EP0293872A1 - Verfahren und Vorrichtung zum schadstoff- und rückstandsfreien Sichtbarmachen von Strömungen in Reinstluft-Arbeitsräumen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum schadstoff- und rückstandsfreien Sichtbarmachen von Strömungen in Reinstluft-Arbeitsräumen Download PDF

Info

Publication number
EP0293872A1
EP0293872A1 EP88108801A EP88108801A EP0293872A1 EP 0293872 A1 EP0293872 A1 EP 0293872A1 EP 88108801 A EP88108801 A EP 88108801A EP 88108801 A EP88108801 A EP 88108801A EP 0293872 A1 EP0293872 A1 EP 0293872A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
air
clean
super
ultrapure
flow
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP88108801A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0293872B1 (de
Inventor
Gustav Dürner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sueddeutsche Etna-Werk GmbH
Original Assignee
Sueddeutsche Etna-Werk GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sueddeutsche Etna-Werk GmbH filed Critical Sueddeutsche Etna-Werk GmbH
Priority to AT88108801T priority Critical patent/ATE67023T1/de
Publication of EP0293872A1 publication Critical patent/EP0293872A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0293872B1 publication Critical patent/EP0293872B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F6/00—Air-humidification, e.g. cooling by humidification
    • F24F6/12—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F7/00—Ventilation
    • F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
    • F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
    • F24F7/10—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit with air supply, or exhaust, through perforated wall, floor or ceiling

