EP0524368A1 - Vorrichtung zur selbsttätigen Überwachung und zur Steuerung eines Vakuum-Wärmebehandlungsofens - Google Patents

Vorrichtung zur selbsttätigen Überwachung und zur Steuerung eines Vakuum-Wärmebehandlungsofens Download PDF

Info

Publication number
EP0524368A1
EP0524368A1 EP19920102167 EP92102167A EP0524368A1 EP 0524368 A1 EP0524368 A1 EP 0524368A1 EP 19920102167 EP19920102167 EP 19920102167 EP 92102167 A EP92102167 A EP 92102167A EP 0524368 A1 EP0524368 A1 EP 0524368A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
gas
housing
pressure
cooling gas
valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP19920102167
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0524368B1 (de
Inventor
Friedrich Dr. Preisser
Peter Dr. Minarski
Paul Heilmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ALD Vacuum Technologies GmbH
Original Assignee
Leybold Durferrit GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Durferrit GmbH filed Critical Leybold Durferrit GmbH
Publication of EP0524368A1 publication Critical patent/EP0524368A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0524368B1 publication Critical patent/EP0524368B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D19/00—Arrangements of controlling devices
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/74—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material
    • C21D1/767—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material with forced gas circulation; Reheating thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/74—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material
    • C21D1/773—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material under reduced pressure or vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
    • F27B5/06—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
    • F27B5/16—Arrangements of air or gas supply devices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
    • F27B5/06—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
    • F27B2005/062—Cooling elements
    • F27B2005/064—Cooling elements disposed in the furnace, around the chamber, e.g. coils
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
    • F27B5/06—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
    • F27B5/14—Arrangements of heating devices
    • F27B2005/143—Heating rods disposed in the chamber
    • F27B2005/146—Heating rods disposed in the chamber the heating rods being in the tubes which conduct the heating gases
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
    • F27B5/06—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
    • F27B5/16—Arrangements of air or gas supply devices
    • F27B2005/161—Gas inflow or outflow
    • F27B2005/164—Air supply through a set of tubes with openings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
    • F27B5/06—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
    • F27B5/16—Arrangements of air or gas supply devices
    • F27B2005/166—Means to circulate the atmosphere
    • F27B2005/167—Means to circulate the atmosphere the atmosphere being recirculated through the treatment chamber by a turbine

Definitions

  • the invention relates to a method and a device for independent monitoring of operational safety and for controlling the process flow in a vacuum heat treatment furnace, in particular in a furnace operated with hydrogen gas as a cooling gas under excess pressure for hardening metallic workpieces, with a heating chamber for receiving the workpiece batch enclosing housing connected to a vacuum pump, with gas inlet and gas outlet openings opening into the heating chamber, a motor-blower unit whose fan wheel circulates the cooling gas, a cooling gas reservoir, a heating unit and with a heat exchanger in the cooling gas circuit.
  • Such an oven consists of a hollow cylindrical steel housing with an openable front door that allows access to the heating chamber.
  • the heating chamber is made of a steel jacket, which is lined with thermal insulation.
  • the heating chamber is provided with a large gas passage opening on the floor and ceiling. These openings are closed by insulated gate valves during the heating and holding period.
  • the charge in the heating chamber is flowed around by cold gas which is circulated through the heating chamber.
  • the circulating speed and the strength of the recooling of the gas can be adjusted solely through the design of the heat exchangers and blowers associated with the furnace.
  • a high gas velocity is the prerequisite for rapid batch cooling. Curing, for example, can only be carried out with sufficiently rapid heat dissipation. There is therefore a requirement to circulate the quenching gas blown into the heating chamber at high speed in order to achieve rapid cooling of the batch.
  • the hardening of steels requires the workpieces to cool down from the austenitizing temperature (900 ° C) to room temperature with defined cooling rates. Depending on the type of steel, heat dissipation is necessary, which can only be achieved with certain surrounding media. The highest cooling rates are achieved with liquids. Gases have a lower thermal conductivity. By increasing the gas pressure and the circulation capacity, an increase in heat dissipation down to the range of liquids can be achieved. Disadvantages of liquid quenching are the uncontrolled quenching, the contamination of the surface with decomposition products, which entail complex cleaning, and the complex system technology when the workpieces have to be annealed in a vacuum.
  • Gas quenching is usually carried out with N2, which, apart from helium and hydrogen, brings about the best heat dissipation.
  • the pressure increase is possible when using nitrogen up to 10 bar.
  • a further increase to 20 bar is possible with helium.
  • the contamination in the furnace is increased to a multiple of the pressure.
  • a further increase in the cooling rate in the gas is only possible by using H2 as the heat transfer medium, since hydrogen has the highest thermal conductivity of all gases and can also be circulated with low power due to its low density. This would allow all workpieces that were previously quenched in liquids to be quenched in gas.
  • the sequence of the individual steps should be selected in such a way that an explosive mixture cannot arise in the system at any point in the process, and that the occurrence of a safety risk can be avoided if individual components fail.
  • a pressure sensor measuring the pressure in the housing of the furnace and at least one gas sensor arranged in the immediate vicinity of the furnace are provided, which in conjunction with an evaluation unit when a predetermined internal pressure in the housing has not been reached and a pressure which is simultaneously established Gas concentration in the furnace environment initiate a safety program whereby an immediate closure of the cooling gas inlet valve, an opening of the gas outlet valve and an opening of a purge gas inlet valve are effected, which is switched into a line which connects a purge gas storage container to the interior of the furnace housing and thus finally, depending on one In a branch line to the gas outlet line switched on gas sensor registered cooling gas concentration at the gas outlet valve, the pressure equalization of the housing interior and the furnace environment is brought about.
  • an evacuation valve and at least one gas sensor are preferably switched into the suction line leading from the housing of the vacuum heat treatment furnace to the vacuum pump, with a first pressure sensor measuring the pressure In the interior of the housing and a second pressure sensor, which determines the pressure in the cooling gas inlet line, are provided and at least one in the immediate vicinity of the vacuum heat treatment furnace, a gas sensor checking the furnace environment and a gas sensor switched on in the cooling gas outlet line, after closing of the evacuation valve at the beginning of the quenching process, a first measurement of the two pressure sensors for the pressure in the interior of the housing and for the pressure in the cooling gas inlet line either terminates the quenching process or opens the cooling gas inlet valve until the pressure in the housing reaches a setpoint (e.g.
  • an evacuation valve switched on between the vacuum pump and the housing in the suction line interacts with a cooling gas outlet valve switched on in the cooling gas inlet line and a first pressure sensor which measures the pressure in the interior of the housing and, when the evacuation valve is closed, produces the signal for a given housing pressure and at the same time the cooling gas inlet valve is closed
  • Switching off the heating unit with subsequent opening of the cooling gas inlet valve and, depending on the pressure increase in the housing and / or the pressure drop in the supply line enables the safety flushing of the housing with flushing gas and the subsequent pressure equalization of the housing, with the cooling gas inlet valve being opened via the pressure sensor after reaching a predetermined cooling gas
  • the blower for cooling gas circulation is switched on, the sensor for the housing internal pressure only keeps the cooling gas circulation going until the desired quenching temperature is reached when a predetermined working pressure in the housing is reached, and if the cooling gas concentration in the cooling system increases via a sensor Enables a safety program around the heat treatment furnace to a predetermined value, which begins with
  • the vacuum heat treatment furnace consists essentially of a hollow cylindrical housing 4, one end wall of which can be closed by a cover 3, a blower motor 12 arranged on the other end wall of the housing 4 with an impeller 13, and a hollow cylindrical batch chamber 2 arranged inside the housing with an insertable therein Batch basket 1, in which in turn the workpieces 5 to be treated can be inserted, a plurality of heating pipes 15, 15a, ...
  • the heat treatment furnace is connected via a suction line 17 to a vacuum pump 8, the suction connection 23 of which opens into the chimney 22a, the suction line 17th can be shut off by an evacuation valve 18.
  • the suction line 17 is connected to the gas outlet 11 which can be shut off via a gas outlet valve 28 and which opens into the chimney 22.
  • the inlet lines 9, 10 which are connected to the gas containers 14, 29 and turned on in the valves 25, 30, via which the two lines 9, 10 can be shut off.
  • Both the suction line 17 and the gas outlet line 11 are connected via branch lines 31, 32 to electrical test and evaluation units or their gas sensors 24, 42, 45, via which the respective gas concentrations in the two lines 11 and 17 can be determined and can be processed into corresponding electrical control pulses or control signals which can be compared in a central control unit or a computer 41 with a pre-defined program.
  • a flow monitor 33, 34, a test gas valve 35, 36 and a membrane filter 37, 38 are also connected, via which the evaluation units 24, 42 and others connected to these evaluation units 24, 42 in series Evaluation units 39, ... which are sensitive to other types of gas (such as oxygen), can be precisely adjusted to the process sequence.
  • the housing 4 is connected to a pressure sensor 19 via a test line 40.
  • a gas sensor 21 is arranged in the immediate vicinity of the housing 4, via which the cooling gas concentration in the furnace environment can be checked, which can then be processed into corresponding electrical signals via the central evaluation unit 41.
  • the vacuum heat treatment furnace described above is particularly suitable for hardening steel workpieces 5 in a hydrogen atmosphere of, for example, 40 bar pressure.
  • a hydrogen atmosphere for example, 40 bar pressure.
  • the process sequence shown in FIG. 2 is provided, the individual process steps taking place automatically, depending on those determined by the gas sensors 21, 24, 39 or the pressure sensors 19, 20 Values.
  • the actual quenching process begins with the closing of the evacuation valve 18 and after the batch 7 has been heated up with the aid of the heating units 15, 15a,... After a predetermined negative pressure is present in the housing 4 has stopped. It is clear that valves 28, 25 and 30 must also be closed during this phase. After the evacuation valve 18 has been closed, it is first checked whether the cooling gas line 10 is tight, ie the pressure at the pressure sensor 20 must remain constant; at the same time, the pressure in the housing 4 must not have exceeded the predetermined value (dp ⁇ x mbar). Only when both conditions are met is the heating current switched off via the only schematically illustrated central unit 41 and the quenching process started by opening the cooling gas inlet valve 25.
  • the blower motor 12 After reaching the predetermined pressure p> 800 mbar, the blower motor 12 is started and the cooling gas circulates in the direction of the arrow through the housing 4 or the blower housing 27, the charge 7, the heating tubes 15, 15a,... And the heat exchanger 16 is formed from pipes through which cold water flows.
  • the blower motor 12 is switched off and then the gas outlet valve 28 is opened in order to discharge the gas via the gas outlet 11 into the chimney 22, which is flushed with the purge gas (preferably N2) during the entire process sequence to ensure that never form a critical mixture of O2 and H2 in it.
  • the purge gas valve 30 is opened so that the purge gas (preferably N2) can flow from the reservoir 29 through the gas inlet 9 into the housing 4 until the volume N2> x V is reached and the gas concentration at the gas outlet 11 is ⁇ 1% and a complete pressure equalization has occurred.
  • the safety program shown in Fig. 3 starts automatically when a cooling gas concentration H2> 2% has accumulated in the vicinity of the furnace, sensed by the gas sensor 21. It starts with the immediate closing of the cooling gas inlet valve 25, the opening of the gas outlet valve 28, the opening of the Purge gas inlet valve 30. The purge gas inlet valve 30 then remains open until the housing 4 of the furnace is completely filled with purge gas N2 and the cooling gas concentration at the gas outlet valve 28 H2 is ⁇ 1%. In the now following pressure equalization with the purge gas, the housing pressure must be set to p> p atm so that the gas outlet valve 28 remains open and the cooling gas concentration at the gas outlet valve 28 is H 2 content ⁇ 1%.
  • the evacuation valve becomes 18 automatically closed on a signal from the evaluation unit 41.
  • the heating unit 15a, 15b, ... is now switched off and the motor-blower unit 12, 13 switched on, then the H2 valve 25 is opened and the H2 gas is in the housing recessed; the pressure increase in the housing 4 is checked with the aid of the sensor 19 until the pressure has finally reached 20 bar.
  • the H2 valve 25 is now closed and the quenching process is ended, provided that the H2 gas concentration in the area remains below 2%; now the purging process with N2 gas is initiated and then the motor-blower unit 12, 13 is switched off and then the gas outlet valve 18 is opened until the pressure in the housing 4 has dropped completely, finally the N2 valve 30 is opened again until the H2 gas content in the chimney 22, 22a is ⁇ 1% and full pressure equalization with the ambient air has been reached.
  • the safety program shown in FIG. 3 as a flow chart stored in the central evaluation unit begins with the closing of the H2 valve 25, the opening of the gas outlet 28 and the opening of the N2 valve 30.
  • the N2 valve 30 then remains open until the H2 content at the gas outlet 11 is measured by the sensor 42 to ⁇ 1%; as soon as this value is reached, the N2 valve 30 is closed and the pressure equalization with N2 is brought about (p> p atm); then the gas outlet valve 28 is opened until the H2 gas content at the gas outlet has become completely uncritical and a pressure equalization with the ambient air has set in.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Furnace Details (AREA)
  • Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
  • Heat Treatment Of Articles (AREA)
  • Control Of Heat Treatment Processes (AREA)
  • Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)

