EP0960692A2 - Maschinelle Bearbeitungsvorrichtung - Google Patents

Maschinelle Bearbeitungsvorrichtung Download PDF

Info

Publication number
EP0960692A2
EP0960692A2 EP99104816A EP99104816A EP0960692A2 EP 0960692 A2 EP0960692 A2 EP 0960692A2 EP 99104816 A EP99104816 A EP 99104816A EP 99104816 A EP99104816 A EP 99104816A EP 0960692 A2 EP0960692 A2 EP 0960692A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
support body
channels
processing
work surface
processing surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP99104816A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0960692A3 (de
Inventor
Heinrich Müller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of EP0960692A2 publication Critical patent/EP0960692A2/de
Publication of EP0960692A3 publication Critical patent/EP0960692A3/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/04Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto
    • B24B41/047Grinding heads for working on plane surfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces

Definitions

  • the invention relates to a device for mechanical Machining, especially for grinding and polishing the Surface of workpieces, especially specimens, consisting from a rotatable machining tool Support body with an interchangeable on its work surface held, foil or paper-like processing surface.
  • test specimens usually designed as thin slices, at least proportionate to the area to be examined have a smooth surface.
  • a smooth surface will produced by at least one grinding, lapping or polishing process.
  • Devices are used for this processing of the test specimens become known, which consists of a disc-like, rotatable Support body exist on its so-called work surface an interchangeable machining surface is held. The rotatable The supporting body then forms the so-called with the processing surface Machining tool against which the in a special Holding test specimen with a predetermined Contact pressure can be pressed.
  • the processing surface is film or paper-like and with grinding or polishing agents with different fineness Mistake.
  • a special clamping ring on the work surface of the support body to secure.
  • This is cumbersome and time consuming.
  • It is also known to apply the disc-like machining surface to provide its back with an adhesive layer over which then the processing surface on the work surface of the supporting body is held.
  • Such an adhesive layer is in paper-like Machining pads cannot be used.
  • the support body As a kind of magnetic disk form over which the machining surface in which a metal foil is incorporated, adheres to the support body.
  • metal particles especially metal dust on the magnetic disc on the processing surface sticks, causing the surface of the specimen is adversely affected.
  • the invention is based on the object of a device for machining, especially for grinding and polishing, the surface of workpieces, especially test specimens to be trained so that any paper or film-like processing surface without additional pretreatment and without a special one Clamping device on the work surface of the supporting body can be attached, whereby it should be excluded that metal particles, especially metal dust, on the processing surface sticks.
  • the working surface of the support body several distributed and has channels connected to a suction line and the processing surface can be removed by vacuum on the work surface the supporting body is secured.
  • the processing surface becomes without special aids, but certainly on the Work surface of the support body held. Special treatment processes the processing surface is no longer required; Metal particles, especially dust, do not remain on the processing surface be liable.
  • FIG. 1 of the drawing is of a device for mechanical Grinding and polishing specimens a storage 1 shown, which in a known, not shown Way is used in a housing.
  • This housing carries also a drive motor, for example via a Toothed belt driven a pulley 2 only partially drawn which is on a shaft 3 rotatable in the bearing 1 is attached.
  • the shaft 3 carries the pulley 2 on it opposite end of a plate 4 on which a support body 5 is attached is.
  • the support body 5 takes on its so-called work surface 6 a paper or film-like processing covering 7 on the corresponding grinding or polishing process corresponds.