Definitions

  • the present invention relates to a method and an apparatus for making flows in clean air work rooms or at clean air work stations visible and free of pollutants and residues.
  • Clean rooms are designed, built, furnished and operated with great effort. These clean rooms are required in medicine, in genetic engineering or biotechnology and, for example, in the development and manufacture of highly integrated electronic circuits.
  • the air in these rooms is cleaned, filtered, humidified, heated, cooled and kept free of all particles.
  • a laminar air flow from the ceiling to the floor is maintained in the utility rooms in this circuit, and installations, working people and facilities in the utility room should cause as little turbulence as possible.
  • the general solution to the problem lies in the use of a water mist made of the purest water, the water not being heated or evaporated but atomized by means of ultrasound.
  • the air carrying the mist is accelerated and thus released into the ultraclean room.
  • Nebulizers with ultrasonic atomizers are known per se.
  • DE-OS 32 34 480 describes a nebulizer for cosmetic facial pretreatment, a heater for the blower air being arranged in a nozzle head upstream of the blower.
  • the heating only serves the purpose of producing a pleasant effect on the human hand.
  • the body temperature is adjusted because the nebulizer is used directly for the cosmetic facial treatment.
  • oil mist is mostly used in clean room air technology to make the air flow visible, the oil mist forming residues that cannot be tolerated in clean air rooms.
  • a typical ultrapure air working space 10 is shown schematically in FIG.
  • the room 10 is constantly supplied with pure air by means of a low-turbulence displacement flow (laminar flow), the pure air mostly from above via a ceiling room 12 is fed.
  • the distribution and introduction takes place via air nozzles 14, which are distributed over the ceiling.
  • Below these air nozzles 14, a laminar flow of the purest air is created, which is indicated by parallel arrows 16 in the drawing.
  • the floor consists of a perforated plate 18, through which the undisturbed clean air flow ideally exits the clean air working space 10.
  • the air is collected, fed to a processing system, not shown, in which the air is cleaned, heated, cooled and to everyone else Treated in this way and, if necessary, supplemented with the purest fresh air, can be returned via the ceiling space 12.
  • a clean air space 10 must be aligned so that all necessary work facilities and devices as well as the people working in the clean air space 10 interfere as little as possible with the laminar air flow.
  • Work tables 22 are specially designed, provided with a perforated table top 24 and set up at a distance from a wall 26 in order to swirl the flow 28 as little as possible.
  • Whirl zones 30 should be avoided as far as possible.
  • a hot plate 32 can be set up on a work table 24, on which an object 34 to be treated is processed during a warm-up phase.
  • Ultrapure water which is completely residue-free, is atomized with an ultrasonic atomizer from a limited supply of the purest water;
  • Ultrapure air which is taken from the ultrapure air flow in the direction of flow, is first heated by the temperature difference which corresponds to the possible absorption heat of the emitted mist and accelerated by an air accelerator; the accelerated air takes away atomized mist from the ultrasonic atomizer and
  • the heated water mist is released into the ultrapure air stream via a distribution element, whereby the ultrapure air flow permeated by the water mist is visible.
  • a device 40 which serves this purpose is shown schematically in FIGS. 2 to 4.
  • This device 40 (FIG. 3) is held in the operating state (FIG. 2) by an operator 42 in such a way that an air stream 16 of the purest air is taken up parallel to its normal flow direction and fed via an air accelerator 44 to an ultrasonic atomizer 46, which is located inside the device 40 located.
  • the air absorbed in this way is previously heated via a regulated or unregulated electrical resistance heater 48.
  • a thermostat 50 can be provided, which switches the switch 54
  • Resistor heater 48 can switch off when overheating.
  • a light indicator 56 can indicate the operating state of the heater 48 and a light indicator 58 the operating state of the air accelerator 44.
  • a main switch 60 in front of or behind a control and monitoring unit 62 serves to start up the device 40.
  • the ultrasonic atomizer 46 is connected to a supply 64 of the purest water, which is located in the device 40, via a line 66 so that ultrapure water is constantly available for atomizing.
  • the amount of ultrapure water between an upper level 67 and a lower level 68 is monitored by a circuit 70, which first emits a low water warning lamp 72 and later, via an electrical line 74, a signal to the control unit 62 which stops the device 40 in the event of low water.
