EP0168777B1 - Röntgenröhre - Google Patents

Röntgenröhre Download PDF

Info

Publication number
EP0168777B1
EP0168777B1 EP19850108638 EP85108638A EP0168777B1 EP 0168777 B1 EP0168777 B1 EP 0168777B1 EP 19850108638 EP19850108638 EP 19850108638 EP 85108638 A EP85108638 A EP 85108638A EP 0168777 B1 EP0168777 B1 EP 0168777B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
cathode
ray tube
concave mirror
target
anode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
EP19850108638
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0168777A3 (en
EP0168777A2 (de
Inventor
Hans-Erik Hjelmrodt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Scanray AS
Original Assignee
Scanray AS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Scanray AS filed Critical Scanray AS
Publication of EP0168777A2 publication Critical patent/EP0168777A2/de
Publication of EP0168777A3 publication Critical patent/EP0168777A3/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0168777B1 publication Critical patent/EP0168777B1/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor

Definitions

  • the invention relates to an X-ray tube of the type mentioned in the preamble of claim 1.
  • an X-ray tube of the type in question is known, in the evacuated piston of which a hot cathode surrounded by a grid, a hole anode and a target are arranged.
  • the hot cathode consists of a wire whose dimensions are large compared to the dimensions of the electron exit area.
  • a device for achieving an increased surface temperature is provided at the point at which the electric field between the anode and cathode reaches its highest value. In this way, the smallest possible expansion of the electron exit area on the cathode is to be achieved.
  • To generate the tiny spot of elevated temperature on the cathode u. a. also an external radiation exposure z. B.
  • the invention has for its object to provide an X-ray tube of the type in question, in which the disadvantages of the known X-ray tube are not available, so that such a temperature difference is achieved on the surface of the hot cathode without external radiation and without cooling measures that electrons predominantly from emerge from an extremely small area of the cathode in order to facilitate the focusing of the electron beam.
  • the radiation emanating from the hot cathode itself is focused by optical means onto a small spot on the surface of the hot cathode, so that there is an increase in temperature in relation to the surrounding area.
  • the concave mirror can be arranged in a simple and expedient manner coaxial to the electron beam going from the cathode through the hole of the hole anode to the target, in which case a hole is provided in the concave mirror through which the electron beam can pass. It is particularly expedient if, according to a development of the invention, the concave mirror is formed by the surface of the hole anode which faces the cathode and is preferably mirrored. This means that apart from a corresponding design of the hole anode and the mirroring, no additional measures are required in order to achieve the desired temperature increase in a narrowly limited focal point.
  • the cathode which is generally a V-shaped filament
  • the cathode is kept at such a temperature by electric heating that few electrons can escape from the surface.
  • the heat radiation is then sufficient, however, to achieve such an increase in temperature after focusing through the concave mirror on a fine point on the surface of the cathode that sufficient electrons can escape at this fine point.
  • the drawing shows, partially in section, an X-ray tube with a housing 1, which is connected to a line 2, which is connected to a pump, not shown, for lowering the pressure in the interior 3 of the X-ray tube.
  • a cathode 4 in the form of a small filament, which is bent in a V-shape and with its tip facing an anode 5 and a target 6.
  • a grid cap 7 is arranged in the region of the cathode 4, which projects into an opening 8 in the grid cap 7 and whose tip is approximately aligned with the front boundary of the opening 8. From this front boundary, the grille cap 7 widens in a conical surface 9.
  • anode 5 On the back of the hole anode 5 there is a tube 10 with a variable diameter, which is conductively connected to the hole anode 5.
  • the ochanode 5 runs through a hole 11 which continues into an interior 12 of the metallic tube 10.
  • a focusing coil 13 is arranged in the area of the metallic tube 10.
  • deflection coils 14 and 15 are provided, with which the electron beam can be deflected and which are of no further importance for the understanding of the invention.
  • the target 6 has an inclination to the axis 6 of the X-ray tube, indicated by a dash-dotted line, and is held in a holder 17 which is connected via pipes 18 and 19 to a cooling source (not shown) for the purpose of cooling the target.
  • a window 20 in the housing Radially next to the surface of the target 6 there is a window 20 in the housing through which X-rays emanating from the target 6 can emerge in the area between two dashed lines 21 and 22.
  • the angle between a central axis of the emerging x-rays, indicated by a dashed line 23, and the surface of the target 6 is approximately ⁇ 45 degrees.
  • the usual supply voltages are applied to the cathode 4, the grid cap 7 and the hole anode 5, which require no explanation here.
  • the hole anode 5 has on its side facing the cathode 4 a hollow surface 24 which is designed to be specular and shaped so that heat radiation is reflected by the cathode 4 and is focused on a fine point on the tip of the V-shaped cathode 4. At this focal point, the temperature rises such that electrons essentially only emerge at this fine point. This results in a very fine electron beam and consequently also a very small spot of impact of the electron beam on the target 6, so that an X-ray tube with a very fine focus is created. The fine electron beam also makes focusing easier.