  • This processing surface 7 is on the work surface 6 of the Support body 5 secured by negative pressure.
  • radially extending, groove-like channels 8 incorporated, to the branching channels 9 can connect.
  • the channels 8 open in an axial bore 10, which is in the support body 5 and Plate 4 is located.
  • This Passage 12 is out through a circumferential seal 13 completed and only goes into a hole at one point 14 over to which a suction line known per se, not shown connected.
  • This suction line leads to one known vacuum device, for example, by a small fan can be formed.
  • this fan is switched on and the processing layer 7 is safely on the work surface 6 of the support body 5 held. After switching off the fan, the Machining surface 7 can be removed easily.
  • the channels 8 run at a distance below the work surface 6, also radially, in Support body 10. Smaller channels 9a now run from this channel 8 to work surface 6. Via channels 8 and the smaller ones Machining surface 7 can also pass through axial channels 9a Vacuum secured on the work surface 6 of the support body 5 become.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum maschinellen Bearbeiten, insbesondere zum Schleifen und Polieren, der Oberfläche von Werkstücken, insbesondere von Probekörpern, bestehend aus einem drehbaren, ein Bearbeitungswerkzeug bildenden Tragkörper mit einem auf dessen Arbeitsfläche auswechselbaren gehaltenen, folien- oder papierartigen Bearbeitungsbelag.
Um sicherzustellen, daß jeder papier- oder folienartige Bearbeitungsbelag ohne zusätzlich Vorbehandlung und ohne eine besondere Klemmeinrichtung auf der Arbeitsfläche des Tragkörpers befestigt werden kann, wobei ausgeschlossen sein soll, daß Metallpartikel, insbesondere Metallstaub, auf dem Bearbeitungsbelag haften bleibt, weist die Arbeitsfläche des Tragkörpers mehrere verteilt angeordnete und an eine Saugleitung angeschlossene Kanäle auf und der Bearbeitungsbelag ist durch Unterdruck lösbar auf der Arbeitsfläche des Tragkörpers gesichert.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum maschinellen Bearbeiten, insbesondere zum schleifen und Polieren, der Oberfläche von Werkstücken, insbesondere von Probekörpern, bestehend aus einem drehbaren, ein Bearbeitungswerkzeug bildenden Tragkörper mit einem auf dessen Arbeitsfläche auswechselbaren gehaltenen, folien- oder papierartigen Bearbeitungsbelag.
Für metallographische Untersuchungen ist es erforderlich, daß die meist als dünne Scheiben ausgebildeten Probekörper zumindest an der zu untersuchenden Grundfläche eine verhältnismäßig glatte Oberfläche aufweisen. Eine solche glatte Oberfläche wird durch mindestens einen Schleif-, Läpp- oder Poliervorgang hergestellt. Für diese Bearbeitung der Probekörper sind Vorrichtungen bekannt geworden, die aus einem scheibenartigen, drehbaren Tragkörper bestehen, auf dessen sogenannter Arbeitsfläche ein auswechselbarer Bearbeitungsbelag gehalten ist. Der drehbare Tragkörper bildet dann mit dem Bearbeitungsbelag das sogenannte Bearbeitungswerkzeug, gegen welches die in einer besonderen Halterung untergebrachten Probekörper mit einer vorgegebenen Anpreßkraft gedrückt werden.
Der Bearbeitungsbelag ist folien- oder papierartig ausgebildet und mit Schleif- oder Poliermitteln mit unterschiedlicher Feinheit versehen. Zur Sicherung des Bearbeitungsbelages auf der Arbeitsfläche des Tragkörpers ist es bekannt, denselben mittels eines besonderen Klemmringes auf der Arbeitsfläche des Tragkörpers zu sichern. Dies ist jedoch umständlich und zeitraubend. Es ist ferner bekannt, den scheibenartigen Bearbeitungsbelag an seiner Rückseite mit einer Haftschicht zu versehen, über die dann der Bearbeitungsbelag auf der Arbeitsfläche des Tragkörpers gehalten wird. Eine solche Haftschicht ist bei papierartigen Bearbeitungsbelägen nicht einsetzbar. Bei der Verwendung einer Haftschicht ist ein zusätzlicher Arbeitsvorgang bei der Herstellung des Bearbeitungsbelages erforderlich. Für die Lagerung und den Transport des Bearbeitungsbelages muß diese Haftschicht durch eine Folie oder dergleichen abgedeckt werden.