  • the power supply unit 76 is connected to the device 40 via a sufficiently long, abrasion-resistant cable 78.
  • the supply voltage of, for example, 48 volts can either be taken from the mains via a cable 80 or a buffer battery in the power supply unit 76.
  • An outlet 92 on the ultrasonic atomizer leads to a plug-on distribution unit 84 with an opening 86 from which the heated water mist 88 visibly emerges in such a way that it can be directed manually by the operator 42 to the locations to be examined in the clean air space 10. Turbulence zones or dead spaces 30 can thus be made visible and photographed free of pollutants and residues. This makes a method and a device available that can be used to optimize facilities in clean air workrooms or at clean air workplaces in a simple and cost-effective manner.
  • the device 40 can easily be accommodated in a device case 90 next to the power supply unit 76 with all the cables etc., and thus becomes a transportable unit.
  • the inner water reservoir 64 is a stainless steel wet cell and forms a unit with an ultrasonic vibrating body.
  • the electronic control and frequency conversion is located on a circuit board in the control unit 62.
  • the evaporation capacity is approximately between 0.4 and 0.6 kg per hour.
  • the electrical power consumption can be limited to approximately 85 VA.
  • the ultrasonic vibrating body is operated with an operating voltage of 48 volts and works at a frequency of 1.65 MHz.
  • the ultrapure water has an electrical conductivity of less than 20 us.
  • a plastic container for storage water can also be carried in the case 90.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Special Spraying Apparatus (AREA)
  • Air Humidification (AREA)
  • Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung beschrieben, die dem Sichtbarmachen von Strömungen in Reinstluft-Arbeitsräumen oder an Reinstluft-Arbeitsplätzen dient. Damit dies schadstoff- und rückstandsfrei geschehen kann, wird Reinstwasser in einem vorgewärmten Luftstrom, welcher parallel zur laminaren Reinstluftströmung aufgenommen wird, mittels Ultraschall zerstäubt und über eine von Hand ausrichtbare Düse in den Reinstluftraum abgegeben.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum schadstoff- und rückstandsfreien Sichtbarmachen von Strömungen in Reinstluft-Arbeits­räumen oder an Reinstluft-Arbeitsplätzen.
  • Reinsträume werden mit sehr großem Aufwand konzipiert, errichtet, eingerichtet und betrieben. Diese Reinsträume werden in der Medizin, in der Gen- oder Biotechnik und beispielsweise in der Entwicklung und Fertigung hoch­integrierter elektronischer Schaltkreise benötigt. Die Luft in diesen Räumen wird im Umlauf gereinigt, gefiltert, befeuchtet, erwärmt, gekühlt und von allen Partikeln freigehalten. In den in diesem Kreislauf liegenden Nutzräumen wird ein laminarer Luftstrom von der Decke zum Boden aufrechterhalten, und Einbauten, arbeitende Personen und Einrichtungen im Nutzraum sollen möglichst wenig Turbulenzen auslösen.
  • Da die Arbeitsplätze in Reinsträumen vielfach oft umge­staltet werden müssen, um sich der neuesten Technik anpassen zu können, sind Messungen des Laminarstroms zur Optimierung der Einrichtung erforderlich. Die Messung bedingt ein Sichtbarmachen der tatsächlichen Strömung. Nur durch das Sichtbarmachen lassen sich die Erkennt­nisse für eine optimale Einrichtung und Ausrichtung der Arbeitsplätze erzielen.
  • Die normalen Methoden und Möglichkeiten zum Sichtbar­machen von Strömungen, nämlich der Einsatz von Rauch oder Ölnebel, führt zu Verschmutzungen, die in diesen Reinsträumen nicht hingenommen werden können. Lediglich zum Simulieren in Modellräumen, die nicht selbst als Reinst-Arbeitsräume benutzt werden, können diese konven­tionellen Methoden eingesetzt werden, was sehr aufwendig ist.
  • Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Sichtbarmachen der Strömung in Reinst­räumen verfügbar zu machen, welches rückstandsfrei in allen Reinsträumen direkt einsetzbar ist.
  • Die allgemeine Lösung der Aufgabe liegt gemäß der Erfindung in der Verwendung eines Wassernebels aus reinstem Wasser, wobei das Wasser nicht erhitzt oder verdampft, sondern mittels Ultraschall zerstäubt wird.
  • Für das Einmischen des auf diese Weise zerstäubten Reinstwassers in die sichtbar zu machende Reinstluft wird die den Nebel tragende Luft beschleunigt und auf diese Weise in den Reinstraum abgegeben.
  • Bei zerstäubtem Wasser ergibt sich der Nachteil, daß beim Eintritt solcher Nebel in die umgebende Luft dieser Umgebungsluft Wärme entzogen wird. Diese Wärmeaufnahme führt zu Eigenbewegungen der Nebel infolge von Wärme­zuführung. Zumeist sinken die feinverteilten Wasser­partikel sehr schnell unter der Einwirkung der Erd­beschleunigung ab. Diese Eigenbewegung der Luftpartikel würde das Strömungsbild der sichtbar zu machenden Strömung verfälschen. Deshalb gehört es zum Erfindungs­gedanken, daß die von dem Ultraschallzerstäuber aufge­nommene Luft zuvor erwärmt wird.