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Röntgenröhre der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art.
  • Durch die EP-A-0 096 824 (DE-OS 32 22 511) ist eine Röntgenröhre der betreffenden Art bekannt, in deren evakuiertem Kolben eine von einem Gitter umgebene Glühkathode, eine Lochanode und ein Target angeordnet sind. Die Glühkathode besteht aus einem Draht, dessen Dimensionen groß gegenüber den Dimensionen der Elektronenaustrittsfläche sind. Außerdem ist eine Vorrichtung zur Erzielung einer erhöhten Oberflächentemperatur an derjenigen Stelle vorgesehen, an der das elektrische Feld zwischen Anode und Kathode seinen höchsten Wert erreicht. Auf diese Weise soll eine möglichst geringe Ausdehnung der Elektronenaustrittsfläche auf der Kathode erzielt werden. Zur Erzeugung des winzigen Flecks erhöhter Temperatur auf der Kathode ist u. a. auch eine äußere Strahlungseinwirkung z. B. durch Lichteinstrahlung, Infraroteinstrahlung oder mittels eines Lasers vorgesehen. Die Schaffung dieser Strahlungseinwirkung ist als kompliziert angegeben, während es als viel einfacher und ebenso wirkungsvoll bezeichnet ist, die Glühkathode mit einem Wärmestrahlung absorbierenden Körper so zu umgeben, daß von allen Seiten der Oberfläche des Glühdrahtes mehr Strahlung absorbiert wird als von der gewünschten Elektronenaustrittsfläche. Als wärmeabsorbierender Körper ist das die Kathode umgebende Gitter vorgesehen. Die Aufnahme von Wärmestrahlung von der Glühkathode erfolgt jedoch ziemlich gleichmäßig von allen Oberflächenbereichen der Glühkathode, auch von der Elektronenaustrittsfläche her. Zwar ist die Wärmestrahlungsaufnahme von der Elektronenaustrittsfläche geringer als von anderen Oberflächenbereichen der Glühkathode, jedoch ist dieser Kühlungsunterschied so gering, daß sich der gewünschte Unterschied in der Oberflächentemperatur nicht erreichen läßt, zumal auch eine Kühlung der Elektronenaustrittsfläche von der Lochanode her erfolgt, die eine niedrige Temperatur hat. Weder die Temperaturerhöhung im Bereich der Elektronenaustrittsfläche durch äußere Strahlungseinwirkung noch durch Kühlung umgebender Bereiche führt daher zu einer brauchbaren Lösung.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Röntgenröhre der betreffenden Art zu schaffen, bei der die Nachteile der bekannten Röntgenröhre nicht vorhanden sind, bei der also ohne äußere Strahlungseinwirkung und ohne Kühlungsmaßnahmen ein solcher Temperaturunterschied auf der Oberfläche der Glühkathode erzielt wird, daß Elektronen überwiegend von einer äußerst geringen Fläche der Kathode austreten, um so die Fokussierung des Elektronenstrahls zu erleichtern.
  • Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebene Lehre gelöst.
  • Nach dem Grundgedanken der Erfindung wird die von der Glühkathode selbst ausgehende Strahlung durch optische Mittel auf einen kleinen Fleck auf der Oberfläche der Glühkathode fokussiert, so daß dort eine Temperaturerhöhung in bezug zu dem Umgebungsbereich stattfindet. Durch entsprechende Bemessung der strahlenden Oberfläche der Glühkathode und den die Strahlung zurückwerfenden Hohlspiegel läßt sich erreichen, daß Elektronen nur in diesem Fokussionspunkt aus der Oberfläche der Kahtode austreten können, während die Temperatur in den umgebenden Bereichen so gering ist, daß dort keine oder nur wenige Elektronen austreten. e