Es ist ferner bekannt, den Tragkörper als eine Art Magnetscheibe auszubilden, über die der Bearbeitungsbelag, in dem eine Metallfolie eingearbeitet ist, auf dem Tragkörper haftet. Hier besteht jedoch der große Nachteil, daß auch Metallpartikel, insbesondere Metallstaub über die Magnetscheibe auf dem Bearbeitungsbelag haften bleibt, wodurch die Oberfläche der Probekörper nachteilig beeinflußt wird.
Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum maschinellen Bearbeiten, insbesondere zum Schleifen und Polieren, der Oberfläche von Werkstücken, insbesondere von Probekörpern so auszubilden, daß jeder papier- oder folienartige Bearbeitungsbelag ohne zusätzlich Vorbehandlung und ohne eine besondere Klemmeinrichtung auf der Arbeitsfläche des Tragkörpers befestigt werden kann, wobei ausgeschlossen sein soll, daß Metallpartikel, insbesondere Metallstaub, auf dem Bearbeitungsbelag haften bleibt.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird gemäß der Erfindung bei einer Vorrichtung der eingangs beschriebenen Gattung vorgeschlagen, daß die Arbeitsfläche des Tragkörpers mehrere verteilt angeordnete und an eine Saugleitung angeschlossene Kanäle aufweist und der Bearbeitungsbelag durch Unterdruck lösbar auf der Arbeitsfläche des Tragkörpers gesichert ist.
Durch eine solche Ausgestaltung der Vorrichtung wird der Bearbeitungsbelag ohne besondere Hilfsmittel, jedoch sicher auf der Arbeitsfläche des Tragkörpers gehalten. Besondere Behandlungsvorgänge des Bearbeitungsbelages sind nicht mehr erforderlich; Metallpartikel, insbesondere Staub, bleibt nicht auf dem Bearbeitungsbelag haften.
Weitere Merkmale einer Vorrichtung gemäß der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 bis 4 offenbart.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines in einer Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles näher erläutert.
Dabei zeigt
Figur 1
eine Aufrißdarstellung einer Vorrichtung gemäß der Erfindung im Schnitt,
Figur 2
einen vergrößerten Schnitt durch einen Tragkörper und
Figur 3
eine der Figur 2 entsprechenden Darstellung mit einer anderen Ausbildung des Tragkörpers.
In der Figur 1 der Zeichnung ist von einer Vorrichtung zum maschinellen Schleifen und Polieren von Probekörpern eine Lagerung 1 gezeigt, die in an sich bekannter, nicht dargestellter Weise in einem Gehäuse eingesetzt ist. Dieses Gehäuse trägt auch einen Antriebsmotor, über den beispielsweise über einen Zahnriemen eine nur teilweise gezeichnete Riemenscheibe 2 angetrieben wird, die auf einer in der Lagerung 1 drehbaren Welle 3 befestigt ist. Die Welle 3 trägt an ihrem der Riemenscheibe 2 abgewandten Ende einen Teller 4, auf dem ein Tragkörper 5 befestigt ist. Der Tragkörper 5 nimmt an seiner sogenannten Arbeitsfläche 6 einen papier- oder folienartigen Bearbeitungsbelag 7 auf, der dem entsprechenden Schleif- oder Poliervorgang entspricht.
Dieser Bearbeitungsbelag 7 ist auf der Arbeitsfläche 6 des Tragkörpers 5 mittels Unterdruck gesichert. Dazu sind gemäß der Figur 2 der Zeichnung in die Arbeitsfläche 6 des Tragkörpers 5 radial verlaufende, nutenartige Kanäle 8 eingearbeitet, an die sich abzweigende Kanäle 9 anschließen können. Die Kanäle 8 münden in eine axiale Bohrung 10, die sich im Tragkörper 5 und im Teller 4 befindet. Auch in der Welle 3 ist eine axiale Bohrung 11 eingearbeitet, die in einem radialen Durchlaß 12 endet. Dieser Durchlaß 12 ist nach außen durch eine umlaufende Dichtung 13 abgeschlossen und geht nur an einer Stelle in eine Bohrung 14 über, an die eine an sich bekannte, nicht dargestellte Saugleitung angeschlossen ist. Diese Saugleitung führt zu einer an sich bekannten Vakuumeinrichtung, die beispielsweise durch einen kleinen Lüfter gebildet sein kann. Sobald nun der Bearbeitungsbelag 7 seine Lage auf der Arbeitsfläche 6 des Tragkörpers 5 eingenommen hat, wird dieser Lüfter angeschaltet und der Bearbeitungabelag 7 wird sicher auf der Arbeitsfläche 6 des Tragkörpers 5 gehalten. Nach dem Abschalten des Lüfters kann der Bearbeitungsbelag 7 problemlos entfernt werden.
Bei dem Ausführungsbeispiel der Figur 3 verlaufen die Kanäle 8 mit Abstand unterhalb der Arbeitsfläche 6, ebenfalls radial, im Tragkörper 10. Von diesem Kanal 8 führen nun kleinere Kanäle 9a bis zur Arbeitsfläche 6. Über die Kanäle 8 und die kleineren, axialen Kanäle 9a kann der Bearbeitungsbelag 7 ebenfalls durch Unterdruck auf der Arbeitsfläche 6 des Tragkörpers 5 gesichert werden.

Claims (4)

  1. Vorrichtung zum maschinellen Bearbeiten, insbesondere zum Schleifen und Polieren, der Oberfläche von Werkstücken, insbesondere von Probekörpern, bestehend aus einem drehbaren, ein Bearbeitungswerkzeug bildenden Tragkörper mit einem auf dessen Arbeitsfläche auswechselbaren gehaltenen, folien- oder papierartigen Bearbeitungsbelag,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Arbeitsfläche (6) des Tragkörpers (5) mehrere verteilt angeordnete und an eine Saugleitung angeschlossene Kanäle (8, 9, 9a) aufweist und der Bearbeitungsbelag (7) durch Unterdruck lösbar auf der Arbeitsfläche (6) des Tragkörpers (5) gesichert ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Kanäle (8, 9, 9a) in eine axiale Bohrung (11) einer den Tragkörper (5) aufnehmenden Welle (3) münden und die axiale Bohrung (11) in mindestens einen radialen Durchlaß (12) übergeht, der an seinem äußeren Ende mit einer mit der Saugleitung verbindbaren, im ortsfesten Lagerteil (1) ausgebildeten Ringnut in Strömungsverbindung steht.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Kanäle (8, 9) nutenartig ausgebildet sind und in der Arbeitsfläche (6) des Tragkörpers (5) verlaufen.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Kanäle (8) zunächst mit Abstand unterhalb der Arbeitsfläche (6) des Tragkörpers (5) verlaufen und dann in die Arbeitsfläche (6) mündende, axiale Kanäle (9) übergehen.
EP99104816A 1998-05-29 1999-03-11 Maschinelle Bearbeitungsvorrichtung Withdrawn EP0960692A3 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE29809710U DE29809710U1 (de) 1998-05-29 1998-05-29 Maschinelle Bearbeitungsvorrichtung
DE29809710U 1998-05-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0960692A2 true EP0960692A2 (de) 1999-12-01
EP0960692A3 EP0960692A3 (de) 2002-03-13

Family

ID=8057873

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP99104816A Withdrawn EP0960692A3 (de) 1998-05-29 1999-03-11 Maschinelle Bearbeitungsvorrichtung

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP0960692A3 (de)
DE (1) DE29809710U1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114096380A (zh) * 2019-07-17 2022-02-25 施塔克卤德有限公司及两合公司 研磨装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006047007A1 (de) * 2006-10-02 2008-04-03 Onsystem Ohg Vakuumbefestigung von Schleifmaterial

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3418467B2 (ja) * 1994-10-19 2003-06-23 株式会社荏原製作所 ポリッシング装置
JPH08252765A (ja) * 1995-03-16 1996-10-01 Fujitsu Ltd 研磨装置、研磨布搬送装置、研磨布貼付装置、及び研磨布
SG70017A1 (en) * 1996-07-12 2000-01-25 Applied Materials Inc Holding a polishing pad on a platen in a chemical mechanical polishing system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114096380A (zh) * 2019-07-17 2022-02-25 施塔克卤德有限公司及两合公司 研磨装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0960692A3 (de) 2002-03-13
DE29809710U1 (de) 1998-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102008045620A1 (de) Spanneinrichtung
DE20023967U1 (de) Elektrohandschleifmaschine, insbesondere Exzenterschleifer
DE102012103003A1 (de) Schleif- und Poliermaschine für die Metallographie
DE102016111265A1 (de) Rotativ antreibbare Drehwerkzeugeinrichtung
DE4404115C2 (de) Prüfvorrichtung zum Prüfen von gedruckten Schaltungskarten
DE102015222535A1 (de) Schleifverfahren für Werkstücke
EP0960692A2 (de) Maschinelle Bearbeitungsvorrichtung
DE10251625A1 (de) Schwingschleifer mit Saugringvorrichtung
DE2849318C2 (de) Vorrichtung zum Bördeln von Kugelschreiberspitzen
WO2001064394A1 (de) Schleifmaschine
DE2759694C2 (de)
DE102006052904B4 (de) Anordnung zum Schleifen von Elektroden
DE60306774T2 (de) Zylindertrommel mit schleifelementen
DE102021208634A1 (de) Schleifscheibe und schleifverfahren für einen wafer
DE3319328C2 (de)
DE3708359A1 (de) Vorrichtung zum aufspannen eines kreissaegeblattes
DE1001150C2 (de) Vorrichtung zum Abziehen und Schaerfen von Rasierklingen
DE102012214382A1 (de) Wechselbares Schleifmittel für ein Schleifgerät mit Absaugvorrichtung
DE102020204604A1 (de) Konditionierwerkzeug
DE3446481A1 (de) Werkstueckauflage fuer eine innenrundschleifmaschine
DE2510393A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum kopierabrichten mit diamantscheibe
DE102006052905B4 (de) Anordnung zum Schleifen von Elektroden
DE19857658A1 (de) Einrichtung für den Vorschub von Leder und dergl.
EP1077105B1 (de) Vorrichtung zum Feinschleifen von Stirnflächen an dünnwandigen und/oder kleinstückigen Serienteilen
DE3020805C2 (de) Einrichtung zum Schleifen eines Körpers mit zwei mit sehr geringem Abstand zueinander verlaufenden ebenen Oberflächen

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

AX Request for extension of the european patent

Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

AX Request for extension of the european patent

Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

AKX Designation fees paid
REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8566

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20020914