  • Verneblungsgeräte mit Ultraschallzerstäuber sind an sich bekannt. So beschreibt die DE-OS 32 34 480 ein Verneblungsgerät für kosmetische Gesichtsvorbehandlung, wobei in einem Düsenkopf stromaufwärts des Gebläses eine Heizung für die Gebläseluft angeordnet ist. Hierbei dient die Heizung jedoch ausschließlich dem Zweck, eine angenehme Wirkung auf der menschlichen Hand zu erzeugen. Es findet eine Angleichung an die Körpertemperatur statt, da das Verneblungsgerät unmittelbar für die kosmetische Gesichtsbehandlung eingesetzt wird. Auch eine in der DE-OS 30 40 244 vorbeschriebene Vorrichtung zur Erzeugung eines Flüssigkeitsnebels mittels Ultra­schall, bei der ebenfalls eine Heizvorrichtung vorge­sehen ist, kann in Richtung der vorliegenden Erfindung keine Anregung abgeben, da auch diese Vorrichtung zu therapeutischen Zwecken, insbesondere zu Inhalations­zwecken am menschlichen Körper, bestimmt ist.
  • Demgegenüber werden in der Reinstraumlufttechnik zumeist Ölnebel benutzt, um die Luftströmung sichtbar zu machen, wobei die Ölnebel Rückstände bilden, die in Reinstluft­räumen nicht hingenommen werden können.
  • Weitere Erwägungen, Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der folgen­den Beschreibung von zeichnerisch dargestellten Aus­führungs- und Anwendungsbeispielen.
  • Es zeigen
    • Figur 1 eine schematische Übersichtsskizze eines Reinstluft-Arbeitsraumes, teilweise im Schnitt,
    • Figur 2 in schematischer Perspektive ein Anwendungs­beispiel,
    • Figur 3 eine schematische perspektivische Darstellung einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes und
    • Figur 4 ein schematisches Blockschaltbild zur Verdeutlichung des Geräteaufbaus.
  • In Figur 1 ist ein typischer Reinstluft-Arbeitsraum 10 schematisch dargestellt. Neben der sorgfältigen Reini­gung aller in den Raum 10 eingebrachten Gegenstände, dem Tragen von Reinstraumkleidung aller im Raum 10 tätigen Personen 11 wird der Raum 10 durch eine turbulenzarme Verdrängungsströmung (laminar flow) ständig mit Reinst­luft versorgt, wobei zumeist die Reinstluft von oben über einen Deckenraum 12 zugeführt wird. Die Verteilung und Einführung erfolgt über Luftdüsen 14, welche über die Decke verteilt sind. Unterhalb dieser Luftdüsen 14 entsteht ein laminarer Strom reinster Luft, welcher durch parallele Pfeile 16 in der Zeichnung angedeutet ist. Der Boden besteht aus einer Lochplatte 18, durch welche der ungestörte Reinstluftstrom im Idealfall wieder aus dem Reinstluft-Arbeitsraum 10 austritt. In einem Unterraum 20 wird die Luft gesammelt, einer nicht dargestellten Aufbereitungsanlage zugeführt, in welcher die Luft gereinigt, erwärmt, gekühlt und jeder anderen Weise behandelt und gegebenenfalls mit reinster Frisch­luft ergänzt über dem Deckenraum 12 wieder rückgeführt werden kann.
  • Das Innere eines Reinstluftraumes 10 muß so ausgerichtet werden, daß alle notwendigen Arbeitseinrichtungen und Vorrichtungen sowie die im Reinstluftraum 10 tätigen Personen die laminare Luftströmung möglichst wenig stören. So werden Arbeitstische 22 besonders gestaltet, mit gelochter Tischplatte 24 versehen und im Abstand von einer Wand 26 aufgestellt, um die Strömung 28 möglichst wenig zu verwirbeln. Wirbelzonen 30 sind soweit wie möglich zu vermeiden. Da aber gerade in Reinstlufträumen komplizierte Arbeitsprozesse durchgeführt werden, lassen sich Wirbelzonen 30 nicht vollständig vermeiden. So kann beispielsweise auf einem Arbeitstisch 24 eine Wärme­platte 32 aufgestellt werden, auf der ein zu behandeln­der Gegenstand 34 während einer Aufwärmphase bearbeitet wird. Es liegt auf der Hand, daß bei solchen Einrichtun­gen außer der mechanischen Ablenkung allein in diesem einfachen Beispiel von einer Wärmequelle 32 zusätzliche Verwirbelungen 30 thermischer Art erzeugt werden. Die notwendigen Arbeitseinrichtungen erzeugen Stauzonen und die Verwirbelungen 30 nicht sichtbare Toträume, welche die Reinstraumbedingungen sehr nachteilig beeinflussen und Schmutzzonen mit Rückstands- und Schadstoff­anhäufungen begünstigen oder ermöglichen. Deshalb ist es wichtig, jede Einrichtung in einem Reinstluftraum auf deren beeinträchtigende Wirkung hin zu untersuchen und überprüfen zu können.
  • Dies ist jedoch nur möglich, wenn die Reinstluftströmung sichtbar gemacht werden kann. Die übliche Methode, Luft­strömungen dadurch sichtbar zu machen, daß Verunreini­gungen in Form von Rauch oder Ölnebel beigegeben werden, bringt erhebliche Nachteile mit sich, die in Reinst­lufträumen nicht hingenommen werden können, weil die Beseitigung dieser Verschmutzung die Filter in der Umluftanlage zu sehr beanspruchen würde. Außerdem würde Rauch oder Ölnebel zu Rückstandsbildungen führen können, die sich nicht mehr im Luftstrom abführen lassen. Diese Methoden, mit Rauch oder Ölnebel die Luftströmungen sichtbar zu machen, lassen sich nur in Modellräumen anwenden, aber nicht an wirklich dem Zweck entsprechend eingerichteten und genutzten realen Reinstlufträumen.