  • Der Hohlspiegel läßt sich in einfacher und zweckmäßiger Weise koaxial zu dem von der Kathode durch das Loch der Lochanode zu dem Target gehenden Elektronenstrahl anordnen, wobei dann in dem Hohlspiegel ein Loch vorgesehen ist, durch das der Elektronenstrahl hindurchtreten kann. Besonders zweckmäßig ist es dabei, wenn der Hohlspiegel gemäß einer Weiterbildung der Erfindung durch die der Kathode zugewandte und vorzugsweise verspiegelte Oberfläche der Lochanode gebildet ist. Das bedeutet, daß außer einer entsprechenden Gestaltung der Lochanode und der Verspiegelung keine zusätzlichen Maßnahmen erforderlich sind, um die gewünschte Temperaturerhöhung in einem eng begrenzten Fokuspunkt zu erzielen.
  • Die in Anspruch 4 angegebene Weiterbildung ' der Erfindung bewirkt, daß durch elektrische Heizung die Kathode, die in der Regel ein V-förmig gebogener Glühdraht ist, auf einer solchen Temperatur gehalten wird, daß wenige Elektronen aus der Oberfläche austreten können. Die Wärmestrahlung reicht dann aber aus, um nach Fokussierung durch den Hohlspiegel auf einen feinen Punkt auf der Oberfläche der Kathode dort eine solche Temperaturerhöhung zu erzielen, daß an diesem feinen Punkt genügend Elektronen austreten können.
  • Anhand der Zeichnung soll die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.
  • Die Zeichnung zeigt teilweise geschnitten eine Röntgenröhre mit einem Gehäuse 1, das an eine Leitung 2 angeschlossen ist, die mit einer nicht dargestellten Pumpe zur Absenkung des Druckes im Innenraum 3 der Röntgenröhre verbunden ist.
  • Im Innenraum 3 befindet sich eine Kathode 4 in Form eines kleinen Glühdrahtes, der V-förmig gebogen ist und mit seiner Spitze einer Anode 5 und einem Target 6 zugewandt ist. Eine Gitterkappe 7 ist im Bereich der Kathode 4 angeordnet, die in einen Durchbruch 8 der Gitterkappe 7 ragt und mit ihrer Spitze etwa mit der vorderen Begrenzung des Durchbruchs 8 fluchtet. Von dieser vorderen Begrenzung aus erweitert sich die Gitterkappe 7 in einer Kegelfläche 9.
  • Auf der Rückseite der Lochanode 5 befindet sich eine Röhre 10 mit variablem Durchmess, die mit der Lochanode 5 leitend verbunden ist. Durch die ochanode 5 verläuft ein Loch 11, das sich in einen Innenraum 12 der metallischen Röhre 10 fortsetzt.
  • Im Bereich der metallischen Röhre 10 ist eine Fokussierspule 13 angeordnet. Außerdem sind Ablenkspulen 14 und 15 vorgesehen, mit denen der Elektronenstrahl ablenkbar ist und die für das Verständnis der Erfindung nicht weiter von Bedeutung sind.
  • Das Target 6 weist zu der durch eine strichpunktierte Linie angedeuteten Achse 6 der Röntgenröhre eine Neigung auf und ist in einer Halterung 17 gehalten, die zum Zwecke der Kühlung des Targets über Rohrleitungen 18 und 19 an eine nicht gezeigte Kühlquelle angeschlossen ist.
  • Radial neben der Oberfläche des Targets 6 befindet sich in dem Gehäuse ein Fenster 20, durch das von dem Target 6 ausgehende Röntgenstrahlung im Bereich zwischen zwei gestrichelten Linien 21 und 22 austreten kann. Der Winkel zwischen einer durch eine gestrichelte Linie 23 angedeuteten Mittelachse der austretenden Röntgenstrahlung und der Oberfläche des Targets 6 beträgt circa ±45 Grad. Bei Betrieb sind an die Kathode 4, die Gitterkappe 7 und die Lochanode 5 die üblichen Speisespannungen gelegt, die hier keiner Erläuterung bedürfen.
  • Die Lochanode 5 weist auf ihrer der Kathode 4 zugewandten Seite eine Hohlfläche 24 auf, die spiegelnd ausgebildet und so geformt ist, daß Wärmestrahlung von der Kathode 4 reflektiert und auf einen feinen Punkt auf der Spitze der V-förmigen Kathode 4 fokussiert wird. In diesem Brennpunkt erfolgt eine solche Temperaturerhöhung, daß Elektronen im wesentlichen nur in diesem feinen Punkt austreten. Daraus ergibt sich ein sehr feiner Elektronenstrahl und folglich auch ein sehr kleiner Auftrefffleck des Elektronenstrahls auf dem Target 6, so daß eine Röntgenröhre mit sehr feinem Fokus geschaffen ist. Der feine Elektronenstrahl erleichtert auch die Fokussierung.

