EP0700575B1 - Wickelkopf - Google Patents

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EP0700575B1
EP0700575B1 EP94911841A EP94911841A EP0700575B1 EP 0700575 B1 EP0700575 B1 EP 0700575B1 EP 94911841 A EP94911841 A EP 94911841A EP 94911841 A EP94911841 A EP 94911841A EP 0700575 B1 EP0700575 B1 EP 0700575B1
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EP
European Patent Office
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wire
winding
connection
tool head
connecting device
Prior art date
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EP94911841A
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EP0700575A1 (de
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David Finn
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AmaTech GmbH and Co KG
Original Assignee
AmaTech GmbH and Co KG
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Publication date
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Application filed by AmaTech GmbH and Co KG filed Critical AmaTech GmbH and Co KG
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Publication of EP0700575B1 publication Critical patent/EP0700575B1/de
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    • H01F41/02Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
    • H01F41/04Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
    • H01F41/10Connecting leads to windings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01F41/06Coil winding
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    • Y10T29/5187Wire working

Definitions

  • the present invention relates to a device for producing a coil winding from winding wire on a winding support with a winding head having a wire guide device and movable relative to the winding support. Furthermore, the invention relates to a method which can be carried out by means of this device for producing an electrically conductive connection.
  • Devices of the type mentioned above can be used in the manufacture of coil arrangements in which a wire conductor is wound around the winding support by means of a winding head to form a coil winding and wire ends of the winding wire are connected to connection surfaces of the winding support or those of adjacent components.
  • other devices namely a connecting device and a wire separating device, are required in addition to the winding head.
  • the procedure can be such that first a wire end is connected to a connecting surface by means of the connecting device, then the actual coil winding is formed around the winding support by means of the winding head, and finally the running wire end of the winding wire is carried out by means of the connecting device is connected to a further connection surface and is severed by means of the wire cutting device.
  • the present invention has for its object to provide a generic device or a method that enables the most compact possible construction and a reduction in manufacturing times.
  • the wire guide device, the connecting device and the wire separating device are integral devices of the winding head.
  • Such a device virtually creates a highly integrated winding head which, in addition to the actual wire guiding function when winding a wire conductor on a winding support, also simultaneously performs the functions of connecting the wire ends to the winding support or a separate connection surface support separate therefrom and the final wire cutting function.
  • Due to the combination in a structural unit the entire device is a compact arrangement, so that both in one and the same relative position with respect to the connection surface of the connection surface carrier Connection of the wire conductor to the pad as well as cutting the wire conductor can be done.
  • there are no intermediate routes during the establishment of the connection which arise from the fact that, in devices according to the prior art, the wire guide device must be guided from a connecting device to a separating device.
  • the device according to the invention is particularly suitable for producing coil arrangements, that is to say both for carrying out a winding process and for carrying out the connection technology
  • the device according to the invention can equally advantageously be used in general where it matters, at certain points To create connections between a wire conductor and a connection surface and to guide the wire conductor in the intermediate area with the winding / connecting device according to the invention, referred to here as the winding head, on a predetermined movement path from one connection point to the other connection point.
  • a winding process does not have to be carried out in every case, but also with a corresponding axis control of the winding / connecting device, a meandering course in one plane or any other wire course between two connection points can be generated.
  • the wire guide device, the connecting device and the wire separating device are combined in one tool head, the actuating or delivery elements necessary for the individual devices being arranged outside the tool head.
  • This structure means a miniaturization which enables the use of the device according to the invention even with the smallest connection areas, such as the connection areas of a chip which are only 100 micrometers x 100 micrometers as standard.
  • a wire deflection device is preferably assigned to the wire guide device, which enables a wire conductor which is supplied approximately parallel to the connecting device to be deflected transversely to the feed axis of the connecting device so that the wire conductor comes to rest between the connecting device and the connecting surface when the connection is made.
  • connection device is not limited to a particular type, but rather that any of the range of connection devices available, such as a thermode, a thermosonic connection device, a laser welding device etc., or a combination thereof , can be selected.
  • a laser welding device such a device, as described in DE-OS 42 00 492
  • a laser welding device has proven to be advantageous, in which the laser power emitted by a laser source is conducted directly to the connection point by means of a glass fiber conductor.
  • the winding head itself does not have to be loaded by the device device forming the laser source, but can be arranged in a stationary manner from the winding head.
  • the fiber optic cable can then be used as a connecting device be integrated into the winding head. This makes it possible to use a high-performance laser welding device in the device according to the invention without disadvantageously increasing its mass due to the device device mentioned above.
  • the wire guide device can be combined with the connecting device, for example in the case of a thermosonic bonding head as the connecting device, the wire is fed through a capillary in the bonding head.
  • the separating device in a functional unit which is then composed of a wire guide device, connecting device and wire separating device.
  • An example of this would be a thermosonic bonding head provided with a wire guide capillary, which also has a separating edge formed in the wire contact area. This would allow a high level of integration to be achieved.
  • the wire deflection device is preferably formed from a suction device acting transversely to the feed axis of the wire guide device.
  • a suction air connection is required in the area of the connecting device for its implementation, which causes the wire conductor fed through the wire guide device approximately parallel to the feed axis of the connecting device to be deflected transversely to the feed axis of the connecting device as a result of the suction force, so that the connecting device can act on the wire conductor, for example by applying heat and pressure in the case of a thermode.
  • Another possibility is to provide a gripping device which can be pivoted transversely to the feed axis of the connecting device for the wire deflection device.
  • a possible embodiment of a wire deflection device which is similar in principle, but still preferable in terms of the achievable compactness, consists in making the wire guide device itself pivotable transversely to the feed axis of the connecting device, in order then to cooperate with the connection surface of the connection surface carrier which the wire conductor strikes, to cause such a deflection of the wire conductor that the wire conductor comes to rest between the connecting device and the connection surface.
  • the device according to the invention is constructed in such a way that the actuating or feed elements assigned to the individual devices are arranged in a tool head carrier which can be coupled to the tool head.
  • a connecting device of a certain type For example, the thermocompression method for a connection on a connection surface of a Kapton film and for a chip connection surface have been found the Thermosonic process as advantageous, and a combination of these processes is also conceivable.
  • the connecting device however, one and the same actuating or delivery element can always be used. Apart from a simple and quick tool head change, this has a favorable effect on the tool preparation costs.
  • actuating or delivery elements There are various options for executing the actuating or delivery elements. For example, they can be designed as compressed air actuators, such as piston / cylinder units, or as solenoid actuators.
  • This further wire guide device can be integrated in the connecting device.
  • a further advantageous measure for example to establish or increase the connection compatibility between the wire conductor material and the pad material, can consist in providing a protective gas supply device in the area of the connection device.
  • Another possible alternative is to provide a vacuum device in the area of the connecting device, for example by surrounding the entire tool head with a vacuum bell.
  • the protective gas supply device can also be assigned a coating device which enables an application of a protective layer to the connection point, for example the application of a passivation layer as corrosion protection, preferably while the protective gas is being applied to the connection point.
  • a camera in particular a CCD camera equipped with CCD (charge-coupled device) image sensors, which is attached to the tool head itself or also to the tool head carrier can.
  • CCD charge-coupled device
  • the camera can also be integrated into the tool head or the tool head carrier.
  • the device according to one or more of claims 1 to 16 is used to connect a bondable wire conductor directly to the unbumped connection areas of an electronic component, such as a chip.
  • the wire is connected directly to the aluminum pads, without bumps having been applied to them beforehand. The consequence of this is a considerable simplification in the electrical connection of chips or components comparable in terms of connection technology.
  • a bondable winding wire preferably a copper bonding wire
  • connection between the wire and the connection surface takes place in a protective gas atmosphere or under vacuum in order to increase the quality of the connection.
  • FIG. 1 shows, in a first embodiment, a winding / connecting device 10 with a tool head carrier 11 and a tool head 12.
  • the tool head 12 is detachably connected to the tool head carrier 11 by means of a connecting element 13 designed here as a connecting sleeve 13.
  • the connecting sleeve 13 has in its end region facing the tool head carrier 11 an internal thread 14 which interacts with an external thread of the tool head carrier 11, not shown in detail.
  • the tool head 12 has a tool holder 15 with tool devices accommodated and guided therein, namely a wire guide device 16, a connecting device 17, a wire separating device 18 and a wire deflecting device 19.
  • the devices mentioned are provided at their upper end in FIG. 1 with pneumatic piston / cylinder units 21, 22, 23 provided as feed members .
  • Damping devices 25 can be provided between piston rods 24 of the piston / cylinder units 21, 22, 23 and the ends of the devices 16, 17, 18, as exemplified for the wire cutting device 18.
  • the devices 16, 17, 18 are not coupled directly to the piston / cylinder units 21, 22, 23 but via the damping devices 25.
  • FIG. 1 shows the winding / connecting device 10 in a winding configuration in which the wire guide device 16 is in a position advanced from the tool holder 15.
  • a winding wire 26 or generally a wire with which, for example, a wire connection between two connection surfaces is to be created is passed through the tubular wire guide device 16.
  • the winding / connecting device 10 can be used in the usual way as a winding head which can be moved in one or more axes in space or generally as a wire guide head.
  • the tool head 12 In order to use the winding / connecting device 10 shown in FIG. 1 to connect the wire 26 'to a connecting surface (not shown in FIG. 1) after a winding process or with the free wire end 27 fixed in some other way, the tool head 12 first move in the direction of arrow 28 and the wire guide device 16 is moved into the tool head 12 by actuating the piston / cylinder unit 21. As a result, the wire 26 lies against the underside of the tool head, so that the connecting device 17 can be moved out of the tool head 12 until it lies against the connecting surface with the wire 26 being interposed. Depending on the distance of the tool head 12 from the connection surface, the winding / connecting device 10 as a whole can be advanced in the direction of the feed axis 20.
  • connection device 17 this works, for example, with thermocompression or ultrasound excitation with or without simultaneous heating of the connection surface, as a result of which the wire 26 is connected to the connection surface.
  • the separating device 18 is extended, which in the exemplary embodiment shown in FIG. 1 has the form of a separating knife in order to cut the wire 26 near the connection point.
  • FIG. 2 This configuration of the winding / connection device 10 is shown in FIG. 2 .
  • the wire guide device 16 is in the retracted position and the connecting device 17 and the wire separating device 18 are in the advanced position.
  • FIGS. 3 A to 3 C are then still the configurations of the winding / connection device 10 when carrying out a wire connection, such as laying down the wire end to a pad prior to performing a subsequent winding operation or a wire connection between the pads, are described .
  • the wire guide device 16, the connecting device 17 and the wire separating device 18 are initially in a completely retracted position and release a channel 30 running transversely to the feed axis 20.
  • the wire conductor 26 fed through the wire guide device 16 is brought into a position transverse to the infeed axis 20 by the wire deflection device 19 embodied here as a suction device, with its free wire end Wire feed can be prevented by the wire guide device by means of a clamping device.
  • a device can also be provided for threading the wire into the wire guide device in an air-supported manner through nozzle flows.
  • the connecting device 17 is extended until it lies against a connecting surface 29 with the interposition of the wire 26. In this position, the wire 26 is now connected to the connecting surface 29.
  • the wire cutting device 18 is also extended so that the wire 26 can be separated by the cutting device 18 near the connection point. The severed wire end is then sucked off by the suction device 19.
  • FIG. 2 shows an example of a possible application of the winding / connecting device 10 according to the invention in its use in the manufacture of a watch coil 31, which is used in electrically operated watches and which has a winding support 32 with a coil winding 33 arranged thereon.
  • the connection surfaces of the watch coil 31 are formed by means of a so-called "Kapton film” 34, which consists of a plastic film with metallization layers 35, 36 applied thereon.
  • 2 shows two connection points 37, 38 on the metallization layers 35, 36, at which winding wire ends 39, 40 are connected to the metallization layers 35, 36.
  • the watch coil 31 shown in FIG. 2 can be produced by means of the winding / connecting device 10 according to the invention by first, as shown in FIGS. 3 A, 3 B, 3 C , a first connection of the winding wire 26 to the first metallization layer 35 below Connection 37 is formed.
  • the coil winding 33 is then carried out by superimposing a rotational movement of the winding support 32 about its longitudinal axis and a translational movement of the tool head 12 in the direction of the arrow 41 and finally of the wire 26 performed.
  • FIG. 4 shows a tool head 56 with a wire feed device 42 which can be pivoted about an articulation point 43 transversely to the feed axis 20 of the tool head.
  • 4 shows the wire guide device 42 both in its winding position oriented essentially parallel to the feed axis 20 and in the pivoted state.
  • the pivotability of the wire guide device 42 makes it possible to dispense with a separate deflection device. Rather, in the embodiment shown in FIG. 4 , the winding wire 26 is guided through a wire feed with the wire guide device 42 pivoted onto a connection surface 44 and deflected thereon. In this position, a connecting device 45 which can be advanced in the direction of the infeed axis can be moved up to the connection surface 44, the wire 26 between the connection surface 44 and a contact surface 46 of the connecting device 45 comes to rest.
  • the connecting device 45 is designed such that a further wire guiding device 47, for example in the form of a channel, is formed in it in order to guide an additional wire 48 onto the connecting surface 44, so that the connection of the wire 26 with the connection surface 44 can take place simultaneously with the connection of the additional wire 48 to the connection surface 44.
  • This additional wire 48 can be designed in such a way that the connection of poorly connectable or connection-incompatible materials of the wire 26 and the connection surface 44 is made possible. It is also possible to match the material of the additional wire 48 to the materials to be connected in such a way that special corrosion protection or insulation from the outside is provided.
  • the wire cutting device was not shown in FIG. 4 .
  • FIG. 5 shows in a further variant a schematically illustrated tool head 49 which, similar to the tool head 12 shown in FIG. 1 , has a wire guide device 50, a connecting device 51 and a wire separating device 52.
  • the tool head 49 has a deflection device 53 which consists of a gripping device which can be pivoted about an articulation point 54 belonging to the tool head 49.
  • a deflection device 53 which consists of a gripping device which can be pivoted about an articulation point 54 belonging to the tool head 49.
  • the Wire 26 is picked up by a gripper 55 of the deflection device 53 and the held wire 26 with the gripper is pivoted about the articulation point 54 into its left position in FIG. 5 .
  • the wire 26 can then be connected to a connecting surface and the wire 26 subsequently cut.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Herstellung einer Spulenwicklung aus Wickeldraht auf einem Wicklungsträger mit einem eine Drahtführungseinrichtung aufweisenden, relativ zum Wicklungsträger bewegbaren Wickelkopf. Des weiteren betrifft die Erfindung ein mittels dieser Vorrichtung durchführbares Verfahren zur Herstellung einer elektrisch leitfähigen Verbindung.
  • Vorrichtungen der obengenannten Art können bei der Herstellung von Spulenanordnungen verwendet werden, bei denen ein Drahtleiter mittels eines Wickelkopfs zur Bildung einer Spulenwicklung um den Wicklungsträger gewickelt wird und Drahtenden des Wickeldrahts mit Anschlußflächen des Wicklungsträgers oder denen benachbarter Bauelemente verbunden werden. Um die Verbindung der Drahtenden mit den Anschlußflächen herzustellen, werden neben dem Wickelkopf weitere Einrichtungen, nämlich eine Verbindungseinrichtung und eine Drahttrenneinrichtung benötigt. Bei der Herstellung einer derartigen Spulenanordnung kann dabei so vorgegangen werden, daß zunächst mittels der Verbindungseinrichtung ein Drahtende mit einer Anschlußfläche verbunden wird, anschließend mittels dem Wickelkopf die Ausbildung der eigentlichen Spulenwicklung um den Wicklungsträger herum erfolgt, und schließlich das laufende Drahtende des Wickeldrahts mittels der Verbindungseinrichtung mit einer weiteren Anschlußfläche verbunden und mittels der Drahttrenneinrichtung durchtrennt wird. Eine derartige Anordnung zur Durchführung des vorstehend grob erläuterten Verfahrens ist in der PCT-Anmeldung WO 93/09551 der Anmelderin näher beschrieben.
  • Durch die Vielzahl der an der Herstellung einer derartigen Spulenanordnung beteiligten Einrichtungen ergibt sich ein insgesamt komplexer Aufbau bei der bekannten Vorrichtung, wobei sich insbesondere durch die vom Wickelkopf zwischen den einzelnen, örtlich fest installierten Fertigungsstationen (Verbindungsstation, Trennstation) zurückzulegenden Wege entsprechend hohe Fertigungszeiten ergeben.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gattungsgemäße Vorrichtung bzw. ein Verfahren zu schaffen, die bzw. das einen möglichst kompakten Aufbau und eine Verkürzung der Fertigungszeiten ermöglicht.
  • Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
  • Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind die Drahtführungseinrichtung, die Verbindungseinrichtung und die Drahttrenneinrichtung integrale Einrichtungen des Wickelkopfs. Durch eine derartige Vorrichtung ist quasi ein hochintegrierter Wickelkopf geschaffen, der neben der eigentlichen Drahtführungsfunktion beim Wickeln eines Drahtleiters auf einen Wicklungsträger auch gleichzeitig die Funktionen des Verbindens der Drahtenden mit dem Wicklungsträger oder einem hiervon separaten anderen Anschlußflächenträger und die abschließende Drahttrennfunktion übernimmt. Durch die Zusammenfassung in einer baulichen Einheit stellt die gesamte Vorrichtung eine kompakte Anordnung dar, so daß in ein und derselben Relativposition gegenüber der Anschlußfläche des Anschlußflächenträgers sowohl die Verbindung des Drahtleiters mit der Anschlußfläche als auch das Durchtrennen des Drahtleiters erfolgen kann. Hierdurch entfallen bei der Verbindungsherstellung Zwischenwege, die dadurch entstehen, daß bei Vorrichtungen gemäß dem Stand der Technik die Drahtführungseinrichtung von einer Verbindungseinrichtung zu einer Trenneinrichtung geführt werden muß.
  • Obwohl die erfindungsgemäße Vorrichtung sich, wie vorstehend erläutert, besonders zur Herstellung von Spulenanordnungen, also sowohl zur Durchführung eines Wickelvorganges als auch zur Durchführung der Verbindungstechnik eignet, läßt sich die erfindungsgemäße Vorrichtung gleichermaßen vorteilhaft ganz allgemein dort verwenden, wo es darauf ankommt, an bestimmten Stellen Verbindungen zwischen einem Drahtleiter und einer Anschlußfläche zu schaffen und im Zwischenbereich den Drahtleiter mit der hier als Wickelkopf bezeichneten erfindungsgemäßen Wickel/Verbindungs-Vorrichtung auf einer vorgegebenen Bewegungsbahn von der einen Verbindungsstelle zur anderen Verbindungsstelle zu führen. Dabei muß nicht in jedem Fall ein Wickelvorgang ausgeführt werden, sondern es kann auch bei entsprechender Achsensteuerung der Wickel/Verbindungs-Vorrichtung etwa ein meanderförmiger Verlauf in einer Ebene oder jeder andere beliebige Drahtverlauf zwischen zwei Verbindungsstellen erzeugt werden.
  • Bei einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind die Drahtführungseinrichtung, die Verbindungseinrichtung und die Drahttrenneinrichtung in einem Werkzeugkopf zusammengefaßt, wobei die für die einzelnen Einrichtungen notwendigen Betätigungs- oder Zustellorgane außerhalb des Werkzeugkopfs angeordnet sind. Dieser Aufbau bedeutet eine Miniaturisierung, die die Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung auch bei kleinsten Anschlußflächen, wie etwa den standardmäßig nur 100 Mikrometer x 100 Mikrometer Anschlußflächen eines Chips, ermöglichen.
  • Vorzugsweise ist der Drahtführungseinrichtung eine Drahtablenkeinrichtung zugeordnet, die es ermöglicht einen aus Raumersparnisgründen etwa parallel zur Verbindungseinrichtung zugeführten Drahtleiter quer zur Zustellachse der Verbindungseinrichtung abzulenken, so daß bei Durchführung der Verbindung der Drahtleiter zwischen der Verbindungseinrichtung und der Anschlußfläche zu liegen kommt.
  • An dieser Stelle sei bemerkt, daß die Verbindungseinrichtung nicht auf eine bestimmte Art beschränkt ist, sondern daß vielmehr beliebig aus der Reihe der zur Verfügung stehenden Verbindungseinrichtungen, wie etwa eine Thermode, eine Thermosonic-Verbindungseinrichtung, eine Laserschweißeinrichtung usw., oder auch eine Kombination davon, ausgewählt werden kann.
  • Bei der Verwendung einer Laserschweißeinrichtung erweist sich insbesondere eine derartige als vorteilhaft, wie sie in der DE-OS 42 00 492 beschrieben ist, bei der die von einer Laserquelle emittierte Laserleistung mittels eines Glasfaserleiters unmittelbar zur Verbindungsstelle geleitet wird. Bei Verwendung einer derartigen Laserschweißeinrichtung zusammen mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung ergibt sich der besondere Vorteil, daß der Wickelkopf selbst nicht durch die die Laserquelle bildende Geräteeinrichtung belastet werden muß, sondern diese ortsfest vom Wickelkopf entfernt angeordnet werden kann. Der Glasfaserleiter kann dann als Verbindungseinrichtung in den Wickelkopf integriert sein. Hierdurch ist es möglich, eine leistungsstarke Laserschweißeinrichtung bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung zu verwenden, ohne deren Masse durch die vorstehend erwähnte Geräteeinrichtung nachteilig zu erhöhen.
  • Es besteht auch die Möglichkeit, die Drahtführungseinrichtung, die Verbindungseinrichtung und die Drahttrenneinrichtung sämtlich oder teilweise zu einer Funktionseinheit zusammenzufassen. So kann etwa die Drahtführungseinrichtung mit der Verbindungseinrichtung zusammengefaßt werden, indem beispielsweise im Fall eines Thermosonic-Bondkopfs als Verbindungseinrichtung die Drahtzufuhr durch eine Kapillare im Bondkopf erfolgt. Auch ist es möglich, bei Bedarf zusätzlich noch die Trenneinrichtung in einer dann aus Drahtführungseinrichtung, Verbindungseinrichtung und Drahttrenneinrichtung zusammengesetzten Funktionseinheit zu integrieren. Ein Beispiel dafür wäre ein mit einer Drahtführungskapillare versehener Thermosonic-Bondkopf, der überdies über eine im Drahtkontaktbereich ausgebildete Trennkante verfügt. Hiermit ließe sich ein Höchstmaß an Integration erreichen.
  • Vorzugsweise ist die Drahtablenkeinrichtung aus einer quer zur Zustellachse der Drahtführungseinrichtung wirkenden Ansaugeinrichtung gebildet. Bei dieser vorteilhaften Ausgestaltung der Drahtablenkeinrichtung wird zu deren Realisierung lediglich ein Saugluftanschluß im Bereich der Verbindungseinrichtung benötigt, der bewirkt, daß der durch die Drahtführungseinrichtung etwa parallel zur Zustellachse der Verbindungseinrichtung zugeführte Drahtleiter infolge der Saugkraft quer zur Zustellachse der Verbindungseinrichtung abgelenkt wird, so daß die Verbindungseinrichtung auf den Drahtleiter einwirken kann, etwa durch Wärme- und Druckbeaufschlagung im Fall einer Thermode.
  • Eine weitere Möglichkeit besteht darin, für die Drahtablenkeinrichtung eine quer zur Zustellachse der Verbindungseinrichtung verschwenkbare Greifeinrichtung vorzusehen.
  • Eine vom Prinzip her ähnliche, jedoch hinsichtlich der erzielbaren Kompaktheit noch eher vorzuziehende, mögliche Ausführungsform einer Drahtablenkeinrichtung besteht darin, die Drahtführungseinrichtung selbst quer zur Zustellachse der Verbindungseinrichtung verschwenkbar zu gestalten, um dann im Zusammenwirken mit der Anschlußfläche des Anschlußflächenträgers, auf die der Drahtleiter auftrifft, eine derartige Ablenkung des Drahtleiters zu bewirken, daß der Drahtleiter zwischen der Verbindungseinrichtung und der Anschlußfläche zu liegen kommt.
  • Als besonders vorteilhaft erweist es sich, wenn die erfindungsgemäße Vorrichtung derart aufgebaut ist, daß die den einzelnen Einrichtungen zugeordneten Betätigungs- oder Zustellorgane in einem mit dem Werkzeugkopf koppelbaren Werkzeugkopfträger angeordnet sind. Hierdurch wird die Möglichkeit geschaffen, bei Bedarf einen einfachen Werkzeugkopfwechsel auszuführen, um etwa besonders aufeinander abgestimmte Kombinationen von Werkzeugkopfeinrichtungen ankoppeln zu können. Beispielsweise kann es sich auch je nach Kombination der Materialien von Drahtleiter und Anschlußfläche als vorteilhaft erweisen, eine Verbindungseinrichtung eines bestimmten Typs zu verwenden. So erweist sich etwa für eine Verbindung auf einer Anschlußfläche einer Kapton-Folie das Thermokompressionsverfahren und bei einer Chipanschlußfläche das Thermosonic-Verfahren als vorteilhaft an, sowie auch eine Kombination dieser Verfahren denkbar ist. Unabhängig von der Wahl der Verbindungseinrichtung kann jedoch stets ein und dasselbe Betätigungs- oder Zustellorgan zum Einsatz kommen. Abgesehen von einem einfachen und schnellen Werkzeugkopfwechsel wirkt sich dies günstig auf die Werkzeugbereitstellungskosten aus.
  • Für die Ausführung der Betätigungs- oder Zustellorgane bieten sich verschiedene Möglichkeiten an. So können diese etwa als Druckluftbetätigungsorgane, wie Kolben/Zylinder-Einheiten, oder als Solenoid-Betätigungsorgane ausgebildet sein.
  • Des weiteren besteht die vorteilhafte Möglichkeit, neben der vorstehend beschriebenen Drahtführungseinrichtung noch eine weitere Drahtführungseinrichtung vorzusehen. Hierdurch ist es möglich, bei Bedarf, etwa wenn die Materialien von Drahtleiter und Anschlußfläche nicht verbindungskompatibel sind, einen Zusatzstoff, wie beispielsweise Gold oder eine Goldlegierung, als Bonddraht zuzuführen, um eine sichere, elektrisch leitfähige Verbindung zwischen dem Drahtleiter und der etwa aus einer Aluminiumfläche bestehenden Anschlußfläche zu gewährleisten.
  • Diese weitere Drahtführungseinrichtung kann in die Verbindungseinrichtung integriert sein.
  • Eine weitere vorteilhafte Maßnahme, um etwa die Verbindungskompatibilität zwischen dem Drahtleitermaterial und dem Anschlußflächenmaterial herzustellen bzw. zu erhöhen, kann darin bestehen, im Bereich der Verbindungseinrichtung eine Schutzgaszuführeinrichtung vorzusehen.
  • Eine weitere mögliche Alternative besteht darin, im Bereich der Verbindungseinrichtung für eine Vakuumeinrichtung zu sorgen, etwa dadurch, daß der gesamte Werkzeugkopf mit einer Vakuumglocke umgeben wird.
  • Der Schutzgaszuführeinrichtung kann auch eine Beschichtungseinrichtung zugeordnet sein, die einen Auftrag einer Schutzschicht auf die Verbindungsstelle, etwa den Auftrag einer Passivierungsschicht als Korrosionsschutz, vorzugsweise noch während der Schutzgasbeaufschlagung der Verbindungsstelle ermöglicht.
  • Zur Überwachung und/oder Steuerung der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann diese in einer besonderen Ausführungsform mit einer Kamera, insbesondere einer mit CCD(Charge-Coupled-Device)-Bildsensoren ausgerüsteten CCD-Kamera, versehen sein, die am Werkzeugkopf selbst oder auch am Werkzeugkopfträger angebracht sein kann. Je nach Art der Anbringung kann die Kamera auch in den Werkzeugkopf oder den Werkzeugkopfträger integriert sein.
  • Das durch eine Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ermöglichte erfindungsgemäße Verfahren weist die Merkmale des Anspruchs 17 auf.
  • Erfindungsgemäß wird die Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 16 dazu verwendet, einen bondfähigen Drahtleiter unmittelbar mit den ungebumpten Anschlußflächen eines elektronischen Bauelements, wie eines Chips, zu verbinden. Hierbei wird der Draht etwa unmittelbar mit den Aluminiumpads verbunden, ohne daß zuvor Bumps auf diesen aufgebracht worden wären. Die Folge hiervon ist eine erhebliche Vereinfachung beim elektrischen Anschließen von Chips oder bei von der Anschlußtechnik her vergleichbaren Bauelementen.
  • Als vorteilhaft erweist es sich, wenn als Drahtleiter ein bondfähiger Wickeldraht, vorzugsweise ein Kupfer-Bonddraht, verwendet wird. Hierdurch wird es möglich, die erfindungsgemäße Vorrichtung erst zum Wickeln von Spulen zu verwenden, und anschließend mit ein und demselben Draht eine unmittelbare Verbindung mit einer ungebumpten Anschlußfläche herzustellen.
  • Als besonders vorteilhaft erweist es sich, wenn die Verbindung zwischen Draht und Anschlußfläche in einer Schutzgasatmosphäre oder unter Vakuum erfolgt, um die Qualität der Verbindung zu erhöhen.
  • Bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung unter beispielhafter Erläuterung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
    • Fig. 1 die erfindungsgemäße Vorrichtung in einer ersten Ausführungsform mit einem an einen Werkzeugkopfträger angekoppelten Werkzeugkopf;
    • die in Fig. 2 dargestellte Vorrichtung in vergrößerter Teildarstellung nach dem Wickeln einer Spule und der Verbindung von Wickeldrahtenden auf Anschlußflächen eines Spulenträgers;
    • Fig. 3 A bis 3 C den Werkzeugkopfträger in verschiedenen, zeitlich einander nachfolgenden Konfigurationen zur Ausbildung einer Drahtleiterverbindung;
    • Fig. 4 eine schematische Darstellung des Werkzeugkopfes in einer ersten Variation des in Fig. 1 dargestellten Werkzeugkopfs;
    • Fig. 5 eine schematische Darstellung des Werkzeugkopfs in einer weiteren Variation des in Fig. 1 dargestellten Werkzeugkopfs.
  • Fig. 1 zeigt in einer ersten Ausführungsform eine Wickel/Verbindungs-Vorrichtung 10 mit einem Werkzeugkopfträger 11 und einem Werkzeugkopf 12. Der Werkzeugkopf 12 ist über ein hier als Verbindungshülse 13 ausgeführtes Verbindungselement mit dem Werkzeugkopfträger 11 lösbar verbunden. Zur lösbaren Verbindung weist die Verbindungshülse 13 in ihrem dem Werkzeugkopfträger 11 zugewandten Endbereich ein Innengewinde 14 auf, das mit einem nicht näher dargestellten Außengewinde des Werkzeugkopfträgers 11 zusammenwirkt.
  • Der Werkzeugkopf 12 weist eine Werkzeugaufnahme 15 mit darin aufgenommenen und geführten Werkzeugeinrichtungen, nämlich eine Drahtführungseinrichtung 16, eine Verbindungseinrichtung 17, eine Drahttrenneinrichtung 18 und eine Drahtablenkeinrichtung 19, auf.
  • Um eine Zustellbewegung der Drahtführungseinrichtung 16, der Verbindungseinrichtung 17 und der Drahttrenneinrichtung 18 in Richtung einer Zustellachse 20 zu ermöglichen, sind die genannten Einrichtungen an ihrem in Fig. 1 oberen Ende mit als Zustellorganen vorgesehenen pneumatischen Kolben/Zylinder-Einheiten 21, 22, 23 versehen. Zwischen Kolbenstangen 24 der Kolben/Zylinder-Einheiten 21, 22, 23 und den Enden der Einrichtungen 16, 17, 18 können, wie für die Drahttrenneinrichtung 18 beispielhaft dargestellt, Dämpfungseinrichtungen 25 vorgesehen sein.
  • In diesem Fall erfolgt die Kopplung der Einrichtungen 16, 17, 18 nicht unmittelbar mit den Kolben/Zylinder-Einheiten 21, 22, 23 sondern über die dämpfungseinrichtungen 25.
  • Nachfolgend soll die Funktion der Wickel/Verbin-dungs-Vorrichtung 10 näher erläutert werden.
  • In Fig. 1 ist die Wickel/Verbindungs-Vorrichtung 10 in einer Wickelkonfiguration dargestellt, bei der sich die Drahtführungseinrichtung 16 in einer aus der Werkzeugaufnahme 15 vorgeschobenen Position befindet. Dabei ist ein Wickeldraht 26 oder allgemein ein Draht, mit dem etwa eine Drahtverbindung zwischen zwei Anschlußflächen geschaffen werden soll durch die rohrförmig ausgebildete Drahtführungseinrichtung 16 hindurchgeführt. In dieser Konfiguration kann die Wickel/Verbindungs-Vorrichtung 10 in üblicher Weise als ein im Raum ein- oder mehrachsig bewegbarer Wickelkopf oder allgemein als Drahtführungskopf verwendet werden.
  • Um mit der in Fig. 1 dargestellten Wickel/Verbindungs-Vorrichtung 10 eine Verbindung des Drahtes 26' mit einer in Fig. 1 nicht näher dargestellten Anschlußfläche nach einem Wickelvorgang oder bei auf sonstige Art und Weise fixiertem freien Drahtende 27 herzustellen, wird der Werkzeugkopf 12 zunächst in die Richtung des Pfeils 28 verfahren und die Drahtführungseinrichtung 16 durch Betätigung der Kolben/Zylinder-Einheit 21 in den Werkzeugkopf 12 eingefahren. Dadurch legt sich der Draht 26 an die Unterseite des Werkzeugkopfs an, so daß die Verbindungseinrichtung 17 aus dem Werkzeugkopf 12 herausgefahren werden kann, bis sie unter Zwischenlage des Drahts 26 an der Anschlußfläche anliegt. Je nach Abstand des Werkzeugkopfs 12 von der Anschlußfläche kann dabei die Wickel/Verbindungs-Vorrichtung 10 insgesamt in Richtung der Zustellachse 20 vorbewegt werden.
  • Je nach Art der Verbindungseinrichtung 17 arbeitet diese etwa mit Thermokompresssion oder Ultraschallerregung mit oder ohne gleichzeitiger Erwärmung der Anschlußfläche, wodurch eine Verbindung des Drahts 26 mit der Anschlußfläche erfolgt. Nach erfolgter Verbindung wird die Trenneinrichtung 18 ausgefahren, die bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel die Form eines Trennmessers aufweist, um den Draht 26 nahe der Verbindungsstelle zu durchtrennen.
  • Diese Konfiguration der Wickel/Verbindungs-Vorrichtung 10 ist in Fig. 2 dargestellt. Hierbei befindet sich die Drahtführungseinrichtung 16 in zurückgezogener und die Verbindungseinrichtung 17 sowie die Drahttrenneinrichtung 18 in vorgeschobener Position.
  • Unter Bezugnahme auf die Fig. 3 A bis 3 C sollen anschließend noch die Konfigurationen der Wickel/Verbindungs-Vorrichtung 10 bei Durchführung einer Drahtverbindung, etwa zur Festlegung des Drahtendes auf einer Anschlußfläche vor Durchführung eines nachfolgenden Wickelvorgangs oder für eine Drahtverbindung zwischen Anschlußflächen, beschrieben werden. Hierbei befinden sich abweichend von der Darstellung gemäß Fig. 1 in Fig. 3 A die Drahtführungseinrichtung 16, die Verbindungseinrichtung 17 und die Drahttrenneinrichtung 18 zunächst in einer ganz zurückgezogenen Position und geben einen quer zur Zustellachse 20 verlaufenden Kanal 30 frei. Der durch die Drahtführungseinrichtung 16 zugeführte Drahtleiter 26 wird durch die hier als Ansaugeinrichtung ausgeführte Drahtablenkeinrichtung 19 mit seinem freien Drahtende in eine Lage quer zur Zustellachse 20 gebracht, dabei kann der weitere Drahtvorschub durch die Drahtführungseinrichtung mittels einer Klemmeinrichtung verhindert werden. Neben der Klemmeinrichtung kann auch noch eine Einrichtung vorgesehen werden, um den Draht durch Düsenströmungen luftgestützt in die Drahtführungseinrichtung einzufädeln.
  • Anschließend wird, wie in Fig. 3 B dargestellt, die Verbindungseinrichtung 17 soweit ausgefahren, bis diese unter Zwischenlage des Drahts 26 an einer Anschlußfläche 29 anliegt. In dieser Stellung erfolgt nun die Verbindung des Drahts 26 mit der Anschlußfläche 29.
  • Nachfolgend wird, wie in Fig. 3 C dargestellt, auch die Drahttrenneinrichtung 18 ausgefahren, so daß der Draht 26 nahe der Verbindungsstelle durch die Trenneinrichtung 18 getrennt werden kann. Das abgetrennte Drahtende wird dann durch die Saugeinrichtung 19 abgesogen.
  • Fig. 2 zeigt beispielhaft als eine mögliche Anwendung der erfindungsgemäßen Wickel/Verbindungs-Vorrichtung 10 deren Einsatz bei der Herstellung einer Uhrenspule 31, die zum Einsatz in elektrisch betriebenen Uhren dient und die einen Wicklungsträger 32 mit einer darauf angeordneten Spulenwicklung 33 aufweist. Die Anschlußflächen der Uhrenspule 31 sind mittels einer sogenannten "Kapton-Folie" 34 ausgebildet, die aus einer Kunststoffolie mit darauf aufgebrachten Metallisierungsschichten 35, 36 besteht. In Fig. 2 sind auf den Metallisierungsschichten 35, 36 zwei Verbindungsstellen 37, 38 zu erkennen, an denen Wickeldrahtenden 39, 40 mit den Metallisierungsschichten 35, 36 verbunden sind.
  • Die in Fig. 2 dargestellte Uhrenspule 31 kann mittels der erfindungsgemäßen Wickel/Verbindungs-Vorrichtung 10 hergestellt werden, indem zunächst, wie in den Fig. 3 A, 3 B, 3 C dargestellt eine erste Verbindung des Wickeldrahts 26 mit der ersten Metallisierungsschicht 35 unter Ausbildung der Verbindungsstelle 37 erfolgt. Anschließend erfolgt mittels einer Überlagerung einer Rotationsbewegung des Wicklungsträgers 32 um seine Längsachse und einer Translationsbewegung des Werkzeugkopfs 12 in Richtung des Pfeils 41 und zurück die Ausführung der Spulenwicklung 33. Schließlich wird, wie vorstehend schon beschrieben, die zweite Drahtverbindung an der Verbindungsstelle 38 und das Abtrennen des Drahtes 26 durchgeführt.
  • Die Fig. 4 und 5 zeigen in schematischen Darstellungen alternative Ausführungen von Werkzeugköpfen.
  • In Fig. 4 ist ein Werkzeugkopf 56 mit einer Drahtzuführeinrichtung 42 dargestellt, die um einen Gelenkpunkt 43 quer zur Zustellachse 20 des Werkzeugkopfs verschwenkbar ist. In Fig. 4 ist die Drahtführungseinrichtung 42 sowohl in ihrer im wesentlichen parallel zur Zustellachse 20 ausgerichteten Wickelposition als auch im verschwenkten Zustand dargestellt. Durch die Verschwenkbarkeit der Drahtführungseinrichtung 42 ist es möglich, auf eine separate Ablenkeinrichtung zu verzichten. Vielmehr wird bei der in Fig. 4 dargestellten Ausführungsform der Wickeldraht 26 durch einen Drahtvorschub bei verschwenkter Drahtführungseinrichtung 42 auf eine Anschlußfläche 44 geleitet und auf dieser abgelenkt. In dieser Stellung kann eine in Zustellachsenrichtung zustellbare Verbindungseinrichtung 45 bis gegen die Anschlußfläche 44 verfahren werden, wobei der Draht 26 zwischen der Anschlußfläche 44 und einer Kontaktfläche 46 der Verbindungseinrichtung 45 zu liegen kommt.
  • Bei dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Verbindungseinrichtung 45 derart ausgeführt, daß in ihr eine weitere Drahtführungseinrichtung 47, etwa in Form eines Kanals, ausgebildet ist, um einen Zusatzdraht 48 auf die Anschlußfläche 44 zu führen, so daß die Verbindung des Drahts 26 mit der Anschlußfläche 44 gleichzeitig mit der Verbindung des Zusatzdrahts 48 mit der Anschlußfläche 44 erfolgen kann. Dieser Zusatzdraht 48 kann derart beschaffen sein, daß die Verbindung von schlecht miteinander verbindbaren bzw. verbindungsinkompatiblen Materialien des Drahtes 26 und der Anschlußfläche 44 ermöglicht wird. Auch ist es möglich, das Material des Zusatzdrahts 48 so auf die zu verbindenden Materialien abzustimmen, daß ein besonderer Korrosionsschutz oder eine Isolierung nach außen hin gegeben ist. Auf eine Darstellung der Drahttrenneinrichtung wurde in Fig. 4 verzichtet.
  • Fig. 5 zeigt in einer weiteren Variante einen schematisch dargestellten Werkzeugkopf 49, der ähnlich dem in Fig. 1 dargestellten Werkzeugkopf 12 eine Drahtführungseinrichtung 50, eine Verbindungseinrichtung 51 und eine Drahttrenneinrichtung 52 aufweist. Abweichend von dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel weist der Werkzeugkopf 49 eine Ablenkeinrichtung 53 auf, die aus einer um einen zum Werkzeugkopf 49 gehörigen Gelenkpunkt 54 schwenkbaren Greifeinrichtung besteht. Um den Draht 26, der aus der Drahtführungseinrichtung 50 nach unten herausgeführt ist in eine Verbindungsposition zu verbringen, in der der Draht zwischen der Verbindungseinrichtung 51 und einer in Fig. 5 nicht näher dargestellten Anschlußfläche zu liegen kommt, wird der Draht 26 von einem Greifer 55 der Ablenkeinrichtung 53 aufgenommen und der gehaltene Draht 26 mit dem Greifer um den Gelenkpunkt 54 in seine in Fig. 5 linke Position verschwenkt. Ausgehend von dieser Drahtposition kann dann wieder, wie vorstehend im Zusammenhang mit den Fig. 3 B und 3 C beschrieben, eine Verbindung des Drahts 26 mit einer Anschlußfläche und eine anschließende Durchtrennung des Drahtes 26 erfolgen.

Claims (20)

  1. Vorrichtung zur Herstellung einer Spulenwicklung aus Wickeldraht (26) auf einem Wicklungsträger mit einem eine Drahtführungseinrichtung (16, 42, 50) aufweisenden, relativ zum Wicklungsträger bewegbaren Wickelkopf (10), mit einer Drahtverbindungseinrichtung (17, 45, 51) zur Herstellung einer elektrisch leitfähigen Verbindung zwischen dem Wickeldraht und einer Anschlußfläche eines Anschlußflächenträgers (31) und mit einer Drahttrenneinrichtung (18, 52),
    dadurch gekennzeichnet,
    daß neben der Drahtführungseinrichtung (16, 42, 50) die Drahtverbindungseinrichtung (17, 45, 51) und die Drahttrenneinrichtung (18, 52) als weitere integrale Einrichtungen des Wickelkopfs (10) vorgesehen sind.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Drahtführungseinrichtung (16, 42, 50), die Drahtverbindungseinrichtung (17, 45, 51) und die Drahttrenneinrichtung (18, 52) in einem Werkzeugkopf (12, 49, 56) zusammengefaßt sind, wobei deren Betätigungs-/ Zustellorgane (21, 22, 23) außerhalb des Werkzeugkopfs angeordnet sind.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Verbindungseinrichtung (17) als ein in den Wickelkopf (10) integrierter Glasfaserleiter ausgeführt ist, der mit einer vorzugsweise unabhängig vom Wickelkopf (10) angeordneten Laserquelle verbunden ist.
  4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß der Drahtführungseinrichtung (16, 42, 50) eine Drahtablenkeinrichtung (19, 53) zugeordnet ist zur Ablenkung des Drahts (26) in eine Richtung quer zur Zustellachse (20) der Verbindungseinrichtung (17, 45, 51).
  5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Drahtführungseinrichtung (16, 42, 50), die Verbindungseinrichtung (17, 45, 51) und die Drahttrenneinrichtung (18, 52) sämtlich oder teilweise zu einer Funktionseinheit zusammengefaßt sind.
  6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Drahtablenkeinrichtung (19) aus einer quer zur Zustellachse (20) der Verbindungseinrichtung (17) wirkenden Ansaugeinrichtung gebildet ist.
  7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Drahtablenkeinrichtung (53) aus einer quer zur Zustellachse (20) der Verbindungseinrichtung (51) verschwenkbaren Greifeinrichtung gebildet ist.
  8. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß zur Drahtablenkung die Drahtführungseinrichtung (42) quer zur Zustellachse (20) der Verbindungseinrichtung (45) verschwenkbar ist.
  9. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Betätigungs-/Zustellorgane (21, 22, 23) in einem mit dem Werkzeugkopf (12, 49, 56) koppelbaren Werkzeugkopfträger (11) angeordnet sind.
  10. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Betätigungs-/Zustellorgane (21, 22, 23) als Druckluftbetätigungsorgane ausgebildet sind.
  11. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Betätigungs-/Zustellorgane (21, 22, 23) als Solenoid-Betätigungsorgane ausgebildet sind.
  12. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß eine weitere Drahtführungseinrichtung (47) vorgesehen ist.
  13. Vorrichtung nach Anspruch 12,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die weitere Drahtführungseinrichtung (47) in die Verbindungseinrichtung (45) integriert ist.
  14. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß im Bereich der Verbindungseinrichtung (17, 45, 51) eine Schutzgaszuführeinrichtung vorgesehen ist.
  15. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 13,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß im Bereich der Verbindungseinrichtung (17, 45, 51) eine Vakuumeinrichtung zur Erzeugung eines Vakuums im Verbindungsbereich vorgesehen ist.
  16. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß am Werkzeugkopf (12, 49, 56) oder am Werkzeugkopfträger (11) eine Überwachungskamera, insbesondere eine CCD-Kamera vorgesehen ist.
  17. Verfahren zur Herstellung einer elektrisch leitfähigen Verbindung zwischen einem Drahtleiter (26) und einer Anschlußfläche (29, 44) eines Anschlußflächenträgers mit einer Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 16,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß der durch die Drahtführungseinrichtung (16, 47, 52) geführte Drahtleiter (26) unmittelbar mit einer ungebumpten Anschlußfläche (29, 44) eines elektronischen Bauelements, wie eines Chips, verbunden wird.
  18. Verfahren nach Anspruch 17,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß als Drahtleiter (26) ein bondfähiger Wickeldraht, vorzugsweise ein Kupfer-Bonddraht, verwendet wird.
  19. Verfahren nach Anspruch 17 oder 18,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Verbindung des Drahtleiters (26) mit der Anschlußfläche (29, 44) in einer Schutzgasatmosphäre erfolgt.
  20. Verfahren nach Anspruch 17 oder 18,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß die Verbindung des Drahtleiters (26) mit der Anschlußfläche (29, 44) unter Vakuum erfolgt.
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