Abstract

Bei einem mit Wasserstoffgas unter Überdruck als Kühlmittel betriebenen Vakuum-Wärmebehandlungsofen, insbesondere zum Abschrecken von hocherhitzten metallischen Werkstücken (5), wird ein Verfahren zur selbsttätigen Steuerung des Prozeßablaufs und zur Überwachung der Betriebssicherheit angegeben. Das Gehäuse (4) des Wärmebehandlungsofens ist hierzu an je eine Gaseinlaßleitung (9, 10) für den Einlaß des Kühl- und des Spülgases (H2 bzw. N2) angeschlossen und außerdem mit einer Absaugleitung (17) und mit einer Gasauslaßleitung (11) verbunden, in die jeweils GasSensoren (24, 39, 42) eingeschaltet sind, die während des Abschreckprozesses die Gaskonzentration an eine zentrale Auswerteeinheit (41) melden, die im übrigen noch mit Druckfühlern (19, 20) und einem Gas-Sensor (21) in Verbindung steht, die weitere Signale über die in jedem Augenblick im Inneren des Gehäuses (4) oder der Gaseinlaßleitung (10) herrschenden Gasdrücke bzw. die Gaskonzentration in der Ofenumgebung an die zentrale Auswerteeinheit (41) melden, die ihrerseits dann nach vorgegebenen Programmen die Gaseinlaß- und Gasauslaßventile (25, 30 bzw. 18, 28) ansteuert und die Motor-Gebläse-Einheit (12, 13) und das Heizaggregat (15, 15a, ...) ein- oder ausschaltet. <IMAGE>