Claims (4)

1. Röntgenröhre, mit einer Kathode, mit einer Lochanode, mit einem Target und mit einer Einrichtung zum Richten elektromagnetischer Strahlung auf einen Punkt auf der der Lochanode zugewandten Oberfläche der Kathode, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung aus einem Hohlspiegel (24) besteht, der im Wärmestrahlungsbereich der Kathode (4) angeordnet ist und dessen Brennpunkt auf der Oberfläche der Kathode (4) liegt.
2. Röntgenröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlspiegel (24) koaxial zu dem von der Kathode (4) durch das Loch (11) der Lochanode (5) zu dem Target (6) gehenden Elektronenstrahl angeordnet ist und im Bereich des Elektronenstrahls ebenso wie die Lochanode (5) ein Loch aufweist.
3. Röntgenröhre nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlspiegel (24) durch die der Kathode (4) zugewandte und verspiegelte Oberfläche der Lochanode (5) gebildet ist.
4. Röntgenröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (4) eine elektrisch vorgeheizte Glühkathode ist, wobei die durch die Vorheizung erzeugte Temperatur im wesentlichen dicht bei der für den Austritt von Elektronen erforderlichen Temperatur liegt, während die Zufuhr elektromagnetischer Strahlung durch den Hohlspiegel (24) auf die Oberfläche der Kathode (4) so bemessen ist, daß überwiegend an diesem Punkt Elektronen austreten.
EP19850108638 1984-07-19 1985-07-11 Röntgenröhre Expired EP0168777B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19843426624 DE3426624C2 (de) 1984-07-19 1984-07-19 Röntgenröhre
DE3426624 1984-07-19

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP0168777A2 EP0168777A2 (de) 1986-01-22
EP0168777A3 EP0168777A3 (en) 1987-08-19
EP0168777B1 true EP0168777B1 (de) 1989-02-01

Family

ID=6241048

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP19850108638 Expired EP0168777B1 (de) 1984-07-19 1985-07-11 Röntgenröhre

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP0168777B1 (de)
DE (1) DE3426624C2 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5202910A (en) * 1990-08-28 1993-04-13 North American Philips Corporation Anode for arc discharge devices
EP0473228A3 (en) * 1990-08-28 1992-04-08 N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken Improved anode for arc discharge devices
KR101289502B1 (ko) 2005-10-07 2013-07-24 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 X선관 및 비파괴 검사 장치