  • Als Ausweg würde sich aus Reinstwasser erzeugter Wasser­dampf oder Wassernebel anbieten. Die Dampferzeugung ist aber energieaufwendig, und die verhältnismäßig hohe Mindesttemperatur von Reinst-Wasserdampf kollidiert mit dem Raumklima in Reinstlufträumen 10, wodurch nicht die tatsächlichen ungestörten, sondern nur die bereits durch den heißen Wasserdampf gestörten Strömungsverhältnisse sichtbar gemacht werden können. Außerdem lassen sich die empfindlichen Einrichtungen in Reinstlufträumen nicht mit heißem Dampf anstrahlen, ohne Schaden zu nehmen. An den Flächen dieser Einrichtungen würden zudem unerwünschte Kondensationen stattfinden.
  • Einfach kalt zerstäubter Wassernebel hat die Folge, daß sofort aus der Reinstluftumgebung Wärme in den Wasser­nebel aufgenommen werden würde, was eigene Strömungs­komponenten in den sichtbar zu machenden Luftstrom ein­bringen würde und deshalb wiederum nicht die tatsächlichen Strömungsverhältnisse, sondern durch die Meßmethode selbst verfälschte Strömungsbilder sichtbar machen würde.
  • Aus dieser Erkenntnis entstand als Lösung gemäß der vorliegenden Erfindung eine Meßmethode, die aus folgen­den Stufen besteht:
        Reinstwasser, was völlig rückstandsfrei ist, wird mit einem Ultraschallzerstäuber aus einem begrenzten Vorrat reinsten Wassers heraus vernebelt;
        Reinstluft, welche in Strömungsrichtung dem Reinst­luftstrom entnommen ist, wird zunächst um die Temperaturdifferenz erwärmt, die der möglichen Aufnahmewärme des abgegebenen Nebels entspricht und
        von einem Luftbeschleuniger beschleunigt;
        die beschleunigte Luft nimmt vom Ultraschall­zerstäuber zerstäubten Nebel mit und
        über ein Verteilungsorgan wird der erwärmte Wasser­nebel in den Reinstluftstrom abgegeben, wodurch die vom Wassernebel durchsetzte Reinstluftströmung sichtbar wird.
  • Ein Gerät 40, welches diesem Zweck dient, ist in den Figuren 2 bis 4 schematisch angegeben. Dieses Gerät 40 (Figur 3) wird im Betriebszustand (Figur 2) von einer Bedienungsperson 42 so gehalten, daß ein Luftstrom 16 reinster Luft parallel zu deren normalen Strömungs­richtung aufgenommen und über einen Luftbeschleuniger 44 einem Ultraschallzerstäuber 46 zugeführt, welcher sich im Inneren des Gerätes 40 befindet. Die derart aufge­nommene Luft wird zuvor über eine geregelte oder ungeregelte elektrische Widerstandsheizung 48 aufgeheizt. Zur Temperaturkontrolle kann ein Thermostat 50 vorgesehen werden, welcher über einen Schalter 54 die Widerstandsheizung 48 bei Überhitzung abschalten kann. Eine Leuchtanzeige 56 kann den Betriebszustand der Heizung 48 und eine Leuchtanzeige 58 den Betriebszustand des Luftbeschleunigers 44 anzeigen. Ein Hauptschalter 60 vor oder hinter einer Steuer- und Kontrolleinheit 62 dient zur Inbetriebnahme des Gerätes 40.
  • Der Ultraschallzerstäuber 46 steht mit einem Vorrat 64 reinsten Wassers, welcher sich im Gerät 40 befindet, über eine Leitung 66 so in Verbindung, daß ständig Reinstwasser zum Vernebeln zur Verfügung steht. Die Menge des Reinstwassers zwischen einem oberen Pegel 67 und einem unteren Pegel 68 wird von einer Schaltung 70 überwacht, welche zunächst eine Wassermangelwarnlampe 72 und später über eine elektrische Leitung 74 ein Signal an die Kontrolleinheit 62 abgibt, welches das Gerät 40 bei Wassermangel stillsetzt. Damit das Gerät 40 leicht am Körper einer Bedienungsperson 42 getragen werden kann, ist die Stromversorgungseinheit 76 über ein genügend langes, abriebfestes Kabel 78 mit dem Gerät 40 verbunden. Die Versorgungsspannung von beispielsweise 48 Volt kann entweder dem Netz über ein Kabel 80 oder einer Pufferbatterie in der Stromversorgungseinheit 76 entnommen werden Ein Auslaß 92 am Ultraschallzerstäuber führt zu einer aufsteckbaren Verteilungseinheit 84 mit einer Mündung 86, aus welcher der erwärmte Wassernebel 88 sichtbar so austritt, daß er von Hand von der Bedienungsperson 42 an die zu untersuchenden Stellen im Reinstluftraum 10 gelenkt werden kann. Turbulenzzonen oder Toträume 30 lassen sich so schadstoff- und rückstandsfrei sichtbar machen und fotografieren. Damit wird eine Methode und ein Gerät verfügbar gemacht, mit dem sich Einrichtungen in Reinstluft-Arbeitsräumen oder an Reinstluft-Arbeitsplätzen in einfacher Weise und kostengünstig optimieren lassen.
  • Das Gerät 40 kann bei abgenommenem Luftbeschleuniger 44 und Verteilerorgan 84 in einem Gerätekoffer 90 neben der Stromversorgungseinheit 76 mit allen Kabel usw. leicht untergebracht werden und wird dadurch zu einer transportablen Einheit.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform ist der innere Wasservorrat 64 eine Naßzelle aus Edelstahl und bildet eine Einheit mit einem Ultraschallschwingkörper. Die elektronische Steuerung und Frequenzumrichtung befindet sich auf einer Platine in der Steuereinheit 62. Die Verdampfungsleistung liegt bei einer praktischen Ausführungsform etwa zwischen 0,4 bis 0,6 kg pro Stunde. Die elektrische Leistungsaufnahme kann auf etwa 85 VA begrenzt werden. Der Ultraschallschwingkörper wird mit einer Betriebsspannung von 48 Volt betrieben und arbeitet mit einer Frequenz von 1,65 MHZ. Das Reinst­wasser hat einen elektrischen Leitwert von weniger als 20 us. Im Koffer 90 kann noch ein Kunststoffbehälter für Vorratswasser mitgeführt werden.