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur selbständigen Überwachung der Betriebssicherheit und zur Steuerung des Prozeßablaufs bei einem Vakuum-Wärmebehandlungsofen, insbesondere bei einem mit Wasserstoffgas als Kühlgas unter Überdruck betriebenen Ofen zum Härten metallischer Werkstücke, mit einem die Heizkammer zur Aufnahme der Werkstück-Charge umschließenden, an eine Vakuumpumpe angeschlossenen Gehäuse, mit in die Heizkammer einmündenden Gaseinlaß und Gasauslaßöffnungen, einer Motor-Gebläse-Einheit, deren Gebläserad das Kühlgas umwälzt, einem Kühlgasvorratsbehälter, einem Heizaggregat und mit einem Wärmetauscher im Kühlgaskreislauf.
  • Industrieöfen dieser Art sind aus der DE-PS 2844843 bekannt. Sie werden insbesondere benutzt, um Teile aus Schnellarbeitsstählen und anderen Werkzeugstählen härten zu können. Sie sind aber auch für andere Wärmebehandlungen geeignet, beispielsweise zum Blankglühen. Ein solcher Ofen besteht aus einem hohlzylindrischen Stahlgehäuse mit einer zu öffnenden Fronttür, die den Zugang zur Heizkammer ermöglicht. Die Heizkammer ist aus einem Stahlmantel gefertigt, der mit einer Wärmeisolierung ausgekleidet ist. Am Boden und an der Decke ist die Heizkammer mit einer großen Gasdurchtrittsöffnung versehen. Diese Öffnungen sind während der Heiz- und Halteperiode durch isolierte Sperrschieber verschlossen. Beim Abkühlvorgang wird die in der Heizkammer befindliche Charge von kaltem Gas umströmt, welches durch die Heizkammer hindurch umgewälzt wird. Die Umwälzgeschwindigkeit und die Stärke der Rückkühlung des Gases ist dabei allein einstellbar durch die Auslegung der zum Ofen zugehörigen Wärmeaustauscher und Gebläse.
  • Eine hohe Gasgeschwindigkeit ist die Voraussetzung, um eine schnelle Abkühlung der Charge zu erreichen. Nur mit einer ausreichend schnellen Wärmeabführung ist die Durchführung beispielsweise einer Härtung möglich. Es besteht daher die Forderung, zwecks Erzielung einer schnellen Kühlung der Charge, das in die Heizkammer eingeblasene Abschreckgas mit hoher Geschwindigkeit umzuwälzen.
    Das Härten von Stählen erfordert eine Abkühlung der Werkstücke von der Austenitisierungstemperatur (900°C) auf Raumtemperatur mit definierten Abkühlraten. Je nach Stahlsorte ist eine Wärmeabfuhr nötig, die nur durch bestimmte Umgebungsmedien erreicht werden kann. Die höchsten Abkühlraten werden mit Flüssigkeiten erzielt. Gase haben eine niedrigere Wärmeleitfähigkeit. Durch Steigerung des Gasdrucks und der Umwälzleistung ist eine Erhöhung der Wärmeabfuhr bis in den Bereich von Flüssigkeiten erreichbar. Nachteil der Flüssigkeitsabschreckung ist die ungeregelte Abschreckung, die Kontamination der Oberfläche mit Zersetzungsprodukten, die ein aufwendiges Reinigen nach sich ziehen, sowie die aufwendige Anlagentechnik, wenn die Werkstücke im Vakuum geglüht werden müssen.
  • Die Gasabschreckung wird üblicherweise mit N₂ durchgeführt, das außer Helium und Wasserstoff die beste Wärmeabfuhr bewirkt. Die Druckerhöhung ist bei Verwendung von Stickstoff bis 10 bar möglich. Mit Helium ist eine weitere Steigerung auf 20 bar möglich. Allerdings wird bei Verwendung dieser inerten Gase auch die Verunreinigung im Ofen auf das Vielfache des Druckes erhöht. Eine weitere Steigerung der Abkühlgeschwindigkeit im Gas ist nur durch Verwendung von H₂ als Wärmeübertragungsmedium möglich, da Wasserstoff die höchste Wärmeleitfähigkeit aller Gase aufweist und außerdem wegen seiner geringen Dichte mit geringer Leistung umgewälzt werden kann. Hiermit wären alle Werkstücke, die bisher in Flüssigkeiten abgeschreckt werden, im Gas abschreckbar. Ein weiterer gravierender Vorteil ist die Möglichkeit, diese Abschreckung geregelt durchzuführen, was in Flüssigkeiten wegen des Leidenfrost-Effekts nicht möglich ist.
    Trotz dieser offensichtlichen Vorteile ist eine Wasserstoffabschreckung im Hochdruck bisher nicht realisiert worden, da die Verwendung von Wasserstoff bei hohem Druck ein erhebliches Sicherheitsrisiko darstellt.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, durch eine sinnvolle Verknüpfung bekannter Anlagenelemente eine sichere Prozeßführung zu ermöglichen und einen Verfahrensablauf bzw. ein Flußdiagramm anzugeben, nach dem diese Wasserstoffabschreckung durchführbar ist. Die Abfolge der einzelnen Schritte soll so gewählt sein, daß zu keinem Zeitpunkt des Prozesses ein explosionsfähiges Gemisch in der Anlage entstehen kann, sowie daß bei Ausfall einzelner Komponenten die Entstehung eines Sicherheitsrisikos sicher vermieden werden kann.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ein den Druck im Gehäuse des Ofens messender Druckfühler und mindestens ein in der unmittelbaren Umgebung des Ofens angeordneter Gas-Sensor vorgesetzt sind, die in Verbindung mit einer Auswerteeinheit bei nicht Erreichen eines vorherbestimmten Gehäuseinnendrucks und einer gleichzeitig sich einstellenden Gaskonzentration in der Ofenumgebung ein Sicherheitsprogramm einleiten, wodurch ein sofortiges Schließen des Kühlgaseinlaßventils, ein Öffnen des Gasauslaßventils und ein Öffnen eines Spülgaseinlaßventils bewirkt, das in eine Leitung eingeschaltet ist, die einen Spülgasvorratsbehälter mit dem Innenraum des Ofengehäuses verbindet und so schließlich in Abhängigkeit der von einem in eine Zweigleitung zur Gasauslaßleitung eingeschaltetem Gas-Sensor registrierten Kühlgaskonzentration am Gasauslaßventil der Druckausgleich von Gehäuseinnenraum und Ofenumgebung herbeigeführt wird.
  • Vorzugsweise sind hierfür in die vom Gehäuse des Vakuum-Wärmebehandlungsofens zur Vakuumpumpe führende Saugleitung ein Evakuierventil und mindestens ein Gas-Sensor eingeschaltet, wobei ein erster Druckfühler der den Druck im Innenraum des Gehäuses und ein zweiter Druckfühler, der den Druck in der Kühlgaseinlaßleitung ermittelt, vorgesehen sind und mindestens ein in unmittelbarer Nähe des Vakuum-Wärmebehandlungsofen ein die Ofenumgebung prüfender Gas-Sensor und ein in die Kühlgasauslaßleitung eingeschalteter Gas-Sensor, wobei nach dem Schließen des Evakuierventils zu Beginn des Abschreckvorgangs eine erste Messung der beiden Druckfühler für den Druck im Innenraum des Gehäuses und für den Druck in der Kühlgaseinlaßleitung entweder den Abbruch des Abschreckvorgangs oder aber das Öffnen des Kühlgas-Einlaßventils bewirkt, bis der Druck im Gehäuse einen Sollwert (z.B. p=20 bar) erreicht hat, der vom ersten Druckfühler sensiert wird, oder aber zum Abbruch des laufenden Abschreckvorgangs führt, wenn der Gas-Sensor für die Gaskonzentration in der Umgebung einen vorgegebenen Wert (z.B. H₂ > 2%) verfehlt, und daß schließlich nach dem Schließen des Kühlgas-Einlaßventils und einer zulässigen Gaskonzentration (z.B. H₂ > 2%) in der Ofenumgebung der Abschreckvorgang beendet wird und nach Druckentlastung des Gehäuses durch Öffnen des Kühlgasauslaßventils ein Befüllen des Gehäuses mit Spülgas (z.B. N₂) durch Öffnen des Spülgaseinlaßventils erfolgt, bis die vom Gas-Sensor überwachte Kühlgaskonzentration am Gasauslaß unkritisch geworden ist (z.B. H₂ Gehalt < 1) .
  • Mit Vorteil wirkt ein zwischen Vakuumpumpe und Gehäuse in die Saugleitung eingeschaltetes Evakuierventil gleichzeitig mit einem in die Kühlgaseinlaßleitung eingeschalteten Kühlgasauslaßventil und einem ersten Druckfühler der den Druck im Innenraum des Gehäuses mißt zusammen und bewirkt bei geschlossenem Evakuierventil bei einem vorgegebenen Gehäusedruck und gleichzeitig geschlossenem Kühlgaseinlaßventil das Signal zur Abschaltung des Heizaggregats mit anschließendem Öffnen des Kühlgaseinlaßventils und ermöglicht in Abhängigkeit des Druckanstiegs im Gehäuse und/oder des Druckabfalls in der Zuleitung die Sicherheitsspülung des Gehäuses mit Spülgas und den anschließenden Druckausgleich des Gehäuses, wobei bei geöffnetem Kühlgaseinlaßventil über den Druckfühler nach Erreichen eines vorbestimmten Kühlgas-Anfangsdrucks die Einschaltung des Gebläses zur Kühlgas-Umwälzung erfolgt, wobei der Fühler für den Gehäuseinnendruck nur bei Erreichen eines vorbestimmten Arbeitsdrucks im Gehäuse die Kühlgas-Umwälzung bis zur gewünschten Abschrecktemperatur in Gang hält und bei einem über einen Sensor ermittelten Anstieg der Kühlgas-Konzentration in der Umgebung des Wärmebehandlungsofens auf einen vorbestimmten Wert ein Sicherheitsprogramm einschaltet, das mit dem Schließen des Kühlgaseinlaßventils und dem Öffnen des Gasauslaßventils beginnt und über ein anschließendes vollständiges Fluten des Gehäuses mit Spülgas fortläuft bis der Gehalt an Kühlgas im Bereich des Gasauslaßventils auf einen zulässigen Wert abgesunken ist, was dann zum Schließen des Spülgasventils bei anschließendem Druckausgleich mit Spülgas bis auf Atmosphärendruck führt und schließlich nach einer Überprüfung der Kühlgaskonzentration am Gasauslaß mit Hilfe des in die Zweigleitung eingeschalteten Gas-Sensors auf einen vorbestimmten Wert zum Druckausgleich zwischen dem Innenraum des Gehäuses und der Umgebungsluft führt.
  • Weitere Merkmale und Einzelheiten der Erfindung sind in den Patentansprüchen näher beschrieben und gekennzeichnet.
  • Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungsmöglichkeiten zu; eine davon ist in den anhängenden Zeichnungen näher dargestellt und zwar zeigen:
    • Fig.1
    den Schnitt durch den Vakuum-Wärmebehandlungsofen und die mit diesem verbundenen Aggregate, stark vereinfacht und rein schematisch,
    Fig.2
    ein Flußdiagramm des Abschreckvorgangs und
    Fig. 3
    ein Flußdiagramm des Sicherheitsprogramms
  • Der Vakuum-Wärmebehandlungsofen besteht im wesentlichen aus einem hohlzylindrischen Gehäuse 4, dessen eine Stirnwand von einem Deckel 3 verschließbar ist, einem an der anderen Stirnwand des Gehäuses 4 angeordnetem Gebläsemotor 12 mit Gebläserad 13, einer im Gehäuseinneren angeordneten hohlzylindrischen Chargenkammer 2 mit einem in diese einsetzbaren Chargenkorb 1 in den wiederum die zu behandelnden Werkstücke 5 einlegbar sind, mehreren sich bis in die unmittelbare Nachbarschaft des Chargenkorbs 1 erstreckenden, parallel zu Gehäuselängsachse ausgerichteten Heizrohren 15, 15a,..., einem zwischen dem Gebläsemotor 12 und dem Chargenkorb 1 im Innenraum des Gehäuses 4 vorgesehenen Gebläsegehäuse 27 und einem im Ringraum zwischen der Innenwand des Gehäuses 4 und der Außenwand der Chargenkammer 2 untergebrachten, aus einer von einem Kältemittel durchströmten Rohrschlange bestehenden, Wärmetauscher 16.
    Der Wärmebehandlungsofen ist über eine Saugleitung 17 an eine Vakuumpumpe 8 angeschlossen, deren Absaugstutzen 23 in den Kamin 22a einmündet, wobei die Saugleitung 17 durch ein Evakuierventil 18 absperrbar ist. Die Saugleitung 17 steht mit dem Gasauslaß 11 in Verbindung der über ein Gasauslaßventil 28 absperrbar ist und der in den Kamin 22 einmündet. In das hohlzylindrische Gehäuse 4 münden die Einlaßleitungen 9, 10 ein, die mit den Gasbehältern 14, 29 verbunden sind und in die Ventile 25, 30 eingeschaltet, über die die beiden Leitungen 9, 10 absperrbar sind. Sowohl die Saugleitung 17, als auch die Gasauslaßleitung 11 stehen über Zweigleitungen 31. 32 mit elektrischen Prüf- und Auswerteeinheiten bzw. deren Gas-Sensoren 24, 42, 45 in Verbindung über die die jeweiligen Gaskonzentrationen in den beiden Leitungen 11 und 17 ermittelt werden können und zu entsprechenden elektrischen Steuerimpulsen bzw. Steuersignalen verarbeitet werden können, die in einer zentralen Steuereinheit bzw. einem Rechner 41 mit einem vorgeprägten Programm verglichen werden können.
    Es sei noch erwähnt, daß in diese beiden Zweigleitungen jeweils noch ein Durchflußwächter 33, 34, ein Prüfgashahn 35, 36 und ein Membranfilter 37, 38 eingeschaltet sind über die die Auswerteeinheiten 24, 42 bzw. weitere zu diesen Auswerteeinheiten 24, 42 in Reihe geschaltete Auswerteeinheiten 39, ... die gegenüber anderen Gasarten (wie beispielsweise Sauerstoff) sensibel sind, auf den Verfahrensablauf genau einstellbar sind.
    Um den Innendruck des hohlzylindrischen Gehäuses 4 messen zu können ist das Gehäuse 4 über eine Prüfleitung 40 mit einem Druckfühler 19 verbunden. Schließlich ist ein Gassensor 21 in der unmittelbaren Nähe des Gehäuses 4 angeordnet über den die Kühlgaskonzentration in der Ofen-Umgebung geprüft werden kann, die dann über die zentrale Auswerteeinheit 41 zu entsprechenden elektrischen Signalen verarbeitbar ist.
  • Der vorstehend beschriebene Vakuum-Wärmebehandlungsofen eignet sich insbesondere zum Härten von Werkstücken 5 aus Stahl in einer Wasserstoffatmosphäre von beispielsweise 40 bar Druck. Um die beim Umgang mit Wasserstoff notwendige Betriebssicherheit zu gewährleisten ist der in Fig. 2 dargestellte Verfahrensablauf vorgesehen, wobei die einzelnen Verfahrensschritte jeweils automatisch erfolgen und zwar in Abhängigkeit der von den Gas-Sensoren 21, 24, 39 bzw. den Druckfühlern 19, 20 ermittelten Werten.