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE619621C (de) * 1933-09-06 1935-10-04 C H F Mueller Akt Ges Roentgenroehre mit durchlochter Hohlanode
US3388280A (en) * 1966-04-19 1968-06-11 Victor E. De Lucia Laser energized hot cathode type of electron discharge device
DE1614158A1 (de) * 1967-05-13 1971-04-29 Mueller C H F Gmbh Kathode fuer Roentgenroehre
DE2855905A1 (de) * 1978-12-23 1980-06-26 Licentia Gmbh Vorrichtung mit einer roentgenroehre
DE3222511C2 (de) * 1982-06-16 1985-08-29 Feinfocus Röntgensysteme GmbH, 3050 Wunstorf Feinfokus-Röntgenröhre
US4606061A (en) * 1983-12-28 1986-08-12 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Light controlled x-ray scanner

Also Published As

Publication number Publication date
EP0168777A3 (en) 1987-08-19
DE3426624A1 (de) 1986-01-30
DE3426624C2 (de) 1987-04-23
EP0168777A2 (de) 1986-01-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69711653T2 (de) Röntgergenerator
EP0096824B1 (de) Feinfokus-Röntgenröhre und Verfahren zur Bildung eines Mikrofokus der Elektronenemission einer Röntgenröhren-Glühkathode
DE60007852T2 (de) Verfahren und vorrichtung zum verlängern der lebenszeit einer röntgenanode
DE2653547A1 (de) Roentgenroehre mit einer gluehkathode und einer am gegenueberliegenden ende der roentgenroehre befindlichen anode
DE2719275A1 (de) Verfahren und vorrichtung fuer die materialabtragende bearbeitung von getrennten, in einem vorgegebenen muster angeordneten flaechen auf einem sich kontinuierlich bewegenden gegenstand
DE2527622B2 (de) Einrichtung zur Erzeugung eines in einer Abbildungsebene der Rechteckform angenäherten Querschnittes eines Laserstrahlenb lindeis
DE19513291C2 (de) Röntgenröhre
DE2451018B2 (de) Injektions-Halbleiterlasereinrichtung
DE3639580A1 (de) Laseranordnung
DE60111863T2 (de) Laserschweissverfahren
DE19623270C2 (de) Adaptives optisches Abbildungssystem zur Abbildung eines von einem Laser emittierten Strahlenbündels
DE4335585A1 (de) Laservorrichtung
DE69315409T2 (de) Laserverbindungsvorrichtung
EP0168777B1 (de) Röntgenröhre
DE3876452T2 (de) Optisches system fuer lasermarkierung.
DE3514700A1 (de) Roentgenroehre
DE102008063614A1 (de) Laser-Lichtbogen-Hybrid-Schweißkopf
DE2161027C3 (de) Elektronenstrahlerzeuger mit einer durch einen Energiestrahl zu erhitzenden Kathode
DE3711905C2 (de)
DE112022000110T5 (de) Linsenanordnung und einen laserschweisskopf
DE68923752T2 (de) Elektronenstrahlerzeuger, Verfahren zur Herstellung eines Elektronenstrahlerzeugers und Bildröhre, versehen mit solch einem Elektronenstrahlerzeugers.
AT393759B (de) Kathodenstrahlroehre
DE2042229C3 (de) Mehrstufige, steuerbare Lichtstrahlablenkvorrichtung
DE3543591A1 (de) Roentgenroehre
EP0417642B1 (de) Elektronenstrahlerzeuger, insbesondere für eine Elektronenstrahlkanone

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): FR GB

17P Request for examination filed

Effective date: 19860704

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): FR GB

17Q First examination report despatched

Effective date: 19880706

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): FR GB

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: THE PATENT HAS BEEN ANNULLED BY A DECISION OF A NATIONAL AUTHORITY

Effective date: 19890201

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 19890201

EN Fr: translation not filed
GBV Gb: ep patent (uk) treated as always having been void in accordance with gb section 77(7)/1977 [no translation filed]
PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed