EP0916463A1 - Verfahren zum Wiederaufarbeiten einer Schleifsuspension - Google Patents
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- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
- B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
- B28D1/025—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
Definitions
- the invention relates to a method for reprocessing a used in mechanical processing of silicon, Quartz or ceramic abrasive suspension used from a cutting fluid in which a cutting grain and abrasion from the processed material is dispersed.
- a batch of such a suspension is in a storage tank (for one or more wire saws), from which during the sawing process a defined amount of suspension per Time unit is removed and sprayed onto the wire frame.
- a storage tank for one or more wire saws
- Below the wire gate is a kind of collecting basin, in which the suspension, the resulting from the process Abrasion contains, collected and from there continuously in the Storage tank is returned. Enriched by this return the process-related abrasion in the storage tank until the grinding suspension due to insufficient cutting performance can no longer be used.
- the cutting grain contained in the grinding suspension becomes quartz using machining tools, for example Band or wire saws or lapping disks, transported to the site and pressed, where it unfolds its cutting effect should.
- machining tools for example Band or wire saws or lapping disks
- the task is solved by a process for reprocessing a used, in the mechanical processing grinding suspension of silicon, quartz or ceramic, consisting of a cutting fluid in which a Cutting grain and abrasion are dispersed, which is characterized is that in a first step Grinding suspension gently into a drying step Solid and a liquid component is separated and in one second step the solid component by known Classification process separated into cutting grain and abrasion becomes.
- drying step in the method according to the invention are, for example Belt drying processes, spray drying processes, or vacuum drying process.
- Vacuum drying processes are preferred, in particular here vacuum thin film evaporation.
- Dry classification methods are preferably used as the classification method such as screening or visual processes used.
- a vision method e.g. Air sighting by means of Air classifier or air cyclone used.
- the service life during which the grinding suspension is still useful for mechanical processing of silicon, quartz or the use of ceramics depends on the extent to which Abrasion gets into the grinding suspension.
- the abrasion comes from it for the most part from silicon, quartz or from Ceramics, but also from abrasive grain and wire.
- the cutting fluid used will also damp out the air absorbs.
- Store with increasing service life more and more particles from the abrasion adhere to the cutting grain and form agglomerates with it. Because these agglomerates in contrast to the free cutting grain no longer as material-removing Component of the grinding suspension, it makes sense to exchange used grinding suspension as soon as one certain amount of abrasion gets into the grinding suspension is.
- the method according to the invention succeeds in cutting grain from a grinding suspension used to process silicon Quartz or ceramic can no longer be used to advantage can largely recover.
- the abrasive is preferably at temperatures of 120-150 ° C heated at about 10 mbar absolute pressure.
- the aim of this first step is to fix and separate the liquid part of the grinding suspension.
- the liquid portion can directly with careful process control used again to prepare a new grinding suspension become.
- the fixed portion is divided into different using a classification process Grain sizes separated, the grain size that the Corresponds to the grain size of the cutting grain originally used, directly or slightly mixed with new SiC again for mechanical processing of silicon, quartz or ceramic (e.g. a wire sawing process) can.
- the SiC obtained by means of the classification process Fraction in fresh or from the drying step Cutting liquid redispersed with vigorous stirring.
- the fine part separated during classification consisting of the Abrasion, for example, can be used for metallurgical purposes become. This usually falls with the invention Process no hazardous waste.
- the method according to the invention can be applied to all known Grinding suspensions for the mechanical processing of silicon Use quartz or ceramic in which the cutting grain is in one Cutting fluid is dispersed.
- Liquids are preferably used as cutting fluids Question that arises under the above Distill conditions without decomposing to let.
- Hard material particles are preferably used as the cutting grain made of aluminum oxide, silicon or boron carbide, their average grain diameter preferably. in the area from 5 to 30 ⁇ m.
- the described process for the recovery of cutting grain is feasible with particularly good results if the weight ratio from cutting fluid to cutting grain in the unused Abrasives 2: 1 to 1: 2, preferably 1: 1 to Is 1: 1.5.
- An abrasive suspension was first prepared by adding 20 kg Silicon carbide grains with an average grain diameter of 14 ⁇ m in 20 kg of a polyvalent used as cutting fluid Alcohol were dispersed.
- the used grinding suspension was then separated into a solid and a liquid phase using a vacuum thin-film evaporator with a heating surface of 0.5 m 2 at a rotor speed of 800 rpm, a temperature of 225 ° C. and a pressure of approx. 25 mbar.
- the degree of drying of the powdery solid was 99.5 %.
- the solid was classified in an air classifier at a rotor speed of 4500 rpm, the yield of regenerated The target product was 65%.
- the silicon carbide abrasive grain recovered in this way was removed in approx. 15 kg of fresh cutting fluid dispersed with stirring and then for lapping additional silicon wafers used.
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Wiederaufarbeitung einer gebrauchten, bei der mechanischen Bearbeitung von Silicium, Quarz oder Keramik verwendeten Schleifsuspension, bestehend aus einer Schneidflüssigkeit, in der ein Schneidkorn und Abrieb dispergiert sind, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß in einem ersten Verfahrensschritt die Schleifsuspension über einen Trocknungsschritt schonend in eine Fest- und eine Flüssigkomponente getrennt wird und in einem zweiten Verfahrensschritt die Festkomponente durch an sich bekannte Klassierverfahren in Schneidkorn und Abrieb getrennt wird.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Wiederaufarbeiten einer
gebrauchten, bei der mechanischen Bearbeitung von Silicium,
Quarz oder Keramik verwendeten Schleifsuspension, bestehend
aus einer Schneidflüssigkeit, in der ein Schneidkorn und
vom bearbeiteten Material stammender Abrieb dispergiert sind.
Für das Herstellen von dünnen Scheiben aus Silicium (Elektronik- und Solaranwendung) und Quarz aus Einkristallstäben oder
Gießblöcken hat sich das Trennläppen ("Präzisionsdrahtsägen")
bestens bewährt. Dabei wird ein viele Kilometer langer Draht
über ein Spulensystem so geführt, daß ein Drahtgatter mit bis
zu ca. 450 nebeneinanderliegenden Drähten entsteht. Damit lassen
sich in einem Arbeitsgang aus einem entsprechend langen
Block oder Stab bis zu 450 dünne Scheiben gleichzeitig herstellen.
Als Schleifsuspension werden Schneidkörnungen, bevorzugt
SiC grün oder dunkel in unterschiedlichen Korngrößen verwendet,
die in einer Schneidflüssigkeit suspendiert werden.
Ein Ansatz einer derartigen Suspension wird in einem Vorratstank
(für eine oder mehrere Drahtsägen) gepuffert, aus dem
während des Sägeprozesses eine definierte Menge Suspension pro
Zeiteinheit entnommen und auf das Drahtgatter gesprüht wird.
Unterhalb des Drahtgatters befindet sich eine Art Sammelbecken,
in dem die Suspension, die den beim Prozeß anfallenden
Abrieb enthält, gesammelt und von da aus kontinuierlich in den
Vorratstank zurückgeführt wird. Durch diese Rückführung reichert
sich im Vorratstank der prozeßbedingte Abrieb solange
an, bis die Schleifsuspension durch unzureichende Schneidleistung
nicht mehr verwendet werden kann.
Während der mechanischen Bearbeitung des Siliciums oder des
Quarzes wird das in der Schleifsuspension enthaltene Schneidkorn
mit Hilfe von Bearbeitungswerkzeugen, beispielsweise
Band- oder Drahtsägen oder Läppscheiben, an den Ort transportiert
und gedrückt, an dem es seine zerspanende Wirkung entfalten
soll.
Mit zunehmender Gebrauchsdauer nimmt die Wirksamkeit der
Schleifsuspension ab, so daß sie schließlich ausgetauscht werden
muß, weil das gestellte Bearbeitungsziel mit der gebrauchten
Schleifsuspension nicht mehr zu erreichen ist.
In der Praxis sind verschiedene Möglichkeiten bekannt, die
Einsatzdauer (= Anzahl der möglichen Schnitte) zu verlängern,
z.B. Ersatz einer Teilmenge der gebrauchten Schleifsuspension
durch frische Schleifsuspension nach jedem Schnitt, oder Entfernen
eines Teils des Abriebes durch Dekantieren.
Allen Verfahren ist gemeinsam, daß die gebrauchte Schleifsuspension
nach einer mehr oder weniger großen Zahl von Schnitten
entsorgt werden muß, was normalerweise über Lagerung als Sondermüll
oder Verbrennung mit anschließender Lagerung als Sondermüll
(je nach Trägerflüssigkeit) erfolgt.
Da die Kosten für das Schneidkorn einen großen Teil der Gesamtkosten
der mechanischen Bearbeitung von Silicium, Quarz
oder Keramik bilden, ist die verbreitete Praxis, gebrauchte
Schleifsuspension als Abfall zu entsorgen, sobald ihre Wirksamkeit
unter eine bestimmte Zielvorgabe abgesunken ist,
unwirtschaftlich.
Aus den Patent Abstracts of Japan zu JP 1-316170 ist bekannt,
gebrauchte Schleifsuspension zu zentrifugieren und die wiedergewonnenen
Schleifkörner in frischer Schneidflüssigkeit zu redispergieren.
Nachteiligerweise bleibt ein hoher Anteil an Abrieb
sowie gebrauchte Schneidflüssigkeit in den wiedergewonnenen
Schleifkörnern. Die abgetrennte gebrauchte Schneidflüssigkeit
muß zudem wie gehabt entsorgt werden.
Es bestand daher die Aufgabe, ein möglichst einfaches Verfahren
zur Verfügung zu stellen, das einen verlängerten Einsatz
des Schneidkorns zur mechanischen Bearbeitung von Silicium
oder Quarz ermöglicht und die Nachteile des Standes der Technik
vermeidet.
Gelöst wird die Aufgabe durch ein Verfahren zur Wiederaufarbeitung
einer gebrauchten, bei der mechanischen Bearbeitung
von Silicium, Quarz oder Keramik verwendeten Schleifsuspension,
bestehend aus einer Schneidflüssigkeit, in der ein
Schneidkorn und Abrieb dispergiert sind, welches dadurch gekennzeichnet
ist, daß in einem ersten Verfahrensschritt die
Schleifsuspension über einen Trocknungsschritt schonend in eine
Fest- und eine Flüssigkomponente getrennt wird und in einem
zweiten Verfahrensschritt die Festkomponente durch an sich bekannte
Klassierverfahren in Schneidkorn und Abrieb getrennt
wird.
Vorteilhafterweise lassen sich in der Regel alle Bestandteile
der gebrauchten Schleifsuspension, die durch das erfindungsgemäße
Verfahren getrennt erhalten werden, wiederverwenden, so
daß kein zu entsorgender Sondermüll mehr anfällt.
Als Trocknungsschritt im erfindungsgemäßen Verfahren sind beispielsweise
Bandtrocknungsverfahren, Sprühtrocknungsverfahren,
oder Vakuumtrocknungsverfahren geeignet.
Vorzugsweise sind Vakuumtrocknungsverfahren, hier insbesondere
die Vakuumdünnschichtverdampfung, geeignet.
Als Klassierverfahren werden vorzugsweise trockene Klassierverfahren
wie beispielsweise Siebverfahren oder Sichtverfahren
eingesetzt.
Vorzugsweise wird ein Sichtverfahren, z.B. Windsichten mittels
Windsichter oder Luftzyklon, eingesetzt.
Die Gebrauchsdauer, während der die Schleifsuspension noch
nutzbringend zur mechanischen Bearbeitung von Silicium, Quarz
oder Keramik einzusetzen ist, hängt davon ab, in welchem Maß
Abrieb in die Schleifsuspension gelangt. Der Abrieb stammt dabei
zum überwiegenden Teil vom Silicium, Quarz oder von der
Keramik, aber auch vom Schleifkorn und vom Draht. Je nach
verwendeter Schneidflüssigkeit wird außerdem Feuchtigkeit aus
der Luft absorbiert. Mit zunehmender Gebrauchsdauer lagern
sich immer mehr Teilchen aus dem Abrieb an das Schneidkorn an
und bilden mit diesem Agglomerate. Da sich diese Agglomerate
im Gegensatz zum freien Schneidkorn nicht mehr als materialabtragende
Komponente der Schleifsuspension eignen, ist es sinnvoll,
gebrauchte Schleifsuspension auszutauschen, sobald eine
bestimmte Menge an Abrieb in die Schleifsuspension gelangt
ist.
Durch das erfindungsgemäße Verfahren gelingt es, Schneidkorn
aus einer Schleifsuspension, die zur Bearbeitung von Silicium
Quarz oder Keramik nicht mehr nutzbringend verwendet werden
kann, größtenteils zurückzugewinnen.
Zur Wiederaufbereitung der gebrauchten Schleifsuspension, welche
im Gegensatz zu ungebrauchter Schleifsuspension eine bestimmte
Menge an Abrieb enthält, wird diese zunächst vorzugsweise
mittels Vakuumdünnschichtverdampfung auf Temperaturen
vorzugsweise oberhalb der Siedetemperatur der verwendeten
Schneidflüssigkeit bei dem jeweils gewählten Druck (vorzugweise
Unterdruck) erhitzt und die verdampfte Schneidflüssigkeit
anschließend kondensiert.
Das Schleifmittel wird vorzugsweise auf Temperaturen von
120-150°C bei ca. 10 mbar Absolutdruck erhitzt.
Ziel dieses ersten Verfahrensschrittes ist es, festen und
flüssigen Anteil der Schleifsuspension zu trennen.
Der flüssige Anteil kann bei sorgfältiger Prozessführung direkt
wieder zum Ansetzen einer neuen Schleifsuspension verwendet
werden.
Der feste Anteil wird mittels eines Klassierverfahrens in verschiedene
Korngrößen aufgetrennt, wobei die Korngröße, die der
Korngröße des ursprünglich eingesetzten Schneidkorns entspricht,
direkt oder ggf. geringfügig mit neuem SiC vermischt
wieder für die mechanische Bearbeitung von Silicium, Quarz
oder Keramik (z.B. einen Drahtsägeprozeß) eingesetzt werden
kann.
Dazu wird die mittels des Klassierverfahrens erhaltene SiC
Fraktion in frischer oder aus dem Trocknungsschritt stammender
Schneidflüssigkeit unter starkem Rühren redispergiert.
Der beim Klassieren abgetrennte Feinteil, bestehend aus dem
Abrieb, kann beispielsweise für metallurgische Zwecke verwendet
werden. Damit fällt im Regelfall beim erfindungsgemäßen
Verfahren keinerlei Sondermüll an.
Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich auf alle bekannten
Schleifsuspensionen zur mechanischen Bearbeitung von Silicium
Quarz oder Keramik anwenden, in denen das Schneidkorn in einer
Schneidflüssigkeit dispergiert vorliegt.
Als Schneidflüssigkeiten kommen vorzugsweise Flüssigkeiten in
Frage, die sich unter o.g. Bedingungen unzersetzt destillieren
lassen.
Als Schneidkorn werden vorzugsweise Hartstoff-Partikel, beispielsweise
aus Aluminiumoxid, Silicium- oder Borcarbid verwendet,
deren mittlere Korndurchmesser vorzugsweise. im Bereich
von 5 bis 30 µm liegen.
Das beschriebene Verfahren zur Rückgewinnung von Schneidkorn
ist mit besonders gutem Ergebnis durchführbar, wenn das Gewichtsverhältnis
von Schneidflüssigkeit zu Schneidkorn im ungebrauchten
Schleifmittel 2:1 bis 1:2, vorzugsweise 1:1 bis
1:1,5 beträgt.
Obwohl die Rückgewinnung von Schneidkorn aus einer gebrauchten
Schleifsuspension am Beispiel von Schleifsuspensionen zur mechanischen
Bearbeitung von Silicium oder Quarz beschrieben
wurde, ist dieses Verfahren auch auf Schleifsuspensionen
anwendbar, die zur mechanischen Bearbeitung von anderem sprödharten
Material, beispielsweise Glas oder Keramik, verwendet
werden.
Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren an einem Beispiel
dargestellt.
Es wurde zunächst eine Schleifsuspension bereitet, indem 20 kg
Siliciumcarbid-Körner mit einem mittleren Korndurchmesser von
14 µm in 20 kg eines als Schneidflüssigkeit verwendeten mehrwertigen
Alkohols dispergiert wurden.
Unter Verwendung dieser Schleifsuspension konnten anschließend
ca. 400 Scheiben mit einem Durchmesser von 200 mm von einem
monokristallinen Siliciumkristall durch Trennläppen abgetrennt
werden. Bis zu diesem Zeitpunkt hatte sich in der gebrauchten
Schleifsuspension ein Siliciumabrieb von 1 kg (bezogen auf 10
kg abriebfreie Schleifsuspension) angereichert.
Die gebrauchte Schleifsuspension wurde daraufhin mit einem Vakuumdünnschichtverdampfer
mit einer Heizfläche von 0,5 m2 bei
einer Rotordrehzahl von 800 Upm, einer Temperatur von 225°C
und einem Druck von ca. 25 mbar in Feststoff und flüssige Phase
getrennt.
Der Trocknungsgrad des pulverförmigen Feststoffes betrug 99,5
%. Das Klassieren des Feststoffes erfolgte in einem Windsichter
bei einer Rotordrehzahl von 4500 Upm, die Ausbeute an regeneriertem
Zielprodukt lag bei 65 %.
Das so wiedergewonnene Siliciumcarbid-Schleifkorn wurde in ca.
15 kg frischer Schneidflüssigkeit unter Rühren dispergiert und
anschließend zum Trennläppen weiterer Siliciumscheiben
verwendet.
Mit gleichen Einstellparametern wie beim Einsatz ungebrauchten
siliciumcarbides wurden ca. 320 Si-Scheiben mit identischen
Ergebnissen in Bezug auf Produktivität und Qualität
hergestellt.
Claims (7)
- Verfahren zur Wiederaufarbeitung einer gebrauchten, bei der mechanischen Bearbeitung von Silicium, Quarz oder Keramik verwendeten Schleifsuspension, bestehend aus einer Schneidflüssigkeit, in der ein Schneidkorn und Abrieb dispergiert sind, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß in einem ersten Verfahrensschritt die Schleifsuspension über einen Trocknungsschritt schonend in eine Fest- und eine Flüssigkomponente getrennt wird und in einem zweiten Verfahrensschritt die Festkomponente durch an sich bekannte Klassierverfahren in Schneidkorn und Abrieb getrennt wird.
- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichent, daß als Trocknungsschritt ein Bandtrocknungsverfahren, Sprühtrocknungsverfahren, oder Vakuumtrocknungsverfahren eingesetzt wird.
- Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Klassierverfahren ein Siebverfahren oder Sichtverfahren eingesetzt wird.
- Verfahren nach Anspruch 1,2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Schleifmittel auf Temperaturen von 120-150°C bei ca. 10 mbar Absolutdruck erhitzt wird.
- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichent, daß das Gewichtsverhältnis von Schneidflüssigkeit zu Schneidkorn im ungebrauchten Schleifmittel 2:1 bis 1:2 beträgt.
- Verwendung der Flüssigkomponente, die nach einem Verfahren gemäß Anspruch 1 erhalten wurde als Schneidflüssigkeit zur mechanischen Bearbeitung von Silicium, Quarz oder Keramik.
- Verwendung eines Schneidkorns, das nach einem Verfahren gemäß Anspruch 1 erhalten wurde zur mechanischen Bearbeitung von Silicium, Quarz oder Keramik.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19743721 | 1997-10-02 | ||
DE19743721A DE19743721A1 (de) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | Verfahren zum Wiederaufarbeiten einer Schleifsuspension |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
EP0916463A1 true EP0916463A1 (de) | 1999-05-19 |
Family
ID=7844492
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EP98118106A Withdrawn EP0916463A1 (de) | 1997-10-02 | 1998-09-24 | Verfahren zum Wiederaufarbeiten einer Schleifsuspension |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6010010A (de) |
EP (1) | EP0916463A1 (de) |
JP (1) | JPH11172236A (de) |
KR (1) | KR19990036687A (de) |
DE (1) | DE19743721A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19960380A1 (de) * | 1999-12-14 | 2001-07-05 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zum Fraktionieren einer Zerspanungssuspension |
DE10338520A1 (de) * | 2003-08-21 | 2005-03-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Trennen einer Zerspanungssuspension |
US7591376B2 (en) | 2004-06-16 | 2009-09-22 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Methods for fractionating a machining suspension using destabilization and separation steps |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3426149B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2003-07-14 | 富士通株式会社 | 半導体製造における研磨廃液再利用方法及び再利用装置 |
DE10353863B4 (de) | 2003-11-18 | 2022-10-06 | Cronimet Envirotec GmbH | Verfahren zum großtechnischen Trennen von industriellem Abfallschlamm |
DE102008022237A1 (de) | 2008-05-06 | 2009-11-19 | Scholz Recycling Gmbh Nl Erfurt | Verfahren zur Aufbereitung von Slurry |
CN101684028B (zh) * | 2008-09-28 | 2012-07-18 | 张伟民 | 一种处理硅晶板切割废弃物的方法及装置 |
US8277768B2 (en) * | 2008-11-14 | 2012-10-02 | Texas Instruments Incorporated | System and method for production of high purity silicon solids and solids therefrom |
CN101565649B (zh) * | 2009-05-18 | 2012-10-10 | 白瑜皎 | 回收硅片切割液的方法 |
CN101805661B (zh) * | 2010-03-29 | 2013-02-13 | 倪进国 | 用于切片机的peg回收再生方法 |
CN102229792B (zh) * | 2010-09-16 | 2013-10-09 | 蒙特集团(香港)有限公司 | 一种太阳能硅片切割砂浆 |
CN102329687A (zh) * | 2011-07-15 | 2012-01-25 | 山西天能科技股份有限公司 | 一种单晶硅线切割废砂浆的回收方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01316170A (ja) * | 1988-06-13 | 1989-12-21 | Osaka Titanium Co Ltd | 切削加工法および砥液再利用装置 |
EP0502461A1 (de) * | 1991-03-04 | 1992-09-09 | FORACON MASCHINEN- UND ANLAGEN GmbH | Verfahren und Anlage zur Rückgewinnung abrasiven Schleifmaterials beim Wasserstrahl-Schneiden |
EP0742079A1 (de) * | 1995-04-03 | 1996-11-13 | ecotop Gesellschaft für innovative Abfallwirtschaft mbH | Verfahren und Anlage zur Aufbereitung von Rückständen, die abrasive Schneidmaterialien enthalten |
EP0767035A1 (de) * | 1995-10-04 | 1997-04-09 | Nippei Toyama Corporation | Schlammverwaltungssystem und Schlammverwaltungsverfahren für Drahtsägen |
US5647989A (en) * | 1994-10-14 | 1997-07-15 | Kurita Water Industries Ltd. | Method for recovering abrasive particles |
EP0786317A2 (de) * | 1996-01-26 | 1997-07-30 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd | System zum Wiedergebrauch von Ölschlamm |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3865629A (en) * | 1972-11-07 | 1975-02-11 | Joseph Daniel Dankoff | Reclamation of components from grinding swarf |
US4190422A (en) * | 1977-05-24 | 1980-02-26 | Bethlehem Steel Corporation | Metallic abrasive produced from a steel mill waste material |
SU1555051A1 (ru) * | 1986-10-24 | 1990-04-07 | Ю.И. Тамбовцев и И.П. Габриелов | Способ получени стального порошка из отходов шлифовани |
US5470466A (en) * | 1993-03-17 | 1995-11-28 | Schaaf; William R. | Method and apparatus for removing ferrous particles from coolant fluid during machining |
US5520288A (en) * | 1994-03-21 | 1996-05-28 | Pct, Inc. | Abrasive grit material recovery system |
-
1997
- 1997-10-02 DE DE19743721A patent/DE19743721A1/de not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-09-24 EP EP98118106A patent/EP0916463A1/de not_active Withdrawn
- 1998-09-26 KR KR1019980040113A patent/KR19990036687A/ko not_active Application Discontinuation
- 1998-10-01 US US09/164,903 patent/US6010010A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-10-01 JP JP10280062A patent/JPH11172236A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01316170A (ja) * | 1988-06-13 | 1989-12-21 | Osaka Titanium Co Ltd | 切削加工法および砥液再利用装置 |
EP0502461A1 (de) * | 1991-03-04 | 1992-09-09 | FORACON MASCHINEN- UND ANLAGEN GmbH | Verfahren und Anlage zur Rückgewinnung abrasiven Schleifmaterials beim Wasserstrahl-Schneiden |
US5647989A (en) * | 1994-10-14 | 1997-07-15 | Kurita Water Industries Ltd. | Method for recovering abrasive particles |
EP0742079A1 (de) * | 1995-04-03 | 1996-11-13 | ecotop Gesellschaft für innovative Abfallwirtschaft mbH | Verfahren und Anlage zur Aufbereitung von Rückständen, die abrasive Schneidmaterialien enthalten |
EP0767035A1 (de) * | 1995-10-04 | 1997-04-09 | Nippei Toyama Corporation | Schlammverwaltungssystem und Schlammverwaltungsverfahren für Drahtsägen |
EP0786317A2 (de) * | 1996-01-26 | 1997-07-30 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd | System zum Wiedergebrauch von Ölschlamm |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 14, no. 119 (M - 945) 6 March 1990 (1990-03-06) * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19960380A1 (de) * | 1999-12-14 | 2001-07-05 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zum Fraktionieren einer Zerspanungssuspension |
DE19960380C2 (de) * | 1999-12-14 | 2002-05-29 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zum Fraktionieren einer Zerspanungssuspension |
DE10338520A1 (de) * | 2003-08-21 | 2005-03-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Trennen einer Zerspanungssuspension |
US7591376B2 (en) | 2004-06-16 | 2009-09-22 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Methods for fractionating a machining suspension using destabilization and separation steps |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11172236A (ja) | 1999-06-29 |
US6010010A (en) | 2000-01-04 |
DE19743721A1 (de) | 1999-04-08 |
KR19990036687A (ko) | 1999-05-25 |
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