  • Wie das Flußdiagramm gemäß Fig. 2 zeigt beginnt der eigentliche Abschreck-Prozeß (Härtevorgang) mit dem Schließen des Evakuierventils 18 und nach dem Aufheizen der Charge 7 mit Hilfe der Heizaggregate 15, 15a, ..., nachdem sich im Gehäuse 4 ein vorbestimmter Unterdruck eingestellt hat. Es ist klar, daß während dieser Phase auch die Ventile 28, 25 und 30 geschlossen sein müssen. Nach dem Schließen des Evakuierventils 18 wird zunächst geprüft, ob die Kühlgasleitung 10 dicht ist, d.h. der Druck am Druckfühler 20 muß konstant bleiben; gleichzeitig darf auch der Druck im Gehäuse 4 den vorbestimmten Wert (dp < x mbar) nicht überschritten haben. Nur wenn beide Bedingungen erfüllt sind, wird über die nur schematisch dargestellte Zentral-Einheit 41 der Heiz-Strom abgeschaltet und der Abschreck-Prozeß durch Öffnen des Kühlgas-Einlaßventils 25 gestartet. Nach Erreichen des vorbestimmten Drucks p > 800 mbar wird der Gebläsemotor 12 gestartet und ein Umlauf des Kühlgases in Pfeilrichtung durch das Gehäuse 4 bzw. dem Gebläsegehäuse 27, der Charge 7, den Heizrohren 15, 15a, .... und dem Wärmetauscher 16 der von aus mit kaltem Wasser durchströmten Rohren gebildet ist, bewirkt. Gleichzeitig wird der Druck im Gehäuse 4 bis auf z.B. p = 20 bar (oder auch auf vorgegebene 40 bar) gesteigert und die Gaskonzentration in der Umgebung des Ofens mit Hilfe des Gas-Sensors 21 überwacht. Nach Erreichen des Gehäusedrucks p = 20 bar wird das Kühlgaseinlaßventil 25 geschlossen und die Charge durch Umwälzen des Kühlgases abgekühlt. Nach dem Abkühlen wird der Gebläsemotor 12 abgeschaltet und anschließend das Gasauslaßventil 28 geöffnet, um das Gas über den Gasauslaß 11 in den Kamin 22 abzuleiten, der im übrigen während des gesamten Prozeßablaufs vom Spülgas (bevorzugt von N₂) durchspült wird um sicher zu stellen, daß sich zu keinem Zeitpunkt in ihm ein kritisches Gemisch aus O₂ und H₂ bilden kann. Sobald der Druck im Innenraum des Gehäuses 4 auf p > = 2 bar abgesunken ist, wird das Spülgasventil 30 geöffnet, so daß das Spülgas (bevorzugt N₂) aus dem Vorratsbehälter 29 über den Gaseinlaß 9 in das Gehäuse 4 einströmen kann bis das Volumen N₂ > x V erreicht und die Gaskonzentration am Gasauslaß 11 < 1% ist und sich ein vollständiger Druckausgleich eingestellt hat.
  • Erfindungswesentlich ist nun die Zuordnung eines Sicherheitsprogramms, dessen Flußdiagramm in Fig. 3 näher dargestellt ist und durch daß in jeder Phase des Abschreckvorgangs sicher gestellt ist, daß bei Auftreten einer Leckage im Bereich des Ofens oder bei der Ansammlung eines explosionsfähigen Gasgemischs in Teilen der Anlage oder in der Umgebung des Ofens der Prozeß selbsttätig unterbrochen wird bzw. solange ausgesetzt wird, bis die Gefahrenstelle beseitigt ist bzw. sich aufgelöst hat.
  • Das in Fig. 3 dargestellte Sicherheitsprogramm startet automatisch wenn sich in der Umgebung des Ofens eine Kühlgaskonzentration H₂ > 2% angesammelt hat, sensiert durch den Gasfühler 21. Es beginnt mit dem sofortigen Schließen des Kühlgaseinlaßventils 25, dem Öffnen des Gasauslaßventils 28, dem Öffnen des Spülgaseinlaßventils 30. Das Spülgaseinlaßventil 30 bleibt dann solange geöffnet, bis das Gehäuse 4 des Ofens vollständig mit Spülgas N₂ gefüllt ist und die Kühlgaskonzentration am Gasauslaßventil 28 H₂ < 1% beträgt. Bei dem nun folgenden Druckausgleich mit dem Spülgas muß sich der Gehäusedruck auf p > p atm einstellen, damit das Gasauslaßventil 28 weiter geöffnet bleibt und die Kühlgaskonzentration auch am Gasauslaßventil 28 H₂-Gehalt < 1% ist.
  • Wie aus dem in Fig. 2 gezeigten Flußdiagramm ersichtlich ist wird nach dem Einführen der Charge bzw. des Chargenkorbs 1 in das Gehäuse 4, nach dem Schließen des Gehäuses 1, dem Abpumpen des Gehäuses 1 über die Leitung 17 und dem Aufheizen der Charge das Evakuierventil 18 automatisch auf ein Signal der Auswerteeinheit 41 hin geschlossen. Vorausgesetzt, daß der gewünschte Gehäusedruck erreicht ist und daß die H₂ Leitung 10 dicht ist wird nun das Heizaggregat 15a, 15b, ... abgeschaltet und die Motor-Gebläseeinheit 12, 13 eingeschaltet, dann das H₂-Ventil 25 geöffnet und H₂-Gas in das Gehäuse eingelassen; dabei wird der Druckanstieg im Gehäuse 4 mit Hilfe des Sensors 19 kontrolliert bis der Druck schließlich 20 bar erreicht hat. Das H₂-Ventil 25 wird nun geschlossen und der Abschreckvorgang beendet, vorausgesetzt, die H₂-Gaskonzentration in der Umgebung bleibt unter 2%; nun wird der Spülvorgang mit N₂-Gas eingeleitet und dann die Motor-Gebläseeinheit 12, 13 abgeschaltet und anschließend das Gasauslaßventil 18 geöffnet bis der Druck im Gehäuse 4 vollständig abgesunken ist, schließlich wird das N₂-Ventil 30 nochmals geöffnet bis der H₂-Gasgehalt im Kamin 22, 22a < 1% beträgt und der vollständige Druckausgleich mit der Umgebungsluft erreicht ist.
  • Das in Fig. 3 als Flußdiagramm dargestellte in der zentralen Auswerteeinheit gespeicherte Sicherheitsprogramm beginnt mit dem Schließen des H₂-Ventils 25, dem Öffnen des Gasauslasses 28 und dem Öffnen des N₂-Ventils 30. Das N₂-Ventil 30 bleibt dann solange geöffnet, bis der H₂-Gehalt am Gasauslaß 11 vom Sensor 42 auf < 1% gemessen wird; sobald dieser Wert erreicht ist wird das N₂-Ventil 30 geschlossen und der Druckausgleich mit N₂ herbeigeführt (p > p atm); anschließend wird das Gasauslaßventil 28 geöffnet bis der H₂-Gasgehalt am Gasauslaß völlig unkritisch geworden ist und sich ein Druckausgleich mit der Umgebungsluft eingestellt hat.
    • Bezugszeichenliste
    • 1
    Chargenkorb
    2
    Chargenkammer
    3
    Gehäusedecke
    4
    Gehäuse
    5
    Werkstück
    6
    Heizkammer
    7
    Werkstück-Charge
    8
    Pumpe
    9
    Gaseinlaß (N₂), Spülgaseinlaßleitung
    10
    Gaseinlaß (H₂), Kühlgaseinlaßleitung
    11
    Gasauslaß, Gasauslaßleitung
    12
    Gebläsemotor
    13
    Gebläserad
    14
    Kühlgasvorratsbehälter
    15,15a
    Heizaggregat, Heizrohr
    16
    Wärmetauscher
    17
    Saugleitung
    18
    Evakuierventil
    19
    erster Druckfühler
    20
    zweiter Druckfühler
    21
    Gas-Sensor
    22, 22a
    Kamin
    23
    Absaugstutzen
    24
    Gas-Sensor
    25
    Kühlgaseinlaßventil
    26
    27
    Gebläsegehäuse
    28
    Gasauslaßventil
    29
    Spülgasvorratsbehälter
    30
    Spülgaseinlaßventil
    31
    Zweigleitung
    32
    Zweigleitung
    33
    Durchflußwächter
    34
    Durchflußwächter
    35
    Prüfgashahn
    36
    Prüfgashahn
    37
    Membranfilter
    38
    Membranfilter
    39
    Auswerteeinheit
    40
    Prüfleitung
    41
    Auswerteeinheit, zentrale Auswerteeinheit
    42
    Gas-Sensor
    43
    Durchflußwächter
    44
    Durchflußwächter
    45
    Durchflußwächter

Claims (10)

  1. Verfahren und Vorrichtung zur selbständigen Überwachung der Betriebssicherheit und zur Steuerung des Prozeßablaufs bei einem Vakuum-Wärmebehandlungsofen, insbesondere bei einem mit Wasserstoffgas als Kühlgas unter Überdruck betriebenen Ofen zum Härten metallischer Werkstücke (5), mit einem die Heizkammer (6) zur Aufnahme der Werkstück-Charge (7) einschließenden, an eine Vakuumpumpe (8) angeschlossenen Gehäuse (4), mit in die Heizkammer (6) einmündenden Gaseinlaß- (9,10) und Gasauslaßöffnungen (11), einer Motor-Gebläse-Einheit (12,13) deren Gebläserad (13) das Kühlgas umwälzt, einem Kühlgasvorratsbehälter (14), einem Heizaggregat (15,15a,...) und mit einem Wärmetauscher (16) im Kühlgaskreislauf, dadurch gekennzeichnet , daß ein den Druck im Gehäuse (4) des Ofens messender Druckfühler (19) und mindestens ein in der unmittelbaren Umgebung des Ofens angeordneter Gas-Sensor (21) vorgesehen sind, die jeweils in Verbindung mit einer Auswerteeinheit bei nicht Erreichen eines vorbestimmten Drucks im Innenraum des Gehäuses (4) (z.B. p=20 bar) und einer sich gleichzeitig einstellenden Gaskonzentration in der Ofen-Umgebung (von z.B. H₂ > 2%) ein Sicherheitsprogramm einleiten, das ein sofortiges Schließen des Kühlgaseinlaßventils (25), ein Öffnen des Gasauslaßventils (28) und ein Öffnen eines Spülgaseinlaßventils (30) bewirkt, das in eine Leitung (9) eingeschaltet ist, die einen Spülgasvorratsbehälter (29) mit dem Innenraum des Ofengehäuses (4) verbindet und so schließlich in Abhängigkeit der von einem in eine Zweigleitung (32) zur Gasauslaßleitung (11) eingeschalteten Gas-Sensor (42) registrierten Kühlgaskonzentration am Gasauslaßventil (28) den Druckausgleich von Gehäuseinnenraum und Ofenumgebung herbeiführt.
  2. Verfahren und Vorrichtung zur selbständigen Überwachung der Betriebssicherheit und zur Steuerung des Prozeßablaufs bei einem Vakuum-Wärmebehandlungsofen, insbesondere bei einem mit Wasserstoffgas als Kühlgas unter Überdruck betriebenen Ofen zum Härten metallischer Werkstücke (5), mit einem die Heizkammer (6) zur Aufnahme der Werkstück-Charge (7) umschließenden, an eine Vakuumpumpe (8) angeschlossenen Gehäuse (4), mit in die Heizkammer (6) einmündenden Gaseinlaß- (9,10) und Gasauslaßleitungen (11), einer Motor-Gebläse-Einheit (12,13) deren Gebläserad (13) den Kühlgasstrom umwälzt, einem Kühlgasvorratsbehälter (14), einem Heizaggregat (15,15a,...) und mit einem Wärmetauscher (16) im Kühlgaskreislauf, dadurch gekennzeichnet , daß in die vom Gehäuse (4) des Vakuum-Wärmebehandlungsofens zur Vakuumpumpe (8) führende Saugleitung (17) ein Evakuierventil (18) und mindestens ein Gas-Sensor (24,39) eingeschaltet sind und das ein erster Druckfühler (19) der den Druck im Innenraum des Gehäuses (4) und ein zweiter Druckfühler (20) der den Druck in der Kühlgaseinlaßleitung (10) ermittelt vorgesehen sind und daß mindestens ein in unmittelbarer Nähe des Vakuum-Wärmebehandlungsofens ein die Ofenumgebung prüfender Gas-Sensor (21) und ein in die Kühlgasauslaßleitung (11) eingeschalteter Gas-Sensor (42) angeordnet sind, und daß nach dem Schließen des Evakuierventils (18) zu Beginn des Abschreckvorgangs eine erste Messung der beiden Druckfühler (19 bzw. 20) für den Druck im Innenraum des Gehäuses (4) und für den Druck in der Kühlgaseinlaßleitung (10) entweder den Abbruch des Abschreckvorgangs oder aber das Öffnen des Kühlgaseinlaßventils (25) bewirkt, bis der Druck im Gehäuse (4) einen Sollwert (z.B. p=20 bar) erreicht hat der vom ersten Druckfühler (19) sensiert wird, oder aber zum Abbruch des laufenden Abschreckvorgangs führt, wenn der GasSensor (21) für die Gaskonzentration in der Umgebung einen vorgegebenen Wert (z.B. H₂ > 2%) verfehlt, und daß schließlich nach dem Schließen des Kühlgaseinlaßventils (25) und einer zulässigen Gaskonzentration in der Ofenumgebung (z.B. H₂ > 2%) der Abschreckvorgang beendet wird und nach Druckentlastung des Gehäuses (4) durch Öffnen des Kühlgasauslaßventils (28) ein Befüllen des Gehäuses (4) durch Öffnen des Spülgaseinlaßventils (30) mit Spülgas (z.B. N₂) erfolgt, bis die vom Gas-Sensor (42) überwachte Kühlgaskonzentration in der Gasauslaßleitung (11) unkritisch geworden ist (z.B. H₂ Gehalt < 1%).
  3. Verfahren und Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß ein zwischen Vakuumpumpe (8) und Gehäuse (4) in die Saugleitung (17) eingeschaltetes Evakuierventil (18) gleichzeitig mit einem in die Kühlgaseinlaßleitung (10) eingeschalteten Kühlgasauslaßventil (25) und einem ersten Druckfühler (19) der den Druck im Innenraum des Gehäuses (4) mißt zusammenwirkt und bei geschlossenem Evakuierventil (18) bei einem vorgegebenem Gehäusedruck und gleichzeitig geschlossenem Kühlgaseinlaßventil (25) das Signal zur Abschaltung des Heizaggregats (15, 15a, ...) mit anschließendem Öffnen des Kühlgaseinlaßventils (25) nur bewirkt wird und in Abhängigkeit des Druckanstiegs im Gehäuse (4) und/oder Druckabfalls in der Zuleitung (10) die Sicherheitsspülung des Gehäuses (4) mit Spülgas (N₂) und den anschließenden Druckausgleich des Gehäuses (4) ermöglicht, wobei bei geöffnetem Kühlgaseinlaßventil (25) über den Druckfühler (19) nach Erreichen eines vorbestimmten Kühlgas-Anfangsdrucks (von beispielsweise p>800 mbar) die Einschaltung der Motor-Gebläse-Einheit (12,13) zur Kühlgasumwälzung erfolgt, wobei der Fühler (19) für den Gehäuseinnendruck nur bei Erreichen eines vorbestimmten Arbeitsdrucks im Gehäuse (4) (z.B. p=20 bar) die Kühlgasumwälzung bis zur gewünschten Abschrecktemperatur in Gang hält und bei einem über einen Sensor (21) ermittelten Anstieg der Kühlgaskonzentration in der Umgebung des Wärmebehandlungsofens auf einen vorbestimmten Wert (von z.B. > 2%) ein Sicherheitsprogramm einschaltet, das mit dem Schließen des Kühlgaseinlaßventils (25) und dem Öffnen des Gasauslaßventils (28) beginnt und über ein anschließendes vollständiges Fluten des Gehäuses (4) mit Spülgas (N₂) fortläuft bis der Gehalt an Kühlgas (H₂) im Bereich des Gasauslaßventils (28) auf einen zulässigen Wert (< 1%) abgesunken ist, was dann zum Schließen des Spülgasventils (30) bei anschließendem Druckausgleich mit Spülgas bis auf Atmosphärendruck führt und schließlich nach einer Überprüfung der Kühlgaskonzentration am Gasauslaß mit Hilfe des in die Zweigleitung (32) eingeschalteten Gas-Sensors (42) auf einen vorbestimmten Wert (von < 1%) zum Druckausgleich zwischen dem Innenraum des Gehäuses (4) und der Umgebungsluft führt.
  4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß die mit dem Gehäuseinnenraum verbundene Gasauslaßleitung (11) in einen nach außen führenden Kamin (22) einmündet, wobei der die Spülgaskonzentration am Gasauslaß prüfende Gas-Sensor (42) über die Zweigleitung (32) mit dem Abschnitt der Gasauslaßleitung (11) verbunden ist, der das Gasauslaßventil (28) mit dem Kamin (22) verbindet und der Gas-Sensor (42) Teil einer elektrisch arbeitenden Auswerteeinheit ist, über die eine Anzeigeeinheit und/oder die Gaseinlaßventile (25,30) und/oder das Gasauslaßventil (18) und/oder das Evakuierventil (18) unmittelbar ansteuerbar sind.
  5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß mindestens ein die Gaskonzentration in der unmittelbaren Umgebung des Gehäuses (4) prüfender Gas-Sensor (21) vorgesehen ist, der mit einer Auswerteeinheit (41) zusammenwirkt, über die eine Anzeigeeinheit und/oder eine elektrisch arbeitende Zentraleinheit ansteuerbar ist, die ihrerseits zum Zwecke der Auslösung eines Sicherheitsprogramms die Kühlgas- und Spülgasventile (25, 30), und das Gasauslaßventil (28) in einer vom Sicherheitsprogramm bestimmten Reihenfolge ansteuert und im übrigen auf dieses Sicherheitsprogramm schaltet wenn der den Innendruck des Gehäuses (4) prüfende erste Druckfühler (19) dieser Auswerteeinheit (41) meldet, daß ein vorgegebener Mindestdruck (von z.B. p=20 bar) in einer vorgegebenen Zeiteinheit nicht erreichbar ist.
  6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß in die von der Vakuumpumpe (8) zum Gehäuse (4) des Ofens führende Saugleitung (17) ein Evakuierventil (18) eingeschaltet ist und der Pumpenauslaß über einen Absaugstutzen (23) in einen Kamin (22a) einmündet, wobei der Absaugstutzen (23) mit der Zweigleitung (31) eines Kühlgas-Sensors (24) und/oder eines Sauerstoff-Sensors (39) verbunden ist, der seinerseits in den Schaltkreis der Auswerteeinheit (41) einbezogen ist.
  7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß in die vom Kühlgasvorratsbehälter (14) zum Gehäuse (4) des Ofens führende Gaseinlaßleitung (10) (z.B. für H₂) ein Kühlgaseinlaßventil (25) eingeschaltet ist, wobei an das Teilstück der Leitung zwischen Vorratsbehälter (14) und Ventil (25) ein Druckfühler (20) angeschlossen ist, der seinerseits mit der Auswerteeinheit (41) zusammenwirkt, die ihrerseits mit einem weiteren Druckfühler (19) verbunden ist, der über die Prüfleitung (40) mit dem Innenraum des Gehäuses (4) des Ofens in Verbindung steht, und die nach dem Aufheizen der Charge (7) und nach dem Evakuieren des Gehäuses (4) des Ofens den Abbruch des Wärmebehandlungsprozesses oder das Fluten des Gehäuses (4) mit Spülgas aus dem Spülgasvorratsbehälter (29) oder aber die Abschaltung des Heizaggregats (15, 15a, ...) mit einem anschließenden Öffnen des Kühlgaseinlaßventils (25) zum Zwecke des Abschreckens der Charge (7) bewirkt.
  8. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß jedem der Gas-Sensoren (24,39,42) Durchflußwächter (33,34,bzw. 43, 44, 45) zugeordnet sind, die in Verbindung mit in die jeweilige Zweigleitung (31 bzw.32) eingeschalteten Prüfgashähnen (35 bzw. 36) eine genaue Abstimmung der Gas-Sensoren (24,35,42) ermöglichen.
  9. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß die zentrale Auswerteeinheit (41) einerseits mit den Gaseinlaßventilen (25,30), dem Gasauslaßventil (28), dem Evakuierventil (18) dem Heizstrom-Schalter (47) und dem Gebläsemotor-Schalter (46) in Wirkverbindung steht und andererseits mit den Gas-Sensoren (24,39, 42) und den Druckfühlern (19,20) derart, daß bei über die vorgegebenen Werte für die Gaskonzentration im Gehäuse (4), im Absaugstutzen (17), im Gasauslaß (11) oder der Ofenumgebung und/oder bei Druckabfall im Gehäuse (4) oder der Kühlgasleitung (10) ein Sicherheitsprogramm in Gang bringbar ist, bei dem das Kühlgaseinlaßventil (25) geschlossen, das Gasauslaßventil (28) geöffnet, das Spülgaseinlaßventil (30) geöffnet und anschließend wieder geschlossen, das Gasauslaßventil (28) wieder geöffnet und bei Erreichen der zulässigen Kühlgaskonzentration in der Gasauslaßleitung (11), der Druckausgleich erzielbar ist.
  10. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß die zentrale Auswerteeinheit (41) zum Zwecke der selbständigen Steuerung des Prozesses zum Abschrecken der Charge (7) einerseits sowohl mit dem Drucksensor (19) zur Überwachung des Innendrucks des Gehäuses (4) und mit dem Drucksensor (20) zur Ermittlung des Druckes in der Kühlgasleitung (10) verbunden ist, als auch andererseits mit den Gas-Sensoren (24, 39, 42) zur Ermittlung der Gaskonzentrationen am Gasauslaß (11) und am Absaugstutzen (23) und auch mit mindestens einem Gas-Sensor (21) zur Ermittlung der Gaskonzentration in der unmittelbaren Umgebung des Ofens und ebenso mit den Schaltern (46, 47) für den Gebläsemotor (12) und für das Heizaggregat (15, 15a,...) derart, daß nach dem Schließen des Evakuierventils (18) das Heizaggregat (15, 15a,...) abgeschaltet, das Kühlgaseinlaßventil (25) geöffnet und die Motor-Gebläseeinheit (12, 13) gestartet wird, wobei nach Erreichen eines bestimmten Gehäuseinnendrucks (z.B. p=20 bar) das Kühlgasventil (25) wieder geschlossen und nach abgeschlossener Abschreckung der Charge (7) das Spülgas (z.B. N₂) in das Gehäuse (4) eingeleitet, die Motorgebläseeinheit (12, 13) wieder abgeschaltet und das Gasauslaßventil (28) geöffnet wird bis ein Druckausgleich zwischen der Umgebung und dem Gehäuseinnenraum (4) erfolgt ist.
EP92102167A 1991-06-27 1992-02-10 Vorrichtung zur selbsttätigen Überwachung und zur Steuerung eines Vakuum-Wärmebehandlungsofens Expired - Lifetime EP0524368B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4121277A DE4121277C2 (de) 1991-06-27 1991-06-27 Vorrichtung und Verfahren zur selbsttätigen Überwachung der Betriebssicherheit und zur Steuerung des Prozeßablaufs bei einem Vakuum-Wärmebehandlungsofen
DE4121277 1991-06-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0524368A1 true EP0524368A1 (de) 1993-01-27
EP0524368B1 EP0524368B1 (de) 1995-01-25

Family

ID=6434893

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP92102167A Expired - Lifetime EP0524368B1 (de) 1991-06-27 1992-02-10 Vorrichtung zur selbsttätigen Überwachung und zur Steuerung eines Vakuum-Wärmebehandlungsofens

Country Status (5)

Country Link
US (2) US5225142A (de)
EP (1) EP0524368B1 (de)
AT (1) ATE117791T1 (de)
DE (2) DE4121277C2 (de)
ES (1) ES2067260T3 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10021583A1 (de) * 2000-05-04 2001-11-15 Ald Vacuum Techn Ag Verfahren und Vorrichtung zum Aufkohlen und Härten von Werkstückchargen

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5261976A (en) * 1991-12-31 1993-11-16 Gas Research Institute Control system for a soft vacuum furnace
US5358030A (en) * 1992-05-08 1994-10-25 Fmc Corporation Method for managing retort over-pressure during pressure cooling
FR2760758B1 (fr) * 1997-03-13 1999-04-23 Air Liquide Installation de surveillance d'un appareil de generation d'atmosphere
US5939620A (en) * 1998-04-24 1999-08-17 Crown Cork & Seal Technologies Coporation Leak detecting device for detecting a leak in a container
AT407262B (de) * 1998-10-05 2001-02-26 Ebner Peter Dipl Ing Verfahren zum blankglühen von eine hohe affinität zu sauerstoff aufweisenden metallen
DE10108057A1 (de) * 2001-02-20 2002-08-22 Linde Ag Verfahren zum Abschrecken von metallischen Werkstücken
CA2441879A1 (en) 2001-03-22 2002-10-03 University Of Maryland Sensor probe for measuring temperature and liquid volumetric fraction of a liquid droplet laden hot gas and method of using same
PL202005B1 (pl) * 2004-11-19 2009-05-29 Politechnika & Lstrok Odzka In Urządzenie do hartowania z zamkniętym obiegiem wodoru
DE102005045783A1 (de) * 2005-09-23 2007-03-29 Sistem Teknik Endustriyel Elektronik Sistemler Sanayi Ve Ticaret Ltd. Sirketi Einkammer-Vakuumofen mit Wasserstoffabschreckung
DE102005051420A1 (de) * 2005-10-27 2007-05-03 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Anlage zur trockenen Umwandlung eines Material-Gefüges von Halbzeugen
DE102009000200B3 (de) * 2009-01-14 2010-09-02 Robert Bosch Gmbh Abschreckvorrichtung sowie Abschreckverfahren
DE102011103748A1 (de) 2011-05-31 2012-12-06 Ipsen International Gmbh Verfahren zur Steuerung von Vakuumpumpen in einer Industrieofenanlage
ES2438721T3 (es) * 2011-07-25 2014-01-20 Ivoclar Vivadent Ag Horno dental
FR3001229B1 (fr) * 2013-01-23 2015-10-30 Ecm Technologies Cellule de trempe sous gaz
CN103438697B (zh) * 2013-09-04 2015-05-13 四川有色金源粉冶材料有限公司 一种脱除油脂和粘结剂的烧结炉及方法
PL228193B1 (pl) * 2014-10-06 2018-02-28 Seco/Warwick Społka Akcyjna Urzadzenie do jednostkowego hartowania czesci urzadzen technicznych
EP3249330B1 (de) * 2015-04-22 2019-08-14 IHI Corporation Wärmebehandlungsvorrichtung
CN106500503A (zh) * 2016-12-26 2017-03-15 沈阳恒进真空科技有限公司 多功能真空炉
CN115584384B (zh) * 2022-10-19 2024-06-25 攀钢集团攀枝花钢钒有限公司 一种罩式炉高温测试不合的处理方法及系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4191598A (en) * 1978-08-21 1980-03-04 Midland-Ross Corporation Jet recirculation method for vacuum carburizing
FR2595801A1 (fr) * 1986-03-12 1987-09-18 Innovatique Sa Procede et dispositif pour l'elaboration d'un melange gazeux apte a assurer une atmosphere de traitement dans un four de traitement thermochimique par bombardement ionique
EP0355520A2 (de) * 1988-08-18 1990-02-28 Linde Aktiengesellschaft Verfahren zur Wärmebehandlung von Werkstücken
DE3910234C1 (de) * 1989-03-30 1990-04-12 Degussa Ag, 6000 Frankfurt, De

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4009872A (en) * 1976-06-25 1977-03-01 Alco Standard Corporation Energy-conserving, fast-cooling heat treating furnace
US4124199A (en) * 1977-07-11 1978-11-07 Abar Corporation Process and apparatus for case hardening of ferrous metal work pieces
US4195820A (en) * 1978-04-10 1980-04-01 Pyreflex Corporation Precise thermal processing apparatus
DE2844843C2 (de) * 1978-10-14 1985-09-12 Ipsen Industries International Gmbh, 4190 Kleve Industrieofen zur Wärmebehandlung metallischer Werkstücke
DE3346884A1 (de) * 1983-12-23 1985-07-11 Ipsen Industries International Gmbh, 4190 Kleve Industrieofen zur waermebehandlung metallischer werkstuecke
US4643402A (en) * 1985-07-24 1987-02-17 Mg Industries System for producing a regulated atmosphere for a high-temperature process
US4781358A (en) * 1986-01-06 1988-11-01 Langan John D Apparatus for monitoring an article in sintering furnace
US4983112A (en) * 1988-07-30 1991-01-08 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Interlocking device for hot isostatic pressurizing equipment

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4191598A (en) * 1978-08-21 1980-03-04 Midland-Ross Corporation Jet recirculation method for vacuum carburizing
FR2595801A1 (fr) * 1986-03-12 1987-09-18 Innovatique Sa Procede et dispositif pour l'elaboration d'un melange gazeux apte a assurer une atmosphere de traitement dans un four de traitement thermochimique par bombardement ionique
EP0355520A2 (de) * 1988-08-18 1990-02-28 Linde Aktiengesellschaft Verfahren zur Wärmebehandlung von Werkstücken
DE3910234C1 (de) * 1989-03-30 1990-04-12 Degussa Ag, 6000 Frankfurt, De

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10021583A1 (de) * 2000-05-04 2001-11-15 Ald Vacuum Techn Ag Verfahren und Vorrichtung zum Aufkohlen und Härten von Werkstückchargen

Also Published As

Publication number Publication date
DE4121277C2 (de) 2000-08-03
DE59201267D1 (de) 1995-03-09
ATE117791T1 (de) 1995-02-15
ES2067260T3 (es) 1995-03-16
US5225142A (en) 1993-07-06
DE4121277A1 (de) 1993-01-07
US5362031A (en) 1994-11-08
EP0524368B1 (de) 1995-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0524368B1 (de) Vorrichtung zur selbsttätigen Überwachung und zur Steuerung eines Vakuum-Wärmebehandlungsofens
EP0313889B1 (de) Vakuumofen zur Wärmebehandlung metallischer Werkstücke
DE4422588C1 (de) Verfahren zum Abschrecken von Werkstücken durch Gase und Wärmebehandlungsanlage zur Durchführung des Verfahrens
DE3344768C2 (de) Auslaßverschluß einer Kühlkammer eines Mehrkammervakuumofens
DE4110114A1 (de) Vorrichtung zum waermebehandeln von stahlteilen
EP0225501A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Halbleitermaterialien
EP1767660B1 (de) Verfahren zum Betrieb eines Einkammer-Vakuumofens mit Wasserstoffabschreckung
WO2011095377A1 (de) Vorrichtung zur erfassung mindestens einer messgrösse an einem ofen, sowie ofen
EP1560937B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur kühlung von blaslanzen
EP1531186B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Wärmebehandlung metallischer Werkstücke
DE19628383A1 (de) Ofen zur Wärmebehandlung von Chargen metallischer Werkstücke
DE60128615T2 (de) Vorrichtung zum Abschrecken metallischer Materialien
DE2244913C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Wärmebehandlung von Bandstahl
DE3519994C1 (de) Verfahren zum beschleunigten Abkühlen von Glühgut und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102007029038A1 (de) Vakuumofen zur Wärmebehandlung von metallischen Werkstücken und Verfahren zu dessen Betrieb
DE102009053066B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Kühlen von wärmebehandelten Elementen
EP0495151B1 (de) Verfahren zur Wärmebehandlung in Vakuumöfen
DE10054765A1 (de) Wärmebehandlungsofen mit Tiefkühlsystem
EP0829554A1 (de) Niederdruck-Aufkohlungsanlage mit mehreren hintereinander angeordneten Kammern
DE102017006416A1 (de) Industrieofen
EP1627696B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erwärmung von Strangpresswerkzeugen vor dem Einbau in eine Strangpresse
DE2063776B2 (de) Vakuum blankgluehtopf
EP0355519A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Kühlung eines mit Flüssigkeit gefüllten Behälters
WO2000044945A1 (de) Durchlaufofen mit einer einrichtung zum abschrecken von werkstücken sowie abschreckverfahren
DE3226582A1 (de) Vorrichtung zum kuehlen von stabmaterial

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE ES FR GB IT LI NL SE

17P Request for examination filed

Effective date: 19930114

RAP3 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: LEYBOLD DURFERRIT GMBH

RAP3 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: LEYBOLD DURFERRIT GMBH

17Q First examination report despatched

Effective date: 19940118

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

ITF It: translation for a ep patent filed

Owner name: BARZANO' E ZANARDO MILANO S.P.A.

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT BE CH DE ES FR GB IT LI NL SE

REF Corresponds to:

Ref document number: 117791

Country of ref document: AT

Date of ref document: 19950215

Kind code of ref document: T

EAL Se: european patent in force in sweden

Ref document number: 92102167.1

REF Corresponds to:

Ref document number: 59201267

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19950309

REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: FG2A

Ref document number: 2067260

Country of ref document: ES

Kind code of ref document: T3

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 19950222

ET Fr: translation filed
PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PUE

Owner name: LEYBOLD DURFERRIT GMBH TRANSFER- ALD VACUUM TECHNO

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: 732E

NLS Nl: assignments of ep-patents

Owner name: ALD VACUUM TECHNOLOGIES GMBH

REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: PC2A

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: TP

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Payment date: 19980127

Year of fee payment: 7

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Payment date: 19980205

Year of fee payment: 7

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 19990228

BERE Be: lapsed

Owner name: ALD VACUUM TECHNOLOGIES G.M.B.H.

Effective date: 19990228

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 19990901

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PFA

Free format text: ALD VACUUM TECHNOLOGIES GMBH TRANSFER- ALD VACUUM TECHNOLOGIES AG

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PFA

Free format text: ALD VACUUM TECHNOLOGIES AG,RUECKINGER STRASSE 12,63526 ERLENSEE (DE) TRANSFER- ALD VACUUM TECHNOLOGIES AG,WILHELM-ROHN-STR. 35,63450 HANAU (DE)

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: CJ

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: IF02

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Payment date: 20030109

Year of fee payment: 12

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20030113

Year of fee payment: 12

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20030116

Year of fee payment: 12

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Payment date: 20030120

Year of fee payment: 12

Ref country code: DE

Payment date: 20030120

Year of fee payment: 12

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 20030121

Year of fee payment: 12

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Payment date: 20030210

Year of fee payment: 12

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20040210

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20040210

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20040211

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20040211

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20040229

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20040229

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20040901

EUG Se: european patent has lapsed
GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20040210

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20041029

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES;WARNING: LAPSES OF ITALIAN PATENTS WITH EFFECTIVE DATE BEFORE 2007 MAY HAVE OCCURRED AT ANY TIME BEFORE 2007. THE CORRECT EFFECTIVE DATE MAY BE DIFFERENT FROM THE ONE RECORDED.

Effective date: 20050210

REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: FD2A

Effective date: 20040211