ref document: DE

    Effective date: 20120901

    PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: FR

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20120229

    Ref country code: GB

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20120203

    PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

    Ref country code: DE

    Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

    Effective date: 20120901