Claims (4)

1. Verfahren zum schadstoff- und rückstandsfreien Sicht­barmachen von Strömungen in Reinstluft-Arbeitsräumen oder an Reinstluft-Arbeitsplätzen,
dadurch gekennzeichnet,
daß Reinstwasser in einem vorgewärmten Luftstrom, welcher parallel zur laminaren Reinstluftströmung dieser entnommen wird, mittels Ultraschall zerstäubt und über ein von Hand ausrichtbares Verteilungsorgan in den Reinstluftraum abgegeben wird.
2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß in einem geschlossenen, am Körper einer Bedienungsperson (42) tragbaren Gerät (40) ein Reinstwasservorrat (64) mit einem Ultraschall­zerstäuber (46) in Verbindung steht, dem aus der Richtung des laminaren Stromes (16) der Reinstluft über einem Beschleuniger (44) und einer elektrischen Widerstandsheizung (48) entnommene Luft zuführbar ist, wobei der zerstäubte Nebel (88) aus einer flexiblen Abgabeeinheit (84, 86) austritt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Gerät (40) über ein abriebfreies Kabel (78) mit einer gesondert aufstellbaren Stromversorgungs­einheit (76) verbunden ist.
4. Vorrichtung nach Ansprüchen 2 und 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Luftbeschleuniger (44) und die Widerstands­heizung (48) eine auf das Gerät (40) aufsteckbare Einheit sind.
EP88108801A 1987-06-01 1988-06-01 Verfahren und Vorrichtung zum schadstoff- und rückstandsfreien Sichtbarmachen von Strömungen in Reinstluft-Arbeitsräumen Expired - Lifetime EP0293872B1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT88108801T ATE67023T1 (de) 1987-06-01 1988-06-01 Verfahren und vorrichtung zum schadstoff- und rueckstandsfreien sichtbarmachen von stroemungen in reinstluft-arbeitsraeumen.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3718318 1987-06-01
DE19873718318 DE3718318A1 (de) 1987-06-01 1987-06-01 Verfahren und vorrichtung zum schadstoff- und rueckstandsfreien sichtbarmachen von stroemungen in reinstluft-arbeitsraeumen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0293872A1 true EP0293872A1 (de) 1988-12-07
EP0293872B1 EP0293872B1 (de) 1991-09-04

Family

ID=6328803

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP88108801A Expired - Lifetime EP0293872B1 (de) 1987-06-01 1988-06-01 Verfahren und Vorrichtung zum schadstoff- und rückstandsfreien Sichtbarmachen von Strömungen in Reinstluft-Arbeitsräumen

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0293872B1 (de)
AT (1) ATE67023T1 (de)
DE (2) DE3718318A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU605279B2 (en) * 1987-04-18 1991-01-10 Midori Anzen Industry Co., Ltd. Air stream visualization apparatus
CN114294742A (zh) * 2021-12-08 2022-04-08 中航西安飞机工业集团股份有限公司 一种静电喷涂荧光渗透检测废气净化处理系统

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104764110A (zh) * 2015-04-30 2015-07-08 太仓市大友空调设备有限公司 一种花瓶式空气净化器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3234480A1 (de) * 1982-09-17 1984-03-22 Gerhard Kurt 6680 Neunkirchen Maywald Vernebelungsgeraet fuer die kosmetische gesichts-vorbehandlung
DE3406831A1 (de) * 1984-02-24 1985-08-29 Helmut 8000 München Schunk Ultraschall-luftbefeuchter mit entkalkungs- und entkeimungsvorrichtung zur raumluftbefeuchtung, geruchsbeseitigung und inhalation
DE3430089A1 (de) * 1984-08-16 1986-02-27 Zinon Dr. med. 3000 Hannover Duvlis Verfahren zum ausrichten eines reinraumstromes und reinraumerzeuger
US4693173A (en) * 1984-10-11 1987-09-15 Hitachi Plant Engineering & Construction Co., Ltd. Clean room
DE3606496A1 (de) * 1986-02-28 1987-09-17 Stulz Gmbh Durch ultraschall betriebene vorrichtung mit kuehlkoerper zum befeuchten von luft

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2485402A1 (fr) * 1980-06-27 1981-12-31 Ultrasonic Ind Dispositif de pulverisation de liquides notamment inhalateur
DE3049244A1 (de) * 1980-12-27 1982-07-29 Heitland Medical Instruments GmbH, 3100 Celle Vorrichtung zur erzeugung von fluessigkeitsnebel mittels ultraschall
DE8226214U1 (de) * 1982-09-17 1983-05-05 Maywald, Gerhard Kurt, 6680 Neunkirchen Vernebelungsgeraet fuer die kosmetische gesichts-vorbehandlung
EP0158038B1 (de) * 1984-02-16 1988-06-01 Reinhard Simon Nebelgenerator

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3234480A1 (de) * 1982-09-17 1984-03-22 Gerhard Kurt 6680 Neunkirchen Maywald Vernebelungsgeraet fuer die kosmetische gesichts-vorbehandlung
DE3406831A1 (de) * 1984-02-24 1985-08-29 Helmut 8000 München Schunk Ultraschall-luftbefeuchter mit entkalkungs- und entkeimungsvorrichtung zur raumluftbefeuchtung, geruchsbeseitigung und inhalation
DE3430089A1 (de) * 1984-08-16 1986-02-27 Zinon Dr. med. 3000 Hannover Duvlis Verfahren zum ausrichten eines reinraumstromes und reinraumerzeuger
US4693173A (en) * 1984-10-11 1987-09-15 Hitachi Plant Engineering & Construction Co., Ltd. Clean room
DE3606496A1 (de) * 1986-02-28 1987-09-17 Stulz Gmbh Durch ultraschall betriebene vorrichtung mit kuehlkoerper zum befeuchten von luft

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU605279B2 (en) * 1987-04-18 1991-01-10 Midori Anzen Industry Co., Ltd. Air stream visualization apparatus
CN114294742A (zh) * 2021-12-08 2022-04-08 中航西安飞机工业集团股份有限公司 一种静电喷涂荧光渗透检测废气净化处理系统

Also Published As

Publication number Publication date
ATE67023T1 (de) 1991-09-15
DE3718318A1 (de) 1988-12-22
EP0293872B1 (de) 1991-09-04
DE3864590D1 (de) 1991-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE202018001634U1 (de) Kompakte Zerstäubungsvorrichtung, und Zerstäubungsanordnung, die eine solche Vorrichtung umfasst
DE3305785A1 (de) Handtrockengeraet
DE102020112573A1 (de) Luftbehandlungsvorrichtung mit Elektroabscheidefunktion
EP0293872B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum schadstoff- und rückstandsfreien Sichtbarmachen von Strömungen in Reinstluft-Arbeitsräumen
EP0158038B1 (de) Nebelgenerator
EP1483124A1 (de) Klimagebläse
WO1995010009A1 (de) Mischvorrichtung
DE3840922C2 (de)
EP0427095A2 (de) Luftreiniger
DE60122434T2 (de) Vorrichtung zur Zerstäubung von Reinigungs- und Desinfektionsflüssigkeiten
DE3812848A1 (de) Vorrichtung zum sichtbarmachen von luftstroemen
DE202020107421U1 (de) Vorrichtung zur Vernebelung von Desinfektionsmittel
WO2001027541A1 (de) Verfahren zur klimaregelung eines raums
DE4414598C2 (de) Luftwäscher
EP2762793A1 (de) Vorrichtung zur Regulierung der Luftfeuchtigkeit
DE102020112847A1 (de) Desinfektionsvorrichtung
DE3515448A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur reinigung von schadstoffbelasteten fluiden
DE19706035C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Luftbefeuchtung in Arbeitsräumen
DE3508651A1 (de) Klimaeinrichtung
DE3802350A1 (de) Befeuchtungs- und reinigungsgeraet fuer raumluft
DE102004007751B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Luftbefeuchtung
DE4212711A1 (de) Abluftreinigung für eine Spritzkabine
EP0387185A2 (de) Verfahren zur Regelung der Raumatmosphäre einer Dampfbadekabine
DE1062394B (de) Verfahren und Vorrichtung zum Geruchfreimachen von Luft, insbesondere von industriellen Abgasen mittels Ozon
DE3216252C2 (de)

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT CH DE FR GB IT LI NL SE

17P Request for examination filed

Effective date: 19890410

17Q First examination report despatched

Effective date: 19900222

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT CH DE FR GB IT LI NL SE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRE;WARNING: LAPSES OF ITALIAN PATENTS WITH EFFECTIVE DATE BEFORE 2007 MAY HAVE OCCURRED AT ANY TIME BEFORE 2007. THE CORRECT EFFECTIVE DATE MAY BE DIFFERENT FROM THE ONE RECORDED.SCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 19910904

Ref country code: NL

Effective date: 19910904

Ref country code: SE

Effective date: 19910904

Ref country code: GB

Effective date: 19910904

Ref country code: FR

Effective date: 19910904

REF Corresponds to:

Ref document number: 67023

Country of ref document: AT

Date of ref document: 19910915

Kind code of ref document: T

REF Corresponds to:

Ref document number: 3864590

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19911010

EN Fr: translation not filed
NLV1 Nl: lapsed or annulled due to failure to fulfill the requirements of art. 29p and 29m of the patents act
GBV Gb: ep patent (uk) treated as always having been void in accordance with gb section 77(7)/1977 [no translation filed]
PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Payment date: 19980623

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 19980701

Year of fee payment: 11

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 19990601

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 19990630

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 19990630

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20060630

Year of fee payment: 19

